2026/04/07 更新

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アベ　タカシ
安部　隆
ABE Takashi
所属
教育研究院 自然科学系 生産デザイン工学系列 教授
自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学 教授
工学部 工学科 教授
職名
教授
ホームページ
http://mems.eng.niigata-u.ac.jp/
外部リンク

学位

  • 博士（工学） （ 1997年3月   名古屋大学 ）

研究キーワード

  • タフMEMS

  • 微細加工

  • MEMS

  • 水晶MEMS

  • センサ

研究分野

  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス

  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 計測工学

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム

経歴（researchmap）

  • 新潟大学   大学院自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学   教授

    2010年4月 - 現在

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  • 東北大学   大学院工学研究科 機械・知能系   准教授

    2003年4月 - 2010年3月

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  • 独立行政法人 科学技術振興機構 さきがけ 個人研究者

    2002年11月 - 2006年3月

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  • 東北大学   工学部 機械電子工学科   助手

    2001年4月 - 2003年3月

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経歴

  • 新潟大学   自然科学研究科　材料生産システム専攻　機械科学   教授

    2010年4月 - 現在

  • 新潟大学   機械システム工学科   教授

    2010年4月 - 現在

学歴

  • 名古屋大学   工学研究科

    - 1997年3月

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    国名： 日本国

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  • 名古屋大学   工学部

    - 1992年3月

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    国名： 日本国

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所属学協会

委員歴

  • 日本機械学会   代表会員  

    2023年4月 - 現在   

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    団体区分：学協会

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  • 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門   第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム実行委員長  

    2022年 - 2023年   

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  • Transducers2023 組織委員会 委員  

    2021年 - 2024年   

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    団体区分：学協会

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  • 電気学会 センサ・マイクロマシン部門   監事  

    2021年 - 2023年   

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  • 日本機械学会 マイクロナノ工学部門   第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 論文委員長  

    2020年 - 2021年   

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    団体区分：学協会

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門研究調査運営委員会 委員長  

    2020年 - 2021年   

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    団体区分：学協会

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  • 電気学会 センサ・マイクロマシン部門   副部門長  

    2019年 - 2021年   

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    団体区分：学協会

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  • 電気学会 センサ・マイクロマシン部門   編修委員会 編修委員長  

    2019年 - 2020年   

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    団体区分：学協会

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  • 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門   表彰委員会 委員長  

    2019年 - 2020年   

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    団体区分：学協会

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  • 日本学術振興会   第150委員会 委員  

    2018年 - 2020年   

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    団体区分：学協会

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  • 電気学会   代議員（社員）  

    2016年 - 2020年   

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    団体区分：学協会

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  • 日本機械学会   マイクロ・ナノ工学部門 代議員  

    2016年 - 2019年   

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    団体区分：学協会

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  • 電気学会 センサ・マイクロマシン部門大会   論文委員長  

    2015年 - 2016年   

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    団体区分：学協会

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  • 電気学会 センサ・マイクロマシン部門   編修長（主査）  

    2013年 - 2014年   

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    団体区分：学協会

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論文

  • Novel Estimation Method of Force Application Point for Cantilever‐Type MEMS Tactile Sensor

    Harufumi Hosokawa, Ryusuke Mitobe, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Electrical Engineering in Japan   218 ( 3 )   77 - 84   2025年9月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    ABSTRACT

    In this paper, we propose a new evaluation method for the spatial distribution of sensitivity to force in a cantilever‐type MEMS tactile sensor developed in our laboratory. By combining the responses of two strain gauges attached to the cantilever with different coefficients, it is shown that the spatial distribution of sensitivity can be controlled, and the force application position and the magnitude of force can be predicted with high accuracy.

    DOI： 10.1002/eej.23525

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  • Novel Estimation Method of Force Application Point for Cantilever-Type MEMS Tactile Sensor

    Harufumi Hosokawa, Ryusuke Mitobe, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   145 ( 7 )   144 - 150   2025年7月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.145.144

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  • Evaluation of Omni-Directional Tactile Sensor for Force Vector Measurement

    Ryusuke Mitobe, Yuji Takahashi, Takashi Abe, Haruki Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   145 ( 6 )   96 - 102   2025年6月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.145.96

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  • Development of Technology for Measuring Water Retention and Permeability of Concrete Using Quartz Complex Capacitance Sensor

    Mahiro Kirinashizawa, Keigo Iwamoto, Taketeru Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   145 ( 6 )   109 - 114   2025年6月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.145.109

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  • Non-destructive Monitoring the Hydration of Cement-based Materials Using a Quartz Complex Capacitive Sensor

    Taichi Miura, Keigo Iwamoto, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   145 ( 5 )   85 - 90   2025年5月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.145.85

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  • Quartz Oscillator Based Complex Capacitive Sensor for Nondestructive Sensing Inside RC Structures

    Taketeru Yokoyama, Ryosuke Takahashi, Keigo Iwamoto, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   108 ( 1 )   2025年1月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    ABSTRACT

    This research developed a complex capacitance sensor using a quartz oscillator for non‐invasively imaging of a rebars position in reinforced concrete structures. The use of different electrode structures and a floating electrode located on the backside allowed for control of the sensing depth. This technology is expected to realize a simpler maintenance and management process for infrastructure quality.

    DOI： 10.1002/ecj.12483

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  • Effect of elastomer materials on the time response characteristics of MEMS tactile sensors

    Yusaku AIBA, Ryusuke MITOBE, Akiyoshi KUSANO, Akiomi USHIDA, Takashi ABE, Masayuki SOHGAWA

    Mechanical Engineering Journal   12 ( 4 )   25 - 00098   2025年

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Japan Society of Mechanical Engineers  

    DOI： 10.1299/mej.25-00098

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  • MEMS Tactile Sensor for Mimicking the Response of Human Tactile Sensation

    Ryusuke Mitobe, Zhikai Geng, Takashi Abe, Kensuke Kanda, Masayuki Sohgawa

    Sensors and Materials   36 ( 12 )   5129 - 5129   2024年12月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：MYU K.K.  

    DOI： 10.18494/sam5241

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  • Quartz Oscillator based Complex Capacitive Sensor for Nondestructive Sensing Inside RC Structures

    Taketeru Yokoyama, Ryosuke Takahashi, Keigo Iwamoto, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 12 )   396 - 401   2024年12月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.396

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  • Dependence of Response to Bending and Torsional Deformation on Sealing Depth of MEMS Tactile Sensor in Elastomer Sheet

    Hiiro Wakabayashi, Taisei Nambu, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 11 )   369 - 374   2024年11月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.369

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  • Integration of Light and Temperature Sensing Elements for Combined Visual and Tactile Measurement of Resin Compounds

    Mako Nakamura, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 9 )   252 - 257   2024年9月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.252

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  • Trace Measurement by Fingerprint Type Surface Tactile Sensor for Texture Detection

    So Okako, Yosuke Tsukiyama, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 9 )   247 - 251   2024年9月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.247

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  • 支持基板上ATカット水晶振動子の形状の最適化

    Tomoya Nitta, Kuraudo Yasuda, Keito Morohashi, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 6 )   136 - 140   2024年6月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.136

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  • Development of a degradation method for evaluation of edible oils using a contactless quartz crystal complex capacitance sensor

    Yu Oshima, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   107 ( 2 )   2024年5月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    Abstract

    A method for evaluating the degradation of edible oils using a contactless quartz‐based capacitive detector is reported herein. Oils easily oxidize, resulting in loss of flavor and nutritional value. Therefore, it is necessary to determine oil degradation. We attempted to evaluate the degradation of edible oils by heat and light using this sensor. The results showed the degradation of heated and irradiated oil could be detected. This is due to the compound was formed during heating and irradiation.

    DOI： 10.1002/ecj.12459

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  • Development of a Degradation Method for Evaluation Edible Oils Using a Contactless Quartz Crystal Complex Capacitance Sensor

    Yu Oshima, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 5 )   111 - 116   2024年5月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.111

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  • Sensitivity Dependence Analysis of Multi-axis Tactile Sensors on the Bump Position of Contact Area and Sensing Device Design Based on the Analysis

    Hiiro Wakabayashi, Hideto Kadota, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 5 )   77 - 81   2024年5月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.77

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  • Elastomer-embedded MEMS Tactile Sensor for Detecting Normal Force, Bending, and Torsion in Grasping Motion

    So Okako, Taisei Nambu, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 1 )   6 - 11   2024年1月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.144.6

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  • 肌のベタつき感定量評価のための触覚センサによる粘着性計測

    So Okako, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   143 ( 8 )   251 - 255   2023年8月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.143.251

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  • The New Control Method for Detection of Cold‐Warm sensation using a Heater Integrated Tactile Sensor

    Takuma Iwahashi, Naotaka Onda, Hikaru Nagumo, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering   2023年4月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    DOI： 10.1002/tee.23813

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  • Temperature characteristics of a thickness shear mode quartz crystal resonator bonded to a support substrate 査読

    Hajime Satani, Kuraudo Yasuda, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Applied Physics Letters   121 ( 25 )   252903 - 252903   2022年12月

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    担当区分：責任著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：AIP Publishing  

    Thickness shear mode (TSM) resonators consisting of metal films and quartz plates are widely used for sensor applications such as film thickness monitoring, force sensors, and odor sensors. However, the current sensor geometry prevents further improvements in its sensitivity and stability. Thinning the plate is necessary for high sensitivity, and advanced fabrication technologies are required for their commercialization. The solution is to use a support substrate to increase the mechanical strength, which can guide the transmittance of the electric field. Herein, we report a TSM resonator bonded to a support substrate. An AT-cut quartz resonator with a floating electrode on the top side was bonded to the support substrate. Two excitation electrodes were placed under the substrate. The support substrates evaluated in this study included borosilicate glass, Z-cut quartz crystals, and AT-cut quartz crystal plates. The quartz crystal resonator (QCR) bonded to the AT-cut quartz crystal plate and positioned at 90° to the crystallographic x-axis shows an excellent temperature coefficient of frequency of −60 ± 14 ppb/°C for a temperature range 11–40 °C. The proposed method reduces temperature sensitivity to 1/4 or less compared to that without a substrate. Furthermore, the resonator could be used as a quartz crystal microbalance. The proposed method may inspire further high-frequency QCR-based biochemical chips or various sensor applications with TSM resonators.

    DOI： 10.1063/5.0132804

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  • Tactile sensor with microcantilevers embedded in fluoroelastomer/PDMS for physical and chemical resistance

    Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Electronics and Communications in Japan   105 ( 3 )   2022年8月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    DOI： 10.1002/ecj.12369

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    その他リンク： https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/ecj.12369

  • Redesigned Microcantilevers for Sensitivity Improvement of Microelectromechanical System Tactile Sensors

    Ren Kaneta, Takumi Hasegawa, Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Journal of Robotics and Mechatronics   34 ( 3 )   677 - 682   2022年6月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Fuji Technology Press Ltd.  

    We previously reported a microelectromechanical system tactile sensor with elastomer-embedded microcantilevers. The sensor enabled the gripping control of soft objects by a robotic hand and acquisition of the object surface texture data. However, sensitivity improvement for more precise control and better texture information acquisition is desired. Here, the cantilever size and the sensor’s strain-gauge arrangement were redesigned, resulting in a sensor with significantly improved sensitivity. In addition, we report the sensitivity dependence on the cantilever size.

    DOI： 10.20965/jrm.2022.p0677

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  • Improvement of Durability of Insulation Film for Low-voltage Electrostatic Tactile Display

    Masatoshi Kondo, Junki Satoh, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   142 ( 5 )   85 - 90   2022年5月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.142.85

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  • Tactile Sensor with Microcantilevers Embedded in Fluoroelastomer/PDMS for Physical and Chemical Resistance

    Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   142 ( 5 )   91 - 96   2022年5月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.142.91

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  • Fabrication of heater‐integrated MEMS tactile sensor for evaluation of warm and cold sensation by touching glass

    Naotaka Onda, Takaaki Kozuka, Takashi Abe, Masanobu Isshiki, Satoru Tomeno, Masayuki Sohgawa

    Electrical Engineering in Japan   215 ( 1 )   2022年3月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    DOI： 10.1002/eej.23370

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    その他リンク： https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/eej.23370

  • Development of time‐delay analysis method of inductance and capacitance for microfluidic circuit

    Ryo Watanabe, Akira Yoshida, Yota Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   105 ( 1 )   2022年3月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    DOI： 10.1002/ecj.12352

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    その他リンク： https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/ecj.12352

  • Development of Time-Delay Analysis Method of Inductance and Capacitance for Microfluidic Circuit

    Ryo Watanabe, Akira Yoshida, Yota Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   142 ( 2 )   17 - 20   2022年2月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.142.17

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  • Development of quartz crystal complex capacitive sensor with microelectrode array for sensitization

    Yuki Hashimoto, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electrical Engineering in Japan   214 ( 4 )   2021年12月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    DOI： 10.1002/eej.23356

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    その他リンク： https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/eej.23356

  • Fabrication of Heater-Integrated MEMS Tactile Sensor for Evaluation of Warm and Cold Sensation by Touching Glass

    Naotaka Onda, Takaaki Kozuka, Takashi Abe, Masanobu Isshiki, Satoru Tomeno, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   141 ( 10 )   343 - 348   2021年10月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.141.343

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  • Development of Quartz Crystal Complex Capacitive Sensor with Microelectrode Array for Sensitization

    Yuki Hashimoto, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   141 ( 8 )   279 - 283   2021年8月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.141.279

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  • Contactless Endpoint Detection of Gold Etching Using Quartz-Based Capacitive Detector

    Takuro Okuwaki, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021   1126 - 1129   2021年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI： 10.1109/Transducers50396.2021.9495749

    Scopus

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  • Development of dry‐nano‐polishing technique using reactive ion etching for ultra thin titanium wafer

    Teruya Chino, Yuta Watanabe, Yosuke Tsukiyama, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   104 ( 2 )   2021年6月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley  

    DOI： 10.1002/ecj.12317

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    その他リンク： https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/ecj.12317

  • Development of Dry-nano-polishing Technique using Reactive Ion Etching for Ultra Thin Titanium Wafer

    Teruya Chino, Yuta Watanabe, Yosuke Tsukiyama, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   141 ( 4 )   103 - 107   2021年4月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.141.103

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  • Multi-frequency Quartz Oscillator Based Liquid Concentration Sensor with External Magnetic Field for Ion Discrimination

    Hiroki Fujimori, Yuki Togashi, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   140 ( 12 )   349 - 353   2020年12月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.140.349

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  • Contactless Monitoring of Water Treatment Process Using Quartz Oscillator Based Liquid Sensor

    Akira Yoshida, Yu Oguro, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   140 ( 10 )   251 - 255   2020年10月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.140.251

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  • Detection Area Evaluation of Tactile Sensor Using Microcantilever Embedded in Elastomer

    Yuto Abe, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   140 ( 10 )   272 - 277   2020年10月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.140.272

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  • Detection of Gripping State Using Tactile Sensors Installed on Handgrip for Tools

    Taisei Nambu, Tomoya Fujihashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   140 ( 9 )   228 - 234   2020年9月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.140.228

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  • Development of a self-heated-stage for high-speed process of titanium by reactive ion etching

    Yuya Kiryu, Gang Han, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   103 ( 1-4 )   32 - 37   2020年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley-Liss Inc.  

    DOI： 10.1002/ecj.12227

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  • Tactile Sensor with High-Density Microcantilever and Multiple PDMS Bumps for Contact Detection 査読 国際誌

    Tomoya Fujihashi, Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Journal of Robotics and Mechatronics   32 ( 2 )   accepted   2020年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Tactile sensor using a microcantilever embedded in fluoroelastomer with resistance to cleaning and antiseptic solutions 査読 国際誌

    Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Sensors and Actuators A: Physical   301 ( 1 )   111774   2020年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2019.111774

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  • 触覚センシングにおける振動覚検知のためのマイクロカンチレバーの作製と評価 査読

    高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 11 )   375 - 380   2019年11月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.375

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  • チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発 査読

    桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 10 )   341 - 345   2019年10月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.341

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  • 容器内溶液の非接触検査のための水晶発振回路式液体濃度センサの開発 招待 査読

    小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 7 )   169 - 174   2019年7月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Tactile Sensor Using Microcantilever Embedded in Fluoropolymer for Water and Ethanol Resistance

    Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII   1925 - 1928   2019年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808646

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  • Design and Evaluation of an Electrode Separated Quartz Crystal Microbalance Array as a Disposable Weighing Dish

    Shunya Uchiki, Ikuto Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII   1169 - 1172   2019年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808753

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  • 触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析 査読

    木藤 潤, 阿部 祐太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 6 )   149 - 154   2019年6月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • 1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価 査読

    庄司拓人, 江端 亮, 寒川雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 4 )   81 - 84   2019年4月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Introducing planar hydrophobic groups into an alkyl-sulfonated rigid polyimide and how this affects morphology and proton conductivity 査読

    Yuki Nagao, Teppei Tanaka, Yutaro Ono, Kota Suetsugu, Mitsuo Hara, Guangtong Wang, Shusaku Nagano, Takashi Abe

    Electrochimica Acta   300   333   2019年3月

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    出版者・発行元：Elsevier {BV}  

    DOI： 10.1016/j.electacta.2019.01.118

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  • A drug refillable device for transscleral sustained drug delivery to the retina

    Nagai, N., Saijo, S., Song, Y., Kaji, H., Abe, T.

    European Journal of Pharmaceutics and Biopharmaceutics   136   184 - 191   2019年3月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Elsevier BV  

    DOI： 10.1016/j.ejpb.2019.01.024

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    PubMed

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  • Development of quartz oscillator based liquid concentration sensor for contactless monitoring of solution in bottle

    Yu Oguro, Miki Tanimura, Naoto Yada, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   139 ( 7 )   169 - 174   2019年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.169

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  • Measurement by Tactile Sensor and FEM Analysis of Multi-layered Flexible Model for Skin Diagnosis

    Jun Kido, Yuta Abe, Shuhei Sato, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   139 ( 6 )   149 - 154   2019年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.149

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  • Fabrication and evaluation of quartz oscillator based viscosity / concentration sensor for a drop sensing

    Takuto Shoji, Ryo Ebata, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   139 ( 4 )   81 - 84   2019年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.139.81

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  • Multilayered drug delivery sheet that allows minimally invasive delivery to the eye 査読

    Kaji H, Sato Y, Nagai N, Abe T

    Transactions of the Annual Meeting of the Society for Biomaterials and the Annual International Biomaterials Symposium   40   564   2019年

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサにおける感度・温度特性の熱処理温度依存性

    本間 遼, 米原 洸平, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2019.10   20am2PN343   2019年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    DOI： 10.1299/jsmemnm.2019.10.20am2pn343

    CiNii Article

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  • Microdroplet monitoring using microfluid circuit combined quartz oscillator based capacitive sensor 査読

    Roy Ebata, Ryo Sakai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and communications inJapan   101 ( 12 )   50 - 55   2018年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • 微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング 査読

    江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   138 ( 8 )   382 - 386   2018年8月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Lyotropic ordering for high proton conductivity in sulfonated semialiphatic polyimide thin films 査読

    K. Takakura, Y. Ono, K. Suetsugu, M. Hara, S. Nagano, T. Abe, Y. Nagao

    Polymer Journal   2018年8月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Miniaturization and High-Density Arrangement of Microcantilevers in Proximity and Tactile Sensor for Dexterous Gripping Control 査読

    Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Micromachines   9 ( 6 )   301   2018年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価 査読

    難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   138 ( 6 )   250 - 256   2018年6月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Electromotive Manipulator Control by Detection of Proximity, Contact, and Slipping Using MEMS Multiaxial Tactile Sensor 査読

    Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Electrical Engineering in Japan   204 ( 2 )   44 - 49   2018年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    本論文では、近接・接触・滑りが検知可能な単素子MEMSセンサを用いた電動マニピュレーションシステムの器用な物体把持への有用性を示した。このMEMSセンサは光導電効果にを用いて物体からの反射光によるSi基板のインピーダンス変化として近接を検知する。さらに、3回対称に配置されポリジメチルシロキサン(PDMS)に封止されたカンチレバー上のひずみゲージ抵抗変化として、垂直荷重と剪断荷重を双方検出できる。電動マニピュレータにセンサを設置することで、センサ出力のフィードバックにより把持力の精細な制御が可能とした。

    DOI： 10.1002/eej.23098

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  • High proton conduction of organized sulfonated polyimide thin films with planar and bent backbones 査読

    Y. Ono, R. Goto, M. Hara, S. Nagano, T. Abe, Y. Nagao

    Macromolecules   51   3351 - 3359   2018年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Development of Self-Heated Stage Suitable for Thermal Assist Reactive Ion Etching of the Functional Metals 招待 査読

    Yuki Murata, Gang Han, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   101 ( 3 )   96 - 102   2018年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Wiley-Liss Inc.  

    DOI： 10.1002/ecj.12046

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  • Texture evaluation for planed surface of polyoxymethylene resin by measuring surface shape and color with light and strain sensitive tactile sensor 査読

    Yuta Namba, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   138 ( 6 )   250 - 256   2018年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.138.250

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  • Electrode-separated quartz crystal microbalance for smart-sensor mounting application 査読

    Jun Sakaguchi, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Sensors and Materials   30 ( 5 )   1073 - 1080   2018年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：M Y U Scientific Publishing Division  

    DOI： 10.18494/SAM.2018.1712

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  • 水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発 招待 査読

    矢田直人, 寒川雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E   138 ( 2 )   37 - 40   2018年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.138.37

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  • Surface texture characterization using optical and tactile combined sensor 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Sensors and Materials   30 ( 5 )   1091 - 1101   2018年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：M Y U Scientific Publishing Division  

    DOI： 10.18494/SAM.2018.1786

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  • Microdroplet monitoring using microfluid circuit combined quartz oscillator based capacitive sensor

    Ryo Ebata, Ryo Sakai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   138 ( 8 )   382 - 386   2018年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.138.382

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上

    米原 洸平, 木藤 潤, 藤橋 智哉, 高橋 春暁, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    マイクロ・ナノ工学シンポジウム   2018.9   01pm1PN152   2018年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    DOI： 10.1299/jsmemnm.2018.9.01pm1pn152

    CiNii Article

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  • Deep reactive ion etching technique involving use of 3D self-heated cathode 査読

    Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1281 - 1284   2017年7月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994289

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  • Gripping control of delicate and flexible object by electromotive manipulator with proximity and tactile combo MEMS sensor 査読

    Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1140 - 1143   2017年7月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994254

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  • Texture measurement for fabrics including warm/cool and fluffiness sensation by multimodal MEMS sensor 査読

    Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017)   343 - 346   2017年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    本論文ではマルチモーダルMEMSセンサにより様々な布類の温冷感やふわふわ感といったテクスチャ計測を行った結果について報告する。このMEMSセンサはマイクロカンチレバー上のひずみゲージの抵抗変化により力を、光導電効果によるSi層のインピーダンス変化として光をそれぞれ検知可能である。また、このセンサはひずみゲージの抵抗変化およびSiのインピーダンス変化として、センサから接触物体への伝熱による温度降下も検知できる。布の温冷感やふわふわ感は温度効果および接触力に依存するMEMSセンサの計測結果から評価可能であることが示された。

    DOI： 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994058

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  • Fabrication of a true-Gaussian-shaped quartz crystal resonator 査読

    Hiroki Kutsuwada, Sho Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   260   58 - 61   2017年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2017.04.019

    Web of Science

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  • Development of titanium micro mold manufacturing technology for the microfluidic chip by plasma etching 査読

    Takeshi Hitobo, Masahiro Shiroki, Hirofumi Nabesawa, Toyohisa Asaji, Takashi Abe

    Journal of the Vacuum Society of Japan   60 ( 4 )   145 - 147   2017年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Vacuum Society of Japan  

    DOI： 10.3131/jvsj2.60.145

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  • Microstructure formation on polytetrafluoroethylene (PTFE) and perfluoroalkoxy (PFA) bulk plates by a magnetron enhanced reactive ion etching system 査読

    Hirofumi Nabesawa, Takeshi Hitobo, Toyohisa Asaji, Takashi Abe, Minoru Seki

    Journal of the Vacuum Society of Japan   60 ( 5 )   176 - 181   2017年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Vacuum Society of Japan  

    DOI： 10.3131/jvsj2.60.176

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  • Texture Characterization Including Warm/Cool Sensation Using Force-, Light-, and Temperature-Sensitive Micro-electromechanical Systems Sensor 査読

    Fumiya Sato, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   311 - 321   2017年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.18494/SAM.2017.1443

    Web of Science

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  • Deposition and characterization of Al2O3 and BiFeO3 thin films on titanium substrates for tough MEMS devices 査読

    Takeshi Kohno, Masato Mihara, Ataru Tanabe, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   137 ( 1 )   46 - 47   2017年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.46

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  • Thermal Reactive Ion Etching of Minor Metals with SF6 Plasma 査読

    Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   217 - 223   2017年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.18494/SAM.2017.1444

    Web of Science

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  • 近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御 査読

    荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌Ｅ   137 ( 7 )   212 - 217   2017年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.212

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  • 真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価 招待 査読

    和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E   137 ( 7 )   180 - 184   2017年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.180

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  • 近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討 査読

    梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌Ｅ   137 ( 5 )   146 - 150   2017年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.146

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  • 機能性メタルの熱アシスト型反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発 査読

    村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E   137 ( 9 )   262 - 266   2017年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.137.262

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  • 柔軟物把持制御のための近接触覚複合MEMSセンサの出力評価

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2017   1A1 - N02   2017年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    <p>In this Paper, we report output characterization of the proximity and tactile combination MEMS sensor for controlling manipulation of flexible objects. This sensor can detect proximity by the internal photoelectric effect in Si substrate and normal and shear loads as tactile information are detectable by deflection of cantilevers, which are fabricated on the substrate surface and embedded in the silicone elastomer. The proximity and tactile outputs from this sensor attached on the electromotive actuator depend on distance to the target object and normal load applied by gripping the object, respectively. Furthermore, sensor output with shear load applied by weight of gripped flexible object is measured and the improved control method for stable gripping control of flexible objects is discussed.</p>

    DOI： 10.1299/jsmermd.2017.1A1-N02

    CiNii Article

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  • 匂いセンサ応用のためのワイヤレス発振式マルチチャンネルQCMセンサの開発

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2017   1A1 - K11   2017年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    <p>This paper reports the development of wirelessly excited multi-channel QCM sensor for odor sensor applications. In this sensor, the excitation electrodes are positioned on a glass plate separate from the QCM. Such electrode configurations are suitable for odor sensor applications because the electrical interconnections between the QCM and the oscillation circuit are simple. We evaluated the dependence of the resonance frequency on the crystallographic orientation. We found out two vibrational modes that depends on each modulus of elasticity and the frequency responses of each mode are linear for mass loading.</p>

    DOI： 10.1299/jsmermd.2017.1A1-K11

    CiNii Article

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  • Evaluation method of fabrics by visual and tactile texture information using MEMS combo sensor 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2016   655 - 657   2016年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/ICSENS.2016.7808624

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  • 水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化 査読

    坂井 了, 今井 寛明, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌Ｅ   136 ( 7 )   319 - 322   2016年7月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.136.343

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  • MASS SENSITIVITY AMPLIFICATION BY USING GAUSSIAN-SHAPED QUARTZ CRYSTAL RESONATOR 査読

    H. Kutsuwada, S. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

    2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   1022 - 1025   2016年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • Preface to the special issue on the awarded papers of the 32nd sensor symposium ' 査読

    Shuichi Shoji, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   136 ( 6 )   213   2016年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.136.213

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  • Contactless Liquid Sensing Technique Using a Quartz Oscillator 査読

    Tsubasa Susa, Takeru Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND MATERIALS   28 ( 4 )   289 - 294   2016年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.18494/SAM.2016.1179

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  • 微量液体に対応した水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読

    柳田 祐太, 須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌Ｅ   136 ( 7 )   319 - 322   2016年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.136.319

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  • Shape optimization of combo sensor using quartz crystal resonator for liquid analysis 査読

    Ryo Sakai, Hiroaki Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   136 ( 8 )   343 - 347   2016年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.136.343

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  • プラズマエッチングによるマイクロ流体チップ用チタン製微細金型製造技術の開発

    人母 岳, 城木 正博, 鍋澤 浩文, 浅地 豊久, 安部 隆

    表面科学学術講演会要旨集   36   272 - 272   2016年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：公益社団法人 日本表面科学会  

    近年，マイクロスケールの構造を有する金型（微細金型）を用いた射出成形により，マイクロ流体チップなど微細構造をもつ樹脂製品を生産するニーズが高まっている．この金型は現在シリコンやニッケル製が主流であるが，耐久性などにおいて様々な課題がある．我々はプラズマエッチングを応用し，靱性，弾性など機械特性に優れた材料であるチタンの高精度微細加工を行うことで，高耐久性の射出成形用微細金型を作製することを試みた．

    DOI： 10.14886/sssj2008.36.0_272

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  • Characterization of BiFeO3 Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge 査読

    Takeshi Kohno, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2015   1192 - 1195   2015年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Lead-free BiFeO3 thin films for tactile sensor using microcantilevers have been prepared on Pt and SrRuO3/Pt thin films on a SiO2/Si substrate by RF sputtering, and the electrical characteristics have been optimized by controlling the substrate temperature, gas pressure, and oxygen partial pressure in deposition process. The BiFeO3 thin film (thickness: 300 nm) deposited on SrRuO3 (thickness: 80 nm) deposited at substrate temperature of 500°C in gas pressure of 0.6 Pa and oxygen partial pressure of 0.24 Pa has good crystallinity, ferroelectricity, and piezoelectric property. Therefore, it is demonstrated that BiFeO3 thin film can be a good sensing material as a detection part of tactile sensor. Furthermore, a cantilever structure with piezoelectric capacitor and strain gauge has been fabricated and different time-dependent outputs from them can be obtained.

    DOI： 10.1109/ICSENS.2015.7370483

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  • Basic Study for Tactile and Visual Texture Measurement by Multimodal MEMS Sensor with Force and Light Sensitivity 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2015   699 - 702   2015年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    The tactile and visual texture measurement by multimodal MEMS sensor is reported. This MEMS sensor has two function in a structure: force-sensitivity of resistance of microcantilevers embedded in the elastomer and light-sensitivity of a MOS structure on the Si substrate. Deflection of the cantilever induced by applied force depends on the tactile texture including hardness, thickness, and roughness of the object, and is detected as DC resistance change of the strain gauge film. On the other hand, incident light depends on the visual texture of the object, and is detected as AC impedance change at 5 MHz. It is confirmed that the resistance and impedance changes depend on the physical and optical properties of the object, respectively. Therefore, it has been demonstrated that multimodal texture can be characterized by a single MEMS sensor.

    DOI： 10.1109/ICSENS.2015.7370352

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  • 水晶発振回路を用いた非接触型液体濃度センサ 査読

    須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E   135 ( 5 )   158 - 164   2015年6月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：The Institute of Electrical Engineers of Japan  

    In this paper, we report the non-contact sensor for measurement of liquid concentration based on quartz oscillator. The non-contact sensing can be realized by using a leaked electric field of a planer sensing capacitor for sensing liquid on a spacer. This sensor measures capacitance changes of the sensing capacitor (SC) as frequency changes of the quartz oscillator. Since the capacitance is dependent on relative permittivity or conductivity of liquid on the spacer, it is possible to measure the concentration of them. The response is very stable because this sensor is incorporated the SC into the quartz oscillator. Because the SC is in contact with the sensing liquid instead of the quartz crystal resonator, the proposed sensor has a high quality factor (about 30,000). Moreover, this sensor can be used with general IC and electronic component, which takes low cost. The proposed sensor is expected to use for non-contact measurements of liquid concentration.

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.210

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    その他リンク： https://jlc.jst.go.jp/DN/JLC/20011227951?from=CiNii

  • BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討 査読

    三原 雅人, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   135 ( 5 )   158 - 164   2015年5月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    エラストマに埋め込んだマイクロカンチレバーを用いた圧電型触覚センサを提案し、これまでのピエゾ抵抗を用いた触覚センサに対して消費電力の低減を目指した。基板温度520℃、ガス圧力0.6 Paで高周波スパッタリングにより作製したBiFeO3薄膜(膜厚: 400 nm)は良好な圧電性を持ち、振動により300 mVの出力電圧を得ることができた。これにより、BiFeO3薄膜を用いて触覚センサへの外力印加によるマイクロカンチレバーの変位を検知できることを示した。

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.158

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  • Thermal reactive ion etching technique involving use of self-heated cathode 査読

    S. Yamada, Y. Minami, M. Sohgawa, T. Abe

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   86 ( 4 )   2015年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1063/1.4917193

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  • Preface to the special issue on "World state-of-the-art research on sensors and micromachines" 査読

    Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   135 ( 3 )   90   2015年3月

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.90

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  • Microheater-integrated quartz crystal microbalance array for thermal desorption spectroscopy 査読

    Jumpei Sakai, Masayuki Sohgawa, Naoyuki Iida, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   135 ( 3 )   112 - 113   2015年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.135.112

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  • NON-CONTACT SENSOR FOR MEASUREMENT OF LIQUID CONCENTRATION BASED ON QUARTZ OSCILLATOR 査読

    T. Susa, T. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

    2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)   1472 - 1475   2015年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • Multimodal Measurement of Proximity and Touch Force by Light- and Strain-Sensitive Multifunctional MEMS Sensor 査読

    Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    IEEE Sensors 2014   1749 - 1752   2014年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/ICSENS.2014.6985362

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  • Texture measurement and identification of object surface by MEMS tactile sensor 査読

    Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    IEEE Sensors 2014   1706 - 1709   2014年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/ICSENS.2014.6985351

    Web of Science

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  • Miniature quartz crystal –resonator—based thermogravimetric detector 査読

    Sai N, Tagawa Y, Sohgawa M, Abe T

    Rev. of Sci. Instruments   85 ( 9 )   095001   2014年9月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1063/1.4894385

    Web of Science

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  • A Multichannel Chemical Sensing Method Using Single Quartz Resonator and Micro Flow Channel 査読

    Shinjiro Toyama, Takashi Abe

    IEEE SENSORS JOURNAL   14 ( 1 )   135 - 139   2014年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/JSEN.2013.2281099

    Web of Science

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  • デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工 査読

    山田周史, 人母岳, 寒川雅之, 安部隆

    電気学会論文誌E   134 ( 4 )   96 - 99   2014年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.134.96

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  • 光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測 査読

    横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    電気学会論文誌Ｅ   134 ( 7 )   229 - 234   2014年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.134.229

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    J-GLOBAL

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  • Active touch sensing by multi-axial force measurement using high-resolution tactile sensor with microcantilevers 査読

    Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   134 ( 3 )   58 - 63   2014年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.134.58

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  • 水晶振動子式メタノール濃度センサに関する数値計算と実証 査読

    渡部尊, 外山晋二郎, 寒川雅之, 安部隆

    電気学会論文誌E   134 ( 7 )   224 - 228   2014年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.134.224

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  • 1P2-X09 光・ひずみ複合MEMSセンサを用いた近接覚・触覚マルチモーダル計測(触覚と力覚(2))

    野沢 瑛斗, 横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2014   _1P2-X09_1 - _1P2-X09_4   2014年

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    記述言語：日本語   出版者・発行元：一般社団法人 日本機械学会  

    DOI： 10.1299/jsmermd.2014._1p2-x09_1

    CiNii Article

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  • Characterization of retinal pigment epithelial cells and endothelial cells within a microfluidic device towards a retina on a chip 査読

    Kaji H, Ito S, Nagamine K, Nishizawa M, Nagai N, Abe T

    18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2014   742 - 744   2014年

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  • Experimental optimization of quartz-crystal-resonator-based methanol sensor connected in series with interdigital capacitor 査読

    Shunpei Ishii, Keito Emura, Takashi Abe

    Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 12 )   127201   2013年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.7567/JJAP.52.127101

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  • Force intensity and direction measurement in real time using miniature tactile sensor with microcantilevers embedded in PDMS 査読

    Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    IEEE Sensors   1090 - 1093   2013年11月

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/ICSENS.2013.6688401

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  • Low-pressure plasma-etching of bulk polymer materials using gas mixture of CF4 and O-2 査読

    Hirofumi Nabesawa, Takaharu Hiruma, Takeshi Hitobo, Suguru Wakabayashi, Toyohisa Asaji, Takashi Abe, Minoru Seki

    AIP ADVANCES   3 ( 11 )   112105   2013年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1063/1.4830277

    Web of Science

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  • Enhancement of Proton Transport in an Oriented Polypeptide Thin Film 査読

    Yuki Nagao, Jun Matsui, Takashi Abe, Hirotsugu Hiramatsu, Hitoshi Yamamoto, Tokuji Miyashita, Noriko Sata, Hiroo Yugami

    LANGMUIR   29 ( 23 )   6798 - 6804   2013年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1021/la400412f

    Web of Science

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  • Design and Evaluation of Microheater Combined QCM Array for Thermal Desorption Spectroscopy 査読

    Jumpei Sakai, Naoyuki Iida, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013 & Eurosensors XXVII)   234 - 237   2013年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/Transducers.2013.6626745

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  • A fabrication method of high-Q quartz crystal resonator using double-layered etching mask for DRIE 査読

    Takashi Abe, Yousuke Itasaka

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   188   503 - 506   2012年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2012.02.006

    Web of Science

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  • 液体分析用デュアル水晶センサの開発 査読

    武石大一, 江村恵渡, 安部隆

    電気学会論文誌E   132 ( 7 )   174 - 177   2012年7月

    　詳細を見る

    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • A Multichannel Chemical Sensing Method Using Single Quartz Resonator and Micro Flow Channel 査読

    Shinjiro Toyama, Takashi Abe

    2012 IEEE SENSORS PROCEEDINGS   1057 - 1060   2012年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • Development of dual quartz sensor for liquid analysis 査読

    Taichi Takeishi, Keito Emura, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   132 ( 7 )   174 - 177   2012年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Institute of Electrical Engineers of Japan  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.132.174

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  • A methanol concentration sensor using a quartz resonator connected in series to interdigital capacitor 査読

    Shunpei Ishii, Keito Emura, Takashi Abe

    Proceedings of IEEE Sensors   133 ( 3 )   96 - 97   2012年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/ICSENS.2012.6411072

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  • RIE patterning technology of Zr-based metallic glass for MEMS devices fabrication 査読

    Yao-Chuan Tsai, Yu-Ching Lin, Takashi Abe, Masayoshi Esashi, Thomas Gessner

    Proceedings of IEEE Sensors   2012年

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/ICSENS.2012.6411175

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  • A controlled-release capsule device for transscleral drug delivery to the retina 査読

    Kaji H, Nagai N, Yamada T, Nishizawa M, Abe T

    Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012   452 - 454   2012年

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  • A Gaussian-shaped AT-cut quartz crystal resonator 査読

    Takashi Abe, Hiroki Kishi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   166 ( 2 )   173 - 176   2011年4月

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2010.04.005

    Web of Science

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  • A Monolithic QCM Array Designed for Mounting on a Flow Cell 査読

    Takashi Abe, Makoto Higuchi

    IEEE SENSORS JOURNAL   11 ( 1 )   86 - 90   2011年1月

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/JSEN.2010.2051662

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  • Deep reactive ion etching of lithium niobate by using low-frequency bias 査読

    Toyohisa Asaji, Hirofumi Nabesawa, Hidefumi Uchiyama, Takashi Abe

    Journal of the Vacuum Society of Japan   53 ( 8 )   501 - 503   2010年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.3131/jvsj2.53.501

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  • Real-time measurement of photocatalytic reactions using a monolithic QCM array 招待 査読

    Takashi Abe, Hiroshi Kato

    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING   19 ( 9 )   094019   2009年9月

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1088/0960-1317/19/9/094019

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  • 微小流路中における表面科学研究のためのQCMの集積化 査読

    板坂洋佑, 西澤松彦, 安部隆

    電気学会論文誌E   129 ( 12 )   2 - 443   2009年

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    記述言語：日本語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1541/ieejsmas.129.439

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  • Microfluidic biofuel cells: Series-connection with superhydrophobic air valves 査読

    M. Togo, K. Morimoto, T. Abe, H. Kaji, M. Nishizawa

    TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   2102 - 2105   2009年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/SENSOR.2009.5285620

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    その他リンク： http://orcid.org/0000-0003-2566-4172

  • Polymer surface morphology control by reactive ion etching for microfluidic devices 査読

    Hirofumi Nabesawa, Takeshi Hitobo, Suguru Wakabayashi, Toyohisa Asaji, Takashi Abe, Minoru Seki

    SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL   132 ( 2 )   637 - 643   2008年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.snb.2008.01.050

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  • New surface forces apparatus using two-beam interferometry 査読

    Hiroshi Kawai, Hiroshi Sakuma, Masashi Mizukami, Takashi Abe, Yasuhiro Fukao, Haruo Tajima, Kazue Kurihara

    Review of Scientific Instruments   79 ( 4 )   2008年

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1063/1.2903404

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  • A porous membrane-based culture substrate for localized in situ electroporation of adherent mammalian cells 査読

    Takeshi Ishibashi, Kimiyasu Takoh, Hirokazu Kaji, Takashi Abe, Matsuhiko Nishizawa

    SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL   128 ( 1 )   5 - 11   2007年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.snb.2007.05.027

    Web of Science

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  • Design and evaluation of an antiparallel coupled resonator for chemical sensor applications 査読

    Takashi Abe, Hiroshi Kato

    ANALYTICAL CHEMISTRY   79 ( 17 )   6804 - 6806   2007年9月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1021/ac0709910

    Web of Science

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  • Dual-channel quartz-crystal microbalance for sensing under UV radiation 査読

    Takashi Abe, Xinghua Li

    IEEE SENSORS JOURNAL   7 ( 3-4 )   321 - 322   2007年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/JSEN.2006.890165

    Web of Science

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  • Electrodeposition of anchored polypyrrole film on microelectrodes and stimulation of cultured cardiac myocytes 査読

    Matsuhiko Nishizawa, Hyuma Nozaki, Hirokazu Kaji, Takahiro Kitazume, Noriyuki Kobayashi, Takeshi Ishibashi, Takashi Abe

    BIOMATERIALS   28 ( 8 )   1480 - 1485   2007年3月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.biomaterials.2006.11.034

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  • Improved wettability of a fluoropolymer from a simple combination of surface modifications using a plasma and surfactant 査読

    Takashi Abe, Masahiro Matsumoto

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   46 ( 1 )   367 - 369   2007年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1143/JJAP.46.367

    Web of Science

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  • Generation of patterned cell co-cultures inside tubular structure using electrochemical biolithography and electrostatic assembly 査読

    Hirokazu Kaji, Soichiro Sekine, Takashi Abe, Matsuhiko Nishizawa

    2007 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS   187 - 192   2007年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/MHS.2007.4420850

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  • Polymer surface morphology control for microfluidic devices 査読

    H. Nabesawa, T. Hitobo, S. Wakabayashi, T. Asaji, T. Abe, I. Nakatani, M. Seki

    TRANSDUCERS and EUROSENSORS '07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   199 - 202   2007年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/SENSOR.2007.4300105

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  • Inverted mesa-type quartz crystal resonators fabricated by deep-reactive ion etching 査読

    Takashi Abe, Vu Ngoc Hung, Masayoshi Esashi

    IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL   53 ( 7 )   1234 - 1236   2006年7月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/TUFFC.2006.1665070

    Web of Science

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  • Miniaturization of spherically contoured rectangular AT-cut quartz-crystal resonators by using reactive ion etching 査読

    T Abe, H Shimamoto, XH Li

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   45 ( 6A )   5283 - 5285   2006年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1143/JJAP.45.5283

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  • Electrochemical approach to pattern cells within three-dimensional microstructures 査読

    Matsuhiko Nishizawa, Takashi Abe, Hirokazu Kaji

    2006 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE   242 - +   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • An electrochemical microsystem for manipulating living cells 査読

    Hirokazu Kaji, Masahiko Hashimoto, Takeaki Kawashima, Takashi Abe, Matsuhiko Nishizawa

    FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS   3 - +   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • Enzyme-based glucose biofuel cell using vitamin K-3-immobilized polymer as electron mediator 査読

    Makoto Togo, Tatsuya Asai, Fuyuki Sato, Hirokazu Kaji, Takashi Abe, Matsuhiko Nishizawa

    FUTURE MEDICAL ENGINEERING BASED ON BIONANOTECHNOLOGY, PROCEEDINGS   173 - +   2006年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • Deep reactive ion etching of lithium niobate by using low-frequency bias

    Toyohisa Asaji, Hirofumi Nabesawa, Motoichi Kanazawa, Takashi Abe, Shigeyuki Ishii, Junji Saito, Yushi Kato

    Proceeding of 8th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes   307 - 309   2005年6月

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    記述言語：英語  

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  • Surface micromachined AlN thin film 2 GHz resonator for CMOS integration 査読

    M Hara, J Kuypers, T Abe, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   117 ( 2 )   211 - 216   2005年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2004.06.014

    Web of Science

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  • A miniaturized and convex-shaped quartz-crystal resonator for multiple chemical sensing in liquid 査読

    L Li, M Esashi, T Abe

    Micro Total Analysis Systems 2004, Vol 2   ( 297 )   37 - 39   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • Elcrochemical bio-lithography for in-situ immobilization of proteins and cells within microchannels 査読

    Matsuhiko Nishizawa, Hirokazu Kaji, Kazuto Tsukidate, Masahiko Hashimoto, Takashi Abe

    Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS '05   1   151 - 154   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/SENSOR.2005.1496381

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  • Microfabricated spherical bi-convex quartz crystal microbalance array 査読

    L Li, T Abe, M Esashi

    MEMS 2005 Miami: Technical Digest   327 - 330   2005年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • Fabrication of miniaturized bi-convex quartz crystal microbalance using reactive ion etching and melting photoresist 査読

    L Li, T Abe, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   114 ( 2-3 )   496 - 500   2004年9月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/j.sna.2003.12.031

    Web of Science

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  • A miniaturized biconvex quartz-crystal microbalance with large-radius spherical thickness distribution 査読

    L Li, M Esashi, T Abe

    APPLIED PHYSICS LETTERS   85 ( 13 )   2652 - 2654   2004年9月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1063/1.1796535

    Web of Science

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  • Trench filling characteristics of low stress TEOS/ozone oxide deposited by PECVD and SACVD 査読

    C Chang, T Abe, M Esashi

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS   10 ( 2 )   97 - 102   2004年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1007/s00542-003-0313-z

    Web of Science

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  • High-frequency one-chip multichannel quartz crystal microbalance fabricated by deep RIE 査読

    VN Hung, T Abe, PN Minh, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   108 ( 1-3 )   91 - 96   2003年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/S0924-4247(03)00260-7

    Web of Science

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  • Smooth surface glass etching by deep reactive ion etching with SF6 and Xe gases 査読

    L Li, T Abe, M Esashi

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   21 ( 6 )   2545 - 2549   2003年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1116/1.1624272

    Web of Science

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  • Endpoint detectable plating through femtosecond laser drilled glass wafers for electrical interconnections 査読

    T Abe, XH Li, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   108 ( 1-3 )   234 - 238   2003年11月

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/S0924-4247(03)00262-0

    Web of Science

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  • Highly selective reactive-ion etching using CO/NH3/Xe gases for microstructuring of Au, Pt, Cu, and 20% Fe-Ni 査読

    T Abe, YG Hong, M Esashi

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   21 ( 5 )   2159 - 2162   2003年9月

    　詳細を見る

    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1116/1.1612516

    Web of Science

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  • MEMS based thin film 2 GHz resonator for CMOS integration 査読

    M. Hara, J. Kuypers, T. Abe, M. Esashi

    IEEE MTT-S International Microwave Symposium, 2003   2003年8月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/MWSYM.2003.1210489

    CiNii Article

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  • Aluminum nitride based thin film bulk acoustic resonator using germanium sacrificial layer etching 査読

    M. Hara, J. Kuypers, T. Abe, M. Esashi

    TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   2003年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    DOI： 10.1109/SENSOR.2003.1217131

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  • Endpoint detectable plating through femto-laser drilled glass wafers for three-dimentional electric interconnections 査読

    XH Li, T Abe, M Esashi

    MEMS-03: IEEE THE SIXTEENTH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS   638 - 641   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • Energy dissipation in small-diameter quartz crystal microbalance experimentally studied for ultra-high sensitive gravimetry 査読

    T Abe, L Li, VN Hung, M Esashi

    MEMS-03: IEEE THE SIXTEENTH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS   518 - 521   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • High sensitive, miniaturized plano-convex quartz crystal microbalance fabricated by reactive ion etching and melting photoresist 査読

    L Li, T Abe, M Esashi

    BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2   508 - 511   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

    Web of Science

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  • Glass etching assisted by femtosecond pulse modification 査読

    CL Chang, T Abe, M Esashi

    SENSORS AND MATERIALS   15 ( 3 )   137 - 145   2003年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    Web of Science

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  • Structures and Interactions of Polyelectrolyte Brushes Studied by Surface Forces Measurement 査読

    Kazue Kurihara, Shujiro Hayashi, Takashi Abe, Nobuyuki Hayashi, Masazo Niwa

    IUPAC Polymer Conference (IUPAC-PC2002)   126 - 126   2002年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • Fabrication of high-density electrical feed-throughs by deep-reactive-ion etching of Pyrex glass 査読

    XG Li, T Abe, YX Liu, M Esashi

    JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS   11 ( 6 )   625 - 630   2002年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/JMENS.2002.805211

    Web of Science

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  • Miniaturized, highly sensitive single-chip multichannel quartz-crystal microbalance 査読

    VN Hung, T Abe, PN Minh, M Esashi

    APPLIED PHYSICS LETTERS   81 ( 26 )   5069 - 5071   2002年12月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1063/1.1532750

    Web of Science

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  • Microprobe array with electrical interconnection for thermal imaging and data storage 査読

    Dong Weon Lee, Takahito Ono, Takashi Abe, Masayoshi Esashi

    Journal of Microelectromechanical Systems   11 ( 3 )   215 - 221   2002年6月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1109/JMEMS.2002.1007400

    Scopus

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  • Polyelectrolyte brush layers studied by surface forces measurement: Dependence on pH and salt concentrations and scaling 査読

    S Hayashi, T Abe, N Higashi, M Niwa, K Kurihara

    LANGMUIR   18 ( 10 )   3932 - 3944   2002年5月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1021/la0114979

    Web of Science

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  • Deep reactive ion etching of silicon carbide 査読

    S Tanaka, K Rajanna, T Abe, M Esashi

    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   19 ( 6 )   2173 - 2176   2001年11月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1116/1.1418401

    Web of Science

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  • Deep reactive ion etching of Pyrex glass using SF6 plasma 査読

    XH Li, T Abe, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   87 ( 3 )   139 - 145   2001年1月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/S0924-4247(00)00482-9

    Web of Science

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  • High density electrical feedthrough fabricated by deep reactive ion etching of Pyrex glass 査読

    XH Li, T Abe, YX Liu, M Esashi

    14TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST   98 - 101   2001年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • Ultrahydrophobic surface selectively modified by pulse electrodeposition from aqueous dispersion of PTFE particles 査読

    T Abe, M Esashi

    TRANSDUCERS '01: EUROSENSORS XV, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2   1044 - 1047   2001年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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  • Transition behavior of polyelectrolyte brushes depending on polymer chain density 査読

    S Hayashi, T Abe, N Higashi, M Niwa, K Kurihara

    MOLECULAR CRYSTALS AND LIQUID CRYSTALS   371   349 - 354   2001年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1080/10587250108024758

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  • Charge regulation in polyelectrolyte brushes studied by FTIR spectroscopy 査読

    T Abe, S Hayashi, N Higashi, M Niwa, K Kurihara

    COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS   169 ( 1-3 )   351 - 356   2000年9月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/S0927-7757(00)00470-2

    Web of Science

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  • One-chip multichannel quartz crystal microbalance (QCM) fabricated by Deep RIE 査読

    T Abe, M Esashi

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   82 ( 1-3 )   139 - 143   2000年5月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/S0924-4247(99)00330-1

    Web of Science

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  • Density-dependent jump in compressibility of polyelectrolyte brush layers revealed by surface forces measurement 査読

    T Abe, N Higashi, M Niwa, K Kurihara

    LANGMUIR   15 ( 22 )   7725 - 7731   1999年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1021/la990240w

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  • Interactions between Poly (L-lysine) Brush Layers Studied by Surface forces Measurement 招待 査読

    K. Kurihara, T. Abe, N. Higashi, M. Niwa

    Proceeding of Yamada Conference L Polyelectrolytes   7725 - 7731   1999年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Transition in Interactions between Polyelectrolyte Brush Layers as Revealed by Surface Forces Measurements 査読

    Kazue Kurihara, Takashi Abe, Nobuyuki Higashi, Masazo Niwa

    Proceedings of Yamada Conference L Polyelectrolytes   443 - 446   1999年4月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

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  • Direct demonstration of attraction for a complementary pair of apposed nucleic acid base monolayers 査読

    K Kurihara, T Abe, N Nakashima

    LANGMUIR   12 ( 17 )   4053 - 4056   1996年8月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1021/la950867o

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  • STERIC FORCES BETWEEN BRUSH LAYERS OF POLY(L-GLUTAMIC ACID) AND THEIR DEPENDENCE ON SECONDARY STRUCTURES AS DETERMINED BY FT-IR SPECTROSCOPY 査読

    K KURIHARA, T ABE, N HIGASHI, M NIWA

    COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS   103 ( 3 )   265 - 272   1995年10月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1016/0927-7757(95)03295-O

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  • DIRECT MEASUREMENT OF SURFACE FORCES BETWEEN MONOLAYERS OF ANCHORED POLY(L-GLUTAMIC ACID) 査読

    T ABE, K KURIHARA, N HIGASHI, M NIWA

    JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY   99 ( 7 )   1820 - 1823   1995年2月

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

    DOI： 10.1021/j100007a003

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  • SURFACE FORCES BETWEEN MONOLAYERS OF END-ANCHORED POLYELECTROLYTE LAYERS - STRUCTURAL CHANGES AND INTERACTIONS 査読

    K KURIHARA, T ABE, T KUNITAKE, N HIGASHI, M NIWA

    ADVANCED MATERIALS '93, II - A & B   15 ( A & B )   517 - 520   1994年

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    記述言語：英語   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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MISC

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受賞

  • フェロー

    2025年2月   日本機械学会  

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  • 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 貢献表彰

    2022年11月   日本機械学会  

    安部 隆

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  • 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞

    2018年11月   電気学会 センサ・マイクロマシン部門   水晶発振回路式液体濃度センサの炭酸濃度非接触測定への応用

    小黒 悠, 谷村実紀, 矢田直人, 寒川雅之, 安部 隆

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  • 優秀論文発表賞

    2016年10月   電気学会 センサ・マイクロマシン部門総合研究会   水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発

    矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

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  • 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞

    2016年10月   電気学会センサ・マイクロマシン部門   真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価

    和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆

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  • 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞

    2014年10月   電気学会センサ・マイクロマシン部門   非接触型液体濃度検出用水晶センサ

    須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆

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共同研究・競争的資金等の研究

  • 回路レス温度補正が可能な実装基板一体型水晶振動子によるオンサイト計測の革新

    研究課題/領域番号：24K01317

    2024年4月 - 2028年3月

    制度名：科学研究費助成事業

    研究種目：基盤研究(B)

    提供機関：日本学術振興会

    安部 隆

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    配分額：17680000円 （ 直接経費：13600000円 、 間接経費：4080000円 ）

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  • 特殊金属/合金マイクロマシンの創成

    研究課題/領域番号：21K18870

    2021年7月 - 2024年3月

    制度名：科学研究費助成事業

    研究種目：挑戦的研究(萌芽)

    提供機関：日本学術振興会

    安部 隆

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    配分額：6240000円 （ 直接経費：4800000円 、 間接経費：1440000円 ）

    申請研究では計画研究として３つの研究項目がある。以下に、各々の研究項目の進捗状況を説明する。研究項目１であるフレキシブルで強靭なTitanium On Insulator (TOI)ウェハを用いた圧力、力、アクチュエータの実現のためには、シリコンMEMSにおける酸化膜に対応する絶縁薄膜の成膜技術が重要である。さらに絶縁膜を残したままで鏡面加工する技術も重要である。熱膨張係数が近く、絶縁性が高いアルミナ薄膜を絶縁膜としたTOIウェハについて、薄膜を残したままでそのままDRIE加工をしても元のチタン基板よりも鏡面状態で深掘りすることに成功した。本技術は、日本機械学会のマイクロナノ工学部門大会において若手優秀講演賞を受賞した。なお、本研究成果に関わる予備研究で実施していたドライナノ研磨技術が英文誌に掲載された。研究項目２のマイクロ電解工業に関する挑戦については、評価のための設備立ち上げを進めており、電気化学微細加工装置のセットアップを終えた段階である。次年度に試験を実施する予定である。研究項目３については、フッ素樹脂とアンカー効果を有するチタンウェハの接合に成功した。接合部は母材よりも強固であり、引っ張り試験では把持部のチタン板が破断した。本研究成果は、2022年度の徳島で開催される関連学会で発表予定である。なお、上記の計画研究以外のチタンマイクロマシニングの応用として、主刃の周縁にマイクロ刃を有するマイクロサージェリー用メスの試作も実施し、より低い力で切開できるようになった。本研究成果は、第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウムにて、速報ポスター賞にノミネートされた。マイクロ構造形成と切れ味の相関に関するメカニズム解明は刃物の機能性を生み出す可能性を有し新しい分野になると期待される。

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  • しなやかさ・タフさ・機能性を有する機能性メタルベースMEMSのスマート生産技術

    2016年 - 2018年

    制度名：基盤研究（B)

    提供機関：文部科学省

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • マイクロ・ナノ流体回路融合発振回路式化学演算チップの開発

    2016年 - 2017年

    制度名：挑戦的萌芽研究

    提供機関：文部科学省

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • 機能材料をベースとしたMEMSのための熱アシスト型反応性イオンエッチングの試験研究,

    2015年 - 2016年

    制度名：マッチングプランナープログラム

    提供機関：JST

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • 液体燃料、潤滑剤の効率的利用のための非接触型液体濃度センサの開発

    2014年 - 2015年

    制度名：研究成果研究成果展開事業 A-STEP FSステージ

    提供機関：JST

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • 小型・高精度・高速マルチ化学センシングシステムの実用化への展開

    2013年 - 2014年

    制度名：知財活用促進ハイウェイ

    提供機関：JST

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • ワンチップ型バルク弾性波型メタノール濃度センサの開発

    2011年12月 - 2012年6月

    制度名：研究成果最適支援プログラムA-STEP探索タイプ

    提供機関：JST

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • ガウシアン形状振動子を用いた単一細胞レベル極限センシング

    研究課題/領域番号：23510126

    2011年 - 2013年

    制度名：基盤研究(C)

    研究種目：基盤研究(C)

    提供機関：文部科学省

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    単一細胞レベルのセンシングを目指して微小質量を検出可能な水晶センサの高感度化を目指した。シミュレーションを参考にした振動子の微細加工で振動分布を増幅し質量検出の増幅に成功した。質量への応答の線形性もあり、単一細胞よりもはるかに微小な質量検出が可能になった。本研究成果は、細胞機能の研究のみならず、微小材料の評価への使用が期待される。

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  • 外乱下においてサブ原子層レベルの感度を有するQCMの開発

    2006年6月 - 2010年6月

    制度名：産業技術研究助成事業（若手グラント）

    提供機関：NEDO

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • ナノエネルギーシステム創生の研究

    研究課題/領域番号：18GS0203

    2006年 - 2010年

    制度名：科学研究費助成事業

    研究種目：学術創成研究費

    提供機関：日本学術振興会

    桑野 博喜, 西澤 松彦, 小野 崇人, 折茂 慎一, 田中 秀治, 長澤 純人, 安部 隆, 岡本 洋, 小貫 哲平, 曹 自平, 濱手 雄一郎, 大口 裕之

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    配分額：413400000円 （ 直接経費：318000000円 、 間接経費：95400000円 ）

    情報通信分野や医療・福祉分野で切実に求められているマイクロエネルギー源について研究開発を実施した。周辺にある振動を電気エネルギーに変換する自立エレクトレット膜および広帯域構造による高効率マイクロ環境発電、マイクロコンビナトリアルチップと断熱構造技術による高出力マイクロ燃料発電および、カーボンナノチューブを利用した高性能酵素電極と自動スタック構造による高効率長寿命バイオ燃料発電を、新しいメカニズムを提案し基盤技術を確立することにより実現した。さらにマイクロエネルギー源の革新を図る先端技術として低温用固体電解質材料およびマイクロ爆轟技術を確立した。

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  • アクティブ環境操作下における原子層レベル表面反応の実時間計測技術

    研究課題/領域番号：18681017

    2006年 - 2008年

    制度名：若手研究(A)

    研究種目：若手研究(A)

    提供機関：文部科学省

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

    半導体製造技術の応用により水晶センサの質量検出限界を向上させるとともに、周辺環境の変動を意図的に与えた場合においても原子層レベルの質量変化をリアルタイムで計測できる技術を開発した。本技術を用いて、光触媒反応などの代表的な表面反応の測定を行ない、原子層の1/10以下の重さの変化を長期間にわたり実時間計測ができることを実証した。本研究は、理化学計測機器への利用のみならず電子鼻等への産業応用にも道を拓く研究である。

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  • マイクロ電気化学システムによる細胞接着の3次元操作

    研究課題/領域番号：18048004

    2006年 - 2007年

    制度名：科学研究費助成事業

    研究種目：特定領域研究

    提供機関：日本学術振興会

    西澤 松彦, 安部 隆, 梶 弘和

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    配分額：3200000円 （ 直接経費：3200000円 ）

    本研究は,電気化学反応によって細胞接着を操作する技術「電気化学バイオリソグラフィー」を3次元構造体への細胞接着の操作へ拡張し,細胞培養担体(スキャホールド)内部への異種細胞から成る反復構造の作製へのチャレンジである。先ず,ガラスとPDMSからなるマイクロ流路デバイスの内部に細胞の共培養系を作製する事に成功した。あらかじめ流路の内壁にマイクロ電極のアレイを作製しておき,流路内部をヘパリン被覆した後にKBr水溶液を充填して電極に1.5Vを印加すると,電極の対面部位のヘパリンが脱着して細胞接着性へと変化し,細胞培養が出来た。隣接するマイクロ電極で同様の操作を違う種類の細胞に対して行なうと,流路内に異種細胞を配列させ,共培養化する事ができた。次に,あらかじめ電極を配置しておく必要が無いシステムの開発を意図して,針電極による細胞接着誘導を検討した。シリコンゴムチューブの内壁をヘパリン修飾し,そこへ針電極を刺して上述の反応を行う事によって,電極を刺した領域のみに細胞接着を誘導できた。さらに共培養化も出来た。この結果は,3次元構造体の内部に共培養系を造り込むという当初の目的を達成した典型的な一例であるとともに,血管内皮細胞の培養によって,血管を模擬したせん断応力と引っ張り応力が負荷できるモデルとなる可能性を有している。これは血流と細胞動態との関連を探るトレース実験を可能とする,これまでに無かった実験系を提供する可能性を有している。

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  • 電気化学バイオリソグラフィーの開発と細胞チップへの応用

    研究課題/領域番号：17310080

    2005年 - 2007年

    制度名：科学研究費助成事業

    研究種目：基盤研究(B)

    提供機関：日本学術振興会

    西澤 松彦, 安部 隆

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    配分額：14870000円 （ 直接経費：14000000円 、 間接経費：870000円 ）

    細胞チップなどのバイオデバイスの開発には,細胞接着の制御技術が必須である。本研究では,細胞接着をその場でコントロールする電気化学バイオリソグラフィーの技術的確立を行い,細胞接着の制御に留まらず,既に付着している細胞の増殖,伸長,遊走,をin-situで誘導する技術に展開した。数マイクロメートルの精度で段階的なリソグラフィーを行う必要があった。最適条件の系統的探索のために,生死判定を含む評価法を導入し、細胞にダメージを与えることなく、基板層のみを改質できることが分かった。
    加えて,電気化学バイオリソグラフィーを行なうための電極と,誘電泳動を行なうための電極を,マイクロ流路チップの内壁に作製し,流路チップ中での細胞の迅速な固定化を実践した。その結果,細胞懸濁液を流した状態で,100%の細胞捕捉を実現し,2種類の細胞を配列して固定する事が出来た。
    細胞診断を簡便化するための細胞チップの研究開発が加速しており,採取した細胞をチップの適所に固定するための簡便な方法が必要とされている。電気化学バイオリソグラフィーは,電極と電源(乾電池程度)からなるシンプルな機構であり,マイクロ流路チップ等への集積化が容易であり,細胞のアレイを「その場で」作成するバイオチップに応用可能と考える。そこへ,誘電現象を利用して細胞を捕集して固定化を出来るという今回の成果は,血液診断の効率化に大きく寄与すると期待できる。また,動物実験の代替として培養細胞による毒性試験への要求が高まっているが,そのような細胞チップのハイスループット化にも寄与し得る基盤的成果である。

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  • マイクロ・ナノマシニングを用いた水晶振動子型分子認識チップの創製

    2002年10月 - 2006年3月

    制度名：戦略的研究創造研究推進事業（さきがけタイプ）

    提供機関：JST

    安部 隆

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    担当区分：研究代表者  資金種別：競争的資金

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  • 微小空間における燃焼の制御・利用に関する研究

    研究課題/領域番号：14655077

    2002年 - 2003年

    制度名：科学研究費助成事業

    研究種目：萌芽研究

    提供機関：日本学術振興会

    田中 秀治, 安部 隆, 小野 崇人, 江刺 正喜

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    配分額：3300000円 （ 直接経費：3300000円 ）

    微小空間における燃焼の応用として、マイクロ燃料改質器の熱源、マイクロ熱電発電器、マイクロロケットスラスターを取り上げ、試作品の製作と試験とを中心とする実証的な研究を行った。
    [マイクロ燃料改質器]携帯機器内で液体燃料から水素を生成するマイクロ燃料改質器を開発した。シリコンのエッチング・酸化・酸化シリコンによるエッチング孔の埋め戻しによって、断熱のための自己支持膜を強度が確保される構造に改良し、改良したマイクロ燃料改質器において水素の自立燃焼とメタノールの水蒸気改質とを確認した。
    [マイクロ熱電発電]触媒燃焼器を熱源とするICチップ大の熱電発電器を開発した。メタノールを燃料にして200mW以上の出力、および約2.5%の効率を実現した。また、触媒燃焼器に燃料の蒸気圧によって空気を供給するマイクロエゼクタを試作した。エゼクタの構造、流路の形状、燃料の供給圧などパラメータにして一連の実験を行い、ブタンの完全燃焼に必要な量の空気が供給できることを確認した。さらに、そのエゼクタを用いてブタンの燃焼に成功した。
    [マイクロロケットスラスター]10kg級の超小形人工衛星の姿勢制御をするマイクロ固体ロケットアレイスラスターを開発した。本スラスター上には、直径0.8mmの使い切り固体ロケットが多数並べられており、スラストはデジタル的に制御される。点火の確実性を向上させるために、燃料の充填方法を変更し、種々の方法で燃料を充填したスラスターの真空燃焼試験を行った。その結果に基づいて、燃料の充填方法をはじめとして、燃料の組成、スラスターの構造などを見直している。

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  • マルチチャンネル水晶振動子マイクロバランスの超小型化、高感度化に関する研究

    研究課題/領域番号：14655313

    2002年 - 2003年

    制度名：科学研究費助成事業

    研究種目：萌芽研究

    提供機関：日本学術振興会

    江刺 正喜, 安部 隆

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    配分額：2900000円 （ 直接経費：2900000円 ）

    マイクロ・ナノマシニング技術を用いて、単一水晶基板上に多数の振動子が配列したマルチチャンネル型の水晶振動子マイクロバランス(QCM)を製作した。このマルチチャンネル型QCMは、各々の振動子に異なる感応膜を被覆し周波数応答を比較することでケモメトリック分析等が可能な画期的なセンサである。このQCMセンサの質量検出感度は周波数の自乗に逆比例するために板厚が薄いほど高感度になることが知られている。これまでに、水晶を鏡面のまま微細加工できる反応性イオンエッチング技術を開発し、その微細加工技術を用いて水晶板を部分的に薄くし高感度化を達成しかつ干渉せずに振動する逆メサ構造の振動子を製作してきた。その結果、支持損失を抑えて高いQ値(低損失)となる最適形状条件を実験的に見い出した。このように、高感度な振動子の製作方法が確立した一方、振動子を薄くするあるいは小さくすると粘弾性負荷に対して不安定になるという新たな問題が明らかになった。これを解決するために振動子中央部に振動エネルギーが集中するように水晶板の板厚を変える加工技術を開発した。具体的には、ホトレジストをリフローによりレンズ形状にし鏡面エッチング技術でこの形状を水晶板に転写することでコンベックス形状の大量一括生産を実現した。上記方法で製作した振動子の振動特性を評価し、未加工の場合と比較してQ値が二倍高くかつ溶液中での振動特性が優れていること等を明らかにした。

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担当経験のある授業科目

  • 総合技術科学演習

    2022年
    -
    2023年
    機関名：新潟大学

  • 先端研究入門

    2020年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 機械工学実験IV

    2020年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 機械工学実験III

    2020年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 機械工学概論

    2017年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 数物演習

    2017年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 工学リテラシー入門(力学分野)

    2017年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 物理工学実験

    2017年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 材料生産システム博士特定研究Ⅰ

    2014年
    機関名：新潟大学

  • 外国語論文解説・討論Ⅰ

    2014年
    機関名：新潟大学

  • 材料生産システム博士セミナーⅠ

    2014年
    機関名：新潟大学

  • 機械科学コース演習

    2014年
    機関名：新潟大学

  • 機械工学実験I

    2012年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 卒業研究

    2012年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 卒業研修

    2012年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 英文輪読I

    2012年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 英文輪読II

    2012年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 機械工学演習

    2012年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 機械工学実験II

    2012年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 機械科学セミナーⅠ

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 機械科学文献詳読Ⅰ

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 材料生産システム特定研究Ⅱ

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 研究発表演習・発表

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 機械科学文献詳読Ⅱ

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 機械科学特別演習

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 材料生産システム特定研究Ⅰ

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 機械科学セミナーⅡ

    2012年
    -
    2015年
    機関名：新潟大学

  • 技術英語入門

    2012年
    機関名：新潟大学

  • くらしを支える機械システム工学

    2011年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 先端マイクロマシン工学特論

    2011年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 工学リテラシー入門(機械システム工学科)

    2011年
    -
    2020年
    機関名：新潟大学

  • 自然科学総論Ⅱ

    2011年
    -
    2020年
    機関名：新潟大学

  • マイクロマシン

    2010年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • 応用数理A

    2010年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

  • マイクロマシン工学特論

    2010年
    -
    現在
    機関名：新潟大学

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教育活動に関する受賞

  • 工学研究科教育賞

    2010年3月   東北大学  

    受賞者：安部　隆