ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

ナノテク・材料 / ナノ材料科学

大阪大学   大学院基礎工学研究科   特任研究員

2005年7月 - 2007年3月

大阪工業大学   工学部電気電子システム工学科   非常勤講師

2002年4月 - 2005年3月

センシング技術応用研究会

Transducers 2023   Local Arrangement Committee  

2023年2月 - 2023年6月   

電気学会   触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会（第３期） 委員  

2022年6月 - 2024年5月   

日本機械学会   マイクロ・ナノ工学部門運営委員会 委員  

2022年4月 - 2024年3月   

電気学会   機能性材料とヒト感性マイクロシステム調査専門委員会 委員長  

2021年10月 - 2024年9月   

電気学会   触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会（第２期） 委員  

2020年6月 - 2022年5月   

電気学会   令和2年度E部門総合研究会実行委員会 論文委員長  

2020年2月 - 2020年9月   

電気学会   令和2年度E部門総合研究会論文委員会委員長  

2020年2月 - 2020年9月   

電気学会   令和2年度E部門総合研究会論文委員会 委員長  

2020年2月 - 2020年9月   

電気学会   令和2年基礎・材料・共通部門大会実行委員会 委員  

2020年1月 - 2020年12月   

日本機械学会   第15回「運動と振動の制御」国際会議（MoViC 2020）現地委員会 委員  

2019年11月 - 2020年10月   

日本機械学会   北陸信越支部 商議員・新潟県幹事  

2019年4月 - 2021年3月   

日本機械学会   ロボティクス・メカトロニクス部門 第7地区技術委員会 幹事  

2019年4月 - 2020年3月   

電気学会   マイクロマシン・センサシステム技術委員会 副委員長  

2018年9月 - 現在   

電気学会   スマート社会に向けた高機能・高感度センサ技術に関する調査専門委員会 委員  

2018年6月 - 2021年12月   

電気学会   触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会 委員  

2018年6月 - 2020年5月   

電気学会   センサ・マイクロマシン部門研究調査運営委員会 幹事  

2018年5月 - 2019年5月   

電気学会   第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員会 委員  

2018年4月 - 2019年1月   

電気学会   平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 論文委員会 幹事  

2018年2月 - 2018年9月   

電気学会   平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 実行委員会 委員  

2018年2月 - 2018年9月   

電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 幹事  

2017年11月 - 2018年12月   

電気学会   センサ・マイクロマシン部門役員会総務企画担当  

2017年6月 - 2019年5月   

電気学会   平成30年全国大会 グループ委員会 第11グループ 主査  

2017年6月 - 2018年6月   

電気学会   平成30年全国大会 論文委員会 委員  

2017年6月 - 2018年6月   

電気学会   平成30年全国大会 小委員会 委員  

2017年6月 - 2018年6月   

電気学会   論文委員会（Ｅグループ）幹事  

2017年4月 - 現在   

電気学会   第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

2017年2月 - 2017年11月   

電気学会   センサ・マイクロマシン部門総合研究会実行委員会幹事  

2016年11月 - 2017年9月   

電気学会   センサ・マイクロマシン部門総合研究会論文委員会委員  

2016年11月 - 2017年9月   

電気学会   触覚デバイスのための計測技術協同研究委員会  

2016年7月 - 2018年6月   

電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 幹事補佐  

2016年7月 - 2017年11月   

電気学会   平成29年全国大会グループ委員会 11グループ委員  

2016年6月 - 2017年6月   

電気学会   圧電MEMSデバイス調査専門委員会 幹事  

2016年4月 - 2019年3月   

応用物理学会   第77回応用物理学会秋季学術講演会 現地実行委員  

2016年4月 - 2016年9月   

電気学会   第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 主査)  

2016年2月 - 2016年11月   

電気学会   センサ・マイクロマシン部門編修委員会 委員  

2015年4月 - 現在   

電気学会   第32回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 副査)  

2015年2月 - 2015年11月   

電気学会   第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事  

2014年12月 - 2015年11月   

電気学会   社会インフラ用センサシステムセキュリティ特別調査専門委員会 委員  

2014年11月 - 2018年3月   

電気学会   触覚提示デバイスの高度化協同研究委員会  

2014年5月 - 2016年4月   

電気学会   第31回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

2014年2月 - 2014年11月   

電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 1号委員  

2013年12月 - 2016年7月   

電気学会   第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事  

2013年12月 - 2014年11月   

電気学会   第30回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

2013年2月 - 2014年1月   

電気学会   触覚デバイスの高度化協同研究委員会委員  

2012年8月 - 2014年4月   

センシング技術応用研究会   グリーンシステム技術(GST)分科会幹事  

2012年7月 - 2024年7月   

電気学会   平成23年電気学会全国大会実行委員会委員  

2010年7月 - 2011年6月   

International Microprocesses and Nanotechnology Conference   Program Comittee  

2010年4月 - 2014年12月   

電気学会   論文委員会（Ｅグループ）委員  

2008年4月 - 現在   

水晶複素容量センサを用いたセメント水和反応と硬化プロセスの非破壊測定 査読

三浦 太一, 岩本 啓吾, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   145 ( 5 )   85 - 90   2025年5月

二重層マスクプロセスを用いたチタン製微小構造体の作製 査読

Qin Yizhi, 海野 一真, 大石 恭徳, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   145 ( 5 )   63 - 68   2025年5月

Quartz Oscillator Based Complex Capacitive Sensor for Nondestructive Sensing Inside RC Structures 査読

Taketeru Yokoyama, Ryosuke Takahashi, Keigo Iwamoto, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electronics and Communications in Japan   108 ( 1 )   2025年1月

MEMS Tactile Sensor for Mimicking the Response of Human Tactile Sensation 査読 国際誌

Ryusuke Mitobe, Zhikai Geng, Takashi Abe, Kensuke Kanda, Masayuki Sohgawa

Sensors and Materials   36 ( 12 )   5129 - 5141   2024年12月

水晶発振回路式複素容量センサによるRC構造体内部の非破壊センシング 査読

横山 猛輝, 高橋 良輔, 岩本 啓吾, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   144 ( 12 )   396 - 401   2024年12月

エラストマシート封止MEMS触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性 査読

若林 陽彩, 南部 泰生, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   144 ( 11 )   369 - 374   2024年11月

質感検知に向けた指紋型表面触覚センサによるなぞり計測 査読

岡固 創, 月山 陽介, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   144 ( 9 )   247 - 251   2024年9月

樹脂コンパウンドの視覚・触覚複合計測のための光・温度検知素子集積化 査読

中村眞子, 安部隆, 寒川雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   144 ( 9 )   252 - 257   2024年9月

支持基板上ATカット水晶振動子の形状の最適化 査読

新田 智也, 安田 倉土, 諸橋 奎人, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   144 ( 6 )   136 - 140   2024年6月

Development of a degradation method for evaluation of edible oils using a contactless quartz crystal complex capacitance sensor 査読

Yu Oshima, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electronics and Communications in Japan   107 ( 2 )   2024年5月

多軸触覚センサの接触部突起位置に対する感度依存性解析とそれに基づく検知素子設計 査読

若林 陽彩, 門田 秀人, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   144 ( 5 )   77 - 81   2024年5月

非接触型水晶複素容量センサを用いた食用油の劣化評価方法の開発 査読

大島 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   144 ( 5 )   111 - 116   2024年5月

Improved Reproducibility of Deflection Control Process for Cantilever‐Type MEMS Tactile Sensors 査読

Harufumi Hosokawa, Yuki Kawasaki, Yingquan Zheng, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering   19 ( 5 )   888 - 893   2024年1月

Elastomer-embedded MEMS Tactile Sensor for Detecting Normal Force, Bending, and Torsion in Grasping Motion 査読

So Okako, Taisei Nambu, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 1 )   6 - 11   2024年1月

Titanium Blade with Jagged Micro-scale Structure Fabricated via Electrolytic Etching 査読

Masamune Kurita, Yuki Takizawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 1 )   2 - 5   2024年1月

Development of a Mobile Measurement System for Simultaneous Measurement of Multiple Microcantilever Based Biosensors 査読

K. Miyaoka, Y. Takahashi, C. F. Werner, M. Sohgawa, M. Noda

2023 IEEE SENSORS   2023年10月

肌のベタつき感定量評価のための触覚センサによる粘着性計測 査読

岡固 創, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   143 ( 8 )   251 - 255   2023年8月

Immobilization strategy of liposome modified cantilever biosensor arrays combined with microfluidic channels

Carl Frederik Werner, Yuya Takahashi, Ryusuke Mitobe, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

2023 IEEE BioSensors Conference (BioSensors)   2023年7月

A Rapid, Sensitive, and Specific Detection of Aggregated α-Synuclein by a Liposome-Immobilized Cantilever Sensor

Ryoko Kobayashi, Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Ryosuke Takahashi, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

IEEE Sensors Journal   23 ( 12 )   12495 - 12502   2023年6月

The New Control Method for Detection of Cold‐Warm sensation using a Heater Integrated Tactile Sensor 査読

Takuma Iwahashi, Naotaka Onda, Hikaru Nagumo, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering   18 ( 7 )   1214 - 1219   2023年4月

Temperature characteristics of a thickness shear mode quartz crystal resonator bonded to a support substrate

Hajime Satani, Kuraudo Yasuda, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Applied Physics Letters   121 ( 25 )   252903 - 252903   2022年12月

Effects of Ions on Liposome-Immobilized Biosensors for the Detection of Alpha-Synuclein 査読

K. Kamitani, M. Sawamura, H. Yamakado, Y. Takahashi, C. F. Werner, M. Sohgawa, M. Noda

IEEE Sensors2022, 2317, Dallas, Texas USA, Oct 30 – Nov 2, 2022   2022年10月

Tactile sensor with microcantilevers embedded in fluoroelastomer/PDMS for physical and chemical resistance 査読

Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

Electronics and Communications in Japan   105 ( 3 )   e12369   2022年8月

Redesigned Microcantilevers for Sensitivity Improvement of Microelectromechanical System Tactile Sensors 査読 国際誌

Ren Kaneta, Takumi Hasegawa, Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

Journal of Robotics and Mechatronics   34 ( 3 )   677 - 682   2022年6月

物理的・化学的耐久性兼備フッ素エラストマ/PDMS封止カンチレバー型触覚センサ 査読

髙橋 佑司, 髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   142 ( 5 )   91 - 96   2022年5月

低電圧静電触覚ディスプレイ用絶縁膜の耐久性向上 査読

近藤 雅敏, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   142 ( 5 )   85 - 90   2022年5月

Fabrication of heater‐integrated MEMS tactile sensor for evaluation of warm and cold sensation by touching glass 査読

Naotaka Onda, Takaaki Kozuka, Takashi Abe, Masanobu Isshiki, Satoru Tomeno, Masayuki Sohgawa

Electrical Engineering in Japan   215 ( 1 )   e23370   2022年3月

Development of time‐delay analysis method of inductance and capacitance for microfluidic circuit 査読

Ryo Watanabe, Akira Yoshida, Yota Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electronics and Communications in Japan   105 ( 1 )   e12352   2022年3月

微小流体回路のためのインダクタンスとキャパシタンスの時差式分析技術の開発 査読

渡部 亮, 吉田 晃, 佐藤 洋太, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   142 ( 2 )   17 - 20   2022年2月

Development of quartz crystal complex capacitive sensor with microelectrode array for sensitization 査読 国際誌

Yuki Hashimoto, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electrical Engineering in Japan   214 ( 4 )   e23356   2021年12月

ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製 査読

恩田 尚隆, 小塚 貴暁, 安部 隆, 一色 眞誠, 留野 暁, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   141 ( 10 )   343 - 348   2021年10月

マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発

橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   141 ( 8 )   279 - 283   2021年8月

Contactless Endpoint Detection of Gold Etching Using Quartz-Based Capacitive Detector

Takuro Okuwaki, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021   1126 - 1129   2021年6月

Development of dry‐nano‐polishing technique using reactive ion etching for ultra thin titanium wafer

Teruya Chino, Yuta Watanabe, Yosuke Tsukiyama, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electronics and Communications in Japan   104 ( 2 )   2021年6月

反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発 査読

千野 輝弥, 渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   141 ( 4 )   103 - 107   2021年4月

外部磁場を利用した多周波水晶発振回路式液体濃度センサによるイオン種分析 査読

藤森 弘貴, 富樫 裕基, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   140 ( 12 )   349 - 353   2020年12月

エラストマ封止カンチレバー型触覚センサの検出エリア評価 査読

阿部 由杜, 菅 史賢, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   140 ( 10 )   272 - 277   2020年10月

水晶発振回路式液体センサを用いた水処理プロセスの非接触モニタリング 査読

吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   140 ( 10 )   251 - 255   2020年10月

工具把持部への触覚センサ設置による把持状況検出 査読

南部泰生, 藤橋智哉, 安部隆, 寒川雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   140 ( 9 )   228 - 234   2020年9月

リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた パーキンソン病患者血清中 α シヌクレインの検出

小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

応用物理学会学術講演会講演予稿集   2020.2   1725 - 1725   2020年8月

Label‐free, chronological and selective detection of aggregation and fibrillization of amyloid β protein in serum by microcantilever sensor immobilizing cholesterol‐incorporated liposome 査読

Tomoya Taniguchi, Toshinori Shimanouchi, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

Biotechnology and Bioengineering   117 ( 8 )   2469 - 2478   2020年8月

Tactile Sensor with High-Density Microcantilever and Multiple PDMS Bumps for Contact Detection 査読

Tomoya Fujihashi, Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Jyun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

Journal of Robotics and Mechatronics   32 ( 2 )   297 - 304   2020年4月

Development of a self-heated-stage for high-speed process of titanium by reactive ion etching

Yuya Kiryu, Gang Han, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electronics and Communications in Japan   103 ( 1-4 )   32 - 37   2020年4月

Tactile sensor using a microcantilever embedded in fluoroelastomer with resistance to cleaning and antiseptic solutions 査読 国際誌

Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

Sensors and Actuators A: Physical   301   111774   2020年1月

An ultrasensitive detection of aggregated α-synuclein as a biomarker molecule for Parkinson disease by liposome-immobilized cantilever biosensor using self-templating phenomena of prionoid protein

Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

MicroTAS 2020 - 24th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences   1280 - 1281   2020年

A selective detection of amyloid beta in human serum by strain gauge cantilever sensor immobilizing liposome incorporated with cholesterol

Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2017   449 - 450   2020年

触覚センシングにおける振動覚検知のためのマイクロカンチレバーの作製と評価 査読

高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 11 )   375 - 380   2019年11月

チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発 査読

桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 10 )   341 - 345   2019年10月

A Novel Detection of Biomarker Molecule of αsynuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Biosensor Using Real-Time Quaking-Induced Conversion Method 査読

R. Kobayashi, M. Sawamura, H. Yamakado, M. Sohgawa, M. Noda

IEEE Sensors 2019, C3L-A-2, Montreal, Canada, October. 27–30 (2019) 1274.   2019年10月

RT-QuIC 法を用いたリポソーム固定化カンチレバーセンサによる αシヌクレインの検出

小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

応用物理学会学術講演会講演予稿集   2019.2   2837 - 2837   2019年9月

容器内溶液の非接触検査のための水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読

小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 7 )   169 - 174   2019年7月

Tactile Sensor Using Microcantilever Embedded in Fluoropolymer for Water and Ethanol Resistance

Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII   1925 - 1928   2019年6月

触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析 査読

木藤 潤, 阿部 祐太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 6 )   149 - 154   2019年6月

A New Detection of Biomarker Molecule of α-Synuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Microsensor with Temperature Stabilization

Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII   999 - 1001   2019年6月

1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価 査読

庄司 拓人, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   139 ( 4 )   81 - 84   2019年4月

リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサによるパーキンソン病原因物質αシヌクレインの検出

小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

応用物理学会学術講演会講演予稿集   2019.1   2531 - 2531   2019年2月

Microdroplet monitoring using microfluid circuit combined quartz oscillator based capacitive sensor 査読 国際誌

Ryo Ebata, Ryo Sakai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electronics and Communications in Japan   101 ( 12 )   50 - 55   2018年12月

河川防災用水位観測システムにおけるミリ波レーダセンサの評価 査読

寒川 雅之, Andrew Whitaker, 酒井 直樹

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   138 ( 10 )   461 - 465   2018年10月

微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング 査読

江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   138 ( 8 )   382 - 386   2018年8月

Electromotive Manipulator Control by Detection of Proximity, Contact, and Slipping Using MEMS Multiaxial Tactile Sensor 査読 国際誌

Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi)   204 ( 2 )   44 - 49   2018年7月

Miniaturization and high-density arrangement of microcantilevers in proximity and tactile sensor for dexterous gripping control 査読 国際誌

Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

Micromachines   9 ( 6 )   301   2018年6月

光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価 査読

難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   138 ( 6 )   250 - 256   2018年6月

Surface texture characterization using optical and tactile combined sensor 査読 国際誌

Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

Sensors and Materials   30 ( 5 )   1091 - 1101   2018年5月

Electrode-separated quartz crystal microbalance for smart-sensor mounting application 査読 国際誌

Jun Sakaguchi, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Sensors and Materials   30 ( 5 )   1073 - 1080   2018年5月

Development of Self-Heated Stage Suitable for Thermal Assist Reactive Ion Etching of the Functional Metals 査読

Yuki Murata, Gang Han, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

Electronics and Communications in Japan   101 ( 3 )   96 - 102   2018年3月

水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発 査読

矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   138 ( 2 )   37 - 40   2018年2月

Development of artificial haptic model for human tactile sense using machine learning 査読

Hikaru Shimoe, Kohei Matsumura, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

Proceedings of IEEE Sensors   2017-   1 - 3   2017年12月

機能性メタルの熱アシスト型反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発 査読

村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   137 ( 9 )   262 - 266   2017年9月

Deep reactive ion etching technique involving use of 3D self-heated cathode 査読

Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1281 - 1284   2017年7月

Gripping control of delicate and flexible object by electromotive manipulator with proximity and tactile combo MEMS sensor 査読

Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1140 - 1143   2017年7月

Texture measurement for fabrics including warm/cool and fluffiness sensation by multimodal MEMS sensor 査読

Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   343 - 346   2017年7月

真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価 査読

和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   137 ( 7 )   180 - 184   2017年7月

近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御 査読

荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   137 ( 7 )   212 - 217   2017年7月

Fabrication of a true-Gaussian-shaped quartz crystal resonator 査読 国際誌

Hiroki Kutsuwada, Sho Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   260   58 - 61   2017年6月

近接覚･触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討 査読

梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   137 ( 5 )   146 - 150   2017年5月

A Cantilever-based Biosensor for Real-time Monitoring of Interactions between Amyloid-β(1–40) and Membranes Comprised of Phosphatidylcholine Lipids with Different Hydrophobic Acyl Chains 査読 国際誌

Ziyang Zhang, Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

ELECTROANALYSIS   29 ( 3 )   722 - 729   2017年3月

Thermal Reactive Ion Etching of Minor Metals with SF6 Plasma 査読 国際誌

Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   217 - 223   2017年3月

Texture Characterization Including Warm/Cool Sensation Using Force-, Light-, and Temperature-Sensitive Micro-electromechanical Systems Sensor 査読 国際誌

Fumiya Sato, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   311 - 321   2017年3月

Deposition and characterization of Al2O3 and BiFeO3 thin films on titanium substrates for tough MEMS devices 査読

Takeshi Kohno, Masato Mihara, Ataru Tanabe, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Masayuki Sohgawa

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   137 ( 1 )   46 - 47   2017年1月

柔軟物把持制御のための近接触覚複合MEMSセンサの出力評価

菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2017   1A1 - N02   2017年

匂いセンサ応用のためのワイヤレス発振式マルチチャンネルQCMセンサの開発

佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2017   1A1 - K11   2017年

Real-time characterization of fibrillization process of amyloid-beta on phospholipid membrane using a new label-free detection technique based on a cantilever-based liposome biosensor. 査読 国際誌

Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL   236   893 - 899   2016年11月

水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化 査読

坂井 了, 今井 寛明, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   136 ( 8 )   343 - 347   2016年8月

微量液体に対応した水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読

柳田 祐太, 須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   136 ( 7 )   319 - 322   2016年7月

Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers 査読

Masayuki Sohgawa

2014 IEEE International Nanoelectronics Conference, INEC 2014   2016年4月

Contactless Liquid Sensing Technique Using a Quartz Oscillator 査読

Tsubasa Susa, Takeru Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

SENSORS AND MATERIALS   28 ( 4 )   289 - 294   2016年4月

A Micromechanical Cantilever-Based Liposome Biosensor for Characterization of Protein-Membrane Interaction 査読

Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

ELECTROANALYSIS   28 ( 3 )   620 - 625   2016年3月

MASS SENSITIVITY AMPLIFICATION BY USING GAUSSIAN-SHAPED QUARTZ CRYSTAL RESONATOR 査読

H. Kutsuwada, S. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   1022 - 1025   2016年

Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information using MEMS Combo Sensor 査読

Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

2016 IEEE SENSORS   655 - 657   2016年

A highly sensitive Amyloid-β detection by cantilever microsensor immobilized with liposome with incorporated cholesterol and phosphatidylcholine lipid with short hydrophobic acyl chains 査読

Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Ziang Zhang, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa

IEEE Sensors 2016   211 - 213   2016年

Detection of Amyloid Beta Fibril Growth by Liposome-Immobilized Micro-Cantilever With NiCr Thin-Film Strain Gauge 査読

Masayuki Sohgawa, Ziyang Zhang, Toshio Akai, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

IEEE SENSORS JOURNAL   15 ( 12 )   7135 - 7141   2015年12月

水晶発振回路を用いた非接触型液体濃度センサ 査読

須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   135 ( 6 )   210 - 213   2015年6月

BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討 査読

三原 雅人, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   135 ( 5 )   158 - 164   2015年5月

Thermal reactive ion etching technique involving use of self-heated cathode 査読

S. Yamada, Y. Minami, M. Sohgawa, T. Abe

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   86 ( 4 )   2015年4月

Microheater-integrated quartz crystal microbalance array for thermal desorption spectroscopy 査読

Jumpei Sakai, Masayuki Sohgawa, Naoyuki Iida, Takashi Abe

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   135 ( 3 )   112 - 113   2015年3月

NON-CONTACT SENSOR FOR MEASUREMENT OF LIQUID CONCENTRATION BASED ON QUARTZ OSCILLATOR 査読

T. Susa, T. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)   1472 - 1475   2015年

Characterization of BiFeO3 Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge 査読

Takeshi Kohno, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

2015 IEEE SENSORS   1192 - 1195   2015年

Basic Study for Tactile and Visual Texture Measurement by Multimodal MEMS Sensor with Force and Light Sensitivity 査読

Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

2015 IEEE SENSORS   699 - 702   2015年

光・ひずみ複合MEMSセンサを用いた近接覚・触覚マルチモーダル計測 査読

野沢瑛斗, 横山輔久登, 金島岳, 奥山雅則, 安部隆, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之

日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM)   2014- ( December )   1749 - 1752   2014年12月

Texture measurement and identification of object surface by MEMS tactile sensor 査読

Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

Proceedings of IEEE Sensors   2014- ( December )   1706 - 1709   2014年12月

Miniature quartz crystal-resonator-based thermogravimetric detector 査読

N. Sai, Y. Tagawa, M. Sohgawa, T. Abe

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   85 ( 9 )   095001   2014年9月

Bioassay of Proteins in Stable Solution State Using a Novel Cantilever-based Liposome Biosensor 査読

Z. Zhang, T. Akai, K. Takada, K. Yamashita, M. Noda, M. Sohgawa

2014 IEEE SENSORS   317 - 320   2014年

Active touch sensing by multi-axial force measurement using high-resolution tactile sensor with microcantilevers 査読

Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma, Masayuki Sohgawa

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   134 ( 3 )   58 - 63   2014年

デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工 査読

山田 周史, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   134 ( 4 )   96 - 99   2014年

光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測 査読

横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 7 )   229 - 234   2014年

水晶振動子式メタノール濃度センサに関する数値計算と実証 査読

渡部 尊, 外山 晋二郎, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 7 )   224 - 228   2014年

Fabrication and noise reduction of the miniature tactile sensor using through-silicon-via connection with signal amplifier 査読

Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Teruaki Azuma, Masanori Okuyama, Haruo Noma

Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 6 )   06GL08   2013年6月

Repetition rate dependence of ferroelectric properties of polycrystalline BiFeO<inf>3</inf> films prepared by pulsed laser deposition method 査読

Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

Ferroelectrics   453 ( 1 )   1 - 7   2013年1月

Multi-axial tactile sensor with micro-cantilever embedded in hemispherical elastomer for surface texture measurement 査読

K. Watanabe, M. Sohgawa, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma, T. Azuma

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   1012 - 1015   2013年

Detection of Interaction between Biological Proteins and Immobilized Liposomes by a Micro-cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge 査読

Masayuki Sohgawa, Takashi Fujimoto, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

2013 IEEE SENSORS   846 - 849   2013年

Force Intensity and Direction Measurement in Real Time Using Miniature Tactile Sensor with Microcantilevers Embedded in PDMS 査読

Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

2013 IEEE SENSORS   1090 - 1093   2013年

Preparation of epitaxial BiFeO<inf>3</inf> thin films on La-SrTiO<inf>3</inf> substrate by using magnetic-field-assisted pulsed laser deposition 査読

Jung Min Park, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Seiji Nakashima

Journal of the Korean Physical Society   62 ( 7 )   1041 - 1045   2013年

Identification of Various Kinds of Papers Using Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers

Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

2013 WORLD HAPTICS CONFERENCE (WHC)   139 - 144   2013年

Design and evaluation of microheater combined QCM array for thermal desorption spectroscopy 査読

J. Sakai, N. Iida, M. Sohgawa, T. Abe

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   234 - 237   2013年

傾斜マイクロカンチレバー型触覚センサによる物体表面質感の計測法に関するレビュー 査読

寒川 雅之, 渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   133 ( 5 )   147 - 154   2013年

Tactile sensor array using microcantilever with nickel–chromium alloy thin film of low temperature coefficient of resistance and its application to slippage detection 査読

Masayuki Sohgawa, Daiki Hirashima, Yusuke Moriguchi, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

Sensors and Actuators A: Physical   186   32 - 37   2012年10月

Ferroelectric and Piezoelectric Properties of Polycrystalline BiFeO3 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 査読

Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9S2 )   09MD05 - 09MD05-4   2012年9月

Ferroelectric and piezoelectric properties of polycrystalline BiFeO<inf>3</inf>thin films prepared by pulsed laser deposition under magnetic field 査読

Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9 PART3 )   2012年9月

球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ

寒川 雅之, 植松 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2012 ( 8 )   1 - 6   2012年6月

Heterogeneous Integration of LSI Amplifier and the Tactile Sensor Using Stacking and through-Si-via Techniques 査読

Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

Material Research Society Symposium Proceedings   1427   14 - 19   2012年4月

Miniature ultrasonic and tactile sensors for dexterous robot

Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Haruo Noma

Transactions on Electrical and Electronic Materials   13 ( 5 )   215 - 220   2012年

Preparation of BiFe0.9Co0.1O3 Films by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 査読

Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9S2 )   09NB03   2011年9月

Preparation of BiFe<inf>0.9</inf>Co<inf>0.1</inf>O<inf>3</inf> films by pulsed laser deposition under magnetic field 査読

Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9 PART 3 )   2011年9月

NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化

守口 祐介, 平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2011 ( 19 )   15 - 19   2011年6月

Crosstalk reduction of tactile sensor array with projected cylindrical elastomer over sensing element 査読

Masayuki Sohgawa, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 6 )   06GM08   2011年6月

Fabrication of a flexible array for Tactile sensors with microcantilevers and the measurement of the distribution of normal and shear forces 査読

Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 6 )   06GM02   2011年6月

マイクロカンチレバー型触覚センサアレイによる把持状態の識別手法 査読

水戸 和, 美馬 達也, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

計測自動制御学会論文集   47 ( 1 )   40 - 42   2011年1月

Fabrication of tactile sensor array using microcantilever with low-TCR nickel-chromium alloy thin film for slippage detection

M. Sohgawa, D. Hirashima, Y. Moriguchi, T. Uematsu, W. Mito, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma

EUROSENSORS XXV   25   627 - 630   2011年

Ferroelectric properties of Bi1.1Fe1-xCo xO3 thin films prepared by chemical solution deposition using iterative rapid thermal annealing in N2 and O2 査読

Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama

Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 9 )   09MB05   2010年9月

触覚センサアレイを用いたHMMによる把持面状態の識別手法(感性情報処理とマルチメディア技術および一般)

水戸 和, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

映像情報メディア学会技術報告   34 ( 18 )   39 - 42   2010年5月

Ferroelectric Properties of Bi1.1Fe1-xCoxO3 Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition Using Iterative Rapid Thermal Annealing in N-2 and O-2 査読

Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 9 )   2010年

3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性 査読

橘 弘人, 釜鳴 志朗, 美馬 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生, 樋口 誠良

電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）   130 ( 6 )   223 - 229   2010年

Gripping status classification using an array of micro cantilever type tactile sensor

Mito Wataru, Yamazoe Hirotake, Yoshida Shunsuke, Tada Masahiro, Sohgawa Masayuki, Kanashima Takeshi, Okuyama Masanori, Noma Haruo

The Abstracts of the international conference on advanced mechatronics : toward evolutionary fusion of IT and mechatronics : ICAM   2010   351 - 354   2010年

MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製

寒川 雅之, 金島 岳, 山下 馨, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生

電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   109 ( 157 )   41 - 46   2009年7月

集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

橘 弘人, 釜鳴 志郎, 松浦 宏俊, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2009 ( 16 )   97 - 102   2009年7月

Stability improvement of tactile sensor of normal and shear stresses using Ni-Cr thin film gauge 査読

Hiroyuki Onishi, Masayuki Sohgawa, Hiroto Tachibana, Yu Ming Huang, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Haruo Noma

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   129 ( 11 )   7 - 416   2009年

Tactile array sensor with inclined chromium/silicon piezoresistive cantilevers embedded in elastomer

M. Sohgawa, T. Mima, H. Onishi, T. Kanashima, M. Okuyama, K. Yamashita, M. Noda, M. Higuchi, H. Noma

TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   284 - 287   2009年

NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化

黄 裕銘, 寒川 雅之, 大西 浩之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2008 ( 7 )   31 - 34   2008年6月

Fabrication and normal/shear stress responses of tactile sensors of polymer/Si cantilevers embedded in PDMS and urethane gel elastomers 査読

Yu Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Minoru Noda, Haruo Noma

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   128 ( 5 )   193 - 197   2008年

Fabrication and characterization of normal and shear stresses sensitive tactile sensors by using inclined mcro-cantilevers covered with elastomer 査読

Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES   1052   151 - +   2008年

Fabrication and Characterization of Normal and Shear Stresses Sensitive Tactile Sensors by Using Inclined Micro-cantilevers Covered with Elastomer 査読

Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

Material Research Society Symposium Proceedings   1052   151 - 156   2007年12月

適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価

寒川 雅之, 黄 裕銘, 金島 岳, 山下 馨, 奥山 雅則, 野田 実, 池田 正哲, 野間 春生

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2007 ( 14 )   47 - 50   2007年7月

Fabrication and characterization of silicon-polymer beam structures for cantilever-type tactile sensors

M. Sohgawa, Y. -M. Huang, K. Yamashita, T. Kanashima, M. Noda, M. Okuyama, H. Noma

TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2   1461 - 1464   2007年

Studies on Curvature Deformation Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining of SOI Wafer 査読

Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma

Material Research Society Symposium Proceedings   969   0969-W05-01 - +   2006年11月

Contactless characterization of fixed charges in HfO(2) thin film from photorellectance 査読

M Sohgawa, M Yoshida, T Naoyama, T Tada, K Ikeda, T Kanashima, A Fujimoto, M Okuyama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 4B )   2409 - 2414   2005年4月

フォトレフレクタンス分光法による誘電体-シリコン構造の評価に関する研究

寒川 雅之

2005年3月

Electrodeless characterization of memorized states of MFIS structure by photoreflectance spectroscopy 査読

M Sohgawa, M Yoshida, T Kanashima, M Okuyama

JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   46 ( 1 )   262 - 264   2005年1月

Electrodeless Characterization of Memorized States of MFIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 査読

Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

Journal of Korean Physical Society   46 ( 1 )   262 - 264   2005年1月

Electron Spin Resonance Characterization of Defects in High-k HfO2 Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition 査読

Takeshi Kanashima, Koji Ikeda, Taizo Tada, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

Journal of Korean Physical Society   46 ( 1 )   258 - 261   2005年1月

Electron spin resonance characterization of defects in high-k HfO2 thin film prepared by pulsed laser deposition 査読

T Kanashima, K Ikeda, T Tada, M Sohgawa, M Okuyama

JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   46 ( 1 )   258 - 261   2005年1月

PRSによるHigh-kゲート絶縁膜中の固定電荷の評価

寒川 雅之, 金島 岳, 吉田 真人, 多田 泰三, 奥山 雅則, 藤本 晶

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 510 )   25 - 30   2004年12月

ESRによるHfO2薄膜の欠陥評価

金島 岳, 池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 奥山 雅則

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 135 )   43 - 48   2004年6月

Characterization of ferroelectric thin film/SiO2/Si structure by photoreflectance 査読

Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

Ferroelectrics   303 ( 1 )   119 - 123   2004年1月

PLDにより製膜したHf酸化物の界面評価

金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 吉田 真人, 奥山 雅則

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   103 ( 533 )   51 - 56   2003年12月

Characterization of ZrO2 and PrOx thin films for high-k gate insulator prepared by pulsed laser deposition 査読

T Kanashima, M Sohgawa, H Kanda, K Ikeda, M Okuyama

JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   42   S1357 - S1361   2003年4月

Characterization of Si Interface in FIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 査読

Hirofumi Kanda, Masayuki Sohgawa, Yoshihide Toyoshima, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Akira Fujimoto

Journal of Korean Physical Society   42   1072 - 1075   2003年4月

Characterization of ZrO2 and PrOx Thin Films for High-k Gate Insulator Prepared by Pulsed Laser Deposition 査読

Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Koji Ikeda, Masanori Okuyama

Journal of Korean Physical Society   42   1357 - 1361   2003年4月

Characterization of Si interface in FIS structure by photoreflectance spectroscopy 査読

H Kanda, M Sohgawa, Y Toyoshima, T Kanashima, M Okuyama, A Fujimoto

JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   42 ( SUPPL. )   S1072 - S1075   2003年4月

High-k PrOxゲート絶縁膜の電気的・光学的特性

金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 神田 浩文, 奥山 雅則

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102 ( 540 )   45 - 49   2002年12月

Preparation by pulsed laser deposition and characterization of ZrO2, HfO2 and PrOx thin films for high-k gate insulator

T Kanashima, S Kitai, M Sohgawa, H Kanda, M Okuyama

ISAF 2002: PROCEEDINGS OF THE 13TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON APPLICATIONS OF FERROELECTRICS   199 - 202   2002年

PrOxゲート絶縁膜のPLD法による作製

北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 515 )   11 - 16   2001年12月

フォトレフレクタンス分光法によるSiの表面応力の非接触・非破壊評価

藤本 晶, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

和歌山工業高等専門学校研究紀要   ( 36 )   15 - 19   2001年10月

PrOx高誘電率ゲート絶縁膜のPLDによる作製と評価

北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

電気学会電子材料研究会資料   EFM-01 ( 6-13 )   43 - 47   2001年9月

ZrO2高誘電率ゲート絶縁膜のPLDによる作製と評価

北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 108 )   19 - 24   2001年6月

Nondestructive and contactless monitoring technique of Si surface stress by photoreflectance 査読

M Sohgawa, M Agata, T Kanashima, K Yamashita, K Eriguchi, A Fujimoto, M Okuyama

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 4B )   2844 - 2848   2001年4月

Preparation and characterization of ZrO2/Si structure 査読

M. Sohgawa, S. Kitai, H. Kanda, T. Kanashima, A. Fujimoto, M. Okuyama

Extended Abstracts of International Workshop on Gate Insulator, IWGI 2001   170 - 173   2001年

Optical characterization of antenna-area-dependent gate oxide charging damage in MOS capacitors by photoreflectance spectroscopy 査読

M Agata, M Sogawa, O Maida, K Eriguchi, A Fujimoto, T Kanashima, M Okuyama

2000 5TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA PROCESS-INDUCED DAMAGE   97 - 100   2000年

フォトレフレクタンス分光法によるゲート酸化膜に導入されたチャージングダメージの光学的評価(半導体Si及び関連電子材料評価)

阿形 眞司, 寒川 雅之, 毎田 修, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   99 ( 491 )   75 - 80   1999年12月

MEMS触覚センサを用いたフォークの把持力に基づく食材判別へのリザバーコンピューティングの応用

坪倉奏太, 安藤潤人, 北野勝則, 野間春生, 寒川雅之, 秋田純一

電気学会研究会資料(Web)   ( PI-22-001-018 )   2022年

口腔ケアシミュレータに向けたMEMSセンサ搭載歯-歯茎モデルの検討

寒川雅之, 兒玉崇行, 安部隆, 三谷篤史

電気学会研究会資料(Web)   ( TER-22-029.031-041/MSS-22-001.003-013 )   2022年

MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価—Implementation and Evaluation of Calibration Processing Method for MEMS Tactile Sensor—マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般

河内 彪博, 安藤 潤人, 野間 春生, 寒川 雅之

電気学会研究会資料. MSS   2021 ( 36-47 )   13 - 16   2021年7月

MEMS触覚センサを用いたフォークによる食材刺突時の把持力に基づく食材判別

坪倉奏太, 柴田結衣, 安藤潤人, 寒川雅之, 渡邊淳司, 野間春生

日本バーチャルリアリティ学会大会論文集(CD-ROM)   26th   2021年

MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価

河内彪博, 安藤潤人, 野間春生, 寒川雅之

電気学会研究会資料(Web)   ( MSS-21-036-047 )   2021年

MEMS触覚センサ向け機械学習のためのFPGAによるSNNパーセプトロン実装

青木雅典, 土橋嬉真花, 安藤潤人, 寒川雅之, 秋田純一, 野間春生

日本バーチャルリアリティ学会大会論文集(CD-ROM)   26th   2021年

「将来のIoTに向けたセンサ・センシングシステム技術」

戸田 雅也, 寒川 雅之, 佐々木 実

140 ( 9 )   221 - 221   2020年9月

リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた ヒト由来 α シヌクレイン線維化の検出

小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

応用物理学会学術講演会講演予稿集   2020.1   2524 - 2524   2020年2月

複合触覚センシングのためのフレキシブル圧力・曲げセンサ

寒川雅之, 高橋拓海, 富田亮, 安部隆, 鳴海敬倫

電子情報通信学会技術研究報告   119 ( 103(OME2019 12-16) )   7‐10   2019年6月

フッ素エラストマとCNT分散樹脂を用いたフレキシブル圧力・曲げセンサの基礎検討

高橋拓海, 富田亮, 安部隆, 鳴海敬倫, 寒川雅之

電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)   2019   ROMBUNNO.3‐164   2019年3月

触覚センサと触り心地の「見える化」 招待

寒川 雅之

電波技術協会報FORN   324 ( 9 )   10 - 13   2018年9月

Aβ検出用カンチレバーセンサ感度向上に向けたセンシングバイオ分子の検討

谷口智哉, 島内寿徳, 寒川雅之, 山下馨, 野田実

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   65th   ROMBUNNO.18p‐P5‐22   2018年3月

医療・福祉におけるセンシングとMEMS技術を用いた触覚センサ 招待

寒川 雅之

日本印刷学会誌   54 ( 6 )   365 - 370   2017年12月

ミネラルウォーターの品質評価のための非接触型水分析センサの開発

小黒 悠, 矢田 直人, 清水 健司, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   4p   2017年10月

小型マニピュレータによる柔軟物把持制御のための近接・接触・滑り検知触覚センサ

菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   6p   2017年10月

ワイヤレス発振式水晶振動子型熱重量分析センサの開発と評価

丸山 耕平, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   4p   2017年10月

MEMS触覚センサによる布の接触温冷感と風合いを合わせた評価

志和 昂, 高橋 賢太, 佐藤 文哉, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   5p   2017年10月

皮膚性状計測へ向けた光・力複合MEMSセンサの研究

佐藤 周平, 阿部 祐太, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   1 - 4   2017年10月

ワイヤレス駆動可能なデュアルモード型QCMセンサの開発

佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   34   1 - 4   2017年10月

座談会：奥山雅則先生を囲んで（後編）

電気学会, 部門編修委員会, 文責, 寒川 雅之

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   137 ( 9 )   NL9_3 - NL9_8   2017年9月

座談会：奥山雅則先生を囲んで（前編）

電気学会, 部門編修委員会, 文責, 寒川 雅之

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   137 ( 8 )   NL8_2 - NL8_8   2017年8月

光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価 (フィジカルセンサ研究会 フィジカルセンサとそのプロセス技術および一般)

難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会研究会資料. PHS   2017 ( 14 )   5 - 9   2017年6月

ひと触覚を模した人工触覚モデル実現の試み (知覚情報研究会・力触覚提示デバイス)

下江 輝, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生

電気学会研究会資料. PI = The papers of Technical Meeting on "Perception Information", IEE Japan,   2017 ( 52 )   17 - 20   2017年3月

皮膚組織ひずみ計測のための柔軟物の多層構造とMEMS多軸力複合センサ出力の相関性評価 (交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会 鉄道、センサ技術一般)

阿部 祐太, 佐藤 周平, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会研究会資料. PHS   2017 ( 1 )   25 - 28   2017年3月

AD患者血清中におけるアミロイドβタンパク質検出に向けたリポソーム固定化カンチレバーバイオセンサにおける脂質種の検討

谷口智哉, 村上祐樹, 西本凌, 尾淵浩也, 寒川雅之, 山下馨, 野田実

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   64th   ROMBUNNO.14a‐F204‐9   2017年3月

国際会議報告：IEEE Sensors 2016報告

寒川 雅之

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   137 ( 3 )   NL3_1 - NL3_1   2017年3月

スマートセンサとEMC 接触力計測のためのマイクロメカニカルセンサの実装とノイズ低減 招待

寒川 雅之

月刊EMC   29 ( 10 )   66 - 73   2017年2月

ひずみ・光・熱複合センサを用いた布に対するマルチモーダル質感計測 (知覚情報研究会・知覚情報技術の最前線)

髙橋 賢太, 佐藤 文哉, 志和 昂, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

電気学会研究会資料. PI = The papers of Technical Meeting on "Perception Information", IEE Japan,   2016 ( 49 )   41 - 46   2016年10月

エネルギーキャリアモニタリング用水晶発振回路式非接触濃度センサの開発

清水 健司, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

検出距離の長距離化のための非接触型水晶発振回路式液体濃度センサの開発

南 宗君, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

片面励起型無線発振式QCMの周波数安定性の電極径、結晶方向依存性

坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

機械のヘルスケアモニタリング用水晶発振回路式非接触液体濃度センサの開発

矢田 直人, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

光・力・温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価

佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 6   2016年10月

近接覚・触覚コンボセンサを用いた周波数変調近接計測

梅木 尚, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

機能性メタルの熱反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発

村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   33   1 - 4   2016年10月

炭素鎖長の短い疎水基のリン脂質リポソームを用いたカンチレバーバイオセンサのAβタンパク質の検出感度向上の検討

村上祐樹, 谷口智哉, ZHANG Z, 寒川雅之, 山下馨, 野田実

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   77th   ROMBUNNO.15a‐B8‐3   2016年9月

低濃度Aβタンパク質検出用NiCr歪みゲージカンチレバーセンサの温度補償特性向上

谷口智哉, 寒川雅之, 村上祐樹, ZHANG Ziyang, 山下馨, 野田実

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   77th   ROMBUNNO.15a‐B8‐5   2016年9月

接触力・光・温度を測るMEMSコンボセンサと物体の質感計測 招待

寒川 雅之

化学工業   67 ( 8 )   48 - 55   2016年8月

水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

電気学会研究会資料. MSS   2016 ( 9 )   25 - 27   2016年6月

コレステロール添加リポソーム固定カンチレバーセンサによる低濃度Aβタンパク質の検出

谷口智哉, 村上祐樹, ZHANG Ziyang, 山下馨, 野田実, 寒川雅之

電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)   2016   ROMBUNNO.3‐108   2016年3月

コレステロール含有リポソームによるカンチレバーバイオセンサのAβ検出感度の向上

村上祐樹, ZHANG Z, 谷口智哉, 寒川雅之, 山下馨, 野田実

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   63rd   ROMBUNNO.19A-W331-6   2016年3月

親水基の異なるリン脂質リポソームを用いたマイクロカンチレバーセンサによるAβタンパク質識別能力の評価

ZHANG Z, 村上祐樹, 谷口智哉, 寒川雅之, 山下馨, 野田実

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   63rd   ROMBUNNO.19P-W323-11   2016年3月

近接覚・触覚コンボセンサの光検出感度最適化 (交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会・鉄道、センサ技術一般)

梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on "Transportation and Electric Railway", IEE Japan   2016 ( 8 )   33 - 37   2016年3月

国際会議報告：2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015) 招待

寒川 雅之

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   136 ( 2 )   PNL2_1 - NL2_1   2016年2月

Improvement of sensitivity for Aβ protein on cantilever biosensor by incorporating DPPC liposome with cholesterol

Y. Murakami, Z. Zhang, T. Taniguchi, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2016   1390 - 1391   2016年1月

A High-Sensitive Detection of Several Tens of nM of Amyloid-Beta by Cantilever-Type Biosensor Immobilized DPPC Liposome Incorporated with Cholesterol

Y. Murakami, Z. Zhang, T. Taniguchi, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016   168   565 - 568   2016年

Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーの温度補償と微小流路構造内での計測の検討

安部 裕太, 安部 隆, 張 子洋, 野田 実, 寒川 雅之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   32   1 - 5   2015年10月

ガウシアン形状ATカット水晶振動子の作製および評価

轡田 浩規, 渡辺 将, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   32   1 - 4   2015年10月

自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化

村田 祐貴, 南 佑人, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   32   1 - 5   2015年10月

水晶発振回路を用いた二周波型非接触ケミカルコンボセンサ

須佐 翼, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   32   1 - 4   2015年10月

水晶振動子を用いた小型熱重量分析用センサシステムの開発

和田 涼介, 飯田 尚之, 寒川 雅之, 安部 隆

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   32   1 - 4   2015年10月

時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型 触覚センサの基礎検討

河野 壮, 三原 雅人, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   32   1 - 4   2015年10月

半導体MEMSを用いた近接覚・触覚コンボセンサ 招待

寒川 雅之

ケミカルエンジニヤリング   60 ( 9 )   653 - 659   2015年9月

カンチレバーバイオセンサによる異種脂質膜‐Aβタンパク質間相互作用の検出

ZHANG Z, 寒川雅之, 山下馨, 野田実

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   76th   ROMBUNNO.13A-2B-6   2015年8月

2A2-R03 人工皮膚下への埋め込みを想定した水晶発振回路式液体濃度センサの開発

柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2015   "2A2 - R03(1)"-"2A2-R03(2)"   2015年5月

1P1-V05 MEMS多軸触覚センサを用いた定量的質感計測のための基礎検討

高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2015   "1P1 - V05(1)"-"1P1-V05(2)"   2015年5月

E部門発足20周年記念特集 ～未来に向けて（若手研究者の夢）～：「日本的」なセンサデバイスを目指して 招待

寒川 雅之

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   136 ( 5 )   NL5_3   2015年5月

積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス (交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会・鉄道、センサ技術一般)

寒川 雅之, 安部 隆

電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on "Transportation and Electric Railway", IEE Japan   2015 ( 1 )   41 - 44   2015年3月

カンチレバーバイオセンサを用いたリポソーム脂質膜上でのAβタンパク質動態の経時変化の検討

ZHANG Z, 寒川雅之, 山下馨, 野田実

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)   62nd   ROMBUNNO.13A-D6-10   2015年2月

MEMS加工技術とその応用 招待

寒川 雅之, 安部 隆

機械の研究   67 ( 2 )   99 - 105   2015年2月

Detection of amyloid-beta at different stages of fibrillization using a cantilever-based liposome biosensor

Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

MicroTAS 2015 - 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences   1649 - 1651   2015年1月

Characterization of Fibrillization Process of Amyloid-Beta on Lipid Membrane Utilizing a Cantilever-Based Liposome Biosensor

Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

EUROSENSORS 2015   120   41 - 44   2015年

液滴保持構造付きNiCr薄膜歪ゲージカンチレバーセンサを用いたリポソーム‐タンパク質間相互作用の検出

ZHANG Z, 赤井俊夫, 高田佳祐, 山下馨, 野田実, 寒川雅之

電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料   BMS-14 ( 28-37 )   5 - 8   2014年12月

チタニウムウェハの貫通加工のための熱反応性イオンエッチング法の開発

山田 周史, 南 佑人, 寒川 雅之

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]   31   1 - 4   2014年10月