2021/10/27 更新

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ソウガワ マサユキ
寒川 雅之
SOHGAWA Masayuki
所属
教育研究院 自然科学系 生産デザイン工学系列 准教授
自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学 准教授
工学部 工学科 准教授
職名
准教授
外部リンク

学位

  • 博士(工学) ( 2005年3月   大阪大学 )

研究キーワード

  • エッチング

  • センサ

  • PDMS

  • カンチレバー

  • マルチモーダル

  • バイオセンサ

  • MEMS

  • マイクロマシニング

  • 触覚センサ

  • 圧電体

  • Micromachining

  • Piezoelectric Thin Film

  • Ferroelectric Thin Film

  • 質感

  • Tactile Sensor

研究分野

  • 情報通信 / 知覚情報処理

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電気電子材料工学

  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス  / ナノマイクロメカトロニクス

  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム  / ナノマイクロメカトロニクス

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

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経歴(researchmap)

  • 新潟大学   工学部機械システム工学科   准教授

    2016年4月 - 現在

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  • 新潟大学   工学部機械システム工学科   助教

    2013年4月 - 2016年3月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   招へい教員

    2013年4月 - 2014年3月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   助教

    2007年10月 - 2013年3月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   特任助教

    2007年4月 - 2007年10月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   研究員

    2005年7月 - 2007年3月

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  • 大阪工業大学   工学部電気電子システム工学科   非常勤講師

    2002年4月 - 2005年3月

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経歴

  • 新潟大学   工学部 工学科   准教授

    2017年4月 - 現在

  • 新潟大学   自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学   准教授

    2016年4月 - 現在

  • 新潟大学   機能開発工学   准教授

    2016年4月 - 2017年3月

  • 新潟大学   機能開発工学   助教

    2013年4月 - 2016年3月

  • 新潟大学   自然科学研究科 材料生産システム専攻   助教

    2013年4月 - 2016年3月

学歴

  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   物理系専攻

    2000年4月 - 2005年3月

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    国名: 日本国

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  • 大阪大学   基礎工学部   電気工学科

    1998年4月 - 2000年3月

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    国名: 日本国

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  • 和歌山工業高等専門学校   電気工学科

    1993年4月 - 1998年3月

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    国名: 日本国

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所属学協会

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委員歴

  • 電気学会   令和2年度E部門総合研究会実行委員会 論文委員長  

    2020年2月 - 2020年9月   

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    団体区分:学協会

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  • 電気学会   令和2年度E部門総合研究会論文委員会委員長  

    2020年2月 - 2020年9月   

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    団体区分:学協会

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  • 電気学会   令和2年度E部門総合研究会論文委員会 委員長  

    2020年2月 - 2020年9月   

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    団体区分:学協会

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  • 電気学会   令和2年基礎・材料・共通部門大会実行委員会 委員  

    2020年1月 - 2020年12月   

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    団体区分:学協会

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  • 日本機械学会   第15回「運動と振動の制御」国際会議(MoViC 2020)現地委員会 委員  

    2019年11月 - 2020年10月   

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  • 日本機械学会   北陸信越支部 商議員・新潟県幹事  

    2019年4月 - 2020年3月   

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  • 日本機械学会   ロボティクス・メカトロニクス部門 第7地区技術委員会 幹事  

    2019年4月 - 2020年3月   

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  • 電気学会   マイクロマシン・センサシステム技術委員会 副委員長  

    2018年9月 - 現在   

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  • 電気学会   スマート社会に向けた高機能・高感度センサ技術に関する調査専門委員会 委員  

    2018年6月 - 2021年5月   

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  • 電気学会   触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会 委員  

    2018年6月 - 2020年5月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門研究調査運営委員会 幹事  

    2018年5月 - 現在   

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  • 電気学会   第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員会 委員  

    2018年4月 - 2019年1月   

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  • 電気学会   平成30年度E部門総合研究会実行委員会委員  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 実行委員会 委員  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 論文委員会 幹事  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   平成30年度E部門総合研究会論文委員会幹事  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 幹事  

    2017年11月 - 2018年12月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門役員会総務企画担当  

    2017年6月 - 2019年5月   

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  • 電気学会   平成30年全国大会 グループ委員会 第11グループ 主査  

    2017年6月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   平成30年全国大会 小委員会 委員  

    2017年6月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   平成30年全国大会 論文委員会 委員  

    2017年6月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   論文委員会(Eグループ)幹事  

    2017年4月 - 現在   

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  • 電気学会   第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

    2017年2月 - 2017年11月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門総合研究会実行委員会幹事  

    2016年11月 - 2017年9月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門総合研究会論文委員会委員  

    2016年11月 - 2017年9月   

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  • 電気学会   触覚デバイスのための計測技術協同研究委員会  

    2016年7月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 幹事補佐  

    2016年7月 - 2017年11月   

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  • 電気学会   平成29年全国大会グループ委員会 11グループ委員  

    2016年6月 - 2017年6月   

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  • 電気学会   圧電MEMSデバイス調査専門委員会 幹事  

    2016年4月 - 2019年3月   

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  • 応用物理学会   第77回応用物理学会秋季学術講演会 現地実行委員  

    2016年4月 - 2016年9月   

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  • 電気学会   第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 主査)  

    2016年2月 - 2016年11月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門編修委員会 委員  

    2015年4月 - 現在   

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  • 電気学会   第32回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 副査)  

    2015年2月 - 2015年11月   

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  • 電気学会   第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事  

    2014年12月 - 2015年11月   

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  • 電気学会   社会インフラ用センサシステムセキュリティ特別調査専門委員会 委員  

    2014年11月 - 2018年3月   

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  • 電気学会   触覚提示デバイスの高度化協同研究委員会  

    2014年5月 - 2016年4月   

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  • 電気学会   第31回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

    2014年2月 - 2014年11月   

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  • 電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 1号委員  

    2013年12月 - 2016年7月   

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  • 電気学会   第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事  

    2013年12月 - 2014年11月   

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  • 電気学会   第30回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

    2013年2月 - 2014年1月   

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  • 電気学会   触覚デバイスの高度化協同研究委員会委員  

    2012年8月 - 2014年4月   

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  • センシング技術応用研究会   GST技術分科会幹事  

    2012年7月 - 現在   

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  • 電気学会   平成23年電気学会全国大会実行委員会委員  

    2010年7月 - 2011年6月   

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  • International Microprocesses and Nanotechnology Conference   Program Comittee  

    2010年4月 - 2014年12月   

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  • 電気学会   論文委員会(Eグループ)委員  

    2008年4月 - 現在   

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論文

  • ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製 査読

    恩田 尚隆, 小塚 貴暁, 安部 隆, 一色 眞誠, 留野 暁, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   141 ( 10 )   343 - 348   2021年10月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.343

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  • マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発

    橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   141 ( 8 )   279 - 283   2021年8月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.279

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  • Development of dry‐nano‐polishing technique using reactive ion etching for ultra thin titanium wafer

    Teruya Chino, Yuta Watanabe, Yosuke Tsukiyama, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   104 ( 2 )   2021年6月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley  

    DOI: 10.1002/ecj.12317

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/ecj.12317

  • 反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発 査読

    千野 輝弥, 渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   141 ( 4 )   103 - 107   2021年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.103

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  • 外部磁場を利用した多周波水晶発振回路式液体濃度センサによるイオン種分析 査読

    藤森 弘貴, 富樫 裕基, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 12 )   349 - 353   2020年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:電気学会  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.349

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  • エラストマ封止カンチレバー型触覚センサの検出エリア評価 査読

    阿部 由杜, 菅 史賢, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 10 )   272 - 277   2020年10月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.272

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  • 水晶発振回路式液体センサを用いた水処理プロセスの非接触モニタリング 査読

    吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 10 )   251 - 255   2020年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.251

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  • 工具把持部への触覚センサ設置による把持状況検出 査読

    南部泰生, 藤橋智哉, 安部隆, 寒川雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 9 )   228 - 234   2020年9月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.228

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  • Label‐free, chronological and selective detection of aggregation and fibrillization of amyloid β protein in serum by microcantilever sensor immobilizing cholesterol‐incorporated liposome 査読

    Tomoya Taniguchi, Toshinori Shimanouchi, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    Biotechnology and Bioengineering   117 ( 8 )   2469 - 2478   2020年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/bit.27380

    Web of Science

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/bit.27380

  • Tactile Sensor with High-Density Microcantilever and Multiple PDMS Bumps for Contact Detection 査読

    Tomoya Fujihashi, Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Jyun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Journal of Robotics and Mechatronics   32 ( 2 )   297 - 304   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Fuji Technology Press Ltd.  

    In the study, we investigated a detection method of partial contact of an object owing to curved or uneven surface of the contact object by a tactile sensor. The sensor is developed using three microcantilevers embedded in a polydimethylsiloxane (PDMS) bump. First, three bumps were employed to place a bump for each cantilever. It was possible to detect a contact position because the resistance change in the strain gauge on the cantilever under each bump significantly depended on the contact/non-contact state of each bump. Second, a tactile sensor with high-density arrangement of microcantilevers was used to detect partial or tilted contact situations. The results indicated that the output of a tactile sensor with high-density arrangement of microcantilevers reflected partial or tilted contact. It is suggested that a tactile sensor with multiple bumps and high-density microcantilevers allows for more dexterous gripping control based on the shape of the object and contact angle.

    DOI: 10.20965/jrm.2020.p0297

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  • Tactile sensor using a microcantilever embedded in fluoroelastomer with resistance to cleaning and antiseptic solutions 査読 国際誌

    Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Sensors and Actuators A: Physical   301 ( 1 )   111774   2020年1月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    添付ファイル: revisedmanuscript2.pdf

    DOI: 10.1016/j.sna.2019.111774

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  • 触覚センシングにおける振動覚検知のためのマイクロカンチレバーの作製と評価 査読

    高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 11 )   375 - 380   2019年11月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    添付ファイル: 電気学会論文誌-最終原稿.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.375

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  • チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発 査読

    桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 10 )   341 - 345   2019年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.341

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  • 容器内溶液の非接触検査のための水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読

    小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 7 )   169 - 174   2019年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.169

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  • 触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析 査読

    木藤 潤, 阿部 祐太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 6 )   149 - 154   2019年6月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    添付ファイル: 触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析-最終.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.149

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  • 1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価 査読

    庄司 拓人, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 4 )   81 - 84   2019年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.81

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  • Microdroplet monitoring using microfluid circuit combined quartz oscillator based capacitive sensor 査読 国際誌

    Ryo Ebata, Ryo Sakai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   101 ( 12 )   50 - 55   2018年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本研究ではコンパクトな微小液滴モニタリングセンサを開発した。このセンサはマイクロ流体回路と水晶振動子を組み合わせた静電容量型センサである。このセンサを用いてマイクロ液滴の生成とモニタリングに成功した。センサの感度向上のためセンシングキャパシタを最適化し、周波数応答を増大させた。NaCl水溶液濃度を最適化したセンシングキャパシタを用いて計測し、その結果から、2周波数を用いることで高ダイナミックレンジでの計測が可能であることを示した。

    DOI: 10.1002/ecj.12128

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  • 河川防災用水位観測システムにおけるミリ波レーダセンサの評価 査読

    寒川 雅之, Andrew Whitaker, 酒井 直樹

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 10 )   461 - 465   2018年10月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    温暖化による気候変動で重大な水害が増大している。水害の早期警報のためには、源流域を含む河川流域全体の多点・広域における水位モニタリングが必要である。しかし、従来のセンシングシステムはコストの問題があり小河川への設置が進んでいない。本研究では、ミリ波レーダとLPWAネットワークを用いた低コストで非接触な河川水位センシングシステムを提案する。試作センサは2.56%の平均誤差率で距離が計測可能であり、荒天の際を含む実際の河川で水位モニタリングが可能であった。さらに、さまざまな河川形態においてこのセンサにより水位モニタリングが可能であることが示された。

    添付ファイル: 電気学会論文誌 最終提出原稿.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.461

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  • 微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング 査読

    江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 8 )   382 - 386   2018年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文はコンパクトな微小液滴モニタリングセンサの開発に関するものである。このセンサはマイクロ流体回路と水晶振動子を組み合わせた静電容量型センサである。このセンサにおいて微小液滴の生成とモニタリングに成功した。また、センサの感度向上のためセンシング用キャパシタを最適化し、これにより周波数応答の増大が可能である。最適化したセンシング用キャパシタを用いて、NaCl水溶液の濃度を計測した。計測結果から、2つの周波数を用いることで、高ダイナミックレンジでの計測を可能とした。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.382

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  • Electromotive Manipulator Control by Detection of Proximity, Contact, and Slipping Using MEMS Multiaxial Tactile Sensor 査読

    Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi)   204 ( 2 )   44 - 49   2018年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:John Wiley and Sons Inc.  

    In this paper, we have demonstrated usefulness of the electromotive manipulator system with a developed single element MEMS sensor which can detect proximity, contact, and slipping to skillful gripping of the object. This MEMS sensor can detect proximity as impedance change of Si substrate by reflected light from the object due to the photoconductive effect. In addition, both normal and shear load can be also detected as resistance change of strain gage on cantilevers located threefold symmetry and embedded in polydimethylsiloxane (PDMS). By attaching the sensor on the electromotive manipulator, accurate control of gripping force was enabled by feedback of the sensor output.

    DOI: 10.1002/eej.23098

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  • Miniaturization and high-density arrangement of microcantilevers in proximity and tactile sensor for dexterous gripping control 査読 国際誌

    Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Micromachines   9 ( 6 )   301   2018年6月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MDPI AG  

    In this paper, in order to perform delicate and advanced grip control like human, a proximity and tactile combination sensor using miniaturized microcantilevers one-fifth the size of previous one as the detection part was newly developed. Microcantilevers were arranged with higher spatial density than in previous works and an interdigitated array electrode to enhance light sensitivity was added. It is found that the interdigitated array electrode can detect light with 1.6 times higher sensitivity than that in previous works and the newly fabricated microcantilevers have enough sensitivity to applied normal and shear loads. Therefore, more accurate detection of proximity distance and spatial distribution of contact force become available for dexterous gripping control to prevent 'overshooting', 'force control error', and 'slipping'.

    DOI: 10.3390/mi9060301

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  • Development of Self-Heated Stage Suitable for Thermal Assist Reactive Ion Etching of the Functional Metals 査読

    Yuki Murata, Gang Han, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   101 ( 3 )   96 - 102   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley-Liss Inc.  

    This paper describes development of self-heated stage suitable for thermal reactive ion etching (TRIE) of the functional metals. TRIE was evaluated using both experiments and simulations for etching functional metals. The self-heated stage was designed based on the simulation results. TRIE employs a self-heated stage which is thermally insulated aluminum plate as the etching stage of a regular RIE apparatus. The stage temperature increases rapidly within 10 min and etch rate does not depend on process time. TRIE technique was used to etch various kinds of functional metals: Ti, Mo, Ta, Nb, and Ti alloy (Ti-6Al-4V). It did improve the etching rate of these materials greatly.

    DOI: 10.1002/ecj.12046

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  • 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価 査読

    難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 6 )   250 - 256   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本研究では光とひずみに感度を持つMEMS触覚センサにより、ポリオキシメチレン樹脂の加工表面の評価を行った。センサ出力が樹脂の表面プロファイルと摩擦特性と相関を持つことが確認され、さらにこのセンサにより樹脂の表面色の違いも検知可能であることが示された。

    添付ファイル: 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価 最終原稿.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.250

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  • Electrode-separated quartz crystal microbalance for smart-sensor mounting application 査読

    Jun Sakaguchi, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Sensors and Materials   30 ( 5 )   1073 - 1080   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:M Y U Scientific Publishing Division  

    Quartz crystal microbalances (QCMs) have found applications as popular chemical and biological sensing tools. However, their current device geometry prevents their commercialization for industrial use. In this study, we propose a new disposable QCM sensor with an electrode only on the sensing side, making it suitable for sensor mounting. In this sensor system, the excitation electrode is positioned on a glass plate separate from the QCM. Such electrode configurations are suitable for sensor applications in flow cell systems in preference to common QCM systems because QCM mounting on the flow cell and the electrical interconnections between the QCM and the oscillation circuit are simple. The optimized configurations of the electrode diameter, separation distance, and orientation relative to the crystallographic x-axis of the plate are revealed for the first time. The proposed QCM can be applied to realize a disposable QCM-based biochip or hazardous gas sensor located inside a flow tube.

    DOI: 10.18494/SAM.2018.1712

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  • 水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発 査読

    矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 2 )   37 - 40   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    液体濃度を計測するための非接触モニタリング技術を開発した。このセンサは2つのセンシングキャパシタと水晶発振回路からなる。2種類の周波数により同時に誘電性と導電性変化を計測することに成功した。よって、幅広い周波数帯を用いることで、液体をその物理化学的特性に合わせて計測することが可能である。本研究では、切削油の濃度のモニタリングに成功した。提案したセンサはさまざまな液体モニタリングへの使用が期待できる。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.37

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  • Surface texture characterization using optical and tactile combined sensor 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Sensors and Materials   30 ( 5 )   1091 - 1101   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:M Y U Scientific Publishing Division  

    Measurements of the surface texture of objects, including optical and tactile features, using a multimodal micro-electromechanical systems (MEMS) sensor are reported in this paper. The proposed MEMS sensor has two functions in its structure: light sensitivity of the MOS structure in the Si substrate and force sensitivity of the strain resistance gauge on microcantilevers embedded in the elastomer. Deflection of the cantilever, induced by an applied force, can be detected as a DC resistance change of the strain gauge film, which depends on the tactile texture including hardness, thickness, and surface roughness of the object. On the other hand, reflected light from the object, detected as AC impedance change at 5 MHz, depends on the color of the object. It is confirmed that the resistance and impedance changes correlate with the physical and optical properties of the object, respectively. Therefore, it has been demonstrated that the surface texture of the object, including optical and tactile features, can be characterized using a single MEMS sensor.

    添付ファイル: SS-1786-accepted.pdf

    DOI: 10.18494/SAM.2018.1786

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  • Development of artificial haptic model for human tactile sense using machine learning 査読

    Hikaru Shimoe, Kohei Matsumura, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

    Proceedings of IEEE Sensors   2017-   1 - 3   2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    Recent studies have proposed a model using the supervised neural-network (NN) as the haptic model. However, this model has the problem in expressing human tactile sense. Therefore, we constructed a haptic stage model based on the model of human-tactile sense and cognitive process. Our NN-based model consists of supervised and unsupervised stages. Using surface-scanning results from our trial micro-tactile sensor, we confirmed the material-identification problem with our model. A conventional full conventional NN(CNN) model achieved a 98.0% correct identification rate for 28 materials
    our model achieved a rate of 67.2%. Our model employed typically is deepening because we used the convolutional process in all layers, therefore, we consider that our learning result lost local features on each material, and then identification rate was declined as result.

    DOI: 10.1109/ICSENS.2017.8234173

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  • Deep reactive ion etching technique involving use of 3D self-heated cathode 査読

    Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1281 - 1284   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this study, a thermally assisted reactive-ion etching (TRIE) technique using a 3D self-heated stage as the etching stage in a conventional reactive-ion etcher was developed and applied to a large size wafer. The 3D stage was designed based on simulation results and its heating characteristics on application of RF power were evaluated. Results indicated that the temperature of the etching stage increased rapidly to 350 °C, but maintained a distribution of ≤ 4 °C. Its application to various minor metals (Ti, Ti 6Al-4V, Ta, Nb, and Mo) was investigated. The resultant etch rates substantially increased with the use of the 3D self-heated cathode in a conventional reactive-ion etcher.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994289

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  • Texture measurement for fabrics including warm/cool and fluffiness sensation by multimodal MEMS sensor 査読

    Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   343 - 346   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this paper, we report that texture measurement of warm/cool and fluffiness sensations of various fabrics has been carried out by a multimodal MEMS sensor. This MEMS sensor can detect force as resistance change of strain gauge on micro-cantilever and light as impedance change of Si layer by the photoconductive effect, respectively. The sensor can also detect a temperature drop by heat transfer from the sensor to the contact object as resistance change of the strain gauge and impedance change of Si. It is demonstrated that warm/cool and fluffiness sensations of fabrics can be evaluated by the measured results of the proposed MEMS sensor depending on temperature drop and contact force.

    添付ファイル: PID4721655.pdf

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994058

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  • Gripping control of delicate and flexible object by electromotive manipulator with proximity and tactile combo MEMS sensor 査読

    Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1140 - 1143   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this paper, we have demonstrated usefulness of the electromotive manipulator system with a developed MEMS sensor to skillful gripping of various objects. This MEMS sensor is responsive to light with the photoconductive effect in Si and force with resistance change in the strain gauge layer on microcantilever structures, as a result, the sensor can detect both proximity and contact. In addition, since the cantilevers are located three-fold symmetry, the direction of applied force can also be detected. It is demonstrated that the proposed manipulator system with the developed sensor can grip not only rigid bodies but also gripping flexible objects.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994254

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  • Fabrication of a true-Gaussian-shaped quartz crystal resonator 査読

    Hiroki Kutsuwada, Sho Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   260   58 - 61   2017年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE SA  

    In this paper, a simple fabrication method for a Gaussian-shaped quartz crystal resonator was developed based on the surface tension of the photoresist. First, the photoresist profile on a quartz wafer was changed to a lens shape by the photoresist reflow. By changing the viscocity of the photoresist with propylene glycol monomethyl ether acetate, the photoresist profile on the quartz wafer was adjusted to create a Gaussian shape. Finally, the Gaussian-shaped QCR was fabricated by transferring the shape onto the quartz wafer using a reactive ion etching. (C) 2017 Elsevier B.V. All rights reserved.

    DOI: 10.1016/j.sna.2017.04.019

    Web of Science

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  • A Cantilever-based Biosensor for Real-time Monitoring of Interactions between Amyloid-(1-40) and Membranes Comprised of Phosphatidylcholine Lipids with Different Hydrophobic Acyl Chains 査読

    Ziyang Zhang, Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    ELECTROANALYSIS   29 ( 3 )   722 - 729   2017年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:WILEY-V C H VERLAG GMBH  

    Accumulating evidence suggests that interaction between amyloid- (A) and cell membrane is crucial to the pathogenesis of Alzheimer's disease (AD), and thus an increasing understanding of the impact of membrane composition on A-membrane interaction becomes essential for the mechanism elucidation of A-membrane interaction and the early diagnosis of AD. In this work, electrically neutral phosphatidylcholine (PC) as the most major class of membrane phospholipids, including 1,2-dipalmitoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DPPC), 1,2-distearoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DSPC), 1-palmitoyl-2-oleoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (POPC), and A(1-40) as the most common amyloid protein were selected as the research subjects, and a developed cantilever-based biosensor, on which liposomes comprised of PC lipids were immobilized, was applied to characterize in real time the interactions between A(1-40) and membranes comprised of PC lipids with different hydrophobic acyl chains, and to evaluate the effect of cholesterol incorporated in membrane on A-membrane interaction during the whole process of A(1-40) fibrillization. The results illustrate that the interaction between A(1-40) and PC membrane can be divided into three stages, which are related to the change in molecular states of A. More importantly, it is found that membranes comprised of PC lipids with shorter saturated acyl chains show higher interaction ability with A(1-40), and the incorporation of cholesterol into PC bilayer can remarkably accelerate and strengthen A(1-40)-membrane interaction. These results confirm that hydrophobicity is the main driving force for the interactions between A(1-40) and PC membranes. In return, the above results enlightened us to apply the current micro-cantilever immobilized with cholesterol-containing DPPC liposomes to challenge the detection of low-concentration A(1-40). This time 50-nM A(1-40) in aqueous solution has been effectively detected, suggesting that this proposed detection technique would contribute to A detection and early diagnosis of AD in the future.

    DOI: 10.1002/elan.201600416

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  • Deposition and characterization of Al2O3 and BiFeO3 thin films on titanium substrates for tough MEMS devices 査読

    Takeshi Kohno, Masato Mihara, Ataru Tanabe, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   137 ( 1 )   46 - 47   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

    Insulator and piezoelectric thin films were deposited on titanium substrate, and characterized for application in tough MEMS tactile sensors. The titanium substrate was polished by buffing before the deposition of the thin films. An Al2O3 thin film was deposited as an insulator and showed good insulation characteristics on the polished titanium substrate. Piezoelectric BiFeO3 thin films were prepared by RF sputtering. The XRD pattern of the BiFeO3 thin film on the titanium substrate shows the presence of the ferroelectric phase. The polarization-electric field curve also shows a ferroelectric hysteresis loop. The results show that insulator and piezoelectric thin film can be formed on titanium substrate.

    添付ファイル: 01E_06_L.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.46

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    J-GLOBAL

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  • 近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討 査読

    梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 5 )   146 - 150   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    我々は繊細な物体のスマートなマニピュレーションのために、単一素子で近接と多軸接触力を検知可能なセンサを開発している。今回は近接センシングにおける環境ノイズを低減するために、変調プローブ光を用いた測定手法について報告する。白色LEDをプローブ光として、150 Hzで明滅させた。本手法により、センサ出力が電源や照明からの環境ノイズを含んでいる場合でも、近接距離を150 Hzの周波数成分として分離できることを示した。

    添付ファイル: 05E_05.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.146

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  • 近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御 査読

    荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 7 )   212 - 217   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では、物体の器用な把持のための、開発した近接、接触、滑りを検知可能な単一素子MEMSセンサを用いた伝導マニピュレーションシステムの有用性を示した。このMEMSセンサは物体から反射された光による光導電効果で起きる、Si基板のインピーダンス変化として近接を検知している。さらに、3回対称に配置され、PDMSに埋め込まれたカンチレバー上のひずみゲージの抵抗変化により、垂直荷重及び剪断荷重も検知可能である。このセンサを電動マニピュレータに取り付けることで、センサ出力のフィードバックにより把持力の精細な制御が可能であった。

    添付ファイル: 07E_03.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.212

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  • Thermal Reactive Ion Etching of Minor Metals with SF6 Plasma 査読

    Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   217 - 223   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MYU, SCIENTIFIC PUBLISHING DIVISION  

    In this study, thermally assisted reactive ion etching (TRIE) was evaluated by both experiments and simulations. TRIE employs a self-heated stage instead of the etching stage of a regular RIE apparatus. The self-heated stage was designed on the base of the simulation results, and its heating characteristics upon the application of radio frequency (RF) power were evaluated. The temperature of the stage increases rapidly within 10 min because of the low thermal capacitance of the stage. An etch rate of 0.6 mu m/min and an etch selectivity of about 30 were achieved for titanium etching with SF6 plasma. In addition, we also investigated the application of TRIE for various kinds of minor metals (Mo, Ta, Nb, and Ti alloy) for the first time and achieved higher etch rates and etch selectivities than those of regular reactive ion etching (RIE).

    DOI: 10.18494/SAM.2017.1444

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  • Texture Characterization Including Warm/Cool Sensation Using Force-, Light-, and Temperature-Sensitive Micro-electromechanical Systems Sensor 査読

    Fumiya Sato, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   311 - 321   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MYU, SCIENTIFIC PUBLISHING DIVISION  

    In this paper, we report on texture measurements for an object, including tactile, warm/cool, and light sensations using a multimodal micro-electromechanical systems (MEMS) sensor. This MEMS sensor can detect force as a resistance change of the strain gauge on a microcantilever and light as an impedance change of a Si layer by a photoconductive effect. The sensor, which was maintained near human body temperature using a heater, can also detect a temperature drop after heat transfer from the sensor to a contacted object as a resistance change of the strain gauge or an impedance change of the Si layer. In this work, three different materials (copper, acrylic, and wood) were chosen as the target objects for the measurement of surface texture, and they were characterized on the basis of the differences in sensor outputs in active sensing experiments (approaching and pressing of the sensor with a probe light) on the sensor surface. In the proximity process, the impedance change of the Si layer depends on the surface reflectivity of the objects. After the object is touched by the sensor surface, the impedance of the Si layer and the resistance of the strain gauge of the sensor increase with the change in temperature caused by heat transfer. Furthermore, the resistance of the strain gauge decreases with the deformation of the cantilever caused by the pressing force from each object. Therefore, it is demonstrated that surface texture including the mechanical, optical, and thermal characteristics of various materials can be evaluated by active sensing using the proposed MEMS multimodal sensor.

    添付ファイル: SS-1443-galley proof.pdf

    DOI: 10.18494/SAM.2017.1443

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  • 真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価 査読

    和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 7 )   180 - 184   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では水晶振動子微小天秤(QCM)法を用いた小型熱重量分析センサを提案した。火星の土壌サンプル中の物理吸着水量や土壌成分を計測するため、QCMに集積化したマイクロヒータの加熱電極形状を最適化した。次に、真空環境中におけるQCMの加熱特性を評価した。その結果、電極の温度は300℃まで加熱された。最適化されたQCMは低消費電力で優れた加熱特性を持つことを見出した。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.180

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  • 機能性メタルの熱アシスト型反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発 査読

    村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 9 )   262 - 266   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文は機能性メタルの熱反応性イオンエッチング(TRIE)に適した自己加熱式試料台の開発について述べている。機能性メタルのエッチングについて熱反応性イオンエッチングを実験とシミュレーションで評価した。自己加熱式試料台はシミュレーション結果に基づいて設計された。一般のRIE装置のエッチング試料台として、熱的に絶縁されたアルミプレートからなる自己加熱式試料台を用いた。試料台の温度は10分以内に急速に上昇し、エッチング速度はプロセス時間に依存しない。TRIE技術を様々な機能性メタル(Ti、Mo、Ta、Nb、Ti合金(Ti-6Al-4V)のエッチングに用いることで、これらの材料のエッチング速度が飛躍的に改善された。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.262

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  • Real-time characterization of fibrillization process of amyloid-beta on phospholipid membrane using a new label-free detection technique based on a cantilever-based liposome biosensor. 査読

    Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

    SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL   236   893 - 899   2016年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE SA  

    The dynamic behavior of amyloid-beta protein (A beta) fibrillization on cell membrane is closely related to the progression of Alzheimers disease (AD). In this paper, we reports a new approach for real-time monitoring of the fibrillization process of A beta on lipid membrane using a miniaturized cantilever-based liposome biosensor, which contributes to the technology development of A beta label-free detection and the mechanism elucidation of A beta fibrillization on cell membrane. 1,2-Dipalmitoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DPPC) liposome as model cell membrane was immobilized on the cantilever surface and A beta(140) was selected as a target protein in this work. Liposome-A beta interaction is evaluated by detecting the resistance change rate of the strain gauge embedded in the cantilever, which is directly proportional to the deflection of cantilever. 24-h real-time monitoring result clearly shows chronological change in the resistance with the progress of A beta fibrillization on liposomes. Moreover, it is found that the extent of liposome-A beta interaction is closely dependent on the aggregate state and concentration of A beta but is less dependent on the type of used solvent (water or serum). It is indicated that DPPC liposome shows sufficient affinity and selectivity to A beta even in serum. In particular, a concentration of A beta as low as 1 mu M can be detected using the cantilever-based liposome biosensor. Furthermore, it is confirmed that this biosensor has a potential of recognizing different states of A beta. We expect that the cantilever-based liposome biosensor becomes an effective tool for accelerating amyloid related research and developing the early diagnosis approach of AD. (C) 2016 Elsevier B.V. All rights reserved.

    添付ファイル: Characterization of Aβ Fibrillization.pdf

    DOI: 10.1016/j.snb.2016.03.025

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  • Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers 査読

    Masayuki Sohgawa

    2014 IEEE International Nanoelectronics Conference, INEC 2014   2016年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    A multifunctional tactile sensor which can detect approximation, contact, slipping, and surface texture of the target has been developed. The sensor is composed of multiple MEMS cantilevers fabricated on Si substrate embedded in PDMS, and can detect normal and shear forces. By indenting and sliding the sensor on the object surface, output depending on hardness, friction, and roughness, etc. can be obtained. Moreover, a function for detection of proximity was integrated monolithically through photo-sensitivity of Si substrate.

    添付ファイル: INEC2014sohgawa-final.pdf

    DOI: 10.1109/INEC.2014.7460417

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  • A Micromechanical Cantilever-Based Liposome Biosensor for Characterization of Protein-Membrane Interaction 査読

    Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

    ELECTROANALYSIS   28 ( 3 )   620 - 625   2016年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:WILEY-V C H VERLAG GMBH  

    We have newly evaluated the interaction of lipid membrane with two different proteins of lysozyme and carbonic anhydrase from bovine (CAB) using a micro cantilever-based liposome biosensor with a new droplet-sealing structure. Herein 1,2-dipalmitoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DPPC) liposomes are used as model lipid membrane and are immobilized on the surface of cantilever. The interaction of DPPC liposome with the target protein causes deflection of the micro-cantilever, which can stably be detected by measuring the resistance change of the strain gauge. The resistance change dependent on time is used to evaluate the characteristic of liposome-protein interaction. The resistance of the cantilever-based biosensor increases monotonously with time in both of the two protein solutions. Especially, chronological resistance change depends markedly on both the concentration and species of target proteins. Finally, these results lead us to conclude that the cantilever-based liposome biosensor with the droplet-sealing structure facilitates the characterization of protein-membrane interaction. It also means that this biosensor is a promising candidate device for label-free detection of concentration and species of different target proteins.

    DOI: 10.1002/elan.201500412

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  • 水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化 査読

    坂井 了, 今井 寛明, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   136 ( 8 )   343 - 347   2016年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では液体の物理化学的特性分析のための水晶発振回路を用いた最適化コンボセンサについて報告する。本センサはLFE(Lateral Field Excited)センサとACR(Antiparallel Coupled Resonator)センサを同一基板上に集積化することにより、機械的特性と電気的特性を同時に計測可能である。グルコース水溶液やNaCl水溶液の計測のために発振器の電極径を最適化した。さらに、グルコース水溶液やNaCl水溶液の濃度を最適化したセンサにより計測した。本センサは工業プラントにおける品質管理に用いることが期待される。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.136.343

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  • Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information using MEMS Combo Sensor 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2016 IEEE SENSORS   655 - 657   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    In this paper, we report texture measurement of the fabrics by a multimodal MEMS sensor. This sensor has sensitivity to both multi-axial force vector and light. Therefore, we can evaluate tactile texture by force measurement and visual texture by light measurement. This sensor has a possibility for texture measurement with both visual and tactile information in substitution for the human sensory test. In this work, various fabrics were chosen as the target object and evaluated by sensory test method using 10 test subjects. The dependences of the sensor output on reflection of probe light, reactive force, and frictional force by active approaching and touching of the sensor to the object surface were also evaluated. As a result, it is demonstrated that there is a good correlation between the results of the human sensory test and features of visual and tactile sensor output.

    添付ファイル: Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information using MEMS Combo Sensor 最終版.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2016.7808624

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  • A highly sensitive Amyloid-β detection by cantilever microsensor immobilized with liposome with incorporated cholesterol and phosphatidylcholine lipid with short hydrophobic acyl chains 査読

    Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Ziang Zhang, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2016   211 - 213   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ICSENS.2016.7808468

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  • Contactless Liquid Sensing Technique Using a Quartz Oscillator 査読

    Tsubasa Susa, Takeru Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND MATERIALS   28 ( 4 )   289 - 294   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MYU, SCIENTIFIC PUBLISHING DIVISION  

    In this paper, a contactless sensor for the measurement of liquid concentration using a quartz oscillator is reported. An out-of-plane electric field distribution from a planar sensing capacitor (SC) is used for the noncontact sensor measurement of liquid concentration on a spacer. This sensor measures the changes in the capacitance of the SC by the changes in the frequency of the quartz oscillator. Because the capacitance is dependent on the relative permittivity and conductivity of the liquid sample on the spacer, it is pOssible to measure the concentration of the sample. The response is very stable because, in this sensor, the SC is incorporated into the quartz oscillator. Because the SC is in contact with the liquid sample instead of the quartz crystal resonator, the sensor has a high quality factor (approximately 30000). Moreover, this sensor can be used with a general integrated circuit (IC) and an electronic component at a low cost. The sensor is used for the noncontact measurements of liquid concentration.

    DOI: 10.18494/SAM.2016.1179

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  • MASS SENSITIVITY AMPLIFICATION BY USING GAUSSIAN-SHAPED QUARTZ CRYSTAL RESONATOR 査読

    H. Kutsuwada, S. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

    2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   1022 - 1025   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    This paper reports mass sensitivity amplification in a Gaussian-shaped quartz crystal resonator (Gaussian-shaped QCR). To achieve amplification, a fabrication process for a Gaussian-shaped (not quasi-Gaussian) QCR was developed using photolithographic methods. Sensitivity amplification in the QCR was observed at the central portion. The mass response was three times higher than the theoretical value for gravimetric measurements of thin, uniform films. The optimized height of the shape, evaluated based on the Q factor, is higher than that of the convex shape. This resonator is expected to be applicable to mass measurement of various micro/nanoparticles.

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  • 微量液体に対応した水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読

    柳田 祐太, 須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   136 ( 7 )   319 - 322   2016年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では微小液滴の計測を可能とする水晶発振回路を用いた液体濃度センサについて報告する。微小液滴のセンシングのためにセンシングキャパシタ(SC)の設計を電界が集中するように最適化した。本センサはSCと接続する水晶発振回路の高い安定性から高い感度を持つ。SCはシリコーンゴム中に埋め込まれている。SC電極間に発生する電界はゴム上に空間的に閉じ込められており、ゴムへ液体が接触することにより発振回路の周波数が変化するが、液体の量は変化にあまり影響しない。周波数変化は液体の電気的特性に関係しているので、液体の濃度が本センサにより計測可能である。本センサはファクトリーオートメーションへの応用が期待される。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.136.319

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  • Detection of Amyloid Beta Fibril Growth by Liposome-Immobilized Micro-Cantilever With NiCr Thin-Film Strain Gauge 査読

    Masayuki Sohgawa, Ziyang Zhang, Toshio Akai, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    IEEE SENSORS JOURNAL   15 ( 12 )   7135 - 7141   2015年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC  

    A micro-cantilever with thermally stable strain gauge of a NiCr thin film and a self-assembled monolayer was fabricated by surface micromachining. Liposomes, as biosensing molecules, were immobilized on its surface. To prevent evaporation of the water solvent, a reservoir made of polydimethylsiloxane around the micro-cantilever was fabricated and covered with a glass plate. The resistance of the strain gauge increases with time in the amyloid beta (A beta) solution, because the cantilever is bent downward caused by interaction between A beta and liposomes immobilized on the micro-cantilever surface. Moreover, resistance change depends on the interaction ability of A beta proteins with liposomes. It is therefore indicated that the fabricated static mode micro-cantilever sensor with immobilized liposomes can be used to detect A beta proteins.

    添付ファイル: JSEN2470108.pdf

    DOI: 10.1109/JSEN.2015.2470108

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  • 水晶発振回路を用いた非接触型液体濃度センサ 査読

    須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   135 ( 6 )   210 - 213   2015年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    平面センシングキャパシタ(SC)の測定対象への漏れ電界を用いた非接触液体濃度センサを作製した。このセンサはSCの静電容量変化を水晶振動子の共振周波数変化として計測する。静電容量は液体の比誘電率や導電率に依存するため、濃度の計測が可能である。本手法では水晶振動子が液体に接しないため、Q値が非常に高く、また一般的なICや電子部品を用いて計測回路が構成できるため、低コストである。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.135.210

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  • BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討 査読

    三原 雅人, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   135 ( 5 )   158 - 164   2015年5月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    エラストマに埋め込んだマイクロカンチレバーを用いた圧電型触覚センサを提案し、これまでのピエゾ抵抗を用いた触覚センサに対して消費電力の低減を目指した。基板温度520℃、ガス圧力0.6 Paで高周波スパッタリングにより作製したBiFeO3薄膜(膜厚: 400 nm)は良好な圧電性を持ち、振動により300 mVの出力電圧を得ることができた。これにより、BiFeO3薄膜を用いて触覚センサへの外力印加によるマイクロカンチレバーの変位を検知できることを示した。

    添付ファイル: 05E_02_3.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.135.158

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  • Thermal reactive ion etching technique involving use of self-heated cathode 査読

    S. Yamada, Y. Minami, M. Sohgawa, T. Abe

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   86 ( 4 )   2015年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:AMER INST PHYSICS  

    In this work, the thermal reactive ion etching (TRIE) technique for etching hard-to-etch materials is presented. The TRIE technique employs a self-heated cathode and a thermally insulated aluminum plate is placed on the cathode of a regular reactive ion etching (RIE) system. By optimizing the beam size to support the sample stage, the temperature of the stage can be increased to a desired temperature without a cathode heater. The technique was used to etch a bulk titanium plate. An etch rate of 0.6 mu m/min and an etch selectivity to nickel of 100 were achieved with SF6 plasma. The proposed technique makes a regular RIE system a more powerful etcher without the use of chlorine gas, a cathode heater, and an inductively coupled plasma source. (C) 2015 AIP Publishing LLC.

    DOI: 10.1063/1.4917193

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  • Microheater-integrated quartz crystal microbalance array for thermal desorption spectroscopy 査読

    Jumpei Sakai, Masayuki Sohgawa, Naoyuki Iida, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   135 ( 3 )   112 - 113   2015年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

    In this work, we present a new design involving a microheater-integrated quartz crystal microbalance (QCM) array for thermal desorption spectroscopy. Each QCM consists of two electrodes to excite thickness-shear-mode (TSM) vibrations on the crystal back side and one microheater to increase the temperature on the crystal front side. The resonance frequency was stable when a voltage was applied to the microheater. Carbon microparticles were coated on one of the QCMs for gas adsorption, and its frequency change during the temperature increase was calculated by subtracting the frequency change of an untreated QCM. The proposed QCM array was employed to separate ethanol from methanol. The separation was successful, as confirmed via thermal desorption spectra calculated by differentiating the resonance frequency change with respect to time.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.135.112

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  • NON-CONTACT SENSOR FOR MEASUREMENT OF LIQUID CONCENTRATION BASED ON QUARTZ OSCILLATOR 査読

    T. Susa, T. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

    2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)   1472 - 1475   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    In this paper, a noncontact sensor for the measurement of liquid concentration using a quartz oscillator is reported. An out-of-plane electric field with a planer sensing capacitor (SC) is used for sensing a liquid on a spacer. This sensor measures the changes in the capacitance of the SC as the changes in the frequency of the quartz oscillator. The capacitance is dependent on the relative permittivity and the conductivity of the liquid sample on the spacer. Therefore, it is possible to measure the concentration of the sample. The response is very stable because in this sensor, the SC is incorporated into the quartz oscillator. Because the quartz crystal resonator is not contact with liquid, the proposed sensor has a high quality factor (approximately 30,000). Moreover, this sensor can be used with a general IC and an electronic component, with a low cost. The proposed sensor can be expected to be used for various kinds of liquid sensing applications.

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  • Basic Study for Tactile and Visual Texture Measurement by Multimodal MEMS Sensor with Force and Light Sensitivity 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2015 IEEE SENSORS   699 - 702   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    The tactile and visual texture measurement by multimodal MEMS sensor is reported. This MEMS sensor has two function in a structure: force-sensitivity of resistance of microcantilevers embedded in the elastomer and light-sensitivity of a MOS structure on the Si substrate. Deflection of the cantilever induced by applied force depends on the tactile texture including hardness, thickness, and roughness of the object, and is detected as DC resistance change of the strain gauge film. On the other hand, incident light depends on the visual texture of the object, and is detected as AC impedance change at 5 MHz. It is confirmed that the resistance and impedance changes depend on the physical and optical properties of the object, respectively. Therefore, it has been demonstrated that multimodal texture can be characterized by a single MEMS sensor.

    添付ファイル: PID3845957.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2015.7370352

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  • Characterization of BiFeO3 Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge 査読

    Takeshi Kohno, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2015 IEEE SENSORS   1192 - 1195   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Lead-free BiFeO3 thin films for tactile sensor using microcantilevers have been prepared on Pt and SrRuO3/Pt thin films on a SiO2 /Si substrate by RF sputtering, and the electrical characteristics have been optimized by controlling the substrate temperature, gas pressure, and oxygen partial pressure in deposition process. The BiFeO3 thin film (thickness: 300 nm) deposited on SrRuO3 (thickness: 80 nm) deposited at substrate temperature of 500 degrees C in gas pressure of 0.6 Pa and oxygen partial pressure of 0.24 Pa has good crystallinity, ferroelectricity, and piezoelectric property. Therefore, it is demonstrated that BiFeO3 thin film can be a good sensing material as a detection part of tactile sensor. Furthermore, a cantilever structure with piezoelectric capacitor and strain gauge has been fabricated and different time-dependent outputs from them can be obtained.

    添付ファイル: IEEE-paper-final-sohgawaconverttoPDF.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2015.7370483

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  • Multimodal measurement of proximity and touch force by light- and strain-sensitive multifunctional MEMS sensor 査読

    Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    Proceedings of IEEE Sensors   2014- ( December )   1749 - 1752   2014年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    A multimodal sensor with Si micro-cantilever embedded in PDMS elastomer for measurement of proximity and touch forces has been fabricated and characterized. DC resistance of the strain gauge on the cantilever changes in proportion to the indentation depth of the object. On the other hand, the AC (&gt
    0:5 MHz) impedance including photo-sensitive component of Si increases with increase of distance between the sensor surface and the object because of decrease of light intensity reflected on the object surface. Moreover, the AC impedance is different between grounding and floating of the proximate object because of difference of distribution of electrostatic field between electrodes, so that it is suggested that proximity can be detected as the impedance change by light as well as the electric field.

    添付ファイル: PID3327207.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2014.6985362

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  • Texture measurement and identification of object surface by MEMS tactile sensor 査読

    Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    Proceedings of IEEE Sensors   2014- ( December )   1706 - 1709   2014年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    The surface texture of various materials has been characterized by tactile sensor with a micro-cantilever embedded in the PDMS elastomer. The maximum output (resistance of strain gauge on the cantilever) change of the sensor by indentation of the object on the sensor surface depends on the hardness or thickness of the object. Moreover, output change is asymmetric in a back-and-forth indentation test because of relaxation of deformation. On the other hand, the output increases rapidly at beginning of stepwise sliding of the sensor at the object surface because of static friction, and changes periodically corresponding to stick-slip oscillation or surface roughness after slipping. It is demonstrated that about 30 materials of papers, clothes, leathers, and plastic sheets, have been classified into 5 clusters by the principal component analysis using feature quantities extracted from the sensor outputs.

    添付ファイル: PID3327209.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2014.6985351

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  • Miniature quartz crystal-resonator-based thermogravimetric detector 査読

    N. Sai, Y. Tagawa, M. Sohgawa, T. Abe

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   85 ( 9 )   095001   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:AMER INST PHYSICS  

    In this work, a new design for a microheater combined with a quartz crystal microbalance (QCM) array for thermogravimetric analysis is presented. Each QCM consists of two electrodes to excite thickness-shear-mode vibrations and one microheater to increase the temperature on the crystal backside. In addition, all the electrode pads are patterned on the crystal backside, making the design of the QCM compact and user-friendly. Finally, the proposed QCM array was employed to separate ethanol from methanol. This was successfully achieved via thermal desorption spectra calculated by differentiating the frequency changes. (C) 2014 AIP Publishing LLC.

    添付ファイル: Miniature quartz crystal-resonator-based thermogravimetric detector(著者校正).pdf

    DOI: 10.1063/1.4894385

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  • Bioassay of Proteins in Stable Solution State Using a Novel Cantilever-based Liposome Biosensor 査読

    Z. Zhang, T. Akai, K. Takada, K. Yamashita, M. Noda, M. Sohgawa

    2014 IEEE SENSORS   317 - 320   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    We have developed a micro-cantilever biosensor with embedded NiCr thin film strain gauge. Meanwhile, DPPC liposomes have been selected as sensing biomolecules to be immobilized on the surface of the micro-cantilever. The liposome-protein interaction was detected by measuring the resistance change rate of the strain gauge. In this work, a PDMS-based sealed reservoir structure was newly fabricated and added on the sensor to keep the target solution stable, where a long-time stable detection was achieved. The resistance of the cantilever-based biosensor increased with time in lysozyme or carbonic anhydrase from bovine (CAB) aqueous solution, and the characteristic of chronological resistance change varied with the concentration and kind of the proteins. It is expected that the micro-cantilever sensor with droplet-sealing structure can be used for bioassay of various proteins in future.

    添付ファイル: IEEE SENSORS 2014 PROCEEDINGS.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2014.6984997

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  • Multifunctional Tactile Sensors using MEMS Cantilevers 査読

    Masayuki Sohgawa

    2014 IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE (INEC)   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    A multifunctional tactile sensor which can detect approximation, contact, slipping, and surface texture of the target has been developed. The sensor is composed of multiple MEMS cantilevers fabricated on Si substrate embedded in PDMS, and can detect normal and shear forces. By indenting and sliding the sensor on the object surface, output depending on hardness, friction, and roughness, etc. can be obtained. Moreover, a function for detection of proximity was integrated monolithically through photo-sensitivity of Si substrate.

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  • Active touch sensing by multi-axial force measurement using high-resolution tactile sensor with microcantilevers 査読

    Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   134 ( 3 )   58 - 63   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    A tactile sensing system that measures normal and shear (triaxial) forces has been developed, and its characteristics such as linearity and crosstalk have been evaluated. Triaxial forces are estimated from the resistance changes of NiCr thin film strain gauge attached to three microcantilevers. The output voltage of the Wheatstone bridge that comprises a gauge film and three reference resistances is acquired using an A/D converter after amplification. Triaxial forces are calculated from the output voltages of three microcantilevers by simple matrix multiplication. Nonlinearity and crosstalk are less than 4% when the normal force applied is up to 1N and less than 10% when the shear force applied is up to 0.2N. Active touch sensing was demonstrated using an object having a striped profile measuring 0.1mm in height and 1mm in width. © 2014 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

    添付ファイル: IEEJ_Manuscript_proof.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.58

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  • デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工 査読

    山田 周史, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 4 )   96 - 99   2014年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    デスクトップDRIE装置を用いたチタンの微細加工を行った。チタンのエッチング加工には高速排気特性が重要であり、少量のSF6ガスを用いて0.2 μm/min以上のエッチングレートを達成した。本手法の加工例として、蚊の針を模した微小針を作製し、精度の高い微細加工が可能であることを示した。チタンは優れた機械的特性と耐腐食性を持ち、MEMS材料として期待されており、本手法の3次元形状加工への応用が期待できる。

    添付ファイル: 提出稿・デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.96

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  • 光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測 査読

    横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 7 )   229 - 234   2014年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    単一のMEMSセンサを用いて近接と触覚の情報を検知できる新規手法について提案する。触覚情報はNiCrひずみゲージ薄膜の直流抵抗変化より得られる。一方、近接情報はLED光をプローブとして、そのSiウェハでの光吸収による交流インピーダンス変化により得られる。すなわち、直流と交流の計測を切り替えることで、計測した情報を選択することができる。実験の結果により、0から0.5 mmの押込みでほぼ線形な接触による出力が、0~50 mmの距離で非線形な近接出力が得られた。さらに、本センサの近接計測によりドーナツ形状の概形を計測することが出来た。

    添付ファイル: Sensor-symp_IEEJ_final.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.229

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  • 水晶振動子式メタノール濃度センサに関する数値計算と実証 査読

    渡部 尊, 外山 晋二郎, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 7 )   224 - 228   2014年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    燃料電池への応用を視野においた水晶振動子メタノール濃度センサに関する数値計算と実験的検証を行った。このセンサは水晶振動子(QCR)と櫛形電極キャパシタ(IDC)から構成され、fF以下の微小容量変化を検知可能である。作製したセンサは0.008wt%の分解能でメタノール濃度を計測できる。本研究では、基板の厚みとメタノール濃度の範囲に対し最適なセンサデザインを調べた。本研究により、高分解能な静電容量センサを実現でき、様々な種類の静電容量型センサに応用することが期待できる。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.224

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  • Fabrication and noise reduction of the miniature tactile sensor using through-silicon-via connection with signal amplifier 査読

    Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Teruaki Azuma, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 6 )   06GL08   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    A miniature tactile sensor has been fabricated by connecting stress-sensitive part with an amplifier of integrated circuit through through-silicon-via (TSV) electrically. The sensitive part consists of three warped cantilevers with piezoresistive NiCr thin film which are prepared on a silicon-oninsulator wafer by the surface micromachining technique. The TSV connection can reduce noise of detected change of the piezoresistive output induced by wire between the sensitive part and the amplifier. Fabricated tactile sensor of 5 μ 5mm2 size has linear dependence of the output on both normal and shear forces. The output noise has been successfully decreased by 14 and 34% in the sensor using the TSVs compared with that using wires of 3 and 6mm lengths, respectively. © 2013 The Japan Society of Applied Physics.

    添付ファイル: MN12071.pdf

    DOI: 10.7567/JJAP.52.06GL08

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  • Repetition rate dependence of ferroelectric properties of polycrystalline BiFeO<inf>3</inf> films prepared by pulsed laser deposition method 査読

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Ferroelectrics   453 ( 1 )   1 - 7   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Polycrystalline BiFeO3 (BFO) films on Pt/TiO2/ SiO2/Si substrate have been prepared by a pulsed laser deposition (PLD) method with various repetition rates. The X-ray diffraction (XRD) pattern observes single-phase perovskite structure with a small secondary phase. While the film-thickness is increased with increasing repetition rates, the grain size increases, and the leakage current reduces. Also, good polarization versus electric field (P-E) hysteresis loops of all polycrystalline BFO films were obtained at room temperature (RT). It is seen that the polarization value (Pr) practically remains almost constant for all the BFO films, and the coercive field (Ec) decreases with increasing the film thickness. © 2013 Copyright Taylor and Francis Group, LLC.

    DOI: 10.1080/00150193.2013.842064

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  • 傾斜マイクロカンチレバー型触覚センサによる物体表面質感の計測法に関するレビュー 査読

    寒川 雅之, 渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   133 ( 5 )   147 - 154   2013年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文ではひずみゲージ薄膜とSi傾斜マイクロカンチレバーを用いた触覚センサのアクティブタッチによる物体表面質感の計測方法について述べる。作製した触覚センサは約20μm以上の粗さを検知でき、紙幣の縞模様を検知可能である。また、硬さや摩擦係数、表面粗さといった性質の異なる様々な用紙を触覚センサの出力から識別した。センサを紙に押し付けて動かした時の抵抗変化から、紙の性質に依存した特徴量を定義し、それらを用いた主成分分析により紙を四種類のクラスタに分類できた。

    添付ファイル: 電気学会論文誌投稿(レビュー)-ver13.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.133.147

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  • Multi-axial tactile sensor with micro-cantilever embedded in hemispherical elastomer for surface texture measurement 査読

    K. Watanabe, M. Sohgawa, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma, T. Azuma

    2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   1012 - 1015   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    We have fabricated the multi-axial tactile sensor which has micro-cantilevers with strain gauge film on Si embedded in hemispherical elastomer, and various kinds of papers have been identified by active touch. Transient responses of the resistance change have been obtained when the sensor was pushed and moved on various kinds of blank papers successively. Some features are extracted from the response by a principal component analysis and the papers are classified in several clusters. © 2013 IEEE.

    添付ファイル: 1274.watanabe.jpn.pdf

    DOI: 10.1109/Transducers.2013.6626941

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  • Detection of Interaction between Biological Proteins and Immobilized Liposomes by a Micro-cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge 査読

    Masayuki Sohgawa, Takashi Fujimoto, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    2013 IEEE SENSORS   846 - 849   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    A micro-cantilever with thermally stable strain gauge of a NiCr thin film and a self-assembled monolayer (SAM) was fabricated by surface micromachining and liposomes, as biosensing molecules, were immobilized on its surface. The resistance of the strain gauge increases with time in a biological protein (carbonic anhydrase from bovine: CAB) solution because the cantilever is bent downward by surface adsorption of CAB molecules. On the other hand, the resistance changes differently with the growth of another type protein, amyloid beta (A beta) fibrils. It is therefore demonstrated that the fabricated static mode micro-cantilever sensor can detect the interaction between the liposomes and the biological proteins.

    添付ファイル: PID2894703.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2013.6688340

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  • Force Intensity and Direction Measurement in Real Time Using Miniature Tactile Sensor with Microcantilevers Embedded in PDMS 査読

    Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    2013 IEEE SENSORS   1090 - 1093   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Intensity and direction of normal and shear (3-axial) forces have been measured by using a tactile sensor with NiCr strain gauge film on 3 microcantilevers. Output voltage of the Wheatstone bridge which includes a gauge film is measured as digital signal after amplification. 3-axial forces are calculated from the output voltages of 3 microcantilevers every 100 ms. When normal force is applied from 0 to 1 N, the measurement errors of normal and shear forces are less than 50 mN and 10 mN, respectively. When shear force of 0.1 and 0.2 N is applied, the angle error of evaluated direction is less than 10 degrees.

    添付ファイル: IEEE_Sensors_Proc_yokoyama_final.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2013.6688401

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  • Preparation of epitaxial BiFeO<inf>3</inf> thin films on La-SrTiO<inf>3</inf> substrate by using magnetic-field-assisted pulsed laser deposition 査読

    Jung Min Park, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Seiji Nakashima

    Journal of the Korean Physical Society   62 ( 7 )   1041 - 1045   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Epitaxial BiFeO3 (BFO) thin films have been prepared on La-doped (001) SrTiO3 substrates (La-STO) by using magnetic-field-assisted pulsed laser deposition. X-ray diffraction patterns of the epitaxial BFO thin films prepared under magnetic fields of 0, 0. 1, and 0. 4 T show only (00ℓ) diffraction peaks without secondary phases. From the results of reciprocal space mapping for all epitaxial BFO thin films, (003) reflections show splitting spots, and asymmetric spots of (-103) and (103) reflections exhibit a rhombohedral structure. The microstructure of the epitaxial thin films was modified by the strength of magnetic field, and a columnar structure was shown in the film prepared under a high deposition rate for a magnetic field of 0. 4 T. The polarization versus electric field hysteresis loops were obtained at room temperature (RT) in all the epitaxial films; in particular, the remanent polarization for the epitaxial film prepared under a magnetic field of 0. 1 T was 46 μC/cm2 at RT while the current density was reduced in comparison with those of other epitaxial films. © 2013 The Korean Physical Society.

    DOI: 10.3938/jkps.62.1041

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  • Identification of Various Kinds of Papers Using Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers

    Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2013 WORLD HAPTICS CONFERENCE (WHC)   139 - 144   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Various kinds of papers have been identified by active touch of a multi-axial tactile sensor which has micro-cantilevers with strain gauge film on Si. When fine surface of the standard surface roughness scale and the printed stripe pattern on a banknote have been scanned by the tactile sensor, it allows to measure such fine roughness as a resistance change of the gauge film, and the triangular unevenness could be obtained down to 20 mu m. Transient responses of the resistance change have been obtained when the sensor was pushed and moved on various kinds of blank papers successively. Some features are extracted from the response by a principal component analysis and the papers are classified in four clusters.

    添付ファイル: Technical paper.Watanabe(Osaka.Univ.,Jpn).pdf

    DOI: 10.1109/WHC.2013.6548398

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  • Design and evaluation of microheater combined QCM array for thermal desorption spectroscopy 査読

    J. Sakai, N. Iida, M. Sohgawa, T. Abe

    2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   234 - 237   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    In this paper, we propose a single microheater combined quartz crystal microbalance array for thermal desorption spectroscopy. The each QCM has two electrodes for exciting thickness shear mode (TSM) vibrations on one side of the crystal and a double-spiral-shape heater on the other side. The resonance frequency is stable when a voltage was applied on the microheater. Carbon microparticles for gas adsorption were coated on one of the QCMs and the frequency change during temperature increase was extracted by subtracting the change of the other QCM. The proposed QCM array can monitor small mass changes at sub-ng level as a function of temperature. © 2013 IEEE.

    DOI: 10.1109/Transducers.2013.6626745

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  • Tactile sensor array using microcantilever with nickel–chromium alloy thin film of low temperature coefficient of resistance and its application to slippage detection 査読

    Masayuki Sohgawa, Daiki Hirashima, Yusuke Moriguchi, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Sensors and Actuators A: Physical   186   32 - 37   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    低雑音NiCr薄膜ひずみゲージとマイクロカンチレバー構造を用いた触覚センサを作製した。Cr含有率が75wt%のNiCr薄膜は極小の抵抗温度係数を持ち、これを用いて作製した触覚センサは垂直圧力と剪断力双方に線形な出力を示し、従来のものと比べ小さい雑音と温度ドリフトを実現した。これにより各軸の力を3~3.5kPaの誤差で計測でき、さらにロボットハンドの把持状態を滑り状態を含め高確率で識別できた。

    添付ファイル: sohgawa-rev-111201.pdf

    DOI: 10.1016/j.sna.2011.12.055

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  • Ferroelectric and Piezoelectric Properties of Polycrystalline BiFeO3 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 査読

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9S2 )   09MD05   2012年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    磁場印加レーザアブレーション法を用いてPt/TiO2/SiO2/Si基板上に成膜したBiFeO3薄膜は単相ペロブスカイト構造を持ち、XRDパターンのピーク角度は磁場無で成膜した場合に比べると低角側にシフトしていた。また、円柱状で小さいグレインサイズの多結晶構造が得られ、この形状により、残留分極が50μC/cm2、圧電d33定数が100pm/Vと強誘電性や圧電性に影響が現れることがわかった。

    DOI: 10.1143/JJAP.51.09MD05

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  • Ferroelectric and piezoelectric properties of polycrystalline BiFeO<inf>3</inf>thin films prepared by pulsed laser deposition under magnetic field 査読

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9 PART3 )   2012年9月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Polycrystalline BiFeO3(BFO) thin films have been prepared on Pt/TiO2/SiO2/Si substrates by using a pulsed laser deposition (PLD) method under a magnetic field. The X-ray diffraction (XRD) pattern shows a single-phase perovskite structure with no secondary phases, and (010) and (020) peaks slightly shift to lower angles in comparison with those of a BFO thin film prepared without a magnetic field. A columnar structure and small grain size were observed and the leakage current is slightly high in comparison with that of a BFO thin film prepared without a magnetic field. A polarization versus electric field (P-E) hysteresis loop was obtained at RT and the polarization at zero electric field is 50 μC/cm2. Ferroelectric domain switching corresponding to up and down polarization states was confirmed. An enhanced piezoelectric coefficient (d33) of about 100 pm/V has been obtained at a certain point. Ferroelectric and piezoelectric properties were affected by a columnar microstructure formed by magnetic field application. © 2012 The Japan Society of Applied Physics.

    DOI: 10.1143/JJAP.51.09MD05

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  • 球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ

    寒川 雅之, 植松 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   ( 8 )   1 - 6   2012年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    添付ファイル: 球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ.pdf

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  • Heterogeneous Integration of LSI Amplifier and the Tactile Sensor Using Stacking and through-Si-via Techniques 査読

    Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Material Research Society Symposium Proceedings   1427   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    チップ積層により配線長を短くし、出力電圧の雑音を低減するため、触覚センサとIC増幅回路を集積化した。Auワイヤを用いた集積化により雑音を27.6mVから3.3mVに低減できた。これによりデバイスサイズ及び配線を削減し更なる高密度実装を可能とした。さらに、裏面へのIC増幅回路実装を可能とするためSi貫通電極を試作し、犠牲層エッチングプロセスとの整合性においてSi3N4を壁面絶縁層として用いることが有効であった。

    添付ファイル: proceedings-sohgawa-rev-120530.pdf

    DOI: 10.1557/opl.2012.1182

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  • Heterogeneous integration of LSI amplifier and the tactile sensor using stacking and through-Si-via techniques 査読

    Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Materials Research Society Symposium Proceedings   1427   14 - 19   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    We have developed the tactile sensor using the microcantilevers with strain gauge film which can detect normal and shear forces simultaneously. In this work, the tactile sensor and the IC amplifier have been integrated heterogeneously to shorten the wire length by chip-on-chip stacking and reduce the noise in the output voltage. Standard deviation of the noise can be reduced from 27.6 mV to 3.3 mV by heterogeneous integration of the tactile sensor and the IC amplifier using Au wire bonding. By this heterogeneous integration, the device size and wiring numbers can be reduced, and installation of more sensors is allowed on fingertips of the robot. Moreover, through-silicon-via (TSV) holes were fabricated to mount an IC amplifier on the backside of the sensor chip, instead of using Au wires. Although TSV can be fabricated successfully, resistance to sacrificial etching process is problem. As a result, Si 3N4 used instead of SiO2 has improved insulation between TSVs. © 2012 Materials Research Society.

    DOI: 10.1557/opl.2012.1182

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  • Miniature ultrasonic and tactile sensors for dexterous robot

    Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Haruo Noma

    Transactions on Electrical and Electronic Materials   13 ( 5 )   215 - 220   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers  

    Miniature ultrasonic and tactile sensors on Si substrate have been proposed, fabricated and characterized to detect objects for a dexterous robot. The ultrasonic sensor consists of piezoelectric PZT thin film on a Pt/Ti/SiO&lt
    inf&gt
    2&lt
    /inf&gt
    and/or Si diaphragm fabricated using a micromachining technique
    the ultrasonic sensor detects the piezoelectric voltage as an ultrasonic wave. The sensitivity has been enhanced by improving the device structure, and the resonant frequency in the array sensor has been equalized. Position detection has been carried out by using a sensor array with high sensitivity and uniform resonant frequency. The tactile sensor consists of four or three warped cantilevers which have NiCr or Si:B piezoresistive layer for stress detection. Normal and shear stresses can be estimated by calculation using resistance changes of the piezoresitive layers on the cantilevers. Gripping state has been identified by using the tactile sensor which is installed on finger of a robot hand, and friction of objects has been measured by slipping the sensor. © 2012 KIEEME.

    DOI: 10.4313/TEEM.2012.13.5.215

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  • Preparation of BiFe

    Park Jung Min, Gotoda Fumiya, Nakashima Seiji, Sohgawa Masayuki, Kanashima Takeshi, Okuyama Masanori

    Jpn J Appl Phys   50 ( 9 )   09NB03 - 09NB03-5   2011年9月

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    記述言語:英語   出版者・発行元:Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics  

    BiFe<sub>0.9</sub>Co<sub>0.1</sub>O<sub>3</sub>(BFCO) films have been prepared on Pt/TiO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>/Si substrates with a magnetic field of 0.4 T by pulsed laser deposition. BFCO films prepared under magnetic field show a single-phase perovskite structure with a little secondary phase, and their (010) and (020) peaks shift to lower angles than those of the film prepared without magnetic field. The BFCO film of about 1 μm thickness shows a columnar structure, although the BFCO film of about 350 nm prepared without magnetic field shows a grain like structure. The leakage current density of the BFCO film prepared under magnetic field is much lower than that of the BFCO film prepared without magnetic field. The saturated $P$--$E$ hysteresis loops of both BFCO films are obtained at 80 K, and the $M$--$H$ hysteresis loops of both BFCO films show a weak ferromagnetism behavior at room temperature.

    DOI: 10.1143/JJAP.50.09NB03

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  • Preparation of BiFe0.9Co0.1O3 Films by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 査読

    Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9S2 )   09NB03   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    0.4Tの磁場中でのレーザアブレーションによりBiFe0.9Co0.1O3(BFCO)薄膜をPt/TiO2/SiO2/Si基板上に成膜した。磁場無し成膜では350nm厚でグレイン状の形状を示すが、一方磁場中で成膜したBFCO膜は1μm厚で円柱状の結晶構造を示した。BFCO膜の漏れ電流密度は磁場無しの方が小さかった。どちらの場合でも80Kで飽和した分極ヒステリシスが得られ、また室温で弱い強磁性を示した。

    DOI: 10.1143/JJAP.50.09NB03

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  • Preparation of BiFe<inf>0.9</inf>Co<inf>0.1</inf>O<inf>3</inf> films by pulsed laser deposition under magnetic field 査読

    Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9 PART 3 )   2011年9月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    BiFe0.9Co0.1O3 (BFCO) films have been prepared on Pt/TiO2/SiO2/Si substrates with a magnetic field of 0.4 T by pulsed laser deposition. BFCO films prepared under magnetic field show a single-phase perovskite structure with a little secondary phase, and their (010) and (020) peaks shift to lower angles than those of the film prepared without magnetic field. The BFCO film of about 1 μm thickness shows a columnar structure, although the BFCO film of about 350nm prepared without magnetic field shows a grain like structure. The leakage current density of the BFCO film prepared under magnetic field is much lower than that of the BFCO film prepared without magnetic field. The saturated P-E hysteresis loops of both BFCO films are obtained at 80 K, and the M-H hysteresis loops of both BFCO films show a weak ferromagnetism behavior at room temperature. © 2011 The Japan Society of Applied Physics.

    DOI: 10.1143/JJAP.50.09NB03

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  • NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化

    守口 祐介, 平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2011 ( 19 )   15 - 19   2011年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    カンチレバー構造を作製することにより、熱膨張差で起きる熱変形により歪みが変化し、見かけ上の抵抗温度係数になる。エラストマに埋め込むことで低減できるが、エラストマ自体も熱膨張を起こすのでそれによる影響もあり、見かけの抵抗温度係数をゼロにするのは難く、熱膨張の少ないエラストマ材料を用いる必要がある。NiCr組成を最適化したターゲットを用いスパッタリング製膜することで、安定して抵抗温度係数を低減できるようになった。

    添付ファイル: NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化 提出用.pdf

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  • Fabrication of a Flexible Array for Tactile Sensors with Microcantilevers and the Measurement of the Distribution of Normal and Shear Forces 査読

    Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 6 )   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    A Tactile sensor system consisting of elements with three microcantilevers embedded in a cylindrical elastomer has been fabricated by micro electromechanical systems (MEMS) technology. These sensor small size (3 x 4 mm(2)) chips are mounted on a flexible sheet, and thus the fabricated sensor array can be set even on a curved surface. In addition, the spacial distribution of normal and shear forces is obtained when two kinds of objects (an acrylic hemisphere and a brass cylinder) come in contact with the fabricated sensor shifted laterally. The distribution results appropriately reflect the surface shape of the object and give the behavior of the forces vector. (c) 2011 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM02

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  • Fabrication of a flexible array for Tactile sensors with microcantilevers and the measurement of the distribution of normal and shear forces 査読

    Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 6 )   06GM02   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    A Tactile sensor system consisting of elements with three microcantilevers embedded in a cylindrical elastomer has been fabricated by micro electromechanical systems (MEMS) technology. These sensor small size (3 × 4mm2) chips are mounted on a flexible sheet, and thus the fabricated sensor array can be set even on a curved surface. In addition, the spacial distribution of normal and shear forces is obtained when two kinds of objects (an acrylic hemisphere and a brass cylinder) come in contact with the fabricated sensor shifted laterally. The distribution results appropriately reflect the surface shape of the object and give the behavior of the forces vector. © 2011 The Japan Society of Applied Physics.

    添付ファイル: MN10112.pdf

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM02

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  • Crosstalk Reduction of Tactile Sensor Array with Projected Cylindrical Elastomer over Sensing Element 査読

    Masayuki Sohgawa, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 6 )   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    A tactile sensor array covered by a projected cylindrical elastomer has been designed and fabricated for crosstalk reduction among sensor elements caused by the lateral deformation of the elastomer. The analysis of elastomer deformation by the finite element method showed that the optimal thickness of the flat elastomer between cylinders and the substrate is 50-100 mu m, because the sensor structure has not only a low crosstalk but also a high robustness. A tactile sensor array having the flat elastomer of 70 mu m thickness has little crosstalk and high robustness. (c) 2011 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM08

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  • Crosstalk reduction of tactile sensor array with projected cylindrical elastomer over sensing element 査読

    Masayuki Sohgawa, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 6 )   06GM08   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    A tactile sensor array covered by a projected cylindrical elastomer has been designed and fabricated for crosstalk reduction among sensor elements caused by the lateral deformation of the elastomer. The analysis of elastomer deformation by the finite element method showed that the optimal thickness of the flat elastomer between cylinders and the substrate is 50-100μm, because the sensor structure has not only a low crosstalk but also a high robustness. A tactile sensor array having the flat elastomer of 70 μm thickness has little crosstalk and high robustness. © 2011 The Japan Society of Applied Physics.

    添付ファイル: MN10032.pdf

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM08

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  • マイクロカンチレバー型触覚センサアレイによる把持状態の識別手法 査読

    水戸 和, 美馬 達也, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    計測自動制御学会論文集   47 ( 1 )   40 - 42   2011年1月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:計測自動制御学会  

    垂直力と剪断力双方を検知できる、エラストマに埋め込まれた傾斜マイクロカンチレバー3つを用いた触覚アレイセンサを設計・作製した。このセンサの出力を用い、把持状態の識別が可能であることを確認した。ロボットハンドが対象物体に対し「非接触」、「加圧しつつ把持」、「一定の力で把持」、「滑り」という4種類の状態を2つのセンサ素子の出力を用いて精度良く識別できることを示した。

    DOI: 10.9746/sicetr.47.40

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    その他リンク: http://ci.nii.ac.jp/naid/10027787570

  • Fabrication of tactile sensor array using microcantilever with low-TCR nickel-chromium alloy thin film for slippage detection

    M. Sohgawa, D. Hirashima, Y. Moriguchi, T. Uematsu, W. Mito, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma

    EUROSENSORS XXV   25   627 - 630   2011年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV  

    A tactile sensor has been fabricated using NiCr-thin-film strain gauge with low noise by surface micromachining and slippage has been detected by using the tactile sensor. NiCr alloy thin film of Cr: 75wt% has very low temperature coefficient of resistance (TCR) and is employed for suppressing the temperature noise and drift. The fabricated tactile sensor with NiCr thin film (Cr: 75wt%) has linear dependences of the resistance on normal and shear forces, and shows lower noise and temperature drift than that with conventional NiCr (Cr:20wt%). Normal and shear forces measured by fabricated sensor well coincide with applied forces with errors of 3-3.5 kPa. Moreover, detection of slippage between the robotic hand and an acrylic object was detected by using fabricated tactile sensor array, and slipping condition can be judged at the rate of 76.5%. (C) 2011 Published by Elsevier Ltd.

    DOI: 10.1016/j.proeng.2011.12.156

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  • Ferroelectric properties of Bi1.1Fe1-xCo xO3 thin films prepared by chemical solution deposition using iterative rapid thermal annealing in N2 and O2 査読

    Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 9 )   09MB05   2010年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Ferroelectric Bi1:1Fe1-xCoxO3 (BFCO) thin films with x = 0-0:3 have been prepared on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by chemical solution deposition (CSD) using iterative rapid thermal annealing (RTA) in nitrogen and oxygen. The crystallization of the rhombohedral structure of BiFeO3 (BFO) is observed clearly in all thin films, and a monoclinic Bi2O3 phase is also observed and is markedly larger in Co-doped BFO thin films than in BFO thin films. An electric field of 2MV/cm is applied to the Bi1.1Fe0.9Co0.1O 3 thin film annealed in nitrogen at 520 °C without dielectric breakdown, but its polarization versus electric field (P-E) hysteresis loops are not saturated owing to its high leakage current density. The Bi1.1 Fe0.8Co0.2O3 thin film prepared at 520 °C in oxygen shows a very good saturation of P-E hysteresis loops at room temperature (RT) at the low leakage current of about 8:7 × 10 -3A/cm2 under a high electric field of 1.5MV/cm. The leakage current at a low electric field may be Ohmic emission at any temperature
    however at a high electric field, it may be attributed to tunnel emission at 80 K and Schottky emission at RT. © 2010 The Japan Society of Applied Physics.

    DOI: 10.1143/JJAP.49.09MB05

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  • 触覚センサアレイを用いたHMMによる把持面状態の識別手法(感性情報処理とマルチメディア技術および一般)

    水戸 和, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    映像情報メディア学会技術報告   34 ( 18 )   39 - 42   2010年5月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人映像情報メディア学会  

    我々は,3つのマイクロカンチレバーをエラストマに埋め込んだ構造からなる超小型触覚センサの開発をしてきた.このセンサは圧力とせん断力を同時計測可能で高密度集積が可能であるという特徴を持つ.本稿ではこのセンサを用いたセンサアレイと隠れマルコフモデル(HMM)を用いた機械学習とを組み合わせ,ロボットハンドによる物体の把持状態識別手法として提案している.そして,実験の結果,従来用いられてきた単一のセンサによる識別手法に比較し,センサアレイを用いることにより一定の識別精度向上が実現された.

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  • Ferroelectric Properties of Bi1.1Fe1-xCoxO3 Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition Using Iterative Rapid Thermal Annealing in N-2 and O-2 査読

    Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 9 )   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    Ferroelectric Bi1.1Fe1-xCoxO3 (BFCO) thin films with x = 0-0.3 have been prepared on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by chemical solution deposition (CSD) using iterative rapid thermal annealing (RTA) in nitrogen and oxygen. The crystallization of the rhombohedral structure of BiFeO3 (BFO) is observed clearly in all thin films, and a monoclinic Bi2O3 phase is also observed and is markedly larger in Co-doped BFO thin films than in BFO thin films. An electric field of 2 MV/cm is applied to the Bi1.1Fe0.9Co0.1O3 thin film annealed in nitrogen at 520 degrees C without dielectric breakdown, but its polarization versus electric field (P-E) hysteresis loops are not saturated owing to its high leakage current density. The Bi1.1Fe0.8Co0.2O3 thin film prepared at 520 degrees C in oxygen shows a very good saturation of P-E hysteresis loops at room temperature (RT) at the low leakage current of about 8.7 x 10(-3) A/cm(2) under a high electric field of 1.5 MV/cm. The leakage current at a low electric field may be Ohmic emission at any temperature; however at a high electric field, it may be attributed to tunnel emission at 80 K and Schottky emission at RT. (C) 2010 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 10.1143/JJAP.49.09MB05

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  • 3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性 査読

    橘 弘人, 釜鳴 志朗, 美馬 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生, 樋口 誠良

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   130 ( 6 )   223 - 229   2010年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    これまで1素子に4つのカンチレバーを用いていたのを3つに減らした触覚センサを設計・作製した。傾斜カンチレバーはポリマー/NiCr/SiN/Siの積層構造を持ち、垂直力と剪断力はカンチレバーの変形によるNiCr薄膜の抵抗変化として検出する。作製した触覚センサは垂直力と剪断力双方に対して線形な抵抗変化を示した。さらに、3つのカンチレバーの抵抗変化から印加した垂直力と剪断力2軸の計3軸の力を求めることを可能とした。

    添付ファイル: E部門誌投稿論文rev100217.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.130.223

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  • MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製

    寒川 雅之, 金島 岳, 山下 馨, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   109 ( 157 )   41 - 46   2009年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    エラストマー内に埋め込まれたマイクロカンチレバー構造を用いた圧力と剪断力を同時に計測できる多軸触覚アレイセンサの設計・作製を行った.Cr/Si二層構造を用いることで,圧力・剪断力双方で変形する傾斜形状のカンチレバーを作製できた.傾斜カンチレバー構造はエラストマー内に破損や変形なしに埋め込むことができ,表面の柔らかい触覚センサを実現できた.対向したカンチレバーの垂直圧力印加に対する出力は同符号となり,一方剪断力印加に対しては異符号となったので,出力の和・差分を取ることで圧力・剪断力を分離して計測可能であることを示した.また,剪断力の方向については,印加した方向のカンチレバーの出力電圧は大きく,それと垂直な方向のカンチレバーは小さかったため,これらの出力から剪断力の方向を検知することができると考えられる.

    添付ファイル: tecrep-sohgawa-rev.pdf

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  • 集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

    橘 弘人, 釜鳴 志郎, 松浦 宏俊, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2009 ( 16 )   97 - 102   2009年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    触覚センサの出力安定性はスパッタリングで成膜したNiCrを用いることで大きく改善できたが、さらなる安定化を目指してNiCrの組成比をコントロールすることで抵抗温度係数の低減を試みた。NiとCrのターゲットの面積比を変えることで様々な組成の薄膜を作製し、温度特性や結晶性等を調べた結果、Crの量が40~60%のときに温度係数が小さくなることが分かった。

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  • Stability improvement of tactile sensor of normal and shear stresses using Ni-Cr thin film gauge 査読

    Hiroyuki Onishi, Masayuki Sohgawa, Hiroto Tachibana, Yu Ming Huang, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Haruo Noma

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   129 ( 11 )   7 - 416   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Tactile sensor consisted of micro-cantilevers has been developed to detect both normal and shear stresses, and have human-friendly surface. NiCr thin film is used as strain gauge having low resistance drift, although Si piezo-resistance gauge shows the large resistance drift induced by large temperature coefficient of resistance (TCR) and its output is unstable. TCRs of NiCr films prepared by vacuum evaporation and sputtering (at RT and 600°C) are 0.054%, 0.082%, and 0.0065%, respectively, and are much lower than that of Si, 0.25%. As a result, reduction of resistance drift and stabilization of the sensor have been obtained by using NiCr thin gauge. © 2009 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

    添付ファイル: 2008_main_page.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.129.411

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  • Tactile array sensor with inclined chromium/silicon piezoresistive cantilevers embedded in elastomer

    M. Sohgawa, T. Mima, H. Onishi, T. Kanashima, M. Okuyama, K. Yamashita, M. Noda, M. Higuchi, H. Noma

    TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   284 - 287   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Tactile array sensor of the micro-cantilevers embedded in the elastomer has been fabricated to detect normal and 2-axes shear stresses. It is demonstrated that tactile array sensor with 3 x 3 detective elements can be fabricated with excellent yield. The sensor element is sensitive to both normal and shear stresses applied on entire sensor surface. Moreover, it has good directional characteristics so that it is shown that magnitude and direction of shear stress can be obtained by difference of output voltages of adjacent sensor cantilevers. The sensor output has good reproducibility for multiple measurement. The output from sensor element drastically changes with shifting applying position of force. It is considered that we can obtain pressed position from distribution of output from sensor element array. ©2009 IEEE.

    添付ファイル: PID857986.pdf

    DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285509

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  • NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化

    黄 裕銘, 寒川 雅之, 大西 浩之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2008 ( 7 )   31 - 34   2008年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    これまでポリマー/Siカンチレバー型触覚センサの検知部としてはPtひずみゲージを用いていたが、抵抗の温度依存性が大きく出力に大きなドリフトが表れていた。そこで温度係数の小さいNiCr薄膜を用いて温度特性を改善し高分解能化を試みた。真空蒸着により作製したNiCrひずみゲージはバルク材料に比べれば大きいものの、Ptに比較すれば温度係数を1/3に低減できた。

    添付ファイル: PHS-08-13.pdf

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  • Fabrication and normal/shear stress responses of tactile sensors of polymer/Si cantilevers embedded in PDMS and urethane gel elastomers 査読

    Yu Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Minoru Noda, Haruo Noma

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   128 ( 5 )   193 - 197   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Cantilever-type tactile sensors of silicon-polymer beam structures were fabricated by surface micromachining and covering with elastomers. Two kinds of elastomers with different Young's modulus PDMS and urethane gel have been used to control deflection of the cantilevers and adjust the sensitivity cantilever-type tactile sensors. The resistance change of the sensor with PDMS has linear dependence on normal and shear stresses, but that of the sensor with urethane gel is nonliner to normal and shear stresses. However, the sensitivity of urethane gel type sensor is about 30 times larger than PDMS type sensor. © 2008 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

    添付ファイル: IEEJ E paper temp2.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.128.193

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  • Fabrication and characterization of normal and shear stresses sensitive tactile sensors by using inclined mcro-cantilevers covered with elastomer 査読

    Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

    MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES   1052   151 - +   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:MATERIALS RESEARCH SOC  

    Tactile sensors of Si microcantilevers with a piezoresistive layer have been proposed for detection of both normal and shear stresses. Micro-cantilevers were fabricated by the surface micromachining of SOI wafers and were adequately inclined by controlling deflection with a Cr layer. The cantilevers were embedded in the PDMS elastomer to create a human-friendly surface. When a stress is applied to the surface of elastomer, the deformation of the cantilevers along with the elastomer is detected as a resistance change in the piezoresistive layer of the cantilevers. The piezoresistive response of the cantilever was analyzed by FEM calculations. The fabricated tactile sensor is sensitive to both normal and longitudinal shear stresses and its responses agree closely with the calculated value. Moreover, it has little sensitivity to shear stress in the transverse direction to the cantilever, which means that the tactile sensor can. distinguish the direction of shear stress. This sensor can be utilized for tactile sensing in human support robots.

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  • Fabrication and Characterization of Normal and Shear Stresses Sensitive Tactile Sensors by Using Inclined Micro-cantilevers Covered with Elastomer 査読

    Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

    Material Research Society Symposium Proceedings   1052   151 - 156   2007年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    垂直力・剪断力双方を検知するためのピエゾ抵抗層を形成したSiマイクロカンチレバーを用いた触覚センサを提案した。カンチレバーは表面マイクロマシニングで作製し、Cr層により適度な傾斜形状に制御した。外力がカンチレバーを埋め込んだエラストマ表面に印加された時、それに伴うカンチレバーの変形をピエゾ抵抗変化として検知する。作製した触覚センサは有限要素法による解析結果と同様、垂直力と剪断力双方に対し感度を持つ。

    添付ファイル: rad93B69.pdf

    DOI: 10.1557/PROC-1052-DD04-07

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  • 適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価

    寒川 雅之, 黄 裕銘, 金島 岳, 山下 馨, 奥山 雅則, 野田 実, 池田 正哲, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2007 ( 14 )   47 - 50   2007年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    ロボット用多軸触覚センサを試作し評価した。有限要素法による解析に基づき、力検知用のSiピエゾ抵抗を設けたCr/Siカンチレバー構造を最適な傾斜形状に作製し、これをエラストマ中に埋め込むことでセンサ素子を完成した。作製したセンサ表面に垂直力と剪断力を印加したところ、どちらに対しても感度が得られ、多軸触覚センサが実現可能であることを示した。

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  • Fabrication and characterization of silicon-polymer beam structures for cantilever-type tactile sensors

    M. Sohgawa, Y. -M. Huang, K. Yamashita, T. Kanashima, M. Noda, M. Okuyama, H. Noma

    TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2   1461 - 1464   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Silicon-fluoropolymer beam structures for cantilever-type tactile sensors have been fabricated and characterized. Curvature shape and tip height of fabricated cantilever agree well with theoretical calculated results. The deposition condition of polymer layer has been optimized in terms of process yield and tip height. The optimal thickness and curing temperature are 4-5 mu m and 200 degrees C for 1.5 mu m thick Si, respectively. The response of the tactile sensor with PDMS elastomer has been investigated against pressure. Although resistance of the platinum strain gauge has large temperature drift, it is obviously proportional to pressure, so that it becomes evident that the pressure can be detected by tactile sensor embedded in the elastomer.

    添付ファイル: PID370781.pdf

    DOI: 10.1109/SENSOR.2007.4300420

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  • Studies on curvature deformation control of bilayer cantilever fabricated by surface micromachining of SOI wafer 査読

    Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    HETEROGENEOUS INTEGRATION OF MATERIALS FOR PASSIVE COMPONENTS AND SMART SYSTEMS   969   119 - +   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:MATERIALS RESEARCH SOC  

    Cr/Si bilayer cantilevers for an integrated multi-axis tactile sensor were fabricated by Si surface micromachining process. Among the cantilevers with various shapes, the rectangular and semicircular cantilevers were deflected upward with good controllability. The maximum deflections were compared with those calculated by the finite element method. Calculated deflections of Cr/Si cantilevers agree considerably with the experimental results. So, it is considered that the analysis by finite element method is useful to optimize layer thickness and size to obtain Cr/Si bilayer cantilevers with accurate deflection.

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  • Studies on Curvature Deformation Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining of SOI Wafer 査読

    Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Material Research Society Symposium Proceedings   969   0969-W05-01   2006年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    集積化多軸触覚センサ用Cr/Si積層カンチレバーを表面マイクロマシニングプロセスで作製した。様々な平面形状の中から矩形および半円形のものが制御性良く上反り立体形状を形成できた。カンチレバーの最大高さは有限要素法による解析結果とよく一致した。この結果より、有限要素解析はCr/Si積層カンチレバーの精密な立体形状を得るための各層の厚みやサイズを最適化するのに有効であると分かった。

    添付ファイル: MRSprocpublished.pdf

    DOI: 10.1557/PROC-0969-W05-01

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  • Contactless characterization of fixed charges in HfO(2) thin film from photorellectance 査読

    M Sohgawa, M Yoshida, T Naoyama, T Tada, K Ikeda, T Kanashima, A Fujimoto, M Okuyama

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 4B )   2409 - 2414   2005年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    Fixed oxide charges in HfO(2) thin films have been characterized by photoreflectance spectroscopy (PRS). HfO(2) films were deposited on Si by pulsed laser deposition (PLD) in N(2), O(2) and a Mixture of these gases. PRS spectral intensity decreases with increasing positive charge in a film. HfO(2) deposited in N(2) has larger positive charges than that deposited in O(2) because of smaller PRS spectral intensity of the former. It is confirmed by ArF laser irradiation that this positive charge is caused by oxygen defects in HfO(2). Moreover, the effects of rapid thermal annealing (RTA) on HfO(2)/Si have been evaluated by PRS. The PRS spectral intensity becomes maximum by RTA at 600 degrees C in N(2) or O(2) It is suggested that the suitable temperature for the RTA of the HfO(2)/Si structure prepared by PLD is 600 degrees C.

    添付ファイル: paper-engrev.pdf

    DOI: 10.1143/JJAP.44.2409

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  • フォトレフレクタンス分光法による誘電体-シリコン構造の評価に関する研究

    寒川 雅之

    2005年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:学位論文(その他)  

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  • Electrodeless characterization of memorized states of MFIS structure by photoreflectance spectroscopy 査読

    M Sohgawa, M Yoshida, T Kanashima, M Okuyama

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   46 ( 1 )   262 - 264   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:KOREAN PHYSICAL SOC  

    SrBi2Ta2O9 (SBT)/SiO2/Si structures have been characterized by photoreflectance spectroscopy (PRS) without electrode formation. SBT film was deposited on SiO2/n-Si by the metal-organic decomposition (MOD) method and annealed in O-2 atmosphere at 600degreesC. The voltage was applied by attaching ITO transparent electrodes during PRS measurement. The PRS spectral intensity of SBT/SiO2/Si structure has hysteresis characteristics as well as a C-V curve. Additionally, the spectral intensity gradually decreases with time, in a similar way to reduction of the capacitance. These results mean that the spectral intensity indicates the ferroelectricity of SBT film in SBT/SiO2/Si structure, so that it is considered that characterization of MFIS structure without electrode can be measured by PRS.

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  • Electrodeless Characterization of Memorized States of MFIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 査読

    Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    Journal of Korean Physical Society   46 ( 1 )   262 - 264   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    SrBi2Ta2O9(SBT)/SiO2/n-Si積層構造をphotoreflectance分光法(PRS)により電極形成なしに評価した。試料にITO電極を接触し電圧を印加しつつPRSを測定した。スペクトル強度は静電容量特性と同様のヒステリシス特性を持つ。さらに強度は静電容量の減少に伴い時間とともに減少した。この結果は積層構造中の強誘電性をPRSにより電極形成せず測定できることを示している。

    添付ファイル: KJC-FE5_proc_sohgawa_rev.pdf

    DOI: 10.3938/jkps.46.262

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  • Electron Spin Resonance Characterization of Defects in High-k HfO2 Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition 査読

    Takeshi Kanashima, Koji Ikeda, Taizo Tada, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

    Journal of Korean Physical Society   46 ( 1 )   258 - 261   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    レーザアブレーション法によりO2雰囲気中、400℃でHfO2薄膜を成膜し、ESRにより膜中の欠陥を評価した。g~2.006のピーク強度はターゲット-試料間の距離が近いほうが大きかった。これは基板や薄膜が成膜中に高エネルギーの粒子にさらされ、ダメージを受けたためである。さらにこのピークは界面準位密度にも関連している。一方、g~2.003のピークは界面層中の欠陥に起因するものと考えられる。

    DOI: 10.3938/jkps.46.258

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  • Electron spin resonance characterization of defects in high-k HfO2 thin film prepared by pulsed laser deposition 査読

    T Kanashima, K Ikeda, T Tada, M Sohgawa, M Okuyama

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   46 ( 1 )   258 - 261   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:KOREAN PHYSICAL SOC  

    High-k HfO2 thin films have been prepared mainly at 400degreesC in O-2 atmosphere by pulsed laser deposition (PLD), and defects in the film have been characterized by electron spin resonance (ESR). Two ESR peaks are found at 9 similar or equal to 2.003 and 2.006. The g similar or equal to 2.006 peak intensity is higher in the sample deposited at target-sample distance of 45 mm than in that deposited at 60 mm. This is because part of the substrate and the film are exposed to high-energy particles ablated during deposition and are hence damaged. Moreover, the peak at g similar or equal to 2.006 is related to the interface state density calculated from the high-frequency C - V curve. On the other hand, the peak at g similar or equal to 2.003 is related to the thickness of the interfacial layer, and thus may be attributed to defects in the interfacial layer.

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  • PRSによるHigh-kゲート絶縁膜中の固定電荷の評価

    寒川 雅之, 金島 岳, 吉田 真人, 多田 泰三, 奥山 雅則, 藤本 晶

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 510 )   25 - 30   2004年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    High-kゲート絶縁膜としてが注目されているHfO_2膜の非接触測定フォトレフレクタンス(PRS)スペクトル強度を膜中電荷に対応づけ,種々の評価と比較検討された.フォトレフレクタンススペクトル強度はSi表面電界に比例するため,膜中に正の電荷が存在すると強度が減少することから膜中の電荷を評価することができる.使用したHfO_2膜はPulsed laser deposition(PLD)法によりSi基板上に酸素,窒素及びその混合ガス中で作製した.窒素中で作製したものは酸素雰囲気中で作製したものよりも多くの正電荷を含むと思われる.またArFエキシマレーザを照射することで正電荷が増加し,これは酸素が抜けたとに対応すると考えられる.また,raoid thermal annealing(RTA)による変化を調べたところ,600℃以上ではPRS信号強度が大きくなることが見られ,膜中電荷が減少したことを示している.

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  • ESRによるHfO2薄膜の欠陥評価

    金島 岳, 池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 135 )   43 - 48   2004年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Hf0_2薄膜をレーザーアブレーション法(PLD)により作製し,その電気的特性およびESRによる欠陥評価を行った.ESRスペクトルにはg&amp;sime;2.006,2.003付近に顕著な2つのピークが見いだされた.g&amp;sime;2.006のピークはPLD製膜時に雰囲気ガス圧力を下げる,またはターゲットー基板間距離を短くすることで小さくなる.PLD製膜においてアブレートされた飛来粒子の運動エネルギー小さくすることで基板ダメージが減少すると考えられることから,このピークは界面欠陥に起因すると考えられる.g&amp;sime;2.003付近のピークは,ArFエキシマレーザを照射することでピーク強度が増大し,異方性を持たない.また,製膜時の酸素分圧を大きくすることで大きくなり,界面遷移層かHf0_2膜中の酸素に関係した欠陥が原因と考えられる.

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  • Characterization of ferroelectric thin film/SiO2/Si structure by photoreflectance 査読

    Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    Ferroelectrics   303 ( 1 )   119 - 123   2004年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    SrBi2Ta2O9(SBT)/SiO2/n-Si stacked structures have been characterized by photoreflectance spectroscopy (PRS). The spectrum near E1 critical point energy is enhanced by deposition of SBT film. Annealing effect of the spectral intensity corresponds to that of (115) peak in XRD pattern of SBT film. Moreover, the PRS intensity increases when SBT film is poled by negative voltage. These spectral changes depend on the Si surface potential increase induced by remanent polarizations in the SBT film. The Si surface potential increase is 0.05 eV for -3 V poling. Critical point energy was estimated by peak positions of the PRS and large tensile stress is increased by the poling. It has been found that the spectral intensity closely corresponds to the ferroelectricity of the SBT film.

    添付ファイル: proceedings.pdf

    DOI: 10.1080/00150190490452929

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  • PLDにより製膜したHf酸化物の界面評価

    金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 吉田 真人, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   103 ( 533 )   51 - 56   2003年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されるHfO2薄膜をレーザアブレーション法により作製し、その電気的および光学的手法による評価を行った。基板温度および酸素分圧を変化させて製膜しI-V、C-V特性を解析したところ基板温度400℃で0.2Torrの酸素中で製膜することで界面準位密度の低減およびフラットバンドシフト量の改善がみられた。

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  • Characterization of ZrO2 and PrOx thin films for high-k gate insulator prepared by pulsed laser deposition 査読

    T Kanashima, M Sohgawa, H Kanda, K Ikeda, M Okuyama

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   42   S1357 - S1361   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:KOREAN PHYSICAL SOC  

    High-k thin films of ZrO2, PrOx of similar to10 nm thickness have been prepared by pulsed laser deposition, and characterized in microscopic structure and electrical properties. Crystallization is promoted in ZrO2 films deposited above 400 degreesC, but a significant XRD peak was not observed in the ZrO2 film grown below 400 degreesC. The leakage current is decreased by increasing growth temperature, but all equivalent-oxide thickness (EOT) obtained from accumulation capacitance of C-V characteristics becomes large. The films deposited at 400 degreesC were annealed at 400 degreesC in O-2 gas to reduce the leakage. The leakage current change to be small, but the EOTs become large. Oxygen radical annealing is carried out to reduced the leakage, and is effective for ZrO2 thin film. Oil the other hand. only small improvement is observed ill the PrOx films.

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  • Characterization of Si Interface in FIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 査読

    Hirofumi Kanda, Masayuki Sohgawa, Yoshihide Toyoshima, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Akira Fujimoto

    Journal of Korean Physical Society   42   1072 - 1075   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    SiO2/Si基板上に強誘電性SrBi2Ta2O9(SBT)薄膜をレーザアブレーション法により成膜した。この強誘電体-絶縁膜-半導体構造中におけるSiO2/Si界面をphotoreflectance分光法(PRS)により非破壊で評価した。その結果、SBT成膜により引張応力が増加し、またその増加はSBT膜厚に依存する。さらに強誘電体薄膜に分極処理を行ったときに、処理電圧に比例して応力が減少した。

    DOI: 10.3938/jkps.42.1072

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  • Characterization of ZrO2 and PrOx Thin Films for High-k Gate Insulator Prepared by Pulsed Laser Deposition 査読

    Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Koji Ikeda, Masanori Okuyama

    Journal of Korean Physical Society   42   1357 - 1361   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    レーザアブレーション法で成膜したZrO2、PrOx薄膜の微細構造と電気特性を評価した。400℃以下で成膜したZrO2薄膜は結晶化しない。漏れ電流は成膜温度を上げるに伴い減少したが、静電容量特性から求めたSiO2換算膜厚は大きくなった。400℃で成膜した薄膜のO2中熱処理により漏れ電流は減少したが換算膜厚は増えた。O2ラジカル処理はZrO2の漏れ電流を減らすのに有効であったが、PrOxでは改善効果はわずかであった。

    添付ファイル: kps.pdf

    DOI: 10.3938/jkps.42.1357

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  • High-k PrOxゲート絶縁膜の電気的・光学的特性

    金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 神田 浩文, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102 ( 540 )   45 - 49   2002年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されているPrOxの薄膜をレーザーアプレーション法(PLD)により作製し、その電気的および光学的手法による評価を行った。試料は基板温度400℃で0.2 Torrの酸素雰囲気中で製膜し、特性改善のためにRTAによりポストアニールを行った。その結果、低温・短時間のアニールでは蓄積側の容量が増加することが見られたが、高温・長時間のアニールでは減少し、また高温では60秒の比較的短かい時間でも界面に遷移層が形成されることが分った。400℃の20秒および60秒のRTAでは膜中固定電荷は減少するものの界面準位は増加することが見られた。界面ストレスをフォトレフレクタンス分光法(PRS)により評価した。その結果、製膜直後は、Si/SiO_2より小さいが、600℃以上のアニールにより自然酸化膜と同じ程度の値となった。またPRSのピーク強度より界面に酸化層が形成されていることが示唆された。

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  • Preparation by pulsed laser deposition and characterization of ZrO2, HfO2 and PrOx thin films for high-k gate insulator

    T Kanashima, S Kitai, M Sohgawa, H Kanda, M Okuyama

    ISAF 2002: PROCEEDINGS OF THE 13TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON APPLICATIONS OF FERROELECTRICS   199 - 202   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    High-k thin films of ZrO2, HfO2 PrOx, of similar to10 nm thickness have been prepared by pulsed laser deposition (PLD), and characterized in microscopic structure and electrical properties. Crystallization is promoted in ZrO2 films deposited above 400degreesC, but a significant XRD peak was not observed in the ZrO2 film grown below 400degreesC. Moreover, density of the film is confirmed to saturate above 400degreesC by grazing incident angle X-ray reflectance. The leakage current is decreased by increasing growth temperature, but an equivalent-oxide thickness (EOT) obtained from accumulation capacitance of C - V characteristics becomes large. HfO2 films show the similar behaviors to ZrO2 films. The films deposited at 400degreesC were annealed at 400degreesC in O-2 gas to reduce the leakage, but the EOTs become large. So, these films were irradiated with oxygen radical at the pressure of 10(-3) Pa both to prevent the growth of interfacial layer and to enhance the oxidation of only the films. Although the leakage of ZrO2 films can be reduced by oxygen radical irradiation, only small improvement is observed in the PrOx films.

    添付ファイル: IFFF2002proc_kanashima.pdf

    DOI: 10.1109/ISAF.2002.1195904

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  • PrOxゲート絶縁膜のPLD法による作製

    北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 515 )   11 - 16   2001年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されているPrO_xの薄膜をレーザーアブレーション法により作製し、その基礎物性評価を行った。界面遷移層の成長を防ぐため、室温において雰囲気ガスの導入なしに製膜を行い、界面層の成長がほとんどないPrO_x薄膜が作製されたが、ヒステリシス、リーク電流が大きかった。アニールによりこれらの特性は改善したが、界面層の成長は防ぐことができなかった。ターゲット基板間にマスクを挿入し製膜を行い、従来の酸素雰囲気中でのPLDと比べ比較的平坦な薄膜の作製に成功した。さらに、基板間距離60mmで製膜を行った薄膜においてもっとも優れた電気的特性が得られており、薄膜の特性にはアブレートされた粒子のエネルギーが関係していることが示唆された。

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  • フォトレフレクタンス分光法によるSiの表面応力の非接触・非破壊評価

    藤本 晶, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    和歌山工業高等専門学校研究紀要   ( 36 )   15 - 19   2001年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)   出版者・発行元:和歌山工業高等専門学校  

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  • PrOx高誘電率ゲート絶縁膜のPLDによる作製と評価

    北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

    電気学会電子材料研究会資料   EFM-01 ( 6-13 )   43 - 47   2001年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • ZrO2高誘電率ゲート絶縁膜のPLDによる作製と評価

    北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 108 )   19 - 24   2001年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    次世代高誘電率ゲート酸化膜として、レーザアブレーションによりHigh-kのZrO_2薄膜を作製した。400℃の製膜において比較的平坦な非結晶薄膜が得られることを確認した。SiO_2換算膜厚(EOT)2.7nmのZrO_2に、ラジカル酸素アニール処理を施すことで蓄積容量の低下なくリーク電流密度を改善でき、1 MV/cm下において約1x10^&lt;-7&gt; A/cm^2を得た。高誘電体/Si界面についてフォトレフレクタンスにより調べたところ、Siの3.4eV付近のスペクトルのシフトを捉えることに成功した。MODで作製したZrO_2によるZrO_2/Si構造においてはSi表面の歪みが小さいことを示唆する結果を得た。

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  • Nondestructive and contactless monitoring technique of Si surface stress by photoreflectance 査読

    M Sohgawa, M Agata, T Kanashima, K Yamashita, K Eriguchi, A Fujimoto, M Okuyama

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 4B )   2844 - 2848   2001年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:INST PURE APPLIED PHYSICS  

    Strain and stress at the Si surface have been studied by photoreflectance (PR) spectroscopy. A Si diaphragm structure has been fabricated in order to produce the surface strain caused by N-2 gas pressure which changes the PR spectra of the Si diaphragm. The transition energy obtained from the PR peak energy of approximately 3.4 eV is proportional to the surface stress, which is calculated by elastic analysis. Additionally, PR spectroscopy was applied to measure stress at the interface between the Si and thermal oxide. As the SiO2 growth temperature increases, the interface stress decreases. From our experimental results, it is considered that PR spectroscopy is effective as a contactless and nondestructive monitoring technique for Si surface stress.

    DOI: 10.1143/JJAP.40.2844

    Web of Science

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  • Preparation and characterization of ZrO2/Si structure 査読

    M. Sohgawa, S. Kitai, H. Kanda, T. Kanashima, A. Fujimoto, M. Okuyama

    Extended Abstracts of International Workshop on Gate Insulator, IWGI 2001   170 - 173   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this paper, we have prepared ZrO2 and lanthanide oxide thin films by PLD (Pulsed Laser Deposition) method and characterized these electrical properties by using C-V and J-V characteristics and these interfacial properties by using PR spectroscopy.

    添付ファイル: PROCEEDINGS-1.PDF

    DOI: 10.1109/IWGI.2001.967576

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  • Optical characterization of antenna-area-dependent gate oxide charging damage in MOS capacitors by photoreflectance spectroscopy 査読

    M Agata, M Sogawa, O Maida, K Eriguchi, A Fujimoto, T Kanashima, M Okuyama

    2000 5TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA PROCESS-INDUCED DAMAGE   97 - 100   2000年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:AMERICAN VACUUM SOCIETY NORTHERN CALIFORNIA CHAPTER  

    Thin gate oxide charging damage has been studied by photoreflectance (PR) spectroscopy in MOS structure samples. Antenna-area-dependent oxide charging damage such as the generation of SiO2/Si interface states as well as that of electron trap sites in the oxides, has been also addressed by the decrease of the PR peak signal intensity from MOS capacitors, and also confirmed by the capacitance-voltage (C-V) characteristics.

    DOI: 10.1109/PPID.2000.870621

    Web of Science

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  • フォトレフレクタンス分光法によるゲート酸化膜に導入されたチャージングダメージの光学的評価(半導体Si及び関連電子材料評価)

    阿形 眞司, 寒川 雅之, 毎田 修, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   99 ( 491 )   75 - 80   1999年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Arプラズマ照射によってチャージングダメージを与えられたMOS試料に対してフォトレフレクタンス(PR)分光法による評価を試みた。MOS構造におけるチャージングダメージとしてSiO_2/Si界面準位密度の増加と酸化膜中への電子捕獲が考えられ、ライフタイム及び高周波C-V特性でこれらを確認した。界面準位は表面ポテンシャル及びPR信号強度を減少させ、膜中電子はPR信号強度を増加させるが、PR信号強度はプラズマ照射により急峻に減少することからPR分光評価は主にSiO_2/Si界面に与えられる界面準位の増加と電子捕獲の情報を与えると考えられる。

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書籍等出版物

  • VR/AR 技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例

    技術情報協会( 担当: 分担執筆 ,  範囲: 第4章 第3節 超小形MEMS触覚センサの原理、特性と応用展開)

    技術情報協会  2021年6月  ( ISBN:9784861048500

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    総ページ数:576p   担当ページ:pp. 155-164   記述言語:日本語 著書種別:学術書

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  • 人工知能を用いた五感・認知機能の可視化とメカニズム解明

    技術情報協会( 担当: 分担執筆 ,  範囲: 第4章 第5節 力・光・温度複合検知超小型センサによる繊維製品の質感評価指標構築)

    技術情報協会  2021年6月  ( ISBN:9784861048494

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    総ページ数:533p   担当ページ:pp. 176-185   記述言語:日本語 著書種別:学術書

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  • 生体情報センシングデバイス ~センサ設計開発に求められる要素技術・課題と対策ノウハウ~

    寒川 雅之( 担当: 分担執筆 ,  範囲: 第8節 医療・ヘルスケア用センサの高付加価値化とMEMSを用いた小型化・コスト低減)

    情報機構  2018年5月  ( ISBN:9784865021509

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    総ページ数:260   担当ページ:165-177   記述言語:日本語 著書種別:学術書

    医療、ヘルスケア用センシングと高付加価値化について解説し、MEMS技術を用いたヘルスケアセンサの小型化・高精度化・低コスト化への取り組み例として、タンパク質検知のためのMEMSバイオセンサと柔軟物・皮膚性状計測のためのMEMS触覚センサについて紹介した。

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MISC

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講演・口頭発表等

  • 低電圧静電触覚ディスプレイ用絶縁膜の耐久性向上

    近藤雅敏, 佐藤淳喜, 安部 隆, 寒川雅之

    令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2021年7月  電気学会

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    開催年月日: 2021年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 温冷感計測用マルチモーダル触覚センサにおけるエラストマ材料の検討

    南雲 光, 恩田尚隆, 安部 隆, 寒川雅之

    令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2021年7月 

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    開催年月日: 2021年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価

    河内彪博, 安藤潤人, 寒川雅之, 野間春生

    令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2021年7月 

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    開催年月日: 2021年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 内視鏡操作のデータ化に向けた超小型触覚センサによる把持状態の検出

    山岸守央, 寒川雅之, 今村孝, 安部隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2021  2021年6月 

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    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 皮膚診断のための MEMS 触覚センサの接触部最適化

    門田秀人, 小河原 周, 南部泰生, 安部 隆, 寒川雅之

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 水晶発振回路式複素容量センサを用いたシール材料の化学耐久性評価

    齋藤 響太, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 水晶発振回路式容量センサを用いた土壌の性質の非接触モニタリング

    JIANI LIU, 吉田 晃, 寒川雅之, 安部 隆

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • TOIウェハを用いた表面マイクロマシニング

    長谷川穂高, 守屋赳利, 土田和弥, 寒川雅之, 安部 隆

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 接触部を交換可能としたMEMS触覚センサ

    川崎雄記, 髙橋佑司, 安部 隆, 野間春生, 寒川雅之

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 耐水性MEMS触覚センサを用いた吐水力計測

    高橋佑司, 高橋拓海, 安部 隆, 寒川雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • MEMS触覚センサによる樹脂・金属表面質感識別

    佐藤淳喜, 本間 遼, 安部 隆, 寒川雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 皮膚診断のためのMEMS触覚センサによる柔軟物内しこり検出

    小河原周, 木藤 潤, 安部 隆, 寒川雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • Improvement of Durability of Micro Tactile Sensor by Protection of Bonding-Wire with UV Curable Resin 国際会議

    Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 15th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC 2020)  2020年12月  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • Analysis of Deflection Behavior of Microcantilevers Embedded in Elastomer for Miniature Tactile Sensor 国際会議

    Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    The 15th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC 2020)  2020年12月  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • ひずみゲージ・圧電体薄膜集積触覚センサの検知部形状の設計・評価

    GONG LIQIANG, 高橋 春暁, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之

    第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発

    千野 輝弥, 渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製

    恩田 尚隆, 小塚 貴暁, 安部 隆, 一色 眞誠, 留野 暁, 寒川 雅之

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いたパーキンソン病原因物質αシヌクレイン凝集体の超高感度検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発

    橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 薄膜対応熱重量分析⽤QCMの開発と評価

    佐谷 元, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • エラストマ封⽌カンチレバー型触覚センサの繰返し耐久性評価

    高橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 把持状況検出のための⼯具把持部埋込触覚センサとその解析

    南部 泰生, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 微小流体回路のためのインダクタンスとキャパシタンスの時差式分析技術の開発

    渡部 亮, 吉田 晃, 佐藤 洋太, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 振動刺激と摩擦力を同時に提示可能な複合触覚ディスプレイの基礎検討

    本間 遼, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之

    第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • MEMS触覚センサを用いた皮膚診断のための力・色・温度の複合計測

    小河原 周, 安部 隆, 寒川 雅之

    日本機械学会 2020年度年次大会  2020年9月  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いたパーキンソン病患者血清中αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 高ゲージ率Cr-N薄膜及び設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上

    金田 蓮, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    令和2年度電気学会A部門大会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • エラストマ埋込マイクロカンチレバー触覚センサの挙動と解析

    寒川 雅之, 木藤 潤, 安部 隆

    令和2年度電気学会A部門大会  2020年9月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • Contactless Monitoring of Cement Curing Process Using Quartz Oscillator Based Capacitive Sensor

    王 鶴鳴, 藤森 弘貴, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和2年度電気学会A部門大会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • Micro-TAS用脱着可能な水晶複素容量センサの開発

    櫻井洋輔, 灰野貴晶, 寒川雅之, 安部 隆

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

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    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • MEMS触覚センサの温度変化による出力信号のドリフト特性の考察

    河内彪博, 川田智晴, 岡田一志, 寒川雅之, 野間春生

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 小型化・低電圧化に向けた絶縁樹脂薄膜静電触覚ディスプレイの基礎検討

    佐藤淳喜, 本間 遼, 安部 隆, 寒川雅之

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • チタン製カンチレバーを用いた高耐久性MEMSフォースセンサのモデル作製と評価

    野澤慎児, 大塚善久, 安部 隆, 寒川雅之

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 端子部への負荷を軽減するFPCを用いたMEMS触覚センサの実装

    岡田一志, 川田智晴, 河内彪博, 大井翔, 松村耕平, 寒川雅之, 野間春生

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2020  2020年5月 

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    開催年月日: 2020年5月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 遠隔内視鏡検査システムにおける力覚提示の基礎検討

    村山健, 今村孝, 水野研一, 寒川雅之, 三好孝典

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2020  2020年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年5月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • マイクロカンチレバーの設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上

    金田蓮, 安部隆, 寒川雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2020  2020年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年5月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: robomech原稿-final.pdf

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  • ボンディングワイヤのUV硬化樹脂封止によるMEMS触覚センサの耐久性向上

    高橋 佑司, 高橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    令和2年電気学会全国大会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学東京千住キャンパス   国名:日本国  

    添付ファイル: 電気学会全国大会原稿 改訂版-完成.pdf

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  • マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶発振回路式複素容量センサの開発

    橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和2年電気学会全国大会  2020年3月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学東京千住キャンパス   国名:日本国  

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  • タフMEMSのための絶縁層を有するチタン基板の開発

    守屋 赳利, 長谷川 穂高, 佐々木 朋裕, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和2年電気学会全国大会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学東京千住キャンパス   国名:日本国  

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  • 包丁手技訓練を目的とした把持力信号の自動ストローク切り出し手法の検討

    川田 智晴, 岡田 一志, 大井 翔, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生

    インタラクション2020  2020年3月  情報処理学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:学術総合センター/一橋大学一橋講堂   国名:日本国  

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  • ヒトを模した人工触覚の触り動作における素材識別率を向上させる学習モデルの研究

    岡田 一志, 下江 輝, 大井 翔, 松村 耕平, 寒川 雅之, 杉山 治, 野間 春生

    インタラクション2020  2020年3月  情報処理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:学術総合センター/一橋大学一橋講堂   国名:日本国  

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  • MEMS触覚センサにおける弾性樹脂中カンチレバー挙動の分析

    木藤 潤, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三島  

    添付ファイル: TER-MSS合同研究会原稿(木藤・寒川).pdf

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  • MEMS触覚センサを用いた物体把持状況検出手法の検討

    南部 泰生, 藤橋 智哉, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三島  

    添付ファイル: TER-MSS合同研究会原稿(南部).pdf

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  • A New Temperature-Stabilized Biosensor System for Phospholipid-Immobilized Cantilever Sensor to Detect Biomaker Amyloid Protein for Parkinson Disease 国際会議

    Ryoko Kobayashi, Minoru Noda, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa

    The 2019 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2019)  2019年11月  IEEE EDS Kansai Chapter

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ryukoku University Avanti Kyoto Hall, Kyoto   国名:日本国  

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  • A Novel Detection of Biomarker Molecule of α-Synuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Biosensor Using Real-Time Quaking-Induced Conversion Method 国際会議

    Ryoko Kobayashi, Minoru Noda, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2019  2019年10月 

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    開催年月日: 2019年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Palais des congrès de Montréal, Motreal   国名:カナダ  

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  • リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた ヒト由来αシヌクレイン線維化の検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • ワイヤレス発振式水晶振動子型薄膜用熱重量分析センサの開発

    千野 輝弥, 丸山 耕平, 内木 舜也, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • ひずみ・圧電触覚センサのためのPDMS封止カンチレバーによる荷重・振動検知

    高橋 春暁, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 深さ方向成分分析に対応した非接触型水晶発振回路式複素容量センサの開発

    灰野 貴晶, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • チタン合金製マイクロ金型の作製および評価

    韓 剛, 劉 若愚, 寒川 雅之, 安部 隆

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサにおける感度・温度特性の熱処理温度依存性

    本間 遼, 寒川 雅之, 安部隆, 米原 洸平, 丹羽 英二

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 外部磁場を利用した多周波水晶発振回路式液体センサによるイオン種分析

    藤森 弘貴, 富樫 裕基, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • さまざまな洗浄に耐えるフッ素エラストマ封止カンチレ バー型触覚センサ

    髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 水処理プロセスの非接触モニタリング用水晶発振回路式液体センサの開発

    吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 多周波水晶発振回路式液体センサによる多成分イオンの非接触分析

    庄司 拓人, 吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • チタンMEMSのためのアルミナ絶縁層の評価

    大塚 善久, 安部 隆, 寒川 雅之

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • エラストマ封止カンチレバー型触覚センサの検出エリア評価

    阿部 由杜, 菅 史賢, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • RT-QuIC 法を用いたリポソーム固定化カンチレバーセンサによる αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学札幌キャンパス  

    我々はリポソーム固定化カンチレバーセンサを用いて,パーキンソン病発症原因物質 αシヌクレイン(αSyn)の検出を行っている。αSynはモノマーから凝集,線維化し,フィブリルに変化することで毒性を獲得する。また,モノマーの中に極少量のフィブリルが存在すると凝集現象が促進される。RT-QuIC 法は このαSynの凝集現象の促進を利用する方法で,本研究では RT-QuIC 法に着目し,本センサに応用して,αSyn の凝集過程の検出と,極低濃度のαSynの検出を目指した。

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  • 摩擦・凹凸感を含む触感提示のためのMEMS複合触覚センサによる質感計測と評価

    本間 遼, 安部 隆, 寒川 雅之

    2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会  2019年9月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:琉球大学工学部  

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  • 複合触覚センシングのためのフレキシブル圧力・曲げセンサ

    寒川 雅之, 高橋 拓海, 富田 亮, 安部 隆, 鳴海 敬倫

    電気学会誘電・絶縁材料研究会  2019年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:トキ交流会館  

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  • 力・光・温度複合触覚センサを用いた濡れによる質感変化の評価

    小塚 貴暁, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)  2019年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学すずかけ台キャンパス  

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  • 複雑形状物体把持制御のための複数接触部を有する触覚センサ

    菅 史賢, 藤橋 智哉, 阿部 由杜, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)  2019年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学すずかけ台キャンパス  

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  • A New Detection of Biomarker Molecule of Alpha-Synuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Microsensor with Temperature Stabilization 国際会議

    Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII)  2019年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Berlin, Germany  

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  • Design and Evaluation of an Electrode Separated Quartz Crystal Microbalance Array as a Disposable Weighing Dish 国際会議

    Shunya Uchiki, Ikuto Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII)  2019年6月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Berlin, Germany  

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  • Tactile Sensor Using Microcantilever Embedded in Fluoropolymer for Water and Ethanol Resistance 国際会議

    Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII)  2019年6月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

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  • 口腔ケアシミュレーション用舌モデルへのMEMS触覚センサ搭載と接触検知

    兒玉 崇行, 安部 隆, 三谷 篤史, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2019  2019年6月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: robomech原稿.pdf

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  • 微小流体チップ用水晶発振回路式液体濃度センサのための回路の最適化

    佐藤 洋太, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成31年電気学会全国大会  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道科学大学  

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  • フッ素エラストマとCNT分散樹脂を用いたフレキシブル圧力・曲げセンサの基礎検討

    高橋 拓海, 富田 亮, 安部 隆, 鳴海 敬倫, 寒川 雅之

    平成31年電気学会全国大会  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道科学大学  

    添付ファイル: 電気学会全国大会原稿.pdf

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  • 非接触型水晶発振回路式複素容量センサの土壌モニタリングへの応用

    村上 尚駿, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成31年電気学会全国大会  2019年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道科学大学  

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  • リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサによるパーキンソン病原因物質αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学  

    人工細胞膜リポソームを歪みゲージカンチレバー上に固定化したカンチレバー型センサを用いて,パーキンソン病の原因物質であるαシヌクレインタンパク質(αSyn)の検出を行った。αSynは,その性質や機能がまだ多く不明であるが,アルツハイマー病原因物質のAβタンパク質と同様に線維伸長・凝集化が生じる。そこで,Aβと同様に,αSynとリポソームの相互作用で発生する応力によるカンチレバーの撓みを,歪ゲージの抵抗変化から検出できる可能性があると考え,αSynの検出とその経時特性を得ること,同時により低濃度での線維伸長・凝集の検出を目的とした。

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  • 複雑形状物体把持時の接触状況検出のためのマイクロ触覚センサ

    菅 史賢, 藤橋 智哉, 阿部 由杜, 安部 隆, 寒川 雅之

    日本機械学会北陸信越支部第56期講演会  2019年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学五福キャンパス  

    添付ファイル: 複雑形状物体把持時の接触状況検出のためのマイクロ触覚センサ1.pdf

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサの感度と温度特性評価

    米原 洸平, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2019年2月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋  

    添付ファイル: TER-MSS研究会2019(米原).pdf

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  • MEMS触覚センサによる材質感計測と感性評価との比較

    志和 昂, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2019年2月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋  

    添付ファイル: TER-MSS研究会2019(寒川).pdf

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上

    米原 洸平, 木藤 潤, 藤橋 智哉, 高橋 春暁, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2018年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上.pdf

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  • 人間に近い触覚検知のためのエラストマ埋め込みPZT /Siカンチレバー振動覚センサ

    高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 触覚センサの柔軟物硬さ及び接触形状に対する依存性評価と検知部の高密度化

    藤橋 智哉, 菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: 触覚センサの柔軟物硬さ及び接触部形状に対する依存性評価と検知部の高密度化.pdf

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  • 粘弾性液体と接した電極分離型QCMセンサの周波数応答特性

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 皮膚診断のための触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析

    木藤 潤, 阿部 裕太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: 皮膚診断のための触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析.pdf

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  • 湿潤・水中環境でも計測可能なフッ素エラストマを用いた触覚センサ

    佐藤 周平, 安部 隆, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: 湿潤・水中環境でも計測可能なフッ素エラストマを用いた触覚センサ.pdf

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  • 水晶発振回路式液体濃度センサの炭酸濃度非接触測定への応用

    小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • タフMEMSのためのチタン合金製微小試験片の力学的特性評価

    吉田 将希, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価

    庄司 拓人, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 熱アシスト式反応性イオンエッチング法によるチタン合金製微小メスの作製と評価

    近藤 正之, 吉田 将希, 桐生 祐弥, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発

    桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 熱アシスト反応性イオンエッチングを用いたTi/Ti合金製マイクロモールドの開発

    劉 若愚, 韓 剛, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 河川防災システムのためのミリ波センサによる非接触水位計測

    寒川 雅之, ウィタカ アンドリュー, 酒井 直樹

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: SS35_Paper_新潟大学寒川.pdf

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  • ワイヤレス駆動可能な多チャンネル型片面励起式QCMセンサの開発

    内木 舜也, 佐藤 育人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • マイクロカンチレバーセンサ技術を用いた細胞膜モデルリポソーム上Aβ動的特性の評価

    谷口 智哉, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第12回バイオ関連化学シンポジウム  2018年9月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学吹田キャンパス  

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  • Characterization of PZT Thin Film Deposited on Si Cantilever Embedded in PDMS for Tactile Sensing as Force and Vibration Detection 国際会議

    Harutoshi Takahashi, Yuta Namba, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    The 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  2018年8月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nara, Japan  

    添付ファイル: Characterization of PZT Thin Film Deposited on Si Cantilever Embedded in PDMS for Tactile Sensing as Force and Vibration Detection.pdf

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  • 触覚センサと質感定量評価の試み 招待

    寒川 雅之

    第5回 EIIRIS インテリジェントセンサ・MEMS研究会  2018年7月  豊橋技術科学大学 エレクトロニクス先端融合研究所

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:豊橋商工会議所3階ホール  

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  • ミリ波レーダを用いた河川防災用センサシステムの開発

    寒川 雅之, ウィタカ アンドリュー, 酒井 直樹

    平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)  2018年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:奈良  

    添付ファイル: E総研2018寒川.pdf

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  • エラストマ封止PZT/Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価

    高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(フィジカルセンサ研究会)  2018年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:奈良  

    添付ファイル: エラストマ封止PZT・Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価修正.pdf

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  • Suppression of Deformation for Gripping Soft Objects Using Miniature Tactile Sensor with Hemisphere PDMS 国際会議

    Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018)  2018年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:香港  

    PDMSを接触部として用いた近接・触覚複合MEMSセンサを電動マニピュレータに設置し、センサ出力により柔軟物の把持制御を行った。半球形状のPDMSを用いたセンサからの出力によりマニピュレータの制御を行うことで、柔軟物を大きく変形させることなく把持することが可能であり、それを持ち上げた時に自動的に把持力を調整できることを示した。

    添付ファイル: apcot2018 abstract - final.pdf

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  • Thermally Assisted Reactive-Ion Etching Technique Using Detachable Self-Heated Stage 国際会議

    Gang Han, Yuka Kiryu, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018)  2018年6月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:香港  

    本研究は取り外し可能な自己加熱式ステージをデスクトップ型エッチャーのエッチングステージとして用いた熱アシスト反応性イオンエッチング(TRIE)法に関するものである。ステージはシミュレーション結果に基づいて設計し、RF電力印加による加熱特性を評価した。エッチングステージの温度は289℃まで急速に上昇し、その温度分布は3℃以下であった。また、そのTi、Ti-6Al-4V、Ti-3Al-2.5Vの加工への応用を検討した。自己加熱式ステージの使用によりエッチング速度に大幅な向上が見られた。

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  • 柔軟物把持制御用近接触覚センサの接触部形状の検討とカンチレバーの小型高密度配置による荷重分布計測

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2018  2018年6月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: Microsoft Word - robomec2018 原稿-最終版.pdf

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  • Aβ検出用カンチレバーセンサ感度向上に向けたセンシングバイオ分子の検討

    谷口 智哉, 島内 寿徳, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第65回応用物理学会春季学術講演会  2018年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:早稲田大学  

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  • フッ素エラストマを用いたMEMS触覚センサの耐水性向上

    佐藤 周平, 安部 隆, 寒川 雅之

    平成30年電気学会全国大会  2018年3月  電気学会

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学伊都キャンパス  

    添付ファイル: 2018電気学会全国大会予稿.pdf

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  • 近接・触覚複合MEMSセンサへのプローブ光LED集積化

    志和 昂, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会  2018年3月  電気学会

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:刈谷商工会議所 大会議室  

    添付ファイル: 近接・触覚複合MEMSセンサへのプローブ光LED集積化.pdf

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  • Development of Thermally Assisted Reactive Ion Etching with Desktop Type RIE System 国際会議

    Gang Han, Daiki Ohkawa, Takeshi Hitobo, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 6th International Symposium on Fusion Technology 2018  2018年1月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Niigata, Japan  

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  • 小型電動マニピュレータによる柔軟物把持制御のための 近接・接触・滑り検知触覚センサ

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 小型電動マニピュレータによる柔軟物把持制御のための 近接・接触・滑り検知触覚センサ.pdf

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  • 3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発

    韓 剛, 村田 祐貴, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • MEMS触覚センサによる布の接触温冷感と風合いを合わせた評価

    志和 昂, 佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: MEMS触覚センサによる布の接触温冷感と風合いを合わせた評価.pdf

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  • 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価

    難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価.pdf

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  • 外部磁場を利用した水晶発振回路式濃度センサに関する基礎研究

    富樫 裕基, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • 繊細な把持制御に向けた近接触覚複合マイクロカンチレバーセンサの小型化・多素子化

    荒木 凌馬, 寒川 雅之, 野間 春生, 安部 隆

    第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2017年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 繊細な把持制御に向けた近接触覚複合マイクロカンチレバーセンサの小型化・多素子化.pdf

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  • 卓上型熱アシスト式反応性イオンエッチングシステムの開発

    大川 太基, 韓 剛, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2017年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • 微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング

    江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • 皮膚性状計測へ向けた光・力複合MEMSセンサの研究

    佐藤 周平, 阿部 祐太, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 皮膚性状計測へ向けた光・力複合MEMSセンサの研究.pdf

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  • ワイヤレス発振式水晶振動子型熱重量分析センサの開発と評価

    丸山 耕平, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • ワイヤレス駆動可能なデュアルモード型QCMセンサの開発

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • ミネラルウォーターの品質評価のための非接触型水分析センサの開発

    小黒 悠, 矢田 直人, 清水 健司, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • Development of Artificial Haptic Model for Human Tactile Sense Using Machine Learning 国際会議

    Hikaru Shimoe, Kohei Matsumura, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

    IEEE Sensors 2017  2017年10月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Glasgow, Scotland, UK  

    我々は人の触覚と認識プロセスモデルに基づいた触覚段階モデルを構築した。我々のモデルは教師有りと教師無しの段階から構成されたニューラルネットワークベースのモデルである。我々が開発しているマイクロ触覚センサの表面スキャンの結果を用いて、我々のモデルで材料識別問題を確認した。従来の完全CNNモデルでは28の材料に対して98.0%の識別率を達成したが、我々のモデルでは67.2%となった。

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  • A Selective Detection of Amyloid Beta in Human Serum by Strain Gauge Cantilever Sensor Immobilizing Liposome Incorporated with Cholesterol 国際会議

    Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017)  2017年10月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Savannah, Georgia, USA  

    我々は新たにコレステロールを混入したリポソームを固定化したひずみゲージ型カンチレバーセンサでヒト血清中のアミロイドβ(Aβ)の動的挙動の選択的検知を確認した。リポソームと血清中の様々なタンパク質の相互作用を低減するために、リポソームへのコレステロール混入の効果を調べた。実験結果から、コレステロールは脂質膜の安定効果により相互作用を抑えることが暗示された。よって、コレステロールを混入したリポソームを固定化したカンチレバーセンサにより、ヒト血清中のAβの、特に凝集と線維化の状態を検知可能であると結論付けた。

    添付ファイル: Re_MicroTAS 2017_manuscript_0299_Tomoya Taniguchi.pdf

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  • 接触力・光・温度複合MEMSセンサによる布の温冷感センシング

    志和 昂, 佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    平成29年電気学会電子・情報・システム部門大会  2017年9月  電気学会 電子・情報・システム部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:サンポートホール高松  

    添付ファイル: 電気学会原稿完成版.pdf

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  • Detection of Aβ(1-40) Protein in Human Serum as a Causative Agent of Alzheimer's Disease by Strain Gauge Cantilever Biosensor Immobilizing Liposome Incorporating Cholesterol 国際会議

    Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    Eurosensors 2017  2017年9月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Paris, France  

    コレステロールを混入したリポソームをNiCrひずみゲージカンチレバーセンサに固定し、ヒト血清に添加したアミロイドβ(Aβ)(1-40)タンパク質を計測することに成功した。重要な点は、リポソームとヒト血清中に存在する多くのAβと異なるタンパク質との相互作用を抑えるために、リポソーム中にコレステロールを混入する効果を調べたことである。コレステロールの混入はAβ以外のヒト血清中のタンパク質とリポソームとの相互作用を抑えることが明らかになった。最後に、Aβの凝集と線維化による典型的な時間的挙動をヒト血清中にて検出した。さらに、デジタルローパスフィルタ処理により外部ノイズを低減し、コレステロールを混入したリポソームを固定化したカンチレバーセンサがヒト血清中の低濃度のAβを検知できた。

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  • 光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価

    難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    平成29年度電気学会E部門総合研究会(フィジカルセンサ研究会)  2017年6月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:イーグレひめじ  

    添付ファイル: 光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価-提出版-寒川修正案.pdf

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  • DEEP REACTIVE ION ETCHING TECHNIQUE INVOLVING USE OF 3D SELF-HEATED CATHODE 国際会議

    Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017)  2017年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kaohsiung, Taiwan  

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  • GRIPPING CONTROL OF DELICATE AND FLEXIBLE OBJECT BY ELECTROMOTIVE MANIPULATOR WITH PROXIMITY AND TACTILE COMBO MEMS SENSOR 国際会議

    Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017)  2017年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kaohsiung, Taiwan  

    添付ファイル: PID4722959.pdf

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  • TEXTURE MEASUREMENT FOR FABRICS INCLUDING WARM/COOL AND FLUFFINESS SENSATION BY MULTIMODAL MEMS SENSOR 国際会議

    Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017)  2017年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kaohsiung, Taiwan  

    添付ファイル: PID4721655.pdf

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  • 匂いセンサ応用のためのワイヤレス発振式マルチチャンネルQCMセンサの開発

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会  2017年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:ビッグパレットふくしま  

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  • 柔軟物把持制御のための近接触覚複合MEMSセンサの出力評価

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2017  2017年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:ビッグパレットふくしま  

    添付ファイル: robomech2017 原稿 修正完了(寒川先生確認済み) .pdf

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  • ひと触覚を模した人工触覚モデル実現の試み

    下江 輝, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生

    力触覚の提示と計算研究会  2017年3月  日本バーチャルリアリティ学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京農工大学 小金井キャンパス  

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  • 微小流体チップ対応水晶発振回路式液体センサの電極サイズ最適化

    江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成29年電気学会全国大会  2017年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学 五福キャンパス  

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  • 視覚・触覚複合MEMSセンサのエラストマ形状による力感度制御

    佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    平成29年電気学会全国大会  2017年3月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学 五福キャンパス  

    添付ファイル: 視覚・触覚複合MEMSセンサのエラストマ形状による力感度制御.pdf

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  • AD患者血清中のおけるアミロイドβタンパク質検出に向けたリポソーム固定化カンチレバーバイオセンサにおける脂質種の検討

    谷口 智哉, 村上 祐樹, 西本 凌, 尾淵 浩也, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第64回応用物理学会春季学術講演会  2017年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:パシフィコ横浜  

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  • 皮膚組織ひずみ計測のための柔軟物の多層構造とMEMS多軸力複合センサ出力の相関性評価

    阿部 祐太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会  2017年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知県産業労働センター ウインクあいち  

    添付ファイル: 交通・電気鉄道フィジカルセンサ合同研究会完成3.pdf

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  • Development of self-heated cathode for thermally assisted reactive ion etching of minor metals 国際会議

    Gang Han, Yuki Murata, Daiki Okawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016  2016年12月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Tokyo, Japan  

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  • Improvement of optical sensitivity for proximity and tactile combo sensor 国際会議

    Nao Umeki, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016  2016年12月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学本郷キャンパス  

    本論文ではMEMSを用いた近接・触覚コンボセンサにおいて、電極設計や計測周波数の最適化により、光を用いた近接検知感度の向上を行ったので報告する。これまでの研究において、半導体中の空乏層容量が光感度におよぼす寄与が大きいことが分かっていた。そこで、空乏層容量をできるだけ大きくしつつ、かつ光入射による生成キャリアを大きくするため、メッシュ孔を開けた櫛歯型電極を設計した。また、光感度の周波数特性を調べ、数百~1kHzの範囲で感度が最大になることが分かった。これらにより、光感度を従来の4倍に向上することができた。

    添付ファイル: IMPROVEMENT OF OPTICAL SENSITIVITY FOR PROXIMITY AND TACTILE COMBO SENSOR.pdf

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  • 触覚センシングのためのBiFeO3圧電体薄膜積層マイクロカンチレバーの作製

    河野 壮, 安部 隆, 寒川 雅之

    2016年度精密工学会北陸信越支部学術講演会  2016年11月  精密工学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:新潟大学五十嵐キャンパス  

    添付ファイル: 精密工学会原稿-河野.pdf

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  • 機能性メタル加工のための熱アシスト型反応性イオンエッチング技術の開発

    大川 太基, 村田 祐貴, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    2016年度精密工学会北陸信越支部学術講演会  2016年11月  精密工学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:新潟大学五十嵐キャンパス  

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  • Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information Using MEMS Combo Sensor 国際会議

    Kenta Takahashi, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2016  2016年11月  IEEE Sensors Council

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Orlando, FL, USA  

    本論文ではマルチモーダルMEMSセンサを用いた質感計測について報告する。このセンサは多軸力ベクトルと光に対して感度を持つので、力計測により触感を、光計測により視感を評価可能である。本センサにより人間の官能評価の代替として視覚的情報と触覚的情報双方を含む質感計測が期待される。本研究では、様々な繊維製品類を対象物として選択し、10人の被験者による官能評価を行った。それとともにセンサを対象物表面にアクティブに近接・接触させることによるセンサ出力のプローブ光反射、反力、摩擦力に対する依存性を評価した。その結果、人間による官能評価結果とセンサの視覚・触覚出力との間に良い相関があることを示した。

    添付ファイル: Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information using MEMS Combo Sensor 最終版.pdf

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  • A Highly Sensitive Amyloid-β Detection by Cantilever Microsensor Immobilized with Liposome with Incorporated Cholesterol and Phosphatidylcholine Lipid with Short Hydrophobic Acyl Chains 国際会議

    Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Ziyang Zhang, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2016  2016年10月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Orlando, FL, USA  

    低濃度のAβタンパク質検知のためにリポソームを固定化したNiCrひずみゲージカンチレバーの感度を向上した。本研究では、コレステロールを組み込んだリポソームの固定化により50 nMのAβ(1-40)の検知を可能とした。また、疎水基のアシル鎖の炭素数がAβ-生体膜間相互作用に影響するかどうか調べるため、DMPC、DPPC、DSPCと異なる種類のリポソームをそれぞれカンチレバー表面に固定化した。実験結果はDMPCとAβの相互作用が他に比べて大きいことを示している。本カンチレバーマイクロセンサはアルツハイマー病や軽度認知障害の患者におけるAβ(1-40)の検出への応用を期待している。

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  • ひずみ・光・熱複合センサを用いた布に対するマルチモーダル質感計測

    高橋 賢太, 佐藤 文哉, 志和 昂, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    知覚情報研究会  2016年10月  電気学会電子・情報・システム部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    添付ファイル: ひずみ・光・熱複合センサを用いた布に対するマルチモーダル質感計測.pdf

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  • 近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御

    荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

    添付ファイル: 近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型マニピュレータ制御.pdf

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  • 近接覚・触覚コンボセンサを用いた周波数変調近接計測

    梅木 尚, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

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  • エネルギーキャリアモニタリング用水晶発振回路式非接触濃度センサの開発

    清水 健司, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

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  • 検出距離の長距離化のための非接触型水晶発振回路式液体濃度センサの開発

    南 宗君, 寒川 雅之, 安部 隆

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

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  • 機械のヘルスケアモニタリング用水晶発振回路式非接触液体濃度センサの開発

    矢田 直人, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

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  • 機能性メタルの熱反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発

    村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

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  • 真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価

    和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

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  • 光・多軸力複合MEMSセンサによる多層柔軟物の変色・ひずみ評価

    阿部 祐太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:平戸文化センター  

    添付ファイル: 光・多軸力複合MEMSセンサによる多層柔軟物の変色・ひずみ評価(阿部).pdf

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  • 光・力・温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価

    佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:平戸文化センター  

    添付ファイル: 光・力・温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価 最終版.pdf

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  • 片面励起型無線発振式QCMの周波数安定性の電極径,結晶方向依存性

    坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:平戸文化センター  

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  • 光・ひずみ複合センサを用いた布の視覚的・触覚的質感評価

    高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2016年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:平戸文化センター  

    添付ファイル: 光・ひずみ複合センサを用いた布の視覚的・触覚的質感評価最終版.pdf

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  • Improvement of Sensitivity for Aβ Protein on Cantilever Biosensor by Incorporating DPPC Liposome with Cholesterol 国際会議

    Yuki Murakami, Ziyang Zhang, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    The 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences  2016年10月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Dublin, Ireland  

    本論文はカンチレバー表面にセンシングバイオ分子を固定化したカンチレバーバイオセンサにおいて、DPPCリポソームのリン脂質にコレステロールを組み込むことで感度向上を図った結果について報告する。特に生体膜におけるコレステロール取り込みがアルツハイマー病(AD)の原因物質としてのアミロイドβ(Aβ)タンパク質に対する感度の向上に有効かどうか検証した。結果として、カンチレバーセンサの感度は50 nMのAβ(1-40)が検知できるように飛躍的に向上した。この結果は本センサがAD患者の血漿中のAβ(1-40)を検知できる可能性を示している。

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  • ひずみ・光・熱複合センサを用いたマルチモーダル質感計測の基礎検討

    高橋 賢太, 佐藤 文哉, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

    添付ファイル: ひずみ・光・熱複合センサを用いたマルチモーダル質感計測の基礎検討修正版.pdf

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  • 低濃度Aβタンパク質検出用NiCr歪みゲージカンチレバーセンサの温度補償特性向上

    谷口 智哉, 寒川 雅之, 村上 祐樹, 張 子洋, 山下 馨, 野田 実

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ  

    添付ファイル: 秋応物 2016.pdf

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  • 炭素鎖長の短い疎水基のリン脂質リポソームを用いたカンチレバーバイオセンサのAβタンパク質の検出感度向上の検討

    村上 祐樹, 谷口 智哉, 張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016年9月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ  

    添付ファイル: 秋2016応物 (1).pdf

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  • A High-Sensitive Detection of Several Tens of nM of Amyloid-Beta by Cantilever-Type Biosensor Immobilized DPPC Liposome Incorporated with Cholesterol 国際会議

    Yuki Murakami, Ziyang Zhang, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    Eurosensors XXX  2016年9月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Budapest, Hungry  

    我々は脂質膜上でのアミロイドβ(1-40)タンパク質のダイナミックな挙動の経時変化を調べるために、カンチレバー表面にセンシングバイオ分子としてリポソームを固定化したNiCrひずみゲージカンチレバー型バイオセンサを開発している。本研究では、Aβと脂質膜間の相互作用を増強するため、リポソームにコレステロールを組み込むことでカンチレバーセンサの感度を効果的に向上することを試みた。結果として、バイオセンサの感度は大きく向上し、50 nMのAβ(1-40)の検知も可能とした。この結果はアルツハイマー病患者の血漿中における75~100 nMのAβ濃度での検知の可能性を示したものである。

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  • 片面励起型振動子を用いた無線発振式QCMの電極形状の最適化

    坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2016年6月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢市文化ホール  

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  • 近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討

    梅木 尚, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2016年6月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢市文化ホール  

    添付ファイル: 近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討.pdf

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  • 水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発

    矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2016年6月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢市文化ホール  

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  • Thermal Reactive Ion Etching of Ti, Ta, Mo and Nb with SF6 Plasma 国際会議

    Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 8th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2016)  2016年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kanazawa, Japan  

    本研究では熱アシスト反応性イオンエッチング(TRIE)について実験とシミュレーション双方により評価した。TRIEは一般的なRIE装置のエッチングステージに自己加熱式カソードを用いた手法である。自己加熱式カソードはシミュレーション結果を基に設計し、RF電力投入による加熱特性を評価した。カソード温度はカソードの熱容量が小さいために、10分以内に急激に上昇する。SF6プラズマを用いたチタンのエッチングにおいて、マスクとの選択比100以上で0.6μm/minのエッチング速度を達成した。さらに今回初めて様々なマイナーメタル(Ta, Nb, Mo)のエッチングへの適用を検討した。

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  • MEMSを利用した小型多機能触覚センサの開発 招待

    寒川 雅之

    高分子ナノテクノロジー研究会  2016年6月  高分子学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:東京工業大学大岡山キャンパス  

    添付ファイル: 原稿-新潟大学寒川.pdf

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  • Texture Characterization Including Warm/cool Sensation by Force, Light, and Temperature Sensitive MEMS Sensor 国際会議

    Fumiya Sato, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 8th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2016)  2016年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kanazawa, Japan  

    本論文ではマルチモーダルMEMSセンサによる触感・視感・温冷感を含む質感計測について報告する。本センサはマイクロカンチレバー上のNiCrひずみゲージにより力を、Si中の光導電効果によるインピーダンス変化として光を検知するものである。さらに、ひずみゲージ抵抗やインピーダンスは温度に対する依存性もあるので、温冷感を与える対象物の熱的特性の計測も可能である。対象物(銅、アクリル、木材)をセンサに接触させた後の抵抗やインピーダンスの時間変化は対象物の熱伝導性により異なった。さらに対象物との接触力や対象物からの反射光をそれぞれひずみ抵抗変化およびインピーダンス変化として検知できた。このことから、単一のセンサで温冷感を含む質感計測の可能性を示した。

    添付ファイル: APCOT2016-Sohgawa20160212.pdf

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  • 水晶発振回路を用いたエネルギーキャリアの非接触濃度モニタリング技術の開発

    清水 健司, 寒川 雅之, 安部 隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2016  2016年6月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:パシフィコ横浜  

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  • スマートマニピュレーション制御のための近接触覚複合MEMSセンサ

    荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2016  2016年6月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:パシフィコ横浜  

    添付ファイル: スマートマニピュレーション制御のための近接触覚複合MEMSセンサ.pdf

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  • Enhanced sensitivity of cantilever-based liposome biosensor for detection of Aβ aggregation and fibril growth by incorporating DPPC liposome with cholesterol 国際会議

    Ziyang Zhang, Yuuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    Biosensors 2016  2016年5月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gothenburg, Sweden  

    アルツハイマー病(AD)の原因タンパク質と言われるアミロイドβ(Aβ)のラベルフリー検知技術の開発はその病理解析や初期診断に寄与する。我々は近年Aβの凝集と繊維成長の検知にNiCrひずみゲージカンチレバー型リポソームバイオセンサの応用可能性を提案してきた。しかし、その検知濃度限界(1 μM)はAD患者の血漿中におけるAβの濃度範囲である75~100 nMに対して不足していた。本研究ではコレステロールの取り込みによるリン脂質の特性変化によりバイオセンサの感度の向上を目指した。カンチレバー表面にセンシングバイオ分子としてリポソームを固定化し、リポソーム-Aβ間の相互作用によるカンチレバー変位を検知する。高コレステロールはADのリスクを高めるとの各種報告から、コレステロールを取り込んだDPPCリポソームを作製、カンチレバー上に固定化することで、脂質膜とAβの相互作用におけるコレステロールの効果を調べ、感度向上のための実現性を確認した。コレステロールの取り込みにより相互作用の開始時間が早まり、また相互作用の強さも増加した。これにより100 nMのAβ溶液においても変化がみられ、本提案手法がAD患者の血漿中におけるAβ検知への可能性を持つことが示された。

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  • 圧電型触覚センサのためのBiFeO3薄膜の作製と評価

    河野 壮, 三原 雅人, 田辺 任, 安部 隆, 奥山 雅則, 寒川 雅之

    第63回応用物理学会春季学術講演会  2016年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京工業大学大岡山キャンパス  

    我々はこれまで、マイクロカンチレバー構造とNiCrひずみゲージを用いた触覚センサの研究を行ってきた。今回、低消費電力化や出力の安定化のため、圧電体を検知部として用いることを目指し、鉛・アルカリフリーのBiFeO3薄膜をSi基板およびTi基板上に製膜し特性を評価した。いずれの基板の場合でも良好な結晶性と強誘電性が得られたが、Siに比べてTi上では残留分極が1/10以下と小さくなった。

    添付ファイル: 圧電型触覚センサのためのBiFeO3薄膜の作製と評価.pdf

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  • コレステロール含有リポソームによるカンチレバーバイオセンサのAβ検出感度の向上

    村上 祐樹, 張 子洋, 谷口 智哉, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第63回応用物理学会春季学術講演会  2016年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学大岡山キャンパス  

    我々はAβ検出用リポソーム固定カンチレバーセンサを開発した。現時点で同センサの検出感度を高めるための改良を進めている。コレステロールはAβの凝集過程を促進し、脂質膜とAβとの相互作用を増強するという報告がある。そこでバイオセンシング分子であるDPPCリポソームにコレステロールを含有させることにより、同センサの感度向上を試みた。その結果、10 nMオーダーの低濃度Aβの検出可能性が示唆された。

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  • 親水基の異なるリン脂質リポソームを用いたマイクロカンチレバーセンサによるAβタンパク質識別能力の評価

    張 子洋, 村上 祐樹, 谷口 智哉, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第63回応用物理学会春季学術講演会  2016年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学大岡山キャンパス  

    近年我々はAβ非標識検出用リポソーム固定NiCr歪ゲージカンチレバーセンサを開発している。同センサを用いて種々のリン脂質膜上でのAβ動態変化の特徴を評価し、Aβとの相互作用が強いリン脂質種を選定することによりAβの高感度検出を実現できると考えられる。今回は、親水基の異なるリン脂質膜からなるリポソームをカンチレバー上に固定化したセンサを作製し、Aβとの相互作用を評価してその特徴を比較、検討した。

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  • 片面励起型振動子を用いた脱着式QCMセンサ

    坂口 淳, 田川 侑弥, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成28年電気学会全国大会  2016年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学川内北キャンパス  

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  • 熱反応性イオンエッチング法によるマイナーメタルの微細加工

    村田 祐貴, 南 佑人, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成28年電気学会全国大会  2016年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学川内北キャンパス  

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  • コレステロール添加リポソーム固定カンチレバーセンサによる低濃度Aβタンパク質の検出

    谷口 智哉, 村上 祐樹, 張 子洋, 山下 馨, 野田 実, 寒川 雅之

    平成28年電気学会全国大会  2016年3月  電気学会

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北大学川内北キャンパス  

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  • 近接覚・触覚コンボセンサの光検出感度最適化

    梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

    交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会  2016年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知県産業労働センター ウインクあいち  

    介護ロボットや器用な産業用ロボットにおいて、対象物の近接と接触を検知するセンサは重要である。我々はこれまで近接と触覚を単一の素子で同時検知できる光・ひずみ検出MEMSセンサを提案し、その光検知感度について実験的に明らかにしてきた。本研究では、これまでの実験結果をもとに、近接検知のための光検出部の設計最適化および作製と評価を行ったので報告する。

    添付ファイル: (梅木)フィジカルセンサ研究会論文-修正4.pdf

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  • Mass sensitivity amplification by using Gaussian-shaped quartz crystal resonator 国際会議

    Hiroki Kutsuwada, Sho Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    2016 IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)  2016年1月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

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  • Characterization of BiFeO3 Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge 国際会議

    Takeshi Kohno, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2015  2015年11月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Busan, Korea  

    マイクロカンチレバー型触覚センサのための鉛フリーBiFeO3薄膜をRFスパッタリングによりSiO2/Si基板のPtおよびSrRuO3/Pt上に作製し、製膜条件の最適化により、基板温度500℃、圧力0.6 Pa、酸素分圧0.24 PaでSrRuO3上に製膜した厚さ300 nmのBiFeO3薄膜は良好な結晶性、強誘電性、圧電性を示し、触覚センサの検知部として適していることを示した。さらにカンチレバー上の圧電キャパシタとひずみゲージから異なる時間依存性の出力を得ることができた。

    添付ファイル: Characterization of BiFeO3 Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge.pdf

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  • Basic Study for Tactile and Visual Texture Measurement by Multimodal MEMS Sensor with Force and Light Sensitivity 国際会議

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2015  2015年11月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Busan, Korea  

    ーダルMEMSセンサにより触覚と視覚を合わせた質感計測を行った。エラストマに埋め込まれたマイクロカンチレバーの抵抗変化で力を、SiのMOS構造で光を検知する。力印加によるカンチレバー変位は対象物の触覚による質感に依存する。一方、入射光は対象物の視覚的質感に依存するため、単一MEMSセンサでマルチモーダルな質感を評価できる。

    添付ファイル: PID3845957.pdf

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  • 水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化

    坂井 了, 今井 寛明, 寒川 雅之, 安部 隆

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • 光・ひずみ複合センサによるマルチモーダルな質感計測の基礎検討

    高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

    添付ファイル: 光・ひずみ複合センサによるマルチモーダルな質感計測の基礎検討.pdf

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  • 微量液体に対応した水晶発振回路式液体濃度センサの開発

    柳田 祐太, 須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • 水晶振動子を用いた小型熱重量分析用センサシステムの開発

    和田 涼介, 飯田 尚之, 寒川 雅之, 安部 隆

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • 自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化

    村田 祐貴, 南 佑人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • 水晶振動子を用いた熱重量センサの高性能化

    信濃 耀介, 田川 侑弥, 寒川 雅之, 安部 隆

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • 水晶発振回路を用いた二周波型非接触ケミカルコンボセンサ

    須佐 翼, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • 時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型触覚センサの基礎検討

    河野 壮, 三原 雅人, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ  

    添付ファイル: 時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型触覚センサの基礎検討.pdf

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  • Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーの温度補償と微小流路構造内での計測の検討

    安部 裕太, 安部 隆, 張 子洋, 野田 実, 寒川 雅之

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ  

    添付ファイル: Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーの温度補償と微小流路構造内での計測の検討.pdf

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  • ガウシアン形状ATカット水晶振動子の作製および評価

    轡田 浩規, 渡辺 将, 寒川 雅之, 安部 隆

    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2015年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • Detection of Amyloid-beta at Different Stages of Fibrillization Using a Cantilever-based Liposome Biosensor 国際会議

    Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    The 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2015)  2015年10月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Gyeongju, Korea  

    アルツハイマー病の原因となるアミロイドβ(Aβ)タンパク質のラベルフリー検知のため、検知バイオ分子を表面に固定したカンチレバー型バイオセンサを作製した。線維化過程の異なる段階のAβ(1-40)による違いを評価した。その結果、カンチレバー上ひずみゲージの抵抗変化はAβの凝集状態に依存した。さらにAβの動的挙動の経時変化を観測し、センサの測定結果が線維化過程を反映していることを示した。

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  • Detection of Amyloid-Beta Proteins during Fibrillization Process by Liposome-Immobilized Microcantilevers in Microfluidic Channel 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Ziyang Zhang, Yuta Abe, Takashi Abe, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    The 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015)  2015年9月  応用物理学会

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:札幌コンベンションセンター  

    アルツハイマー病の主要因とされるアミロイドβ(Aβ)のラベルフリー検知が可能なリポソーム固定マイクロカンチレバーバイオセンサにおいて、試料溶液の連続供給と長時間の安定計測のため新たにマイクロ流路を設置した。長時間の計測により、Aβの線維化過程に明らかに依存した出力変化が得られた。本センサにより、Aβの状態(モノマー、凝集体、線維化)を判別でき、線維化の挙動の評価が可能であることを示した。

    添付ファイル: Abstract_SSDM2015-sohgawa-rev2.pdf

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  • カンチレバーバイオセンサによる異種脂質膜-Aβタンパク質間相互作用の検出

    張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  2015年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場  

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  • Characterization of Fibrillization Process of Amyloid-Beta on Lipid Membrane Utilizing a Cantilever-Based Liposome Biosensor 招待 国際会議

    Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    Eurosensors 2015  2015年9月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Freiburg, Germany  

    脂質膜上でのアミロイドβ(Aβ)タンパク質の動的な挙動を検知するリポソーム固定マイクロカンチレバーバイオセンサの開発を行った。Aβとリポソームの相互作用によるカンチレバー上ひずみゲージ抵抗の時間変化は、Aβの線維化の状態および脂質膜分子の種類に強く関連していた。すなわち、本センサによりAβの分子の状態を判別でき、その線維化過程を評価可能であるといえる。

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  • 熱重量測定のためのヒータ集積化QCMの電極形状の最適化

    田川 侑弥, 信濃 耀介, 寒川 雅之, 安部 隆

    センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2015年7月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学医学部百年講堂  

    実機搭載に向けて,宇宙材料評価用小型ヒータ集積化QCMセンサの電極形状を最適化し,昇温特性および温度分布の評価を行った.最適化を行ったQCMは低消費電力かつ高い周波数の安定性を示すことを見出した.

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  • Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーセンサの温度補償とマイクロ流路中計測の検討

    安部 裕太, 安部 隆, 張 子洋, 野田 実, 寒川 雅之

    センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2015年7月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学医学部百年講堂  

    我々はNiCr薄膜をひずみゲージとして用いたマイクロカンチレバー上にリポソームを固定化し、Aβタンパク質との相互作用の計測を行っている。今回、リポソームとタンパク質との熱化学反応や環境温度の影響の評価を可能とするため、カンチレバー上の熱的変化と機械的変位を分離する手法について検討し、さらに将来のアレイセンサ化と流体での計測を目指し、マイクロ流路中にカンチレバーを設置した計測について検討したので報告する。

    添付ファイル: Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーセンサの温度補償とマイクロ流路中計測の検討.pdf

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  • ガウシアン形状AT-カット水晶振動子の質量応答特性の評価

    轡田 浩規, 渡辺 将, 気谷 裕樹, 寒川 雅之, 安部 隆

    センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2015年7月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学医学部百年講堂  

    AT-カット水晶振動子の表面形状と電極上での質量応答分布や感度の関係について基礎的検討を行った.ガウシアン形状振動子における感度増幅などの基礎的なデータが得られ,各種微粒子の質量計測への応用が期待される.

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  • Non-contact Sensor for Measurement of Liquid Concentration Based on Quartz Oscillator 国際会議

    Tsubasa Susa, Takeru Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Transducers 2015  2015年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Anchorage, AK. USA  

    本論文では水晶振動子を用いた液体濃度を計測する非接触センサについて報告する。スペーサ上の液体をセンシングキャパシタ(SC)の面外分布電界により計測する。このセンサはSCの静電容量変化を水晶振動子の周波数変化として検出する。静電容量はスペーサ上の液体試料の比誘電率および導電率に依存するので、試料の濃度が測定可能である。センサは水晶振動子に接続されているため応答は非常に安定である。水晶振動子は液体に触れないため、本センサは高いQ値(約30000)を持っている。さらに、本センサには一般的なICと電子部品を使うことができるため、低コストである。本センサは様々な液体センシングへの応用が期待される。

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  • 人工皮膚下への埋め込みを想定した水晶発振回路式液体濃度センサの開発

    柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2015  2015年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:京都市勧業館「みやこめっせ」  

    本研究では,平面展開したコンデンサを水晶振動子と連結した液体濃度センサの検出部電極形状の最適化により,局所的また微量液体の測定が非接触で可能なセンサの開発に成功した.本センサは,ロボット等の人工皮膚下に埋め込むセンサへの応用が期待される.

    添付ファイル: 人工皮膚下への埋め込みを想定した水晶発振回路式液体濃度センサの開発.pdf

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  • MEMS多軸触覚センサを用いた定量的質感計測のための基礎検討

    髙橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2015  2015年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:京都市勧業館「みやこめっせ」  

    MEMSカンチレバー構造をエラストマに埋め込んだ小型多軸触覚センサを作製し、それを用いた定量的な質感計測を目指して、センサの出力と接触させる対象物体の硬度や形状、表面粗さ等の質感を構成する特性との関係を調べたので報告する。

    添付ファイル: MEMS多軸触覚センサを用いた定量的質感計測のための基礎検討.pdf

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  • 積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス

    寒川 雅之, 安部 隆

    交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会  2015年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊橋技術科学大学 ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー  

    我々はウェットエッチングやドライエッチング等を用いたMEMSプロセスによりシリコンやチタンを微細加工し、μmサイズのカンチレバーの作製を行っている。カンチレバー上に薄膜を積層することで、その立体形状の制御や撓みによる応力変化の検知等が可能であり、触覚センサ等のマイクロメカニカルセンサへの応用を行っている。本論文ではマイクロカンチレバーの作製プロセスとその応用センサデバイスについて報告する。

    添付ファイル: TM_paper_stylefile_word-sohgawa.pdf

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  • カンチレバーバイオセンサを用いたリポソーム脂質膜上でのAβ タンパク質動態の経時変化の検討

    張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第62回応用物理学会春季学術講演会  2015年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学湘南キャンパス  

    添付ファイル: 2015春_張子洋(最終版).pdf

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  • 褥瘡管理用装置のためのマイクロメカニカルセンサ

    寒川 雅之, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 縄田 厚

    日本機械学会北陸信越支部 第52期 総会・講演会  2015年3月  日本機械学会北陸信越支部

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:新潟工科大学  

    添付ファイル: hs52sohgawa_final.pdf

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  • マイクロマシニングによるチタン製微小手術針の一括加工

    南 佑人, 山田 周史, 寒川 雅之, 安部 隆

    日本機械学会北陸信越支部 第52期 総会・講演会  2015年3月  日本機械学会北陸信越支部

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:新潟工科大学  

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  • 微細表面形状に基づ くテクスチャ提示における触覚情報と視覚情報の効果の評価

    小里 篤史, Garcia Josue David, 若尾 あすか, 寒川 雅之, 奥山 雅則, 野間 春生, 田中 弘美

    第15回計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会  2014年12月  計測自動制御学会システムインテグレーション部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京ビッグサイト  

    添付ファイル: si2014(kosato.ver8).pdf

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  • 液滴保持構造付きNiCr薄膜歪ゲージカンチレバーセンサを用いたリポソーム—タンパク質間相互作用の検出

    張 子洋, 赤井 俊夫, 寒川 雅之, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実

    電気学会バイオ・マイクロシステム研究会  2014年12月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋駅前イノベーションハブ会議室  

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  • Evaluation of Effect on Visual and Tactile Impression in Texture Display Based on Fine Surface Profile 国際会議

    Atsushi Kosato, Garcia Josue David, Asuka Wakao, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Hiromi Tanaka

    AsiaHaptics 2014  2014年11月  日本バーチャルリアリティ学会

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    記述言語:英語  

    開催地:つくば  

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  • Texture Measurement and Identification of Object Surface by MEMS Tactile Sensor 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    IEEE Sensors 2014  2014年11月  IEEE

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Valencia, Spain  

    様々な材質の表面質感をPDMSエラストマに埋め込んだマイクロカンチレバーを用いた触覚センサにより評価した。センサ表面への対象物の押込みによる最大出力(カンチレバー上のひずみゲージ抵抗)変化は対象物の硬さや厚みに依存する。さらに、変形緩和により押込み時と引上げ時で出力変化は非対称になった。一方、対象物表面でセンサが滑り始める時には静止摩擦力により出力が急激に上昇し、滑り後はスティックスリップ振動や表面粗さに応じて周期的に変化する。これらのセンサ出力の特徴量を主成分分析することにより、紙や布、革、プラスチック板等の30種類の材料を5つのクラスタに分類できることを示した。

    添付ファイル: PID3327209.pdf

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  • Multimodal Measurement of Proximity and Touch Force by Light- and Strain-sensitive Multifunctional MEMS Sensor 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    IEEE Sensors 2014  2014年11月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Valencia, Spain  

    近接と接触力を計測できるPDMSエラストマに埋め込まれたSiマイクロカンチレバーを用いたマルチモーダルセンサを作製・評価した。マイクロカンチレバー上のひずみゲージの直流抵抗は対象物の押込み深さに比例して変化した。一方、光感度を持つSiの成分を含む交流インピーダンス(> 0.5 MHz)は対象物から反射される光の減少によりセンサ表面と対象物間の距離とともに増加する。さらに、交流インピーダンスは、電極間の静電界分布の違いにより、近接物体が電気的に接地しているか浮遊しているかにより異なり、物体近接は光だけでなく静電界によるインピーダンス変化でも計測可能であることを示している。

    添付ファイル: PID3327207.pdf

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  • Bioassay of Proteins in Stable Solution State Using A Novel Cantilever-based Biosensor 国際会議

    Ziyang Zhang, Toshio Akai, Masayuki Sohgawa, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    IEEE Sensors 2014  2014年11月  IEEE

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Valencia Conference Centre, Valencia, Spain  

    我々はNiCr薄膜ひずみゲージを用いたSiマイクロカンチレバーバイオセンサの開発を行っている。その一方で、DPPCリポソームをマイクロカンチレバー表面に固定化し、検知用生体分子として用いている。リポソームとタンパク質の相互作用はひずみゲージの抵抗変化率を計測することにより検知する。本研究では、今回は長時間安定な検知を可能にするため、タンパク質溶液を安定に保持するPDMS製封止構造を新たに用いた。リゾチームとウシ炭酸脱水酵素(CAB)の水溶液中においてカンチレバーバイオセンサの抵抗は時間とともに増加し、その時間的抵抗変化の特性はタンパク質の種類と濃度により変化した。将来的にはこの液滴封止構造を持ったマイクロカンチレバーセンサはタンパク質の生物学的検定に適用することが期待される。

    添付ファイル: IEEE SENSORS 2014 PROCEEDINGS.pdf

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  • A Novel Micro-Cantilever Biosensor with Droplet Sealed Structure for Stable Detection of Target Proteins 国際会議

    Ziyang Zhang, Toshio Akai, Masayuki Sohgawa, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014)  2014年10月  The Chemical and Biological Microsystems Society (CBMS)

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Henry B. Gonzalez Convention Center, San Antonio,TX, USA  

    DPPCリポソームを表面に固定化したNiCr薄膜ひずみゲージを用いたSiマイクロカンチレバーバイオセンサの開発を行っている。今回は長時間安定な検知を可能にするため、タンパク質溶液を安定に保持するPDMS製封止構造を新たに用いた。ウシ炭酸脱水酵素(CAB)とリゾチームの水溶液中においてカンチレバーセンサの抵抗は時間とともに増加し、その時間的抵抗変化の特性はタンパク質の種類と濃度により変化した。この液滴封止構造を持ったマイクロカンチレバーセンサはタンパク質の生物学的検定に効果的になると期待される。

    添付ファイル: uTAS-14 manuscript (Z. Zhang).pdf

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  • チタニウムウェハの貫通加工のための熱反応性イオンエッチング法の開発

    山田 周史, 南 佑人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2014年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:くにびきメッセ(松江市)  

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  • DRIE技術により作製したチタン製微小手術針の機械的特性評価

    南 佑人, 山田 周史, 寒川 雅之, 安部 隆

    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2014年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:くにびきメッセ(松江市)  

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  • 非接触型液体濃度検出用水晶センサ

    須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆

    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2014年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:くにびきメッセ(松江市)  

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  • 近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析

    野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2014年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:くにびきメッセ(松江市)  

    添付ファイル: センサシンポジウム原稿.pdf

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  • Label-Free Sensing of Various Proteins Using NiCr Strain Gauge Cantilever with Immobilized Liposome

    Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2014年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:英語  

    開催地:くにびきメッセ(島根県立産業交流会館)  

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  • Aβラベルフリー検知リポソーム固定NiCr歪ゲージカンチレバーセンサ

    張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第75回応用物理学会秋季学術講演会  2014年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学札幌キャンパス  

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  • Bioassay of Target Proteins Using A NiCr Strain Gauge-Cantilever Liposome Biosensor with Droplet-Sealed Structure 国際会議

    Ziyang Zhang, Toshio Akai, Masayuki Sohgawa, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2014)  2014年9月  Japan Society of Applied Physics

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Ibaraki, Japan  

    DPPCリポソームを表面に固定化したNiCr薄膜ひずみゲージを用いたSiマイクロカンチレバーバイオセンサの開発を行っている。今回は長時間安定な検知を可能にするため、タンパク質溶液を安定に保持するPDMS製封止構造を新たに用いた。ウシ炭酸脱水酵素(CAB)とリゾチームの水溶液中においてカンチレバーセンサの抵抗は時間とともに増加し、その時間的抵抗変化の特性はタンパク質の種類と濃度により変化した。この液滴封止構造を持ったマイクロカンチレバーセンサはタンパク質の生物学的検定に効果的になると考えられる。

    添付ファイル: SSDM2014_Z. ZHANG (1).pdf

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  • Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers 招待 国際会議

    寒川 雅之

    The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference (IEEE INEC 2014)  2014年7月  IEEE

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, Japan  

    対象物の近接、接触、滑り、表面テクスチャを複合的に計測できる触覚センサの開発を行った。センサはPDMSに埋め込まれたSi基板上の複数のMEMSカンチレバーで構成されており、垂直力と剪断力が計測可能である。対象物へセンサを押込んだり滑らせたりすることで、硬さや摩擦、表面粗さに依存した出力が得られる。さらに、Si基板の光感受性を利用することで近接検知機能を一体集積化した。

    添付ファイル: INEC2014sohgawa-final.pdf

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  • 人間の物質表面感の識別とMEMS多軸センサの計測結果に関する研究

    若尾 あすか, 渡部 公介, 寒川 雅之, 奥山 雅則, 野間 春生

    マルチメディア・仮想環境基礎研究会  2014年7月  電子情報通信学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学 山上会館(本郷キャンパス)  

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  • BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討

    三原 雅人, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2014年5月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学生産技術研究所  

    我々はマイクロカンチレバーをエラストマで封止し、圧力と剪断力の両方を検出できる触覚センサの研究を行っているが、今回、検出部として圧電体薄膜を用いることでその省電力化を試みた。人体に有害な鉛を含まないBiFeO3薄膜をスパッタリングによって製膜し、結晶性と組成から圧電性を示す薄膜を得て、さらにそれを製膜したカンチレバーを振動させることで、最大で約300 mVの出力電圧を測定することができた。

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  • DRIE技術によるチタン製微小手術針の開発

    南 佑人, 山田 周史, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2014年5月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京大学生産技術研究所  

    本研究ではDRIE技術によるチタン製微小手術針の試作について報告する.手術用微小針のモデルを作製し,その針を使用して穿刺実験および穿刺角度実験を行い,寸法変化に伴う穿刺抵抗力の影響とチタン製針の機械的特性について検討した.穿刺力は太さを細くするにつれて低減することと,穿刺角度が小さい場合でも折損しないことを確認した.この実験結果から,チタンの特性を生かした医療用マイクロ加工ツールの応用が期待される.

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  • 光・ひずみ複合MEMSセンサを用いた近接覚・触覚マルチモーダル計測

    野沢 瑛斗, 横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2014  2014年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:富山市総合体育館  

    MEMS技術により作製したマイクロカンチレバーを用いて物体の接触を検知すると同時に、半導体の光導電効果により物体の近接情報を取得できる近接覚・触覚マルチモーダルセンサを作製した。接触力はカンチレバー上のひずみゲージ抵抗の変化として、物体近接は半導体を含む交流インピーダンス変化として検出できた。また、近接計測の環境温度、環境光に対する影響を調べ、通常の環境ではそれらの影響はほとんど見られなかった。さらに、極近傍の物体近接距離は静電界分布によるインピーダンス変化で検知できる可能性が示された。

    添付ファイル: robomechsohgawa-rev4.pdf

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  • 水晶振動子を用いた非接触型アルコール濃度検出法の開発

    須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2014  2014年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:富山市総合体育館  

    添付ファイル: ロボメック論文 .pdf

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  • MEMS触覚センサによる物体表面質感の計測法

    渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 安部 隆, 寒川 雅之

    平成26年電気学会全国大会  2014年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛媛大学 城北キャンパス  

    マイクロカンチレバーを半球形状PDMSに埋め込んだ触覚センサを作製し、それを用いた種々の物体表面質感の計測と識別を行った。計測方法としては、人間の指先のアクティブタッチと同様、センサを対象物表面に押し当てて、水平方向に滑らせることで行う。その時の出力から、対象物の種類によって異なる変化を特徴量として抽出する。今回、既報告の特徴量に加え、スティックスリップや凹凸による変化をフーリエ変換した周波数スペクトルから特徴量等を新たに抽出し、計7つの特徴量を用いた主成分分析を行うことで、紙や布、プラスチック板等を含む32種類の対象物を質感の似た5つのグループに分類することが出来た。

    添付ファイル: H26電気学会全国大会 予稿-寒川.pdf

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  • リポソーム固定NiCr歪ゲージカンチレバーセンサを用いたタンパク質検知

    張 子洋, 赤井 俊夫, 寒川 雅之, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実

    第61回応用物理学会春季学術講演会  2014年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:青山学院大学相模原キャンパス  

    添付ファイル: 2014春応物_張子洋(最終版).pdf

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  • 生体タンパク質識別用リポソーム固定NiCr薄膜ひずみゲージカンチレバーセンサ

    寒川 雅之, 張 子洋, 赤井 俊夫, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実

    平成26年電気学会全国大会  2014年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛媛大学 城北キャンパス  

    表面MEMSプロセスにより作製したマイクロカンチレバー上に自己組織化単分子(SAM)膜によりリポソームを固定化し、カンチレバー表面と生体蛋白質の相互作用による撓み変化をNiCr薄膜ひずみゲージの抵抗変化として電気的・静的に検出する。純水液滴中にカンチレバーを浸漬した場合には抵抗は時間的に安定であった。一方、複数の生体タンパク質水溶液に浸漬した場合、タンパク質のカンチレバーへの吸着により抵抗が時間的に増加した。その変化率はタンパク質の種類によって異なり、900秒後に炭酸脱水酵素(CAB)では約70ppm、リゾチームでは約20ppm増加した。これは分子量の違いやリポソームとの相互作用の大きさの違いを反映したものと考えられる。

    添付ファイル: 電気学会全国大会予稿-寒川.pdf

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  • 水晶振動子式モノリシックメタノール濃度センサに関する理論解析

    渡部 尊, 石井 駿平, 外山 晋二郎, 寒川 雅之, 安部 隆

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

    添付ファイル: 講演論文.pdf

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  • デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム製マイクロ構造体の作製

    山田 周史, 加勢 彩乃, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

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  • 楕円形状ATカット水晶振動子の形状最適化

    渡邉 将, 気谷 裕樹, 寒川 雅之, 安部 隆

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

    添付ファイル: watanabe.pdf

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  • 宇宙応用のための昇温脱離式QCMセンサの開発

    飯田 尚之, 酒井 盾平, 寒川 雅之, 安部 隆

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

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  • 昇温脱離式QCMにおいセンサの形状最適化

    酒井 盾平, 飯田 尚之, 寒川 雅之, 安部 隆

    第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2013年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

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  • Detection of Interaction Between Biological Proteins and Immobilized Liposomes by a Micro-Cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Takashi Fujimoto, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    IEEE Sensors 2013  2013年11月  IEEE

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Baltimore, MD USA  

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  • 水晶振動子を用いたドロップレットリアクタ用多点濃度計測法の開発

    外山 晋二郎, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

    添付ファイル: センサシンポ 2013.pdf

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  • 微細加工QCMを用いた単一微粒子計測技術の開発

    気谷 裕樹, 渡邉 将, 寒川 雅之, 安部 隆

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

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  • PTFEモールドを用いた機能性PDMSのマイクロパターニングプロセスの開発

    佐山 祐亮, 高久 応祐, 寒川 雅之, 安部 隆

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

    添付ファイル: 講演論文.pdf

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  • 漏れ電界を用いた液体分析用デュアル水晶センサの開発

    今井 寛明, 武石 大一, 寒川 雅之, 安部 隆

    第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2013年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:仙台  

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  • High Resolution Measurement of Multi-axial Force in Real Time Using Miniature Tactile Sensor with Microcantilevers Embedded in PDMS 国際会議

    Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    IEEE Sensors 2013  2013年11月  IEEE

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Baltimore, MD USA  

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  • 単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法の検討

    横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2013年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:仙台  

    添付ファイル: SS30_Paper_yokoyama_final.pdf

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  • Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilever Embedded in Hemispherical Elastomer for Surface Texture Measurement 国際会議

    Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013 & Eurosensors XXVII)  2013年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Barcelona, Spain  

    半球型エラストマに埋めこまれたマイクロカンチレバー型多軸触覚センサを作製し、これを用いてアクティブに接触させることで、様々な種類の紙の識別を試みた。センサを紙に押し付けて動かすことで、カンチレバー上ひずみゲージ抵抗変化の時間的応答を得た。この応答からいくつかの特徴量を抽出し、主成分分析により解析することで、いろいろな紙をいくつかの質感の似たグループに分類できた。

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  • Design and Evaluation of Microheater Combined QCM Array for Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議

    Jumpei Sakai, Naoyuki Iida, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013 & Eurosensors XXVII)  2013年6月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Barcelona, Spain  

    本論文では熱脱離スペクトル計測のためのマイクロヒータ付水晶振動子微小天秤(QCM)アレイを提案する。各QCMには厚みすべり振動励起のための二つの電極と二重らせん型のヒータ線がある。マイクロヒータに電圧を印加した時の周波数応答は安定であった。ガスを吸着させるために炭素微粒子を一つのQCMに塗布し、もう一方の塗布しないQCMとの周波数変化の差分を取って計測した。このQCMアレイは温度によるng以下の微小質量変化をモニタリング可能である。

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  • Identification of Various Kinds of Papers Using Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers 国際会議

    Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    The IEEE World Haptics Conference 2013  2013年4月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Daejeon Convention Center, Daejeon, Korea  

    様々な種類の紙を多軸触覚センサのアクティブタッチにより分類した。この触覚センサは粗さ標準片や紙幣の20 μm程度までの微細な表面形状を計測できる。センサを様々な紙に継続的に紙に押し当てて動かすことで得た出力変化からいくつかの特徴量を抽出し、それらを主成分分析することで、紙を4つの質感の似たクラスタに分類可能とした。

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  • NiCr薄膜歪ゲージマイクロカンチレバーセンサを用いたリポソーム‐タンパク質間相互作用検出

    藤本 貴士, 寒川 雅之, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実

    第60回応用物理学会春季学術講演会  2013年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川工科大学  

    添付ファイル: NiCr 薄膜歪ゲージマイクロカンチレバーセンサを用いたリポソーム‐タンパク質間相互作用検出.pdf

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  • マイクロカンチレバー型触覚センサを用いた多軸力計測システムの構成と評価

    横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 東 輝明, 野間 春生

    平成25年電気学会全国大会  2013年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学  

    添付ファイル: H25電気学会原稿final(横山).pdf

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  • NiCr薄膜歪ゲージマイクロカンチレバー構造によるリポソーム-蛋白質間相互作用検出

    寒川 雅之, 藤本 貴士, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実

    平成25年電気学会全国大会  2013年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学  

    添付ファイル: H25電気学会全国大会予稿(寒川)ver3.pdf

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  • Fabrication of High Resolution Tactile Sensor Using Through-Si-via Technology 国際会議

    Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference  2012年11月  応用物理学会

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kobe Meriken Park Oriental Hotel, Kobe, Japan  

    マイクロカンチレバー触覚センサについて、金ワイヤの代わりに貫通Siビア(TSV)を作製しローパスフィルタと組み合わせて信号ノイズの低減を試みた。金ワイヤを用いた出力信号に比べ、TSVを用いた場合はRMSノイズを平均14%低減することができた。また、ローパスフィルタを用いることで電源に由来する60 Hzのノイズを遮断し、二つの手法によりセンサの分解能を10倍高くすることができた。

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  • Dynamic Measurement of Surface Texture of Paper Using the Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers

    Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2012年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:北九州国際会議場および西日本総合展示場  

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  • MEMSカンチレバー型触覚センサを用いた紙葉類の表面触感識別手法の開発

    渡部 公介, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第二回次世代センサ研究発表会  2012年10月  次世代センサ協議会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京ビッグサイト 西3・4ホール センサエキスポジャパン2012展示会場内 特設会場  

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  • 3次元集積化MEMSカンチレバー型多軸触覚センサ

    横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第二回次世代センサ研究発表会  2012年10月  次世代センサ協議会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京ビッグサイト 西3・4ホール センサエキスポジャパン2012展示会場内 特設会場  

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  • 磁場中90°off-axis PLD法による多結晶BiFeO3薄膜の作製と評価

    朴 正敏, 中嶋 誠二, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    第73回応用物理学会学術講演会  2012年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛媛大学・松山大学  

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  • Preparation of Epitaxial BiFeO3 Thin Films on La-SrTiO3 Substrate by Magnetic-Field-Assisted Pulsed Laser Deposition 国際会議

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    The 9th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics  2012年8月  University of Ulsan, Energy Harvest-Storage Research Center (EHSRC) at University of Ulsan, the Institute for Basic Sciences at Changwon National University, NEXTRON, AMS KOREA

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:International Building, University of Ulsan Ulsan, Korea  

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  • 球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ

    寒川 雅之, 植松 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会  2012年6月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門, センサ・マイクロマシン部門各技術委員会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:京都大学 百周年時計台記念館  

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  • Heterogeneous Integration of LSI Amplifier and the Tactile Sensor Using Stacking and Through-Si-via Techniques 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2012 MRS Spring Meeting & Exhibit  2012年4月  Materials Research Society

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Moscone West Convention Center | Marriott Marquis, San Francisco, California, USA  

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  • 信号増幅回路を積層集積化したマイクロカンチレバー型多軸触覚センサの作製

    横山 輔久登, 平嶋 大樹, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    平成24年電気学会全国大会  2012年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:広島工業大学  

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  • 磁場中PLD法によるエピタキシャルBiFeO3薄膜の作製と評価

    朴 正敏, 中嶋 誠二, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    第59回応用物理学関係連合講演会  2012年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:早稲田大学 早稲田キャンパス  

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  • 3次元集積化多軸触覚センサのためのTSV作製

    平嶋 大樹, 横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第59回応用物理学関係連合講演会  2012年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:早稲田大学 早稲田キャンパス  

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  • Ferroelectric Property and Microstructure Evolution of Polycrystalline BiFeO3 Films Prepared by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 国際会議

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    International Conference on Advanced Electromaterials (ICAE2011)  2011年11月  The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (KIEEME)

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Jeju, Korea  

    磁場印加レーザアブレーション法を用いてPt/TiO2/SiO2/Si基板上に成膜したBiFeO3薄膜は単相ペロブスカイト構造を持ち、XRDパターンのピーク角度は磁場無で成膜した場合に比べると低角側にシフトしていた。また、円柱状で小さいグレインサイズの多結晶構造が得られ、この形状により、残留分極が50μC/cm2、圧電d33定数が100pm/Vと強誘電性や圧電性に影響が現れることがわかった。

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  • マイクロカンチレバー型多軸触覚センサによる物体表面のテクスチャ計測

    植松 達也, 横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2011年9月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京 タワーホール船堀  

    触覚センサ素子を動的に接触させて測定することで、物体表面の微小な凹凸や摩擦状態を検出する方法を開発した。上に印刷したインクと印刷していない紙面の摩擦係数の違いで、センサ出力の時間変化が異なった。また、静摩擦・動摩擦状態の間におけるスティック・スリップ現象も検知することができた。

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  • 小型多軸触覚センサを用いた物体表面の質感計測

    植松 達也, 横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第16回日本バーチャルリアリティ学会大会  2011年9月  日本バーチャルリアリティ学会(VRSJ)

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:はこだて未来大学  

    触覚センサ素子を動的に接触させて測定することで、物体表面の微小な凹凸や摩擦状態を検出する方法を開発した。上に印刷したインクと印刷していない紙面の摩擦係数の違いで、センサ出力の時間変化が異なった。また、一万円札の数十μmの微小な縞模様も、センサを動かしてなぞることで出力に一定周期の変化が見られたことから検出が可能であると考えられる。

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  • Fabrication of Tactile Sensor Array Using Microcantilever with Low-TCR Nickel-Chromium Alloy Thin Film for Slippage Detection 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Daiki Hirashima, Yusuke Moriguchi, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    EUROSENSORS XXV  2011年9月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Athens, Greece  

    NiCr組成を最適化したターゲットを用いスパッタリング製膜することで、出力の温度ノイズ・ドリフトの小さい触覚センサアレイを作製した。これにより、センサ出力から精度よく力ベクトルを求めることができるようになった。また、複数の素子を用いることで、滑り状態を含めた把持状態の識別の確率を高めることができた。

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  • 磁場中PLD法によるBiFeO3薄膜の微細構造と強誘電特性

    朴 正敏, 中嶋 誠二, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    第72回応用物理学会学術講演会  2011年8月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:山形大学  

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  • NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化

    守口 祐介, 平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会  2011年6月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学  

    カンチレバー構造を作製することにより、熱膨張差で起きる熱変形により歪みが変化し、見かけ上の抵抗温度係数になる。エラストマに埋め込むことで低減できるが、エラストマ自体も熱膨張を起こすのでそれによる影響もあり、見かけの抵抗温度係数をゼロにするのは難く、熱膨張の少ないエラストマ材料を用いる必要がある。NiCr組成を最適化したターゲットを用いスパッタリング製膜することで、安定して抵抗温度係数を低減できるようになった。

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  • マイクロカンチレバー型触覚センサアレイを用いた回転滑りの検出手法

    水戸 和, 山添 大丈, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2011(ROBOMEC2011)  2011年5月  日本機械学会

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:岡山  

    本報告では触覚センサをロボットの指先に実装した場合の、把持物体のモーメント力と回転滑りの識別手法についてのものである。識別には触覚センサアレイ3素子からの出力を用い、あらかじめそれぞれの状態での各センサ信号を教示データとして学習させておき、把持状態は学習データに対してk-最近傍法を用いて判別する。

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  • NiCrひずみゲージ薄膜を用いたエラストマ埋込型触覚センサの熱膨張率差による影響

    守口 裕介, 平嶋 大樹, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    平成23年電気学会全国大会  2011年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学  

    これまでNiCr薄膜の組成比を最適化することで抵抗温度係数を低減できることを示したが、今回はさらにカンチレバー上に成膜することによる熱的変形による影響を調べた。温度変化が起きるとカンチレバーを構成する層間の熱膨張差で熱変形が起き、歪みの変化から抵抗が変化し、これが見かけの抵抗温度係数となることを確認した。

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  • Signal Processing Methods for Micro Cantilever Type Tactile Sensor 国際会議

    Wataru Mito, Hirotake Yamazoe, Shunsuke Yoshida, Masahiro Tada, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    8th France-Japan Congress and 6th Europe-Asia Congress on Mechatronics (Mecatronics 2010)  2010年11月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Yokohama, Japan  

    エラストマに埋め込んだ3つの傾斜マイクロカンチレバーを用いた圧力と剪断力を検知できる触覚センサを設計・作製した。このセンサユニットを高密度に配置することで多点多軸触覚センサを構成した。触覚の検知と把持状態識別でのセンサの信号処理法について検討した。触覚検知では最小二乗法を用いて印加した力とセンサ出力の関係を定式化した。把持状態識別では機械学習アルゴリズムを用いて3つの把持状態の識別を可能とした。

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  • Crosstalk Reduction of Tactile Sensor Array with Projected Cylindrical Elastomer over Sensing Element 国際会議

    Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)  2010年11月  応用物理学会

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kokura, Fukuoka, Japan  

    エラストマの横方向の変形によるセンサ素子間のクロストークを低減するために円柱型エラストマを用いた触覚センサアレイを設計し作製した。有限要素法によるエラストマの変形解析を行い、クロストークが小さくかつ高い耐久性のためには、円柱と円柱の間の平坦エラストマの厚さは50-100μmが最適であることが分かった。これを元に70μm厚で実際に作製し、低クロストークと高耐久性を共に実現できた。

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  • Distribution Measurement of Normal and Shear Forces by using Tactile Sensor Array with Micro-cantilevers 国際会議

    Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)  2010年11月  応用物理学会

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kokura, Fukuoka, Japan  

    円柱型エラストマ中に埋め込んだ3つのマイクロカンチレバーを用いた素子により構成される触覚センサシステムをMEMS技術により作製した。3×4mm2の小型センサチップをフレキシブルシートに搭載することで曲面上に実装可能とした。さらにアクリル半球と真鍮円柱がセンサ表面に接触した時の垂直圧力と剪断力の分布を計測した結果、接触物体の形状を反映しており、印加される力をベクトル量として計測出来たといえる。

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  • 凸部エラストマを有する触覚センサアレイのクロストーク低減

    植松 達也, 寒川 雅之, 水戸 和, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2010年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:松江  

    エラストマの横方向への変形によるセンサ素子間のクロストークを低減するために、円筒状エラストマを用いた触覚センサアレイを設計した。円筒形状を用いることでクロストークは低減できるが横方向の変形に対し耐久性が弱くなる。そこでエラストマの変形を有限要素法を用いて解析し、円筒の間に50-100μmの平坦部を設けることでそれらを両立できることが分かった。

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  • マイクロカンチレバー型触覚センサによる圧力・剪断力分布測定

    平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 水戸 和, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2010年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:松江  

    マイクロカンチレバー型触覚センサを用い、仮想的にアレイを構成して垂直力と剪断力の空間分布の測定を行った。センサ素子の位置を少しずつ動かしながら、半球と円柱をセンサ表面に押し当て計測し、それぞれの形状に応じた垂直力・剪断力の分布を得ることができた。

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  • Gripping status classification using an array of micro cantilever type tactile sensor 国際会議

    Wataru Mito, Hirotake Yamazoe, Shunsuke Yoshida, Masahiro Tada, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    International Conference on Advanced Mechatronics 2010  2010年10月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Osaka, Japan  

    エラストマに埋め込んだ1素子あたり3つの傾斜カンチレバーを用いた触覚センサアレイを設計・作製した。各センサ素子は垂直力と剪断力を検知できる。このセンサアレイと機械学習アルゴリズムを用いた把持状態の識別法を提案する。複数のセンサデータを統合することにより、滑りの初期兆候である接触表面の部分滑り状態の検知が可能になる。実験の結果、一つのセンサデータを用いた従来の方法より識別率の向上を確認できた。

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  • 触覚センサアレイを用いたHMMによる把持面状態の識別手法

    水戸 和, 美馬 達也, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    映像情報メディア学会メディア工学研究会  2010年5月  映像情報メディア学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:NICT 情報通信研究機構 ユニバーサルメディア研究センター (ATR内)  

    我々は,3つのマイクロカンチレバーをエラストマに埋め込んだ構造からなる超小型触覚センサの開発をしてきた.このセンサは圧力とせん断力を同時計測可能で高密度集積が可能であるという特徴を持つ.本稿ではこのセンサを用いたセンサアレイと隠れマルコフモデル(HMM)を用いた機械学習とを組み合わせ,ロボットハンドによる物体の把持状態識別手法として提案している.そして,実験の結果,従来用いられてきた単一のセンサによる識別手法に比較し, センサアレイを用いることにより一定の識別精度向上が実現された.

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  • NiCrゲージ薄膜を用いたエラストマ埋込型触覚センサの出力ドリフト低減と高感度化

    寒川 雅之, 植松 達也, 橘 弘人, 美馬 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    平成22年電気学会全国大会  2010年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:明治大学  

    組成比を最適化し抵抗温度係数を小さくしたNiCr合金薄膜を用いて、マイクロカンチレバー型触覚センサの抵抗値のドリフト・ノイズを低減し、出力の安定性・再現性を高めた。これにより5kPa以下の誤差で力ベクトルを検知することが可能となった。

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  • 3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性

    橘 弘人, 釜鳴 志朗, 美馬 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生, 樋口 誠良

    第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2009年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京 タワーホール船堀  

    エラストマ中に埋め込まれた3つの異なる方向を向いたマイクロカンチレバーを用いた触覚センサアレイを作製・評価した。印加力ベクトルの各軸の成分に対し各カンチレバーの抵抗は線形な変化を示した。これによりあらかじめ各軸の力に対する係数を実験的に決定しておけば、3つの抵抗変化から力ベクトルの各成分を求めることができる。

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  • MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製

    寒川 雅之, 金島 岳, 山下 馨, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生

    電子情報通信学会電子デバイス研究会  2009年7月  電子情報通信学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学  

    近年注目されているサポートロボットや器用な産業用ロボット用に集積化多軸触覚センサを開発している。このセンサは垂直力と剪断力を同時に計測でき、ヒューマンフレンドリーな表面を持ち、さらにLSI技術との融合が可能である。現在、力の大きさと方向を検知でき、さらにアレイ化にも成功している。

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  • 集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

    橘 弘人, 釜鳴 志郎, 松浦 宏俊, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会  2009年7月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工科大学  

    触覚センサの出力安定性はスパッタリングで成膜したNiCrを用いることで大きく改善できたが、さらなる安定化を目指してNiCrの組成比をコントロールすることで抵抗温度係数の低減を試みた。NiとCrのターゲットの面積比を変えることで様々な組成の薄膜を作製し、温度特性や結晶性等を調べた結果、Crの量が40~60%のときに温度係数が小さくなることが分かった。

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  • Tactile Array Sensor with Inclined Chromium/Silicon Piezoresistive Cantilevers Embedded in Elastomer 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Tatsuya Mima, Hiroyuki Onishi, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayoshi Higuchi, Haruo Noma

    The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009)  2009年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Denver, CO USA  

    Cr/Siピエゾ抵抗マイクロカンチレバーとエラストマを用いた触覚センサ素子を作製し、センサアレイ化を検討した。3×3の計9素子のアレイを構成することができ、センサアレイ表面全体に対して力ベクトルを印加した場合、線形な出力を再現性よく得ることができた。しかしセンサ表面の一部のみに力を印加した場合は素子間のクロストークが問題となった。

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  • リポソーム固定化カンチレバー型歪み抵抗センサの検討

    吉村 友里, 浅井 健, 寒川 雅之, 島内 寿徳, 馬越 大, 山下 馨, 奥山 雅則, 久保井 亮一, 野田 実

    第56回応用物理学関係連合講演会  2009年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:筑波大学  

    リポソームは生体分子と相互作用することがしられており、カンチレバー上に固定化して相互作用による質量変化などに基づく歪み変化の検知を検討した。カンチレバー表面をSAM処理し、液滴滴下によりリポソームが固定化され出力が変化した。さらにリポソームを固定化後のカンチレバー表面状態と出力の相関関係について評価した。

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  • Siピエゾ抵抗を用いた傾斜カンチレバー触覚アレイセンサ

    美馬 達也, 大西 浩之, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 樋口 誠良, 野間 春生

    平成21年電気学会全国大会  2009年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学  

    マイクロカンチレバー型触覚センサ素子を複数配置し、アレイセンサの構成を検討した。アレイセンサ表面全体に力を印加した場合、すべての素子で垂直力・剪断力ともに対して出力が得られた。しかし、センサ表面の一部に力を印加した場合、力を印加していない素子にもエラストマの横方向への変形により出力が現れてしまい、対策が必要であることを示した。

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  • リポソーム固定化カンチレバー型歪み抵抗センサの検討

    吉村 友里, 浅井 健, 山下 馨, 野田 実, 寒川 雅之, 島内 寿徳, 馬越 大, 奥山 雅則, 久保井 亮一

    平成21年電気学会全国大会  2009年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学  

    リポソームは生体分子と相互作用することがしられており、カンチレバー上に固定化して相互作用による質量変化などに基づく歪み変化の検知を検討した。カンチレバー表面をSAM処理し、液滴滴下によりリポソームが固定化され出力が変化した。

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  • Stability Improvement of Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using Ni-Cr Thin Film Gauge 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Hiroyuki Onishi, Yu-Ming Huang, Hiroto Tachibana, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2008 Material Research Society Fall Meeting  2008年12月  Materials Research Society

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Boston, MA USA  

    マイクロカンチレバー型触覚センサにおいて検知部に温度係数の小さいNiCr合金薄膜を用いているが、今回スパッタリング法を用いて成膜することでさらに抵抗温度係数を小さくすることができた。温度係数は製膜温度に依存し、600℃での製膜で最小値0.0065%となった。これにより出力のドリフトを抑え出力の安定性が改善された。

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  • NiCr薄膜歪みゲージを用いた圧力・剪断力触覚センサの出力特性改善

    大西 浩之, 橘 弘人, 黄 裕銘, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2008年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:沖縄コンベンションセンター  

    マイクロカンチレバー型触覚センサにおいて検知部に温度係数の小さいNiCr合金薄膜を用いているが、今回スパッタリング法を用いて成膜することでさらに抵抗温度係数を小さくすることができた。温度係数は製膜温度に依存し、600℃での製膜で最小値0.0065%となった。

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  • Detection of Normal and Shear Stresses by Tactile Sensors with Piezoresistive Micro-cantilever and Elastomer 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Hiroyuki Onishi, Tatsuya Mima, Yu-Ming Huang, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

    2008 Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT)  2008年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Tainan, Taiwan  

    本報告ではCr/Siカンチレバーを4つ十字に並べ、それらの出力の組み合わせで垂直力と2軸の剪断力の分離を行った。垂直力を印加した場合、4つのカンチレバーは同様の出力を示す。一方剪断力を印加した場合は力の方向に平行なカンチレバーのみ反応し、また向かい合ったカンチレバーは正負反対の出力を示した。これによりこれらの和や差をとることで力を分離できると考えられる。

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  • NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化

    黄 裕銘, 寒川 雅之, 大西 浩之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会  2008年6月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:仙台  

    これまでポリマー/Siカンチレバー型触覚センサの検知部としてはPtひずみゲージを用いていたが、抵抗の温度依存性が大きく出力に大きなドリフトが表れていた。そこで温度係数の小さいNiCr薄膜を用いて温度特性を改善し高分解能化を試みた。真空蒸着により作製したNiCrひずみゲージはバルク材料に比べれば大きいものの、Ptに比較すれば温度係数を1/3に低減できた。

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  • Cr/Si傾斜カンチレバーとエラストマを用いた多軸触覚センサの作製と有限要素解析

    寒川 雅之, 美馬 達也, 大西 浩之, 黄 裕銘, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 池田 正哲, 野間 春生

    平成20年電気学会全国大会  2008年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡工業大学  

    Cr/Siカンチレバー型触覚センサの感度の改善を目指して有限要素法により出力の解析を行った。カンチレバー構造をエラストマに埋め込んだモデルを作製し、力を印加した時のカンチレバーの変形量からカンチレバー上のひずみゲージの抵抗変化を計算した。計算値と実際の変化はおおよそ一致し、有限要素モデルを用いることで最適な出力が得られるセンサ形状を設計できることを示した。

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  • Fabrication and Characterization of Normal and Shear Stresses Sensitive Tactile Sensors by Using Inclined Micro-cantilevers Covered with Elastomer 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

    2007 Material Research Society Fall Meeting  2007年11月  Materials Research Society

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Boston, MA USA  

    ロボット用多軸触覚センサを試作し評価した。有限要素法による解析に基づき、力検知用のSiピエゾ抵抗を設けたCr/Siカンチレバー構造を最適な傾斜形状に作製し、これをエラストマ中に埋め込むことでセンサ素子を完成した。作製したセンサ表面に垂直力と剪断力を印加したところ、どちらに対しても感度が得られ、またその出力は有限要素解析結果とよく一致した。

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  • ANSYSによるマイクロ物理センサの形状解析

    寒川 雅之

    2007 Japan ANSYS Conference  2007年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:公開講演,セミナー,チュートリアル,講習,講義等  

    開催地:東京  

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  • エラストマーとポリマー/Si傾斜カンチレバーを用いた触覚センサによる圧力と剪断力の計測

    黄 裕銘, 寒川 雅之, 山下 馨, 金島 岳, 奥山 雅則, 野田 実, 野間 春生

    第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2007年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京 タワーホール船堀  

    ロボット用多軸触覚センサを試作し評価した。有限要素法による解析に基づき、力検知用のSiピエゾ抵抗を設けたCr/Siカンチレバー構造を最適な傾斜形状に作製し、これをエラストマ中に埋め込むことでセンサ素子を完成した。作製したセンサ表面に垂直力と剪断力を印加したところ、どちらに対しても感度が得られ、多軸触覚センサが実現可能であることを示した。

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  • 適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価

    寒川 雅之, 野田 実, 黄 裕銘, 金島 岳, 山下 馨, 奥山 雅則, 池田 正哲, 野間 春生

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会  2007年7月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:筑波大学  

    ロボット用多軸触覚センサを試作し評価した。有限要素法による解析に基づき、力検知用のSiピエゾ抵抗を設けたCr/Siカンチレバー構造を最適な傾斜形状に作製し、これをエラストマ中に埋め込むことでセンサ素子を完成した。作製したセンサ表面に垂直力と剪断力を印加したところ、どちらに対しても感度が得られ、多軸触覚センサが実現可能であることを示した。

    添付ファイル: 2007総合研究会原稿.pdf

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  • Fabrication and Characterization of Silicon-Polymer Beam Structures for Cantilever-Type Tactile Sensors 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Kaoru Yamashita, Takeshi Kanashima, Minoru Noda, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    The 14th International Conference on Solid-state Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '07 & Eurosensors XXI)  2007年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Lyon, France  

    触覚センサ用フッ素ポリマー/Siカンチレバー構造を作製評価した。ポリマー層の製膜条件をプロセスの歩留まりと反り形状により最適化した。1.5μmのSi層に対して最適な膜厚と硬化条件は4-5μmおよび200℃となった。カンチレバー上にPtのひずみゲージ層を設けPDMSに埋め込んで印加圧力に対する反応を測定した。温度ドリフトが大きいものの圧力に対し比例する反応が得られた。

    添付ファイル: TRANS07_sohgawa.pdf

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  • カンチレバー型触覚センサ用シリコン・ポリマービーム構造の作成と評価

    黄 裕銘, 山下 馨, 寒川 雅之, 金島 岳, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生

    平成19年電気学会全国大会  2007年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学  

    我々はカンチレバーに傾斜を持たせ垂直・水平両方向に変形させ垂直力と剪断力を同時に計測できる触覚センサを提案している。これに用いるためのSi表面マイクロマシニングプロセスによりポリマー/Siカンチレバー構造を作製し、その反り形状を評価した。反りの量は有限要素法による解析とよく一致した。ポリマーの膜厚は薄すぎても厚過ぎても反り量は小さくなり、反り量が最大になる膜厚が存在することが分かった。

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  • Studies on Curvature Deformation Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining of SOI Wafer 国際会議

    Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2006 Material Research Society Fall Meeting  2006年11月  Materials Research Society

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Boston, MA USA  

    Si表面マイクロマシニングプロセスにより2層カンチレバー構造を作製し、その反り形状を評価した。Cr/Siカンチレバー構造では有限要素法により解析した結果と作製結果が良く一致した。一方、SiN/Siカンチレバーでは解析値と実験値に大きな乖離がみられた。このことからCr/Siカンチレバー構造では有限要素法により反りの量を最適化できることを示した。

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  • SOI基板表面マイクロマシンプロセスによるバイレイヤーカンチレバー構造の反り量制御の検討

    寒川 雅之, 野田 実, 黄 裕銘, 山下 馨, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    第23回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シン ポジウム  2006年10月  電気学会 センサ・マイクロマシン準部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:高松  

    Si表面マイクロマシニングプロセスにより2層カンチレバー構造を作製し、その反り形状を評価した。Cr/Siカンチレバー構造では有限要素法により解析した結果と作製結果が良く一致した。一方、SiN/Siカンチレバーでは解析値と実験値に大きな乖離がみられた。このことからCr/Siカンチレバー構造では有限要素法により反りの量を最適化できることを示した。

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  • HfO2膜中欠陥の第一原理計算による解析

    寒川 雅之, 吉田 真人, 松本 淳也, 金島 岳, 奥山 雅則

    第52回応用物理学関係連合講演会  2005年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:埼玉大学  

    HfO2に酸素欠損が導入された場合の荷電状態を第一原理計算により解析し、その場合正電荷が存在すると安定することを確認した。実際フォトレフレクタンススペクトルからも酸素欠損を導入した時に正電荷が膜中に現れることが示唆されている。また、計算結果からバンドギャップ中に準位が生じバンドギャップが狭まることが示唆され、これも吸収係数の測定結果と一致することが確認された。

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  • PRSによるHigh-kゲート絶縁膜中の固定電荷の評価

    寒川 雅之, 吉田 真人, 金島 岳, 奥山 雅則, 藤本 晶

    シリコン材料・デバイス研究会  2004年12月  電子情報通信学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:京都大学  

    )HfO2薄膜のフォトレフレクタンス(PRS)スペクトル強度を膜中電荷に対応づけ、種々の評価と比較検討した。PRSスペクトル強度はSi表面電界に依存するため、膜中に正電荷が存在すると強度が減少する。HfO2薄膜は酸素、窒素及びそれらの混合ガス中で製膜したが、PRSスペクトルにより窒素中で製膜したものは酸素中で製膜したものより多くの正電荷を含むことが示された。

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  • Characterization of Space Oxide Charge in HfO2 Thin Film for High-k Gate Insulator by Photoreflectance Spectroscopy 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    International Workshop on "Material Science and Nano-Engineering"  2004年12月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Osaka, Japan  

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  • Contactless Characterization of Fixed Charge in HfO2 Thin Film by Photoreflectance 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takuji Naoyama, Taizo Tada, Koji Ikeda, Takeshi Kanashima, A. Fujimoto, M. Okuyama

    2004 International Conference on Solid State Devices and Materials  2004年9月  応用物理学会

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Tokyo, Japan  

    HfO2薄膜中の固定電荷をフォトレフレクタンス分光法(PRS)により評価した。まず計算により薄膜中の正電荷が増加するとPRSスペクトル強度が減少することを示した。実際にHfO2薄膜にArFレーザを照射し薄膜中に正電荷となる酸素欠陥を導入すると、PRSスペクトルの強度が減少し、膜中電荷量を計測できることを示した。これを応用し、HfO2薄膜の最適な熱処理条件を求めた。

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  • PhotoreflectanceによるMFIS構造の容量保持特性の非接触評価

    寒川 雅之, 吉田 真人, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則

    第65回応用物理学会学術講演会  2004年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東北学院大学  

    SrBi2Ta2O9(SBT)/SiO2/n-Si積層構造の電気特性をフォトレフレクタンス分光法(PRS)を用いて電極形成無に評価した。SBTはMOD法により製膜し、600℃の酸素中で熱処理した。SBTの残留分極の時間変化をPRSスペクトルより計測できることを示した。さらに酸素中での急速加熱処理により、残留分極が保持される時間が延びることをPRSにより非接触で評価できた。

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  • Electron Spin Resonance Characterization of the Defects in High-k HfO2 Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition 国際会議

    Takeshi Kanashima, Koji Ikeda, Taizo Tada, Masanori Sohgawa, Masanori Okuyama

    The 5th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity  2004年8月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Seoul, Korea  

    HfO2薄膜をレーザアブレーション法により作製し、その電気的およびXPS,TEM,ESRによる評価を行った。ESRスペクトルのピークはg=2.0030とg=2.0060に現れた。これらはそれぞれ膜中もしくは界面酸化層と界面準位密度に起因するものであると考えられる。

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  • Electrodeless Characterization of Memorized States of MFIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    The 5th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity  2004年8月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Seoul, Korea  

    SrBi2Ta2O9(SBT)/SiO2/n-Si積層構造の電気特性をフォトレフレクタンス分光法(PRS)を用いて電極形成無に評価した。SBTはMOD法により製膜し、600℃の酸素中で熱処理した。外部透明電極により電圧を印加しながらPRS計測を行い、PRSスペクトル強度に容量特性と同様のヒステリシス特性が表れることを示した。またSBTの残留分極の時間変化をPRSスペクトルより計測できることを示した。

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  • ESRによるHfO2薄膜の欠陥評価

    金島 岳, 池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 奥山 雅則

    シリコン材料・デバイス研究会  2004年6月  電子情報通信学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京  

    )HfO2薄膜をレーザアブレーション法により作製し、その電気的およびESRによる欠陥評価を行った。欠陥に起因するESRスペクトルのピークは製膜時圧力を下げるかターゲット・基板間距離を短くすることで小さくなる。製膜時に蒸発された粒子の運動エネルギーが小さくなることにより界面欠陥が減少していると考えられる。

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  • PLD法により作製されたHfO2薄膜のESRによる欠陥評価

    池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    第51回応用物理学関係連合講演会  2004年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工科大学  

    HfO2薄膜をレーザアブレーション法により作製し、その電気的およびESRによる欠陥評価を行った。欠陥に起因するESRスペクトルのピークは製膜時圧力を下げるかターゲット・基板間距離を短くすることで小さくなる。製膜時に蒸発された粒子の運動エネルギーが小さくなることにより界面欠陥が減少していると考えられる。

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  • Photoreflectance分光法によるHfO2/Si構造の評価

    吉田 真人, 直山 卓示, 寒川 雅之, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則

    第51回応用物理学関係連合講演会  2004年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工科大学  

    高誘電率HfO2薄膜をレーザアブレーション法によりSi基板上に作製し、そのフォトレフレクタンス分光法(PRS)による評価を行った。その結果、製膜温度の上昇とともにPRSのピーク強度が増加し、界面に酸化層が形成されていることが示唆された。

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  • PLDにより製膜したHf酸化物の界面評価

    金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 吉田 真人, 奥山 雅則

    シリコン材料・デバイス研究会  2003年12月  電子情報通信学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:奈良先端科学技術大学院大学  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されるHfO2薄膜をレーザアブレーション法により作製し、その電気的および光学的手法による評価を行った。基板温度および酸素分圧を変化させて製膜しI-V、C-V特性を解析したところ基板温度400℃で0.2Torrの酸素中で製膜することで界面準位密度の低減およびフラットバンドシフト量の改善がみられた。

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  • フォトレフレクタンス分光法による強誘電体/SiO2/Si構造の評価

    寒川 雅之

    STARCシンポジウム2003  2003年9月  (株)半導体理工学研究センター

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:千里ライフサイエンスセンター  

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  • Photoreflectanceによる強誘電体薄膜/SiO2/Si構造の解析

    寒川 雅之, 吉田 真人, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則

    第64回応用物理学会学術講演会  2003年8月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:福岡大学  

    SrBi2Ta2O9(SBT)薄膜をSiO2/Si基板上に製膜して積層構造を作製し、その特性をフォトレフレクタンス分光法(PRS)を用いて評価した。SBTを製膜する前はPRSスペクトルのピークは見えなかったが、SBTを製膜することで大きなピークが出現した。SBT膜中の自然分極によりSi表面電位が大きくなったことによると考えられる。またSBT膜の分極処理によりピーク位置のシフトが起き、圧電効果によりSi表面応力が変化していると考えられる。

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  • Characterization of Ferroelectric Thin Film/SiO2/Si Structure by Photoreflectance 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    The 10th European Meeting on Ferroelectricity  2003年8月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Cambridge, U.K.  

    SrBi2Ta2O9(SBT)薄膜をSiO2/Si基板上に製膜して積層構造を作製し、その特性をフォトレフレクタンス分光法(PRS)を用いて評価した。SBTを製膜する前はPRSスペクトルのピークは見えなかったが、SBTを製膜することで大きなピークが出現した。SBT膜中の自然分極によりSi表面電位が大きくなったことによると考えられる。またSBT膜の分極処理によりピーク位置のシフトが起き、圧電効果によりSi表面応力が変化していると考えられる。

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  • PLD法により作製したPrOx薄膜のRTA効果

    池田 幸司, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    第50回応用物理学関係連合講演会  2003年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川大学  

    レーザアブレーション法により製膜したPrOx高誘電率薄膜について製膜後の急速加熱処理による電気特性の変化について調べた。

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  • SPring-8高輝度・高強度放射光を用いた弗化物・酸化物のエッチング

    藤田 哲士, 多田 泰三, 金島 岳, 寒川 雅之, 神田 浩文, 奥山 雅則, 大橋 治彦, 為則 雄祐, 石黒 英治

    第50回応用物理学関係連合講演会  2003年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:神奈川大学  

    放射光施設Spring-8の高輝度・高強度の放射光を用いフッ化物および酸化物のエッチングを行った。SiO2については表面の放射光照射部でのみ効果的なエッチングが起きた。MgF2、CaF2、BaF2のフッ化物では酸化物に比べ非常に高速でエッチングされることが分かった。

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  • High‐k PrOxゲート絶縁膜の電気的・光学的特性

    金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 神田 浩文, 奥山 雅則

    シリコン材料・デバイス研究会  2002年12月  電子情報通信学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:京都大学  

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  • high-k/SiO2/Si構造のフォトレフレクタンス評価

    寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則

    第63回応用物理学会学術講演会  2002年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:新潟大学  

    SiO2、high-k薄膜、強誘電体薄膜とSiの積層構造におけるSi表面応力をフォトレフレクタンス分光法(PRS)を用いて評価した。Si表面の自然酸化によりSi表面の引張応力が増加することがPRSスペクトルのシフトにより分かる。また、PrOx/Si構造では製膜温度により表面応力が異なることが分かった。これは自然酸化と同様にPrOx/Si界面に酸素とSiの反応による酸化膜層ができるためと考えられる。

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  • SBTとPZT膜を用いたMFIS構造におけるSiO2/Si界面の光学的評価

    神田 浩文, 寒川 雅之, 豊嶋 吉英, 金島 岳, 奥山 雅則, 藤本 晶, 江利口 浩二

    第63回応用物理学会学術講演会  2002年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:新潟大学  

    神田浩文・寒川雅之・北井聡・児玉一志・金島岳・他2名 強誘電体薄膜/ゲート絶縁膜/Si(FIS)構造のSi表面の特性をフォトレフレクタンス分光法を用いて評価した。今回、強誘電体材料として従来用いてきたSBTに加え、残留分極量に優れ一般的に用いられているsol-gel法により製膜したPZTを用いて、各材料による違いを調べた。

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  • Characterization of Si Surface Stress in Various Dielectric Thin Film/Si Structure by Photoflectance Spectroscopy 国際会議

    Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    The 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2002)  2002年9月  応用物理学会

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋  

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  • Characterization of Si Interface in FIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 国際会議

    Hirofumi Kanda, Masayuki Sohgawa, Yoshihide Toyoshima, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    4th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  2002年8月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Osaka, Japan  

    強誘電体(SBT)/SiO2/Si構造中のSi界面の評価にフォトレフレクタンス分光法(PRS)を応用した。得られたPRSスペクトルを理論式を用いてフィッティングをすることで、Siエネルギーバンド構造のL点遷移点のバンド幅を得ることができ、この結果からSi表面に印加されている応力を110MPaと推定した。

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  • Characterization of ZrO2 and PrOx Thin Films for high-k Gate Insulator Prepared by Pulsed Laser Deposition 国際会議

    Takeshi Kanashima, Satoshi Kitai, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Masanori Okuyama

    4th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  2002年8月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Osaka, Japan  

    ZrO2, PrOx高誘電率薄膜をレーザアブレーション法により作製し、微細構造と電気的特性について評価した。リーク電流は400℃の酸素中熱処理で減少したが、容量特性は悪化した。低圧での酸素ラジカル処理により容量特性を維持しつつリーク電流を低減できた。一方、PrOx薄膜ではあまり改善は見られなかった。

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  • Preparation by Pulsed Laser Deposition and Characterization of ZrO2, HfO2 and PrOx Thin Films for High-k Gate Insulator 国際会議

    Takeshi Kanashima, Satoshi Kitai, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Masanori Okuyama

    The 13th International Symposium on the Applications of Ferroelectrics (XIII ISAF 2002)  2002年5月  The Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control Society (UFFC-S) of the IEEE

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nara, Japan  

    ZrO2, HfO2, PrOx高誘電率薄膜をレーザアブレーション法により作製し、微細構造と電気的特性について評価した。400℃以上での製膜でZrO2は結晶化したが、それ以下ではX線回折のピークは見られなかった。リーク電流は製膜温度が高くなるほど減少したが、容量特性は悪化した。HfO2についてはZrO2と同傾向を示す。

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  • 高誘電率ゲート用ZrO2およびPrOx薄膜の作製と評価

    寒川雅之, 北井 聡, 神田 浩文, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則

    第49回応用物理学関係連合講演会  2002年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学  

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  • 軟X線アンジュレータからの高輝度放射光アブレーションによるフッ化物薄膜の作製

    藤田 哲士, 折田 智洋, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    第49回応用物理学関係連合講演会  2002年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東海大学  

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  • PrOxゲート絶縁膜のPLD法による作製

    北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

    シリコン材料・デバイス研究会  2001年12月  電子情報通信学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:奈良先端科学技術大学院大学  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されているPrO_xの薄膜をレーザーアブレーション法により作製し、その基礎物性評価を行った。界面遷移層の成長を防ぐため、室温において雰囲気ガスの導入なしに製膜を行い、界面層の成長がほとんどないPrO_x薄膜が作製されたが、ヒステリシス、リーク電流が大きかった。アニールによりこれらの特性は改善したが、界面層の成長は防ぐことができなかった。ターゲット基板間にマスクを挿入し製膜を行い、従来の酸素雰囲気中でのPLDと比べ比較的平坦な薄膜の作製に成功した。さらに、基板間距離60mmで製膜を行った薄膜においてもっとも優れた電気的特性が得られており、薄膜の特性にはアブレートされた粒子のエネルギーが関係していることが示唆された。