自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学 准教授
工学部 工学科 准教授
2024/12/21 更新
博士(工学) ( 2005年3月 大阪大学 )
エッチング
センサ
PDMS
カンチレバー
マルチモーダル
バイオセンサ
MEMS
マイクロマシニング
触覚センサ
圧電体
Micromachining
Piezoelectric Thin Film
Ferroelectric Thin Film
質感
Tactile Sensor
情報通信 / 知覚情報処理
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電気電子材料工学
情報通信 / 機械力学、メカトロニクス / ナノマイクロメカトロニクス
情報通信 / ロボティクス、知能機械システム / ナノマイクロメカトロニクス
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器
ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム
ナノテク・材料 / ナノ材料科学
新潟大学 工学部機械システム工学科 准教授
2016年4月 - 現在
新潟大学 工学部機械システム工学科 助教
2013年4月 - 2016年3月
大阪大学 大学院基礎工学研究科 招へい教員
2013年4月 - 2014年3月
大阪大学 大学院基礎工学研究科 助教
2007年10月 - 2013年3月
大阪大学 大学院基礎工学研究科 特任助教
2007年4月 - 2007年10月
大阪大学 大学院基礎工学研究科 特任研究員
2005年7月 - 2007年3月
大阪工業大学 工学部電気電子システム工学科 非常勤講師
2002年4月 - 2005年3月
新潟大学 工学部 工学科 准教授
2017年4月 - 現在
新潟大学 自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学 准教授
2016年4月 - 現在
新潟大学 機能開発工学 准教授
2016年4月 - 2017年3月
新潟大学 機能開発工学 助教
2013年4月 - 2016年3月
新潟大学 自然科学研究科 材料生産システム専攻 助教
2013年4月 - 2016年3月
大阪大学 大学院基礎工学研究科 物理系専攻
2000年4月 - 2005年3月
国名: 日本国
大阪大学 基礎工学部 電気工学科
1998年4月 - 2000年3月
国名: 日本国
和歌山工業高等専門学校 電気工学科
1993年4月 - 1998年3月
国名: 日本国
Material Research Society
IEEE
日本機械学会
センシング技術応用研究会
電気学会
応用物理学会
センシング技術応用研究会 エッジシステム・デバイス技術(EST)分科会幹事
2024年7月 - 現在
日本機械学会 北陸信越支部2025年合同講演会実行委員会幹事
2024年7月 - 2025年3月
団体区分:学協会
The 19th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered & Molecular Systems (IEEE-NEMS 2024) Technical Programme Committee
2023年11月 - 2024年5月
団体区分:学協会
第24回計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 実行委員会委員
2023年11月 - 2023年12月
団体区分:学協会
11th The Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2024) Technical Programme Committee
2023年10月 - 2024年6月
団体区分:学協会
Transducers 2023 Local Arrangement Committee
2023年2月 - 2023年6月
団体区分:学協会
電気学会 触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会(第3期) 委員
2022年6月 - 2024年5月
団体区分:学協会
日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門運営委員会 委員
2022年4月 - 2024年3月
団体区分:学協会
電気学会 機能性材料とヒト感性マイクロシステム調査専門委員会 委員長
2021年10月 - 2024年9月
団体区分:学協会
電気学会 触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会(第2期) 委員
2020年6月 - 2022年5月
団体区分:学協会
電気学会 令和2年度E部門総合研究会実行委員会 論文委員長
2020年2月 - 2020年9月
団体区分:学協会
電気学会 令和2年度E部門総合研究会論文委員会 委員長
2020年2月 - 2020年9月
団体区分:学協会
電気学会 令和2年度E部門総合研究会論文委員会委員長
2020年2月 - 2020年9月
団体区分:学協会
電気学会 令和2年基礎・材料・共通部門大会実行委員会 委員
2020年1月 - 2020年12月
団体区分:学協会
日本機械学会 第15回「運動と振動の制御」国際会議(MoViC 2020)現地委員会 委員
2019年11月 - 2020年10月
団体区分:学協会
日本機械学会 北陸信越支部 商議員・新潟県幹事
2019年4月 - 2021年3月
団体区分:学協会
日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門 第7地区技術委員会 幹事
2019年4月 - 2020年3月
団体区分:学協会
電気学会 マイクロマシン・センサシステム技術委員会 副委員長
2018年9月 - 現在
団体区分:学協会
電気学会 スマート社会に向けた高機能・高感度センサ技術に関する調査専門委員会 委員
2018年6月 - 2021年12月
団体区分:学協会
電気学会 触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会 委員
2018年6月 - 2020年5月
団体区分:学協会
電気学会 センサ・マイクロマシン部門研究調査運営委員会 幹事
2018年5月 - 2019年5月
団体区分:学協会
電気学会 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員会 委員
2018年4月 - 2019年1月
団体区分:学協会
電気学会 平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 論文委員会 幹事
2018年2月 - 2018年9月
団体区分:学協会
電気学会 平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 実行委員会 委員
2018年2月 - 2018年9月
団体区分:学協会
電気学会 フィジカルセンサ技術委員会 幹事
2017年11月 - 2018年12月
団体区分:学協会
電気学会 センサ・マイクロマシン部門役員会総務企画担当
2017年6月 - 2019年5月
団体区分:学協会
電気学会 平成30年全国大会 グループ委員会 第11グループ 主査
2017年6月 - 2018年6月
団体区分:学協会
電気学会 平成30年全国大会 論文委員会 委員
2017年6月 - 2018年6月
団体区分:学協会
電気学会 平成30年全国大会 小委員会 委員
2017年6月 - 2018年6月
団体区分:学協会
電気学会 論文委員会(Eグループ)幹事
2017年4月 - 現在
団体区分:学協会
電気学会 第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員
2017年2月 - 2017年11月
団体区分:学協会
電気学会 センサ・マイクロマシン部門総合研究会実行委員会幹事
2016年11月 - 2017年9月
団体区分:学協会
電気学会 センサ・マイクロマシン部門総合研究会論文委員会委員
2016年11月 - 2017年9月
団体区分:学協会
電気学会 触覚デバイスのための計測技術協同研究委員会
2016年7月 - 2018年6月
団体区分:学協会
電気学会 フィジカルセンサ技術委員会 幹事補佐
2016年7月 - 2017年11月
団体区分:学協会
電気学会 平成29年全国大会グループ委員会 11グループ委員
2016年6月 - 2017年6月
団体区分:学協会
電気学会 圧電MEMSデバイス調査専門委員会 幹事
2016年4月 - 2019年3月
団体区分:学協会
応用物理学会 第77回応用物理学会秋季学術講演会 現地実行委員
2016年4月 - 2016年9月
団体区分:学協会
電気学会 第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 主査)
2016年2月 - 2016年11月
団体区分:学協会
電気学会 センサ・マイクロマシン部門編修委員会 委員
2015年4月 - 現在
団体区分:学協会
電気学会 第32回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 副査)
2015年2月 - 2015年11月
団体区分:学協会
電気学会 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事
2014年12月 - 2015年11月
団体区分:学協会
電気学会 社会インフラ用センサシステムセキュリティ特別調査専門委員会 委員
2014年11月 - 2018年3月
団体区分:学協会
電気学会 触覚提示デバイスの高度化協同研究委員会
2014年5月 - 2016年4月
団体区分:学協会
電気学会 第31回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員
2014年2月 - 2014年11月
団体区分:学協会
電気学会 フィジカルセンサ技術委員会 1号委員
2013年12月 - 2016年7月
団体区分:学協会
電気学会 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事
2013年12月 - 2014年11月
団体区分:学協会
電気学会 第30回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員
2013年2月 - 2014年1月
団体区分:学協会
電気学会 触覚デバイスの高度化協同研究委員会委員
2012年8月 - 2014年4月
団体区分:学協会
センシング技術応用研究会 グリーンシステム技術(GST)分科会幹事
2012年7月 - 2024年7月
団体区分:学協会
電気学会 平成23年電気学会全国大会実行委員会委員
2010年7月 - 2011年6月
団体区分:学協会
International Microprocesses and Nanotechnology Conference Program Comittee
2010年4月 - 2014年12月
団体区分:学協会
電気学会 論文委員会(Eグループ)委員
2008年4月 - 現在
団体区分:学協会
MEMS Tactile Sensor for Mimicking the Response of Human Tactile Sensation 査読 国際誌
Ryusuke Mitobe, Zhikai Geng, Takashi Abe, Kensuke Kanda, Masayuki Sohgawa
Sensors and Materials 36 ( 12 ) 5129 - 5141 2024年12月
水晶発振回路式複素容量センサによるRC構造体内部の非破壊センシング
横山 猛輝, 高橋 良輔, 岩本 啓吾, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 144 ( 12 ) 396 - 401 2024年12月
エラストマシート封止MEMS触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性 査読
若林 陽彩, 南部 泰生, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 144 ( 11 ) 369 - 374 2024年11月
岡固 創, 月山 陽介, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 144 ( 9 ) 247 - 251 2024年9月
樹脂コンパウンドの視覚・触覚複合計測のための光・温度検知素子集積化 査読
中村眞子, 安部隆, 寒川雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 144 ( 9 ) 252 - 257 2024年9月
新田 智也, 安田 倉土, 諸橋 奎人, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 144 ( 6 ) 136 - 140 2024年6月
多軸触覚センサの接触部突起位置に対する感度依存性解析とそれに基づく検知素子設計 査読
若林 陽彩, 門田 秀人, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 144 ( 5 ) 77 - 81 2024年5月
非接触型水晶複素容量センサを用いた食用油の劣化評価方法の開発 査読
大島 悠, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 144 ( 5 ) 111 - 116 2024年5月
Improved Reproducibility of Deflection Control Process for Cantilever‐Type MEMS Tactile Sensors 査読
Harufumi Hosokawa, Yuki Kawasaki, Yingquan Zheng, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 19 ( 5 ) 888 - 893 2024年1月
So Okako, Taisei Nambu, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 144 ( 1 ) 6 - 11 2024年1月
Titanium Blade with Jagged Micro-scale Structure Fabricated via Electrolytic Etching 査読
Masamune Kurita, Yuki Takizawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 144 ( 1 ) 2 - 5 2024年1月
K. Miyaoka, Y. Takahashi, C. F. Werner, M. Sohgawa, M. Noda
2023 IEEE SENSORS 2023年10月
肌のベタつき感定量評価のための触覚センサによる粘着性計測 査読
岡固 創, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 143 ( 8 ) 251 - 255 2023年8月
Carl Frederik Werner, Yuya Takahashi, Ryusuke Mitobe, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
2023 IEEE BioSensors Conference (BioSensors) 2023年7月
A Rapid, Sensitive, and Specific Detection of Aggregated α-Synuclein by a Liposome-Immobilized Cantilever Sensor
Ryoko Kobayashi, Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Ryosuke Takahashi, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
IEEE Sensors Journal 23 ( 12 ) 12495 - 12502 2023年6月
The New Control Method for Detection of Cold‐Warm sensation using a Heater Integrated Tactile Sensor 査読
Takuma Iwahashi, Naotaka Onda, Hikaru Nagumo, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 18 ( 7 ) 1214 - 1219 2023年4月
Hajime Satani, Kuraudo Yasuda, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Applied Physics Letters 121 ( 25 ) 252903 - 252903 2022年12月
Effects of Ions on Liposome-Immobilized Biosensors for the Detection of Alpha-Synuclein 査読
K. Kamitani, M. Sawamura, H. Yamakado, Y. Takahashi, C. F. Werner, M. Sohgawa, M. Noda
IEEE Sensors2022, 2317, Dallas, Texas USA, Oct 30 – Nov 2, 2022 2022年10月
Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
Electronics and Communications in Japan 105 ( 3 ) e12369 2022年8月
Ren Kaneta, Takumi Hasegawa, Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
Journal of Robotics and Mechatronics 34 ( 3 ) 677 - 682 2022年6月
物理的・化学的耐久性兼備フッ素エラストマ/PDMS封止カンチレバー型触覚センサ 査読
髙橋 佑司, 髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 142 ( 5 ) 91 - 96 2022年5月
近藤 雅敏, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 142 ( 5 ) 85 - 90 2022年5月
Naotaka Onda, Takaaki Kozuka, Takashi Abe, Masanobu Isshiki, Satoru Tomeno, Masayuki Sohgawa
Electrical Engineering in Japan 215 ( 1 ) e23370 2022年3月
Development of time‐delay analysis method of inductance and capacitance for microfluidic circuit 査読
Ryo Watanabe, Akira Yoshida, Yota Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Electronics and Communications in Japan 105 ( 1 ) e12352 2022年3月
微小流体回路のためのインダクタンスとキャパシタンスの時差式分析技術の開発 査読
渡部 亮, 吉田 晃, 佐藤 洋太, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 142 ( 2 ) 17 - 20 2022年2月
Development of quartz crystal complex capacitive sensor with microelectrode array for sensitization 査読 国際誌
Yuki Hashimoto, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Electrical Engineering in Japan 214 ( 4 ) e23356 2021年12月
ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製 査読
恩田 尚隆, 小塚 貴暁, 安部 隆, 一色 眞誠, 留野 暁, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 141 ( 10 ) 343 - 348 2021年10月
橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 141 ( 8 ) 279 - 283 2021年8月
Contactless Endpoint Detection of Gold Etching Using Quartz-Based Capacitive Detector
Takuro Okuwaki, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021 1126 - 1129 2021年6月
Development of dry‐nano‐polishing technique using reactive ion etching for ultra thin titanium wafer
Teruya Chino, Yuta Watanabe, Yosuke Tsukiyama, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Electronics and Communications in Japan 104 ( 2 ) 2021年6月
反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発 査読
千野 輝弥, 渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 141 ( 4 ) 103 - 107 2021年4月
外部磁場を利用した多周波水晶発振回路式液体濃度センサによるイオン種分析 査読
藤森 弘貴, 富樫 裕基, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 140 ( 12 ) 349 - 353 2020年12月
エラストマ封止カンチレバー型触覚センサの検出エリア評価 査読
阿部 由杜, 菅 史賢, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 140 ( 10 ) 272 - 277 2020年10月
水晶発振回路式液体センサを用いた水処理プロセスの非接触モニタリング 査読
吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 140 ( 10 ) 251 - 255 2020年10月
南部泰生, 藤橋智哉, 安部隆, 寒川雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 140 ( 9 ) 228 - 234 2020年9月
リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた パーキンソン病患者血清中 α シヌクレインの検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 1725 - 1725 2020年8月
Tomoya Taniguchi, Toshinori Shimanouchi, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
Biotechnology and Bioengineering 117 ( 8 ) 2469 - 2478 2020年8月
Tactile Sensor with High-Density Microcantilever and Multiple PDMS Bumps for Contact Detection 査読
Tomoya Fujihashi, Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Jyun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
Journal of Robotics and Mechatronics 32 ( 2 ) 297 - 304 2020年4月
Development of a self-heated-stage for high-speed process of titanium by reactive ion etching
Yuya Kiryu, Gang Han, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Electronics and Communications in Japan 103 ( 1-4 ) 32 - 37 2020年4月
Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
Sensors and Actuators A: Physical 301 111774 2020年1月
An ultrasensitive detection of aggregated α-synuclein as a biomarker molecule for Parkinson disease by liposome-immobilized cantilever biosensor using self-templating phenomena of prionoid protein
Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
MicroTAS 2020 - 24th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 1280 - 1281 2020年
A selective detection of amyloid beta in human serum by strain gauge cantilever sensor immobilizing liposome incorporated with cholesterol
Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2017 449 - 450 2020年
触覚センシングにおける振動覚検知のためのマイクロカンチレバーの作製と評価 査読
高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 139 ( 11 ) 375 - 380 2019年11月
チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発 査読
桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 139 ( 10 ) 341 - 345 2019年10月
A Novel Detection of Biomarker Molecule of αsynuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Biosensor Using Real-Time Quaking-Induced Conversion Method 査読
R. Kobayashi, M. Sawamura, H. Yamakado, M. Sohgawa, M. Noda
IEEE Sensors 2019, C3L-A-2, Montreal, Canada, October. 27–30 (2019) 1274. 2019年10月
RT-QuIC 法を用いたリポソーム固定化カンチレバーセンサによる αシヌクレインの検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 2837 - 2837 2019年9月
容器内溶液の非接触検査のための水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読
小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 139 ( 7 ) 169 - 174 2019年7月
Tactile Sensor Using Microcantilever Embedded in Fluoropolymer for Water and Ethanol Resistance
Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII 1925 - 1928 2019年6月
木藤 潤, 阿部 祐太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 139 ( 6 ) 149 - 154 2019年6月
A New Detection of Biomarker Molecule of α-Synuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Microsensor with Temperature Stabilization
Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII 999 - 1001 2019年6月
1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価 査読
庄司 拓人, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 139 ( 4 ) 81 - 84 2019年4月
リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサによるパーキンソン病原因物質αシヌクレインの検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 2531 - 2531 2019年2月
Microdroplet monitoring using microfluid circuit combined quartz oscillator based capacitive sensor 査読 国際誌
Ryo Ebata, Ryo Sakai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Electronics and Communications in Japan 101 ( 12 ) 50 - 55 2018年12月
河川防災用水位観測システムにおけるミリ波レーダセンサの評価 査読
寒川 雅之, Andrew Whitaker, 酒井 直樹
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 138 ( 10 ) 461 - 465 2018年10月
微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング 査読
江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 138 ( 8 ) 382 - 386 2018年8月
Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi) 204 ( 2 ) 44 - 49 2018年7月
Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
Micromachines 9 ( 6 ) 301 2018年6月
光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価 査読
難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 138 ( 6 ) 250 - 256 2018年6月
Surface texture characterization using optical and tactile combined sensor 査読 国際誌
Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
Sensors and Materials 30 ( 5 ) 1091 - 1101 2018年5月
Electrode-separated quartz crystal microbalance for smart-sensor mounting application 査読 国際誌
Jun Sakaguchi, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Sensors and Materials 30 ( 5 ) 1073 - 1080 2018年5月
Yuki Murata, Gang Han, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Electronics and Communications in Japan 101 ( 3 ) 96 - 102 2018年3月
水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発 査読
矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 138 ( 2 ) 37 - 40 2018年2月
Development of artificial haptic model for human tactile sense using machine learning 査読
Hikaru Shimoe, Kohei Matsumura, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama
Proceedings of IEEE Sensors 2017- 1 - 3 2017年12月
機能性メタルの熱アシスト型反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発 査読
村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 137 ( 9 ) 262 - 266 2017年9月
Deep reactive ion etching technique involving use of 3D self-heated cathode 査読
Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 1281 - 1284 2017年7月
Gripping control of delicate and flexible object by electromotive manipulator with proximity and tactile combo MEMS sensor 査読
Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 1140 - 1143 2017年7月
Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 343 - 346 2017年7月
真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価 査読
和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 137 ( 7 ) 180 - 184 2017年7月
近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御 査読
荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 137 ( 7 ) 212 - 217 2017年7月
Fabrication of a true-Gaussian-shaped quartz crystal resonator 査読 国際誌
Hiroki Kutsuwada, Sho Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 260 58 - 61 2017年6月
近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討 査読
梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 137 ( 5 ) 146 - 150 2017年5月
A Cantilever-based Biosensor for Real-time Monitoring of Interactions between Amyloid-β(1–40) and Membranes Comprised of Phosphatidylcholine Lipids with Different Hydrophobic Acyl Chains 査読 国際誌
Ziyang Zhang, Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
ELECTROANALYSIS 29 ( 3 ) 722 - 729 2017年3月
Thermal Reactive Ion Etching of Minor Metals with SF6 Plasma 査読 国際誌
Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
SENSORS AND MATERIALS 29 ( 3 ) 217 - 223 2017年3月
Fumiya Sato, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
SENSORS AND MATERIALS 29 ( 3 ) 311 - 321 2017年3月
Takeshi Kohno, Masato Mihara, Ataru Tanabe, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Masayuki Sohgawa
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 137 ( 1 ) 46 - 47 2017年1月
匂いセンサ応用のためのワイヤレス発振式マルチチャンネルQCMセンサの開発
佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2017 1A1 - K11 2017年
柔軟物把持制御のための近接触覚複合MEMSセンサの出力評価
菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2017 1A1 - N02 2017年
Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL 236 893 - 899 2016年11月
水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化 査読
坂井 了, 今井 寛明, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 136 ( 8 ) 343 - 347 2016年8月
柳田 祐太, 須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 136 ( 7 ) 319 - 322 2016年7月
Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers 査読
Masayuki Sohgawa
2014 IEEE International Nanoelectronics Conference, INEC 2014 2016年4月
Contactless Liquid Sensing Technique Using a Quartz Oscillator 査読
Tsubasa Susa, Takeru Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
SENSORS AND MATERIALS 28 ( 4 ) 289 - 294 2016年4月
Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda
ELECTROANALYSIS 28 ( 3 ) 620 - 625 2016年3月
MASS SENSITIVITY AMPLIFICATION BY USING GAUSSIAN-SHAPED QUARTZ CRYSTAL RESONATOR 査読
H. Kutsuwada, S. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe
2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) 1022 - 1025 2016年
Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information using MEMS Combo Sensor 査読
Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma
2016 IEEE SENSORS 655 - 657 2016年
Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Ziang Zhang, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2016 211 - 213 2016年
Masayuki Sohgawa, Ziyang Zhang, Toshio Akai, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
IEEE SENSORS JOURNAL 15 ( 12 ) 7135 - 7141 2015年12月
須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 135 ( 6 ) 210 - 213 2015年6月
BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討 査読
三原 雅人, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 135 ( 5 ) 158 - 164 2015年5月
Thermal reactive ion etching technique involving use of self-heated cathode 査読
S. Yamada, Y. Minami, M. Sohgawa, T. Abe
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 86 ( 4 ) 2015年4月
Microheater-integrated quartz crystal microbalance array for thermal desorption spectroscopy 査読
Jumpei Sakai, Masayuki Sohgawa, Naoyuki Iida, Takashi Abe
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 135 ( 3 ) 112 - 113 2015年3月
NON-CONTACT SENSOR FOR MEASUREMENT OF LIQUID CONCENTRATION BASED ON QUARTZ OSCILLATOR 査読
T. Susa, T. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe
2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS) 1472 - 1475 2015年
Takeshi Kohno, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma
2015 IEEE SENSORS 1192 - 1195 2015年
Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma
2015 IEEE SENSORS 699 - 702 2015年
Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
Proceedings of IEEE Sensors 2014- ( December ) 1749 - 1752 2014年12月
Texture measurement and identification of object surface by MEMS tactile sensor 査読
Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
Proceedings of IEEE Sensors 2014- ( December ) 1706 - 1709 2014年12月
Miniature quartz crystal-resonator-based thermogravimetric detector 査読
N. Sai, Y. Tagawa, M. Sohgawa, T. Abe
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 85 ( 9 ) 095001 2014年9月
Bioassay of Proteins in Stable Solution State Using a Novel Cantilever-based Liposome Biosensor 査読
Z. Zhang, T. Akai, K. Takada, K. Yamashita, M. Noda, M. Sohgawa
2014 IEEE SENSORS 317 - 320 2014年
水晶振動子式メタノール濃度センサに関する数値計算と実証 査読
渡部 尊, 外山 晋二郎, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 134 ( 7 ) 224 - 228 2014年
Multifunctional Tactile Sensors using MEMS Cantilevers 査読
Masayuki Sohgawa
2014 IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE (INEC) 2014年
Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma, Masayuki Sohgawa
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 134 ( 3 ) 58 - 63 2014年
山田 周史, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 134 ( 4 ) 96 - 99 2014年
横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 134 ( 7 ) 229 - 234 2014年
Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Teruaki Azuma, Masanori Okuyama, Haruo Noma
Japanese Journal of Applied Physics 52 ( 6 ) 06GL08 2013年6月
Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
Ferroelectrics 453 ( 1 ) 1 - 7 2013年1月
Jung Min Park, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Seiji Nakashima
Journal of the Korean Physical Society 62 ( 7 ) 1041 - 1045 2013年
Identification of Various Kinds of Papers Using Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers
Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
2013 WORLD HAPTICS CONFERENCE (WHC) 139 - 144 2013年
Design and evaluation of microheater combined QCM array for thermal desorption spectroscopy 査読
J. Sakai, N. Iida, M. Sohgawa, T. Abe
2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013 234 - 237 2013年
傾斜マイクロカンチレバー型触覚センサによる物体表面質感の計測法に関するレビュー 査読
寒川 雅之, 渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 133 ( 5 ) 147 - 154 2013年
Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
2013 IEEE SENSORS 1090 - 1093 2013年
K. Watanabe, M. Sohgawa, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma, T. Azuma
2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013 1012 - 1015 2013年
Masayuki Sohgawa, Takashi Fujimoto, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
2013 IEEE SENSORS 846 - 849 2013年
Masayuki Sohgawa, Daiki Hirashima, Yusuke Moriguchi, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
Sensors and Actuators A: Physical 186 32 - 37 2012年10月
Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
Japanese Journal of Applied Physics 51 ( 9S2 ) 09MD05 - 09MD05-4 2012年9月
Ferroelectric and piezoelectric properties of polycrystalline BiFeO<inf>3</inf>thin films prepared by pulsed laser deposition under magnetic field 査読
Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
Japanese Journal of Applied Physics 51 ( 9 PART3 ) 2012年9月
球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ
寒川 雅之, 植松 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2012 ( 8 ) 1 - 6 2012年6月
Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
Material Research Society Symposium Proceedings 1427 2012年4月
Heterogeneous integration of LSI amplifier and the tactile sensor using stacking and through-Si-via techniques 査読
Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
Materials Research Society Symposium Proceedings 1427 14 - 19 2012年
Miniature ultrasonic and tactile sensors for dexterous robot
Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Haruo Noma
Transactions on Electrical and Electronic Materials 13 ( 5 ) 215 - 220 2012年
Preparation of BiFe0.9Co0.1O3 Films by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 査読
Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
Japanese Journal of Applied Physics 50 ( 9S2 ) 09NB03 2011年9月
Preparation of BiFe<inf>0.9</inf>Co<inf>0.1</inf>O<inf>3</inf> films by pulsed laser deposition under magnetic field 査読
Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
Japanese Journal of Applied Physics 50 ( 9 PART 3 ) 2011年9月
NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化
守口 祐介, 平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2011 ( 19 ) 15 - 19 2011年6月
Masayuki Sohgawa, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
Japanese Journal of Applied Physics 50 ( 6 ) 06GM08 2011年6月
Fabrication of a Flexible Array for Tactile Sensors with Microcantilevers and the Measurement of the Distribution of Normal and Shear Forces 査読
Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50 ( 6 ) 2011年6月
Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
Japanese Journal of Applied Physics 50 ( 6 ) 06GM02 2011年6月
Crosstalk Reduction of Tactile Sensor Array with Projected Cylindrical Elastomer over Sensing Element 査読
Masayuki Sohgawa, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50 ( 6 ) 2011年6月
マイクロカンチレバー型触覚センサアレイによる把持状態の識別手法 査読
水戸 和, 美馬 達也, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
計測自動制御学会論文集 47 ( 1 ) 40 - 42 2011年1月
M. Sohgawa, D. Hirashima, Y. Moriguchi, T. Uematsu, W. Mito, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma
EUROSENSORS XXV 25 627 - 630 2011年
Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama
Japanese Journal of Applied Physics 49 ( 9 ) 09MB05 2010年9月
触覚センサアレイを用いたHMMによる把持面状態の識別手法(感性情報処理とマルチメディア技術および一般)
水戸 和, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
映像情報メディア学会技術報告 34 ( 18 ) 39 - 42 2010年5月
Ferroelectric Properties of Bi1.1Fe1-xCoxO3 Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition Using Iterative Rapid Thermal Annealing in N-2 and O-2 査読
Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 49 ( 9 ) 2010年
3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性 査読
橘 弘人, 釜鳴 志朗, 美馬 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生, 樋口 誠良
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 130 ( 6 ) 223 - 229 2010年
Gripping status classification using an array of micro cantilever type tactile sensor
Mito Wataru, Yamazoe Hirotake, Yoshida Shunsuke, Tada Masahiro, Sohgawa Masayuki, Kanashima Takeshi, Okuyama Masanori, Noma Haruo
The Abstracts of the international conference on advanced mechatronics : toward evolutionary fusion of IT and mechatronics : ICAM 2010 351 - 354 2010年
MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製
寒川 雅之, 金島 岳, 山下 馨, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生
電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 109 ( 157 ) 41 - 46 2009年7月
集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減
橘 弘人, 釜鳴 志郎, 松浦 宏俊, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生
電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2009 ( 16 ) 97 - 102 2009年7月
Stability improvement of tactile sensor of normal and shear stresses using Ni-Cr thin film gauge 査読
Hiroyuki Onishi, Masayuki Sohgawa, Hiroto Tachibana, Yu Ming Huang, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Haruo Noma
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 129 ( 11 ) 7 - 416 2009年
Tactile array sensor with inclined chromium/silicon piezoresistive cantilevers embedded in elastomer
M. Sohgawa, T. Mima, H. Onishi, T. Kanashima, M. Okuyama, K. Yamashita, M. Noda, M. Higuchi, H. Noma
TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 284 - 287 2009年
NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化
黄 裕銘, 寒川 雅之, 大西 浩之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生
電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2008 ( 7 ) 31 - 34 2008年6月
Yu Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Minoru Noda, Haruo Noma
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 128 ( 5 ) 193 - 197 2008年
Fabrication and characterization of normal and shear stresses sensitive tactile sensors by using inclined mcro-cantilevers covered with elastomer 査読
Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES 1052 151 - + 2008年
Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma
Material Research Society Symposium Proceedings 1052 151 - 156 2007年12月
適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価
寒川 雅之, 黄 裕銘, 金島 岳, 山下 馨, 奥山 雅則, 野田 実, 池田 正哲, 野間 春生
電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2007 ( 14 ) 47 - 50 2007年7月
M. Sohgawa, Y. -M. Huang, K. Yamashita, T. Kanashima, M. Noda, M. Okuyama, H. Noma
TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2 1461 - 1464 2007年
Studies on curvature deformation control of bilayer cantilever fabricated by surface micromachining of SOI wafer 査読
Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma
HETEROGENEOUS INTEGRATION OF MATERIALS FOR PASSIVE COMPONENTS AND SMART SYSTEMS 969 119 - + 2007年
Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma
Material Research Society Symposium Proceedings 969 0969-W05-01 2006年11月
Contactless characterization of fixed charges in HfO(2) thin film from photorellectance 査読
M Sohgawa, M Yoshida, T Naoyama, T Tada, K Ikeda, T Kanashima, A Fujimoto, M Okuyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 44 ( 4B ) 2409 - 2414 2005年4月
フォトレフレクタンス分光法による誘電体-シリコン構造の評価に関する研究
寒川 雅之
2005年3月
Electrodeless characterization of memorized states of MFIS structure by photoreflectance spectroscopy 査読
M Sohgawa, M Yoshida, T Kanashima, M Okuyama
JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY 46 ( 1 ) 262 - 264 2005年1月
Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama
Journal of Korean Physical Society 46 ( 1 ) 262 - 264 2005年1月
Takeshi Kanashima, Koji Ikeda, Taizo Tada, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama
Journal of Korean Physical Society 46 ( 1 ) 258 - 261 2005年1月
Electron spin resonance characterization of defects in high-k HfO2 thin film prepared by pulsed laser deposition 査読
T Kanashima, K Ikeda, T Tada, M Sohgawa, M Okuyama
JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY 46 ( 1 ) 258 - 261 2005年1月
PRSによるHigh-kゲート絶縁膜中の固定電荷の評価
寒川 雅之, 金島 岳, 吉田 真人, 多田 泰三, 奥山 雅則, 藤本 晶
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 104 ( 510 ) 25 - 30 2004年12月
ESRによるHfO2薄膜の欠陥評価
金島 岳, 池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 奥山 雅則
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 104 ( 135 ) 43 - 48 2004年6月
Characterization of ferroelectric thin film/SiO2/Si structure by photoreflectance 査読
Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama
Ferroelectrics 303 ( 1 ) 119 - 123 2004年1月
PLDにより製膜したHf酸化物の界面評価
金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 吉田 真人, 奥山 雅則
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 103 ( 533 ) 51 - 56 2003年12月
Characterization of ZrO2 and PrOx thin films for high-k gate insulator prepared by pulsed laser deposition 査読
T Kanashima, M Sohgawa, H Kanda, K Ikeda, M Okuyama
JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY 42 S1357 - S1361 2003年4月
Characterization of Si Interface in FIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 査読
Hirofumi Kanda, Masayuki Sohgawa, Yoshihide Toyoshima, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Akira Fujimoto
Journal of Korean Physical Society 42 1072 - 1075 2003年4月
Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Koji Ikeda, Masanori Okuyama
Journal of Korean Physical Society 42 1357 - 1361 2003年4月
Characterization of Si interface in FIS structure by photoreflectance spectroscopy 査読
H Kanda, M Sohgawa, Y Toyoshima, T Kanashima, M Okuyama, A Fujimoto
JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY 42 ( SUPPL. ) S1072 - S1075 2003年4月
High-k PrOxゲート絶縁膜の電気的・光学的特性
金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 神田 浩文, 奥山 雅則
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 102 ( 540 ) 45 - 49 2002年12月
T Kanashima, S Kitai, M Sohgawa, H Kanda, M Okuyama
ISAF 2002: PROCEEDINGS OF THE 13TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON APPLICATIONS OF FERROELECTRICS 199 - 202 2002年
PrOxゲート絶縁膜のPLD法による作製
北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 101 ( 515 ) 11 - 16 2001年12月
フォトレフレクタンス分光法によるSiの表面応力の非接触・非破壊評価
藤本 晶, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則
和歌山工業高等専門学校研究紀要 ( 36 ) 15 - 19 2001年10月
北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則
電気学会電子材料研究会資料 EFM-01 ( 6-13 ) 43 - 47 2001年9月
ZrO2高誘電率ゲート絶縁膜のPLDによる作製と評価
北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 101 ( 108 ) 19 - 24 2001年6月
Nondestructive and contactless monitoring technique of Si surface stress by photoreflectance 査読
M Sohgawa, M Agata, T Kanashima, K Yamashita, K Eriguchi, A Fujimoto, M Okuyama
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 40 ( 4B ) 2844 - 2848 2001年4月
Preparation and characterization of ZrO2/Si structure 査読
M. Sohgawa, S. Kitai, H. Kanda, T. Kanashima, A. Fujimoto, M. Okuyama
Extended Abstracts of International Workshop on Gate Insulator, IWGI 2001 170 - 173 2001年
M Agata, M Sogawa, O Maida, K Eriguchi, A Fujimoto, T Kanashima, M Okuyama
2000 5TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA PROCESS-INDUCED DAMAGE 97 - 100 2000年
フォトレフレクタンス分光法によるゲート酸化膜に導入されたチャージングダメージの光学的評価(半導体Si及び関連電子材料評価)
阿形 眞司, 寒川 雅之, 毎田 修, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 99 ( 491 ) 75 - 80 1999年12月
ハプティクス : 触覚フィードバック技術の現在と今後
安藤 潤人, 寒川 雅之, 野間 春生( 担当: 分担執筆 , 範囲: 第4章第2節 触覚の標準化の課題, 第5章第2節 VR)
情報機構 2023年6月 ( ISBN:9784865022490 )
ハプティクスとその応用 : 力触覚の伝送・記録・再現・表示
寒川雅之, 野間春生( 担当: 分担執筆 , 範囲: 第7章 MEMS触覚センサ)
シーエムシー出版 2022年12月 ( ISBN:9784781316864 )
VR/AR 技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例
技術情報協会( 担当: 分担執筆 , 範囲: 第4章 第3節 超小形MEMS触覚センサの原理、特性と応用展開)
技術情報協会 2021年6月 ( ISBN:9784861048500 )
人工知能を用いた五感・認知機能の可視化とメカニズム解明
技術情報協会( 担当: 分担執筆 , 範囲: 第4章 第5節 力・光・温度複合検知超小型センサによる繊維製品の質感評価指標構築)
技術情報協会 2021年6月 ( ISBN:9784861048494 )
生体情報センシングデバイス ~センサ設計開発に求められる要素技術・課題と対策ノウハウ~
寒川 雅之( 担当: 分担執筆 , 範囲: 第8節 医療・ヘルスケア用センサの高付加価値化とMEMSを用いた小型化・コスト低減)
情報機構 2018年5月 ( ISBN:9784865021509 )
接触力・光・温度複合触覚センサにおける高感度化・ノイズ低減によるS/N比向上の試み 招待
寒川雅之
月刊EMC 36 ( 9 ) 77 - 85 2024年1月
MEMS触覚センサを用いたフォークの把持力に基づく食材判別へのリザバーコンピューティングの応用
坪倉奏太, 安藤潤人, 北野勝則, 野間春生, 寒川雅之, 秋田純一
電気学会研究会資料(Web) ( PI-22-001-018 ) 2022年
科学的トレーニングのための足裏にかかる荷重計測システムの開発
船橋佑, 安藤潤人, 寒川雅之, 秋田純一, 野間春生
日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM) 2022 2022年
河内 彪博, 安藤 潤人, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会研究会資料. MSS 2021 ( 36-47 ) 13 - 16 2021年7月
MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価
河内彪博, 安藤潤人, 野間春生, 寒川雅之
電気学会研究会資料(Web) ( MSS-21-036-047 ) 2021年
MEMS触覚センサ向け機械学習のためのFPGAによるSNNパーセプトロン実装
青木雅典, 土橋嬉真花, 安藤潤人, 寒川雅之, 秋田純一, 野間春生
日本バーチャルリアリティ学会大会論文集(CD-ROM) 26th 2021年
MEMS触覚センサを用いたフォークによる食材刺突時の把持力に基づく食材判別
坪倉奏太, 柴田結衣, 安藤潤人, 寒川雅之, 渡邊淳司, 野間春生
日本バーチャルリアリティ学会大会論文集(CD-ROM) 26th 2021年
リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた ヒト由来 α シヌクレイン線維化の検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 2524 - 2524 2020年2月
複合触覚センシングのためのフレキシブル圧力・曲げセンサ
寒川雅之, 高橋拓海, 富田亮, 安部隆, 鳴海敬倫
電子情報通信学会技術研究報告 119 ( 103(OME2019 12-16) ) 7‐10 2019年6月
フッ素エラストマとCNT分散樹脂を用いたフレキシブル圧力・曲げセンサの基礎検討
高橋拓海, 富田亮, 安部隆, 鳴海敬倫, 寒川雅之
電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2019 ROMBUNNO.3‐164 2019年3月
触覚センサと触り心地の「見える化」 招待
寒川 雅之
電波技術協会報FORN 324 ( 9 ) 10 - 13 2018年9月
Aβ検出用カンチレバーセンサ感度向上に向けたセンシングバイオ分子の検討
谷口智哉, 島内寿徳, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th ROMBUNNO.18p‐P5‐22 2018年3月
医療・福祉におけるセンシングとMEMS技術を用いた触覚センサ 招待
寒川 雅之
日本印刷学会誌 54 ( 6 ) 365 - 370 2017年12月
ミネラルウォーターの品質評価のための非接触型水分析センサの開発
小黒 悠, 矢田 直人, 清水 健司, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 4p 2017年10月
小型マニピュレータによる柔軟物把持制御のための近接・接触・滑り検知触覚センサ
菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 6p 2017年10月
丸山 耕平, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 4p 2017年10月
MEMS触覚センサによる布の接触温冷感と風合いを合わせた評価
志和 昂, 高橋 賢太, 佐藤 文哉, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 5p 2017年10月
佐藤 周平, 阿部 祐太, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1 - 4 2017年10月
佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1 - 4 2017年10月
電気学会, 部門編修委員会, 文責, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 137 ( 9 ) NL9_3 - NL9_8 2017年9月
電気学会, 部門編修委員会, 文責, 寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 137 ( 8 ) NL8_2 - NL8_8 2017年8月
光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価 (フィジカルセンサ研究会 フィジカルセンサとそのプロセス技術および一般)
難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会研究会資料. PHS 2017 ( 14 ) 5 - 9 2017年6月
ひと触覚を模した人工触覚モデル実現の試み (知覚情報研究会・力触覚提示デバイス)
下江 輝, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生
電気学会研究会資料. PI = The papers of Technical Meeting on "Perception Information", IEE Japan, 2017 ( 52 ) 17 - 20 2017年3月
皮膚組織ひずみ計測のための柔軟物の多層構造とMEMS多軸力複合センサ出力の相関性評価 (交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会 鉄道、センサ技術一般)
阿部 祐太, 佐藤 周平, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会研究会資料. PHS 2017 ( 1 ) 25 - 28 2017年3月
AD患者血清中におけるアミロイドβタンパク質検出に向けたリポソーム固定化カンチレバーバイオセンサにおける脂質種の検討
谷口智哉, 村上祐樹, 西本凌, 尾淵浩也, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th ROMBUNNO.14a‐F204‐9 2017年3月
国際会議報告:IEEE Sensors 2016報告
寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 137 ( 3 ) NL3_1 - NL3_1 2017年3月
スマートセンサとEMC 接触力計測のためのマイクロメカニカルセンサの実装とノイズ低減 招待
寒川 雅之
月刊EMC 29 ( 10 ) 66 - 73 2017年2月
ひずみ・光・熱複合センサを用いた布に対するマルチモーダル質感計測 (知覚情報研究会・知覚情報技術の最前線)
髙橋 賢太, 佐藤 文哉, 志和 昂, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会研究会資料. PI = The papers of Technical Meeting on "Perception Information", IEE Japan, 2016 ( 49 ) 41 - 46 2016年10月
エネルギーキャリアモニタリング用水晶発振回路式非接触濃度センサの開発
清水 健司, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 - 4 2016年10月
機械のヘルスケアモニタリング用水晶発振回路式非接触液体濃度センサの開発
矢田 直人, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 - 4 2016年10月
佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 - 6 2016年10月
梅木 尚, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 - 4 2016年10月
機能性メタルの熱反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発
村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 - 4 2016年10月
片面励起型無線発振式QCMの周波数安定性の電極径、結晶方向依存性
坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 - 4 2016年10月
検出距離の長距離化のための非接触型水晶発振回路式液体濃度センサの開発
南 宗君, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 - 4 2016年10月
炭素鎖長の短い疎水基のリン脂質リポソームを用いたカンチレバーバイオセンサのAβタンパク質の検出感度向上の検討
村上祐樹, 谷口智哉, ZHANG Z, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th ROMBUNNO.15a‐B8‐3 2016年9月
低濃度Aβタンパク質検出用NiCr歪みゲージカンチレバーセンサの温度補償特性向上
谷口智哉, 寒川雅之, 村上祐樹, ZHANG Ziyang, 山下馨, 野田実
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th ROMBUNNO.15a‐B8‐5 2016年9月
接触力・光・温度を測るMEMSコンボセンサと物体の質感計測 招待
寒川 雅之
化学工業 67 ( 8 ) 48 - 55 2016年8月
水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)
矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
電気学会研究会資料. MSS 2016 ( 9 ) 25 - 27 2016年6月
コレステロール添加リポソーム固定カンチレバーセンサによる低濃度Aβタンパク質の検出
谷口智哉, 村上祐樹, ZHANG Ziyang, 山下馨, 野田実, 寒川雅之
電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2016 ROMBUNNO.3‐108 2016年3月
コレステロール含有リポソームによるカンチレバーバイオセンサのAβ検出感度の向上
村上祐樹, ZHANG Z, 谷口智哉, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd ROMBUNNO.19A-W331-6 2016年3月
親水基の異なるリン脂質リポソームを用いたマイクロカンチレバーセンサによるAβタンパク質識別能力の評価
ZHANG Z, 村上祐樹, 谷口智哉, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd ROMBUNNO.19P-W323-11 2016年3月
近接覚・触覚コンボセンサの光検出感度最適化 (交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会・鉄道、センサ技術一般)
梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on "Transportation and Electric Railway", IEE Japan 2016 ( 8 ) 33 - 37 2016年3月
国際会議報告:2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015) 招待
寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 136 ( 2 ) PNL2_1 - NL2_1 2016年2月
Y. Murakami, Z. Zhang, T. Taniguchi, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda
20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2016 1390 - 1391 2016年1月
Y. Murakami, Z. Zhang, T. Taniguchi, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda
PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016 168 565 - 568 2016年
Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーの温度補償と微小流路構造内での計測の検討
安部 裕太, 安部 隆, 張 子洋, 野田 実, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 - 5 2015年10月
轡田 浩規, 渡辺 将, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 - 4 2015年10月
自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化
村田 祐貴, 南 佑人, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 - 5 2015年10月
須佐 翼, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 - 4 2015年10月
和田 涼介, 飯田 尚之, 寒川 雅之, 安部 隆
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 - 4 2015年10月
時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型 触覚センサの基礎検討
河野 壮, 三原 雅人, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 - 4 2015年10月
寒川 雅之
ケミカルエンジニヤリング 60 ( 9 ) 653 - 659 2015年9月
カンチレバーバイオセンサによる異種脂質膜‐Aβタンパク質間相互作用の検出
ZHANG Z, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th ROMBUNNO.13A-2B-6 2015年8月
2A2-R03 人工皮膚下への埋め込みを想定した水晶発振回路式液体濃度センサの開発
柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2015 "2A2 - R03(1)"-"2A2-R03(2)" 2015年5月
1P1-V05 MEMS多軸触覚センサを用いた定量的質感計測のための基礎検討
高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2015 "1P1 - V05(1)"-"1P1-V05(2)" 2015年5月
E部門発足20周年記念特集 ~未来に向けて(若手研究者の夢)~:「日本的」なセンサデバイスを目指して 招待
寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 136 ( 5 ) NL5_3 2015年5月
積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス (交通・電気鉄道 フィジカルセンサ合同研究会・鉄道、センサ技術一般)
寒川 雅之, 安部 隆
電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on "Transportation and Electric Railway", IEE Japan 2015 ( 1 ) 41 - 44 2015年3月
カンチレバーバイオセンサを用いたリポソーム脂質膜上でのAβタンパク質動態の経時変化の検討
ZHANG Z, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd ROMBUNNO.13A-D6-10 2015年2月
寒川 雅之, 安部 隆
機械の研究 67 ( 2 ) 99 - 105 2015年2月
Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
MicroTAS 2015 - 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 1649 - 1651 2015年1月
Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda
EUROSENSORS 2015 120 41 - 44 2015年
液滴保持構造付きNiCr薄膜歪ゲージカンチレバーセンサを用いたリポソーム‐タンパク質間相互作用の検出
ZHANG Z, 赤井俊夫, 高田佳祐, 山下馨, 野田実, 寒川雅之
電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料 BMS-14 ( 28-37 ) 5 - 8 2014年12月
チタニウムウェハの貫通加工のための熱反応性イオンエッチング法の開発
山田 周史, 南 佑人, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 1 - 4 2014年10月
野沢 瑛斗, 安部 隆, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 1 - 4 2014年10月
DRIE技術により作製したチタン製微小手術針の機械的特性評価
南 佑人, 山田 周史, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 1 - 4 2014年10月
須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 1 - 4 2014年10月
Label-Free Sensing of Various Proteins Using NiCr Strain Gauge Cantilever with Immobilized Liposome
Zhang Z., Sohgawa M., Yamashita K.
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 4p 2014年10月
Aβラベルフリー検知リポソーム固定NiCr歪ゲージカンチレバーセンサ
ZHANG Z, 寒川雅之, 山下馨, 野田実
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th ROMBUNNO.20P-A2-5 2014年9月
人間の物質表面質感の識別とMEMS多軸センサの計測結果に関する研究 (マルチメディア・仮想環境基礎)
若尾 あすか, 渡部 公介, 寒川 雅之, 奥山 雅則, 野間 春生
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114 ( 114 ) 41 - 45 2014年7月
人間の物質表面質感の識別とMEMS多軸センサの計測結果に関する研究 (ヒューマンインフォーメーション 人工現実感)
若尾 あすか, 渡部 公介, 寒川 雅之
映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report 38 ( 25 ) 41 - 45 2014年7月
2A2-W06 水晶振動子を用いた非接触型アルコール濃度検出法の開発(機能性界面)
須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2014 "2A2 - W06(1)"-"2A2-W06(2)" 2014年5月
生体タンパク質識別用リポソーム固定NiCr薄膜ひずみゲージカンチレバーセンサ
寒川雅之, ZHANG Ziyang, 赤井俊夫, 高田佳祐, 山下馨, 野田実
電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2014 ROMBUNNO.3-112 2014年3月
リポソーム固定NiCr歪ゲージカンチレバーセンサを用いたタンパク質検知
ZHANG Z, 赤井俊夫, 寒川雅之, 高田佳祐, 山下馨, 野田実
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 61st ROMBUNNO.19P-E15-13 2014年3月
Z. Zhang, T. Akai, M. Sohgawa, K. Takada, K. Yamashita, M. Noda
18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2014 1975 - 1977 2014年1月
人間の物質表面質感の識別とMEMS多軸センサの計測結果に関する研究 (第111回ヒューマンインタフェース学会研究会 人工現実感および一般)
若尾 あすか, 渡部 公介, 寒川 雅之
ヒューマンインタフェース学会研究報告集 16 41 - 45 2014年
MEMS触覚センサによる物体表面質感の計測法
渡部公介, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生, 東輝明, 安部隆, 寒川雅之
電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2014 2014年
光・ひずみ複合MEMSセンサを用いた近接覚・触覚マルチモーダル計測
野沢瑛斗, 横山輔久登, 金島岳, 奥山雅則, 安部隆, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM) 2014 2014年
飯田 尚之, 酒井 盾平, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30 1 - 4 2013年11月
水晶振動子を用いたドロップレットリアクタ用多点濃度計測法の開発
外山 晋二郎, 渡部 尊, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30 4p 2013年11月
デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム製マイクロ構造体の作製
山田 周史, 加勢 彩乃, 寒川 雅之
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30 1 - 5 2013年11月
5PM3-PMN-051 漏れ電界を用いた液体分析用デュアル水晶センサの開発(マイクロセンサとナノ計測,ポスターセッション)
今井 寛明, 武石 大一, 寒川 雅之, 安部 隆
マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2013 ( 5 ) 97 - 98 2013年11月
6PM3-PMN-050 昇温脱離式QCMにおいセンサの形状最適化(マイクロセンサとナノ計測,ポスターセッション)
酒井 盾平, 飯田 尚之, 寒川 雅之, 安部 隆
マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2013 ( 5 ) 225 - 226 2013年11月
NiCr薄膜歪ゲージマイクロカンチレバーセンサを用いたリポソーム‐タンパク質間相互作用検出
藤本貴士, 寒川雅之, 高田佳祐, 山下馨, 野田実
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 60th ROMBUNNO.28P-G17-12 2013年3月
NiCr薄膜歪ゲージマイクロカンチレバー構造によるリポソーム‐蛋白質間相互作用検出
寒川雅之, 藤本貴士, 高田佳祐, 山下馨, 野田実
電気学会全国大会講演論文集 2013 ( 3 ) 165 2013年3月
マイクロカンチレバー型触覚センサを用いた多軸力計測システムの構成と評価
横山輔久登, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 東輝明, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2013 ( 3 ) 2013年
単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法の検討
横山輔久登, 金島岳, 奥山雅則, 安部隆, 寒川雅之, 野間春生, 東輝明
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 30th 2013年
Miniature Ultrasonic and Tactile Sensors for Dexterous Robot
Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Haruo Noma
Transactions on Electrical and Electronic Materials 13 ( 5 ) 215 - 220 2012年10月
寒川 雅之
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 132 ( 1 ) NL1_1 2012年1月
3次元集積化多軸触覚センサのためのTSV作製
平嶋大樹, 横山輔久登, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th 2012年
磁場中90°off-axis PLD法による多結晶BiFeO<sub>3</sub>薄膜の作製と評価
PARK J.M., 中嶋誠二, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 73rd 2012年
磁場中PLD法によるエピタキシャルBiFeO<sub>3</sub>薄膜の作製と評価
PARK J.M., 中嶋誠二, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th 2012年
信号増幅回路を積層集積化したマイクロカンチレバー型多軸触覚センサの作製
横山輔久登, 平嶋大樹, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2012 ( 3 ) 2012年
2A2-O12 マイクロカンチレバー型触覚センサアレイを用いた回転滑りの検出手法(触覚と力覚(1))
水戸 和, 植松 達也, 山添 大丈, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2011 "2A2 - O12(1)"-"2A2-O12(3)" 2011年5月
ロボットによる把持状態識別のためのMEMS多軸触覚センサアレイ (特集 センサ技術とその応用) 招待
寒川 雅之
ロボット ( 200 ) 1 - 4 2011年5月
マイクロカンチレバー型触覚センサアレイによる把持状態の識別手法
水戸 和, 美馬 達也, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
計測自動制御学会論文集 第47巻, 第1号, pp. 40-42 ( 1 ) 40 - 42 2011年
磁場中PLD法によるBiFeO<sub>3</sub>薄膜の微細構造と強誘電特性
PARK J. M., 中嶋誠二, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2011年
マイクロカンチレバー型多軸触覚センサによる物体表面のテクスチャ測定
植松達也, 横山輔久登, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 28th 2011年
カンチレバー型触覚センサのNiCrゲージ薄膜抵抗温度係数のエラストマ埋め込みによる影響
守口裕介, 平嶋大樹, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2011 ( 3 ) 2011年
小型多軸触覚センサを用いた物体表面の質感計測
植松達也, 横山輔久登, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生
日本バーチャルリアリティ学会大会論文集(CD-ROM) 16th 2011年
NiCrゲージ薄膜を用いたエラストマ埋込型触覚センサの出力ドリフト低減と高感度化
寒川雅之, 植松達也, 橘弘人, 美馬達也, 金島岳, 奥山雅則, 山下馨, 野田実, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2010 ( 3 ) 242 2010年3月
Reduction of Output Drift and Sensitivity Improvement of NiCr-Gauge-Thin-Film Tactile Sensor Embedded in Elastomer
第3分冊, p. 242 2010年
凸部エラストマを有する触覚センサアレイのクロストーク低減
植松達也, 寒川雅之, 水戸和, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 27th 2010年
マイクロカンチレバー型触覚センサによる圧力・剪断力分布測定
平嶋大樹, 植松達也, 寒川雅之, 水戸和, 金島岳, 奥山雅則, 野間春生
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 27th 2010年
吉村友里, 浅井健, 寒川雅之, 島内寿徳, 馬越大, 山下馨, 奥山雅則, 久保井亮一, 野田実
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 56th ( 3 ) 1408 2009年3月
美馬達也, 大西浩之, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 山下馨, 野田実, 樋口誠良, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2009 ( 3 ) 274 2009年3月
吉村友里, 浅井健, 山下馨, 野田実, 寒川雅之, 島内寿徳, 馬越大, 奥山雅則, 久保井亮一
電気学会全国大会講演論文集 2009 ( 3 ) 235 2009年3月
Cr/Si傾斜カンチレバーとエラストマを用いた多軸触覚センサの作製と有限要素解析
寒川雅之, 美馬達也, 大西浩之, HUANG Yu‐Ming, 金島岳, 奥山雅則, 山下馨, 野田実, 池田正哲, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2008 ( 3 ) 190 2008年3月
Fabrication and Finite Element Analysis of Tri-axes Tactile Sensor by using Cr/Si Inclined Cantilevers and Elastomer
第3分冊, pp. 190, 3-132 2008年
Stability Improvement o Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using Ni-Cr Thin Film Gauge
pp. 63-66 2008年
カンチレバー型触覚センサ用シリコン・ポリマービーム構造の作製と評価
HUANG Y‐M, 山下馨, 寒川雅之, 金島岳, 野田実, 奥山雅則, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2007 ( 3 ) 213 2007年3月
Fabrication and Characterization of Multi-axis Tactile Sensors with Reasonably Sloped Cr/SiMicro Cantilever Structures
pp. 47-50 2007年
Studies on Deflection Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining Process on SOI Wafer
2006年
HfO<sub>2</sub>膜中欠陥の第一原理計算による解析
寒川雅之, 吉田真人, 松本淳也, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 52nd ( 2 ) 2005年
Contactless Characterization of Fixed Charge in HfO_2 Thin Film by Photoreflectance
SOHGAWA Masayuki, YOSHIDA Masato, NAOYAMA Takuji, TADA Taizou, IKEDA Koji, KANASHIMA Takeshi, FUJIMOTO Akira, OKUYAMA Masanori
Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2004 536 - 537 2004年9月
PhotoreflectanceによるMFIS構造の容量保持特性の非接触評価
寒川雅之, 吉田真人, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th ( 2 ) 495 2004年9月
Photoreflectance分光法によるHfO<sub>2</sub>/Si構造の評価
吉田真人, 直山卓示, 寒川雅之, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 51st ( 2 ) 2004年
PLD法により作製されたHfO<sub>2</sub>薄膜のESRによる欠陥評価
池田幸司, 多田泰三, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 51st ( 2 ) 2004年
Photoreflectanceによる強誘電体薄膜/SiO<sub>2</sub>/Si構造の解析
寒川雅之, 吉田真人, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集 64th ( 2 ) 470 2003年8月
Characterization of Ferroelectric Thin Film/SiO2/Si Structure by Photoreflectance
2003年
PLD法により作製したPrOx薄膜のRTA効果
池田幸司, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th ( 2 ) 2003年
SPring-8高輝度・高強度放射光を用いた弗化物・酸化物のエッチング
藤田哲士, 多田泰三, 金島岳, 寒川雅之, 神田浩文, 奥山雅則, 大橋治彦, 為則雄祐, 石黒英治
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th ( 2 ) 2003年
high‐k/SiO<sub>2</sub>/Si構造のフォトレフレクタンス評価
寒川雅之, 神田浩文, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集 63rd ( 2 ) 710 2002年9月
FIS構造における界面Siのフォトレフレクタンス分光法による評価 (2)
神田浩文, 寒川雅之, 北井聡, 児玉一志, 豊島吉英, 金島岳, 奥山雅則, 藤本晶, 江利口浩二
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th ( 2 ) 541 2002年3月
高誘電率ゲート用ZrO<sub>2</sub>およびPrO<sub>x</sub>薄膜の作製と評価
寒川雅之, 北井聡, 神田浩文, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th ( 2 ) 829 2002年3月
SBTとPZT膜を用いたMFIS構造におけるSiO<sub>2</sub>/Si界面の光学的評価
神田浩文, 寒川雅之, 豊嶋吉英, 金島岳, 奥山雅則, 藤本晶, 江利口浩二
応用物理学会学術講演会講演予稿集 63rd ( 2 ) 2002年
軟X線アンジュレータからの高輝度放射光アブレーションによるフッ化物薄膜の作製
藤田哲士, 折田智洋, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 大橋治彦
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th ( 2 ) 2002年
高誘電率ゲート絶縁膜/Si界面のフォトレフレクタンス分光法による評価
寒川雅之, 神田浩文, 北井聡, 上野正人, 江利口浩二, 藤本晶, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 48th ( 2 ) 805 2001年3月
分子軌道解析におけるZrO<sub>2</sub>および希土類酸化物クラスターモデルの検討
金島岳, 奥山雅則, 上野正人, 北井聡, 寒川雅之
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 48th ( 2 ) 2001年
FIS構造における界面Siのフォトレフレクタンス分光法による評価
神田浩文, 寒川雅之, 北井聡, 金島岳, 児玉一志, 奥山雅則, 藤本晶, 江利口浩二
応用物理学会学術講演会講演予稿集 62nd ( 2 ) 2001年
Figure-8アンジュレータからの高輝度放射光を用いた電子材料のエッチング
藤田哲士, 北井聡, 寒川雅之, 神田浩文, 金島岳, 金島岳, 奥山雅則, 大橋治彦
応用物理学会学術講演会講演予稿集 62nd ( 2 ) 2001年
フォトレフレクタンス分光法を用いたSi/SiO<sub>2</sub>界面の応力評価
寒川雅之, 江利口浩二, 藤本晶, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集 61st ( 2 ) 705 2000年9月
Non-Destructive and Contactless Monitoring Technique of Si Surface Stress by Photoreflectance
SOUGAWA Masayuki, KANASHIMA Takeshi, AGATA Masashi, YAMASHITA Kaoru, OKUYAMA Masanori, FUJIMOTO Akira, ERIGUCHI Koji
Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2000 456 - 457 2000年8月
フォトレフレクタンス分光法によるSiO<sub>2</sub>/Si界面の歪みの解析
阿形眞司, 寒川雅之, 江利口浩二, 藤本晶, 金島岳, 山下馨, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 47th ( 2 ) 820 2000年3月
MEMS触覚センサの射出成形によるシート状封止
若林 陽彩, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第15回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2024年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
カンチレバー型MEMS触覚センサを用いた新たな力印加位置推定方法
細川 陽史, 水戸部 龍介, 安部 隆, 寒川 雅之
第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2024年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
MEMS触覚センサの封止エラストマ材料による時間応答特性の評価
相羽 祐作, 水戸部 龍介, 安部 隆, 寒川 雅之
第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2024年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
Cr-N薄膜横感度を利用した触覚センサ用カンチレバー小型化のための最適平面形状の検討
長野 透也, 木下 萌香, 水戸部 龍介, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2024年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
テレロボットにおける安定した物体把持のための回転中心とモーメントの推定
街道 一翔, 柚 空翔, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 野間 春生
第29回日本バーチャルリアリティ学会大会 2024年9月 日本バーチャルリアリティ学会
静電引力を用いた触覚ディスプレイの薄膜化による低電圧化と振動の提示
佐野 竜雅, 安部 隆, 寒川 雅之
第29回日本バーチャルリアリティ学会大会 2024年9月 日本バーチャルリアリティ学会
Si-MEMS技術による微小機械構造を用いた生体情報センシング 招待
寒川雅之
2024年電子情報通信学会ソサイエティ大会 2024年9月 電子情報通信学会
QIN YIZHI, 海野一真, 大石恭徳, 寒川雅之, 安部 隆
令和6年度電気学会E部門総合研究会 2024年7月
荷重ベクトル計測のための触覚センサの全方位荷重に対する応答評価
水戸部龍介, 高橋佑司, 安部 隆, 野間春生, 寒川雅之
令和6年度電気学会E部門総合研究会 2024年7月
水晶複素容量センサを用いた醸造プロセスモニタリング技術の開発
鴫原大輝, 寒川雅之, 安部 隆
令和6年度電気学会E部門総合研究会 2024年7月
封止エラストマがMEMS触覚センサの空間感度分布に与える影響
瀧沢真史, 細川陽史, 安部 隆, 寒川雅之
令和6年度電気学会E部門総合研究会 2024年7月
水晶複素容量センサを用いたセメント水和反応と硬化プロセスの非破壊測定
三浦太一, 岩本啓吾, 寒川雅之, 安部 隆
令和6年度電気学会E部門総合研究会 2024年7月
A MEMS Tactile Sensor for Mimicking the Time Response of Human Tactile Sensation 国際会議
Ryusuke Mitobe, Zhikai Geng, Takashi Abe, Kensuke Kanda, Masayuki Sohgawa
11th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2024) 2024年6月
ヒト触覚を模倣した圧電体・ひずみゲージ複合MEMS触覚センサの時間特性評価
水戸部龍介, 耿至鍇, 安部隆, 神田健介, 寒川雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2024 2024年5月
MEMS触覚センサを用いた触診モデルにおけるしこり検出能力の評価
濱西大輝, 門田秀人, 安部隆, 寒川雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2024 2024年5月
二重マスクを用いた弾性的異方性を有するチタン箔の作製
秦 夷之, 海野一真, 大石恭徳, 寒川雅之, 安部 隆
令和6年電気学会全国大会 2024年3月 電気学会
ヒトのように検知可能なひずみゲージ圧電体複合集積化触覚センサの時間応答特性評価
耿 至鍇, 水戸部龍介, 安部 隆, 神田健介, 寒川雅之
令和6年電気学会全国大会 2024年3月 電気学会
静電触覚ディスプレイの印加電圧低減のための絶縁膜材料の検討
佐野竜雅, 髙橋 駿, 安部 隆, 寒川雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2024年3月
触覚センサにおけるマイクロカンチレバーの横たわみを利用した多軸せん断力検知
佐藤亮太, 村上 健, 細川陽史, 水戸部龍介, 安部 隆, 寒川雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2024年3月
指紋様表面形状をもつMEMS触覚センサによる物体質感評価
岡固 創, 月山 陽介, 安部 隆, 寒川 雅之
第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 2023年12月
ウェアラブル足裏荷重計測機器を用いた生体力学分析に基づく走行動作の評価
船橋 佑, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 野方 誠, 野間 春生
第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 2023年12月
感圧導電性エラストマを複合化したMEMS触覚センサの作製と評価
水戸部 龍介, 鄭 盈權, 安部 隆, 寒川 雅之
第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 2023年12月
MEMS技術を応用した触覚センサの研究と社会実装への取り組み 招待
寒川 雅之
第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 2023年12月
ロボットハンドのためのMEMS触覚センサによる接触面のモーメント計測
街道 一翔, 船橋 佑, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 野間 春生
第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 2023年12月
MEMS触覚センサを用いた液体下の滑りやすさと温冷感評価
岩橋 拓磨, 安部 隆, 寒川 雅之
第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 2023年12月
Tactile Sensor Combining MEMS Cantilevers and Pressure-Sensitive Conductive Elastomer 国際会議
Ryusuke Mitobe, Yingquan Zheng, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
34th 2023 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2023) 2023年11月
樹脂コンパウンドの視覚・触覚複合計測のための光・温度検知素子集積化
中村 眞子, 安部 隆, 寒川 雅之
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2023年11月 電気学会
電解エッチング法を用いたチタン製マイクロメスの刃先形状の制御
滝澤 勇貴, 栗田 政宗, 寒川 雅之, 安部 隆
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2023年11月 電気学会
水晶発振回路式複素容量センサによるRC構造体内部の非破壊センシング
横山 猛輝, 高橋 良輔, 岩本 啓吾, 寒川 雅之, 安部 隆
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2023年11月 電気学会
質感検知に向けた指紋型表面触覚センサによるなぞり計測
岡固 創, 月山 陽介, 安部 隆, 寒川 雅之
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2023年11月 電気学会
鏡面加工が可能なチタン製マイクロ構造形成プロセスの開発
大石 恭徳, 西村 哲登, 寒川 雅之, 安部 隆
第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2023年11月 日本機械学会
支持基板上ATカット水晶振動子の励振電極形状の最適化
新田 智也, 諸橋 奎人, 安田 倉土, 寒川 雅之, 安部 隆
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2023年11月 電気学会
横感度を利用したCr-N薄膜ひずみゲージの設計とそれを用いた触覚センサの試作評価
木下 萌香, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2023年11月 日本機械学会
水晶発振回路式複素容量センサによる乳化状態のモニタリングシステムの開発
川口 大輔, 奥脇 琢朗, 寒川 雅之, 安部 隆
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2023年11月 電気学会
エラストマシート封止MEMS触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性
若林 陽彩, 南部 泰生, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2023年11月 電気学会
Kazuki Miyaoka, Yuya Takahashi, Carl Frederik Werner, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
IEEE Sensors 2023 2023年10月
触覚センサ用カンチレバー型検知素子のCr-N薄膜横感度を利用した小型化
木下 萌香, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会 2023年9月
FPGAによる抵抗型触覚センサのデジタルシリアル変換器の開発
三木 克人, 斎藤 竜也, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 泉 知論, 秋田 純一, 野間 春生
令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会 2023年9月 電気学会
薄膜応力による微小構造の形状制御と触覚センサ応用 招待
寒川 雅之
令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会 2023年9月 電気学会
MEMS触覚センサのカンチレバー平面形状の改良による感度向上
水戸部 龍介, 村上 健, 鄭 盈權, 門田 秀人, 安部 隆, 寒川 雅之
日本機械学会2023年度年次大会 2023年9月 日本機械学会
電解エッチング法によるモリブデンマイクロマシニング技術の開発
橋爪 紀人, 大石 恭徳, 寒川 雅之, 安部 隆
日本機械学会2023年度年次大会 2023年9月 日本機械学会
Immobilization Strategy of Liposome Modified Cantilever Biosensor Arrays Combined with Microfluidic Channels 国際会議
Carl Frederik Werner, Yuya Takahashi, Ryusuke Mitobe, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
IEEE Biosensors 2023 2023年7月
多軸触覚センサのための検知素子の位置最適化
若林陽彩, 門田秀人, 安部 隆, 寒川雅之
令和5年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2023年7月 電気学会
カンチレバー触覚センサの作製歩留まり向上と個体差低減のための接触部固定法および応力層形成法
藤田亮太, 川崎雄記, 安部隆, 寒川雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2023 2023年6月 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス部門
VO2測温抵抗を備えた触覚センサによる微小粗さ面の温冷感評価
中村眞子, 南雲光, 安部隆, 寒川雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2023 2023年6月 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス部門
静電型・圧電型振動提示素子を複合化した触覚ディスプレイによる合成触感提示とその感性評価
佐野竜雅, 近藤雅敏, 安部隆, 寒川雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2023 2023年6月 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス部門
FPGA-BASED ASYNCHRONOUS SPIKE PERCEPTRON FOR TINY MEMS TACTILE SENSORS 国際会議
Masanori Aoki, Tatsuya Saito, Mitsuhito Ando, Masayuki Sohgawa, Tomonori Izumi, Junichi Akita, Haruo Noma
The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023) 2023年6月
IMPROVED REPRODUCIBILITY OF DEFLECTION CONTROL PROCESS FOR CANTILEVER-TYPE MEMS TACTILE SENSORS 国際会議
Harufumi Hosokawa, Yuki Kawasaki, Yingquan Zheng, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023) 2023年6月
マイクロ流体デバイス一体化バイオセンサにおけるリポソーム固定化プロトコルとセンサ特性の検討
高橋 悠矢, 宮岡 一輝, 紙谷 虎太郎, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実
第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月 応用物理学会
40個の検知素子を有する高集積カンチレバー型触覚センサ
細川陽史, 川﨑雄記, 安部隆, 野間春生, 寒川雅之
令和5年電気学会全国大会 2023年3月 電気学会
接触部交換可能なMEMS触覚センサの振動特性評価
LIU TINGXUAN, 川﨑 雄記, 長谷川 拓海, 安部 隆, 寒川 雅之
日本機械学会北陸信越支部2023年合同講演会 2023年3月 日本機械学会
温度特性の優れた支持基板一体型水晶振動子のQCMへの応用
安田 倉土, 佐谷 元, 寒川 雅之, 安部 隆
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
反応性イオンエッチングと電解加工によるチタンウェハの微細加工プロセスの開発
西村 哲登, 渡邉 悠太, 千野 輝弥, 寒川 雅之, 安部 隆
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
カンチレバー型MEMS触覚センサの接触部突起位置合わせ手法の開発
岩橋 拓磨, 川崎 雄記, 矢島 樹, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
汎用作製プロセス化を指向したマイクロ流体デバイスとカンチレバーアレイセンサへの適用
高橋 悠矢, 紙谷 虎太郎, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
水晶発振回路式複素容量センサによるセメント系材料の非破壊モニタリング技術の開発
岩本 啓吾, 王 鶴鳴, 寒川 雅之, 安部 隆
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
荷重ベクトル計測のための触覚センサのカンチレバー設計最適化による高感度化
川崎 雄記, 高橋 佑司, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
ひずみゲージ・圧電体薄膜積層カンチレバーを用いた触覚センサの応答性評価
水戸部 龍介, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
リポソーム固定化センサを用いたパーキンソン病原因タンパク質の 特異的高感度検出における塩効果
紙谷 虎太郎, 澤村 正典, 山門 穂高, 高橋 悠矢, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
有限要素法によるTi製MEMS圧力センサの感度解析
中井 遥介, 安部 隆, 寒川 雅之
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
チタン箔ベースMEMSのための生産プロセスの開発
海野 一真, 寒川 雅之, 安部 隆
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
電解エッチング法によるTi系材料の微細構造形成と強度評価
大石 恭徳, 佐々木 朋祐, 寒川 雅之, 安部 隆
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
水晶発振回路式複素容量センサによる食肉センシングシステムの開発
大島 悠, 寒川 雅之, 安部 隆
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
局所測定に対応した水晶発振回路式複素容量センサの開発
高橋 良輔, 櫻井 洋輔, 寒川 雅之, 安部 隆
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
肌のベタつき感定量評価のための触覚センサによる粘着性計測
岡固 創, 安部 隆, 寒川 雅之
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
Siウェハを用いた静電力提示触覚ディスプレイと圧電アクチュエータとの複合化
近藤 雅敏, 高橋 駿, 安部 隆, 寒川 雅之
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
MEMS触覚センサのためのカンチレバーたわみ形状制御手法の開発
鄭 盈権, 川﨑 雄記, 安部 隆, 寒川 雅之
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
表面微細構造を利用したフッ素樹脂接合チタンウェハの開発
新保 元哉, 佐々木 朋裕, 寒川 雅之, 安部 隆
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月 日本機械学会
触覚ディスプレイにおける摩擦制御のための静電引力提示デバイスの低電圧化
高橋 駿, 近藤 雅敏, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
非接触型水晶発振回路式複素容量センサによるフォトリソグラフィ工程の終点検出技術の開発
奥脇 琢朗, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 電気学会
Effects of Ions on Liposome-Immobilized Biosensors for the Detection of Alpha-Synuclein 国際会議
Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Yuya Takahashi, Carl Frederik Werner, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
IEEE Sensors 2022 2022年10月
MULTI-ANALYTE SENSING MICROFLUIDIC STRUCTURE FOR ARRAY SENSORS AND ITS USAGE WITH A CANTILEVER BIO SENSOR 国際会議
Yuya Takahashi, Kotaro Kamitani, Carl Frederik Werner, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
The 26th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (µTAS 2022) 2022年10月
A HIGH-SENSITIVE DETECTION OF AGGREGATED α-SYNUCLEIN BY SALT ADDITION FOR LIPOSOME-IMMOBILIZED QCM MECHANICAL SENSOR 国際会議
Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Yuya Takahashi, Carl Frederik Werner, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
The 26th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (µTAS 2022) 2022年10月
絶縁膜薄膜化による静電触覚ディスプレイの印加電圧低減と圧電ディスプレイとの複合化
高橋駿, 近藤雅敏, 安部隆, 寒川雅之
第27回日本バーチャルリアリティ学会大会 2022年9月
超小型触覚センサによる大腸モデル挿入時における内視鏡把持状態の検出
岩橋 拓磨, 山岸 守央, 安部 隆, 今村 孝, 寒川, 雅之
日本機械学会2022年度年次大会 2022年9月 日本機械学会
マイクロ鉗子・メス用チタン箔ベースフォースセンサの開発
海野 一真, 野澤 慎児, 寒川 雅之, 安部 隆
日本機械学会2022年度年次大会 2022年9月 日本機械学会
大島 悠, 高橋良輔, 寒川雅之, 安部 隆
令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2022年6月
岩本啓吾, 佐伯竜彦, 寒川雅之, 安部 隆
令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2022年6月
安田倉土, 佐谷 元, 寒川雅之, 安部 隆
令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2022年6月
南雲光, 恩田尚隆, 安部隆, 寒川雅之
令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2022年6月
エラストマシート封止MEMS触覚センサを用いた人の手による物体把持の計測
門田秀人, 南部泰生, 安部 隆, 寒川雅之
令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2022年6月 電気学会
科学的トレーニングのための足裏にかかる荷重計測システムの開発
船橋佑, 安藤潤人, 寒川雅之, 秋田純一, 野間春生
ロボティクス・メカトロニクス講演会2022 2022年6月
エラストマシートに封止したMEMS触覚センサによる垂直力・曲げ・ねじり検知
岡固創, 南部泰生, 安部隆, 寒川雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2022 2022年6月
The New Control Method for Detection of Cold-warm Sensation Using a Heater Integrated Tactile Sensor 国際会議
Takuma Iwahashi, Naotaka Onda, Hikaru Nagumo, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
The 10th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2022) 2022年5月
カンチレバーアレイバイオセンサ用マイクロ流体デバイスの検討
高橋 悠矢, 紙谷 虎太郎, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実
第69回応用物理学会春季学術講演会 2022年3月
圧・振動・温冷複合触覚センサデバイスと応用展開 招待
寒川雅之
令和4年電気学会全国大会 2022年3月 電気学会
二つのひずみゲージを搭載したカンチレバー型MEMS触覚センサ
岡固 創, 髙橋佑司, 安部 隆, 野間春生, 寒川雅之
令和4年電気学会全国大会 2022年3月 電気学会
遠隔内視鏡検査システムにおける挿入時の力覚提示機構の開発
村山 健, 今村 孝, 寒川 雅之
日本機械学会北陸信越支部 2022年合同講演会 2022年3月 日本機械学会北陸信越支部
皮膚診断用MEMS複合センサの光検出部のS/N比向上
佐藤 広夢, 安部隆, 寒川雅之
日本機械学会北陸信越支部 2022年合同講演会 2022年3月 日本機械学会北陸信越支部
口腔ケアシミュレータに向けたMEMSセンサ搭載歯-歯茎モデルの検討
寒川雅之, 兒玉崇行, 安部 隆, 三谷篤史
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2022年3月 電気学会
バイオセンサ・触覚センサ応用に向けたカンチレバーアレイチップの設計と試作評価
水戸部龍介, 長谷川拓海, 高橋悠矢, 紙谷虎太郎, 安部 隆, 野田 実, 寒川雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2022年3月 電気学会
触診用MEMS触覚センサの感度向上と接触動作検討
門田秀人, 安部 隆, 寒川雅之
マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会 2021年12月 電気学会
A highly sensitive and specific detection of biomarker of Parkinson's disease by liposome-immobilized cantilever sensor 国際会議
Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki sohgawa, Minoru Noda
The 2021 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2021) 2021年11月
布の触感評価における視覚と触覚の寄与度に関する基礎検討
今村 孝, 昆 ひより, 寒川 雅之
第64回 自動制御連合講演会 2021年11月
反応性イオンエッチング技術を用いたAl2O3絶縁層を有するTiウェハの鏡面加工プロセス
渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆
第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2021年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
電界集中型水晶複素容量センサによる皮膚内部イメージングシステムの開発
高橋 良輔, 藤森 弘貴, 寒川 雅之, 安部 隆
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
水晶発振回路式MHz帯複素容量センサを用いた土壌状態の非接触モニタリング
LIU JIANI, 寒川 雅之, 安部 隆
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
電解エッチング法を用いた微細構造を有するチタン製マイクロメスの開発
栗田 政宗, 寒川 雅之, 安部 隆
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
触診用MEMS触覚センサの接触部改良による圧力低減
門田 秀人, 小河原 周, 寒川 雅之, 安部 隆
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
水晶発振回路式複素容量センサを用いた金エッチングの非接触エンドポイントディテクター
奥脇 琢朗, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Al₂O₃絶縁薄膜を用いた静電型触覚ディスプレイに関する基礎検討
近藤 雅敏, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
TOIウェハの層間膜の膜厚調整技術の開発
土田 和弥, 長谷川 穂高, 寒川 雅之, 安部 隆
第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2021年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
物理的・化学的耐久性を兼備するフッ素エラストマ積層コーティング PDMS封止カンチレバー型触覚センサ
髙橋 佑司, 髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
接着剤を用いたMEMS触覚センサの接触部取り外し・交換可能化
川﨑 雄記, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2021年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
ヒータ集積型触覚センサによる温冷感評価のための温度制御手法の検討
恩田 尚隆, 安部 隆, 寒川 雅之
第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2021年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
触覚センサ感度のマイクロカンチレバーサイズおよびひずみゲージ形状・材料依存性評価
長谷川 拓海, 金田 蓮, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2021年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
Sensitivity Enhancement of MEMS Tactile Sensor by Redesign of Microcantilever and Strain Gauge 国際会議
Ren Kaneta, Takumi Hasegawa, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2021 2021年11月 IEEE
Detection of Rigid Object Embedded in Skin Model Using Tactile Sensor for Palpation 国際会議
Shu Ogawara, Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2021 2021年11月 IEEE
口腔ケアシミュレータのためのMEMSセンサによるブラッシング検知
寒川雅之, 三谷篤史
第9回看護理工学会学術集会 2021年10月
パーキンソン病患者血清中αシヌクレインのリポソーム固定化センサにおける高感度検出の検討
紙谷 虎太郎, 高橋 悠矢, Werner Carl Frederik, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実
第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月
マイクロカンチレバー触覚センサにおけるひずみゲージ用NiCr薄膜特性のスパッタリング成膜温度依存性評価
GONG LIQIANG, 安部 隆, 寒川 雅之
日本機械学会 2021年度年次大会 2021年9月 日本機械学会
近藤雅敏, 佐藤淳喜, 安部 隆, 寒川雅之
令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2021年7月 電気学会
温冷感計測用マルチモーダル触覚センサにおけるエラストマ材料の検討
南雲 光, 恩田尚隆, 安部 隆, 寒川雅之
令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2021年7月
河内彪博, 安藤潤人, 寒川雅之, 野間春生
令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2021年7月
CONTACTLESS ENDPOINT DETECTION OF GOLD ETCHING USING QUARTZ-BASED CAPACITIVE DETECTOR 国際会議
Takuro Okuwaki, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2021) 2021年6月
内視鏡操作のデータ化に向けた超小型触覚センサによる把持状態の検出
山岸守央, 寒川雅之, 今村孝, 安部隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会2021 2021年6月
門田秀人, 小河原 周, 南部泰生, 安部 隆, 寒川雅之
令和3年電気学会全国大会 2021年3月 電気学会
川崎雄記, 髙橋佑司, 安部 隆, 野間春生, 寒川雅之
令和3年電気学会全国大会 2021年3月 電気学会
水晶発振回路式複素容量センサを用いたシール材料の化学耐久性評価
齋藤 響太, 寒川 雅之, 安部 隆
令和3年電気学会全国大会 2021年3月 電気学会
水晶発振回路式容量センサを用いた土壌の性質の非接触モニタリング
JIANI LIU, 吉田 晃, 寒川雅之, 安部 隆
令和3年電気学会全国大会 2021年3月 電気学会
長谷川穂高, 守屋赳利, 土田和弥, 寒川雅之, 安部 隆
令和3年電気学会全国大会 2021年3月 電気学会
高橋佑司, 高橋拓海, 安部 隆, 寒川雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2021年3月 電気学会
佐藤淳喜, 本間 遼, 安部 隆, 寒川雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2021年3月 電気学会
小河原周, 木藤 潤, 安部 隆, 寒川雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2021年3月 電気学会
Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
The 15th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC 2020) 2020年12月 日本機械学会
Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
The 15th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC 2020) 2020年12月 日本機械学会
ひずみゲージ・圧電体薄膜集積触覚センサの検知部形状の設計・評価
GONG LIQIANG, 高橋 春暁, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之
第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2020年10月
反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発
千野 輝弥, 渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製
恩田 尚隆, 小塚 貴暁, 安部 隆, 一色 眞誠, 留野 暁, 寒川 雅之
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いたパーキンソン病原因物質αシヌクレイン凝集体の超高感度検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発
橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
薄膜対応熱重量分析⽤QCMの開発と評価
佐谷 元, 寒川 雅之, 安部 隆
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
エラストマ封⽌カンチレバー型触覚センサの繰返し耐久性評価
高橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
把持状況検出のための⼯具把持部埋込触覚センサとその解析
南部 泰生, 寒川 雅之, 安部 隆
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
微小流体回路のためのインダクタンスとキャパシタンスの時差式分析技術の開発
渡部 亮, 吉田 晃, 佐藤 洋太, 寒川 雅之, 安部 隆
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2020年10月
振動刺激と摩擦力を同時に提示可能な複合触覚ディスプレイの基礎検討
本間 遼, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之
第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2020年10月
MEMS触覚センサを用いた皮膚診断のための力・色・温度の複合計測
小河原 周, 安部 隆, 寒川 雅之
日本機械学会 2020年度年次大会 2020年9月 日本機械学会
リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いたパーキンソン病患者血清中αシヌクレインの検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実
第81回応用物理学会秋季学術講演会 2020年9月
高ゲージ率Cr-N薄膜及び設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上
金田 蓮, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
令和2年度電気学会A部門大会 2020年9月
エラストマ埋込マイクロカンチレバー触覚センサの挙動と解析
寒川 雅之, 木藤 潤, 安部 隆
令和2年度電気学会A部門大会 2020年9月
Contactless Monitoring of Cement Curing Process Using Quartz Oscillator Based Capacitive Sensor
王 鶴鳴, 藤森 弘貴, 寒川 雅之, 安部 隆
令和2年度電気学会A部門大会 2020年9月
櫻井洋輔, 灰野貴晶, 寒川雅之, 安部 隆
令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2020年7月
MEMS触覚センサの温度変化による出力信号のドリフト特性の考察
河内彪博, 川田智晴, 岡田一志, 寒川雅之, 野間春生
令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2020年7月
小型化・低電圧化に向けた絶縁樹脂薄膜静電触覚ディスプレイの基礎検討
佐藤淳喜, 本間 遼, 安部 隆, 寒川雅之
令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2020年7月
チタン製カンチレバーを用いた高耐久性MEMSフォースセンサのモデル作製と評価
野澤慎児, 大塚善久, 安部 隆, 寒川雅之
令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2020年7月
端子部への負荷を軽減するFPCを用いたMEMS触覚センサの実装
岡田一志, 川田智晴, 河内彪博, 大井翔, 松村耕平, 寒川雅之, 野間春生
ロボティクス・メカトロニクス講演会2020 2020年5月
遠隔内視鏡検査システムにおける力覚提示の基礎検討
村山健, 今村孝, 水野研一, 寒川雅之, 三好孝典
ロボティクス・メカトロニクス講演会2020 2020年5月
マイクロカンチレバーの設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上
金田蓮, 安部隆, 寒川雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2020 2020年5月
ボンディングワイヤのUV硬化樹脂封止によるMEMS触覚センサの耐久性向上
高橋 佑司, 高橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
令和2年電気学会全国大会 2020年3月 電気学会
マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶発振回路式複素容量センサの開発
橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆
令和2年電気学会全国大会 2020年3月 電気学会
タフMEMSのための絶縁層を有するチタン基板の開発
守屋 赳利, 長谷川 穂高, 佐々木 朋裕, 寒川 雅之, 安部 隆
令和2年電気学会全国大会 2020年3月 電気学会
包丁手技訓練を目的とした把持力信号の自動ストローク切り出し手法の検討
川田 智晴, 岡田 一志, 大井 翔, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生
インタラクション2020 2020年3月 情報処理学会
ヒトを模した人工触覚の触り動作における素材識別率を向上させる学習モデルの研究
岡田 一志, 下江 輝, 大井 翔, 松村 耕平, 寒川 雅之, 杉山 治, 野間 春生
インタラクション2020 2020年3月 情報処理学会
木藤 潤, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2020年3月 電気学会
南部 泰生, 藤橋 智哉, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2020年3月 電気学会
Ryoko Kobayashi, Minoru Noda, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa
The 2019 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2019) 2019年11月 IEEE EDS Kansai Chapter
Ryoko Kobayashi, Minoru Noda, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2019 2019年10月
リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた ヒト由来αシヌクレイン線維化の検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実
第67回応用物理学会春季学術講演会 2020年3月
ワイヤレス発振式水晶振動子型薄膜用熱重量分析センサの開発
千野 輝弥, 丸山 耕平, 内木 舜也, 寒川 雅之, 安部 隆
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2019年11月
ひずみ・圧電触覚センサのためのPDMS封止カンチレバーによる荷重・振動検知
高橋 春暁, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之
第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2019年11月
深さ方向成分分析に対応した非接触型水晶発振回路式複素容量センサの開発
灰野 貴晶, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2019年11月
チタン合金製マイクロ金型の作製および評価
韓 剛, 劉 若愚, 寒川 雅之, 安部 隆
第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2019年11月
Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサにおける感度・温度特性の熱処理温度依存性
本間 遼, 米原 洸平, 安部隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2019年11月
外部磁場を利用した多周波水晶発振回路式液体センサによるイオン種分析
藤森 弘貴, 富樫 裕基, 寒川 雅之, 安部 隆
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2019年11月
水処理プロセスの非接触モニタリング用水晶発振回路式液体センサの開発
吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2019年11月
多周波水晶発振回路式液体センサによる多成分イオンの非接触分析
庄司 拓人, 吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2019年11月
チタンMEMSのためのアルミナ絶縁層の評価
大塚 善久, 安部 隆, 寒川 雅之
第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2019年11月
エラストマ封止カンチレバー型触覚センサの検出エリア評価
阿部 由杜, 菅 史賢, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2019年11月
さまざまな洗浄に耐えるフッ素エラストマ封止カンチレ バー型触覚センサ
髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2019年11月
RT-QuIC 法を用いたリポソーム固定化カンチレバーセンサによる αシヌクレインの検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第80回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月 応用物理学会
摩擦・凹凸感を含む触感提示のためのMEMS複合触覚センサによる質感計測と評価
本間 遼, 安部 隆, 寒川 雅之
2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会 2019年9月
複合触覚センシングのためのフレキシブル圧力・曲げセンサ
寒川 雅之, 高橋 拓海, 富田 亮, 安部 隆, 鳴海 敬倫
電気学会誘電・絶縁材料研究会 2019年7月
力・光・温度複合触覚センサを用いた濡れによる質感変化の評価
小塚 貴暁, 安部 隆, 寒川 雅之
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会) 2019年7月
複雑形状物体把持制御のための複数接触部を有する触覚センサ
菅 史賢, 藤橋 智哉, 阿部 由杜, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会) 2019年7月
Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda
The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII) 2019年6月
Shunya Uchiki, Ikuto Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII) 2019年6月
Tactile Sensor Using Microcantilever Embedded in Fluoropolymer for Water and Ethanol Resistance 国際会議
Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII) 2019年6月
口腔ケアシミュレーション用舌モデルへのMEMS触覚センサ搭載と接触検知
兒玉 崇行, 安部 隆, 三谷 篤史, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2019 2019年6月
微小流体チップ用水晶発振回路式液体濃度センサのための回路の最適化
佐藤 洋太, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆
平成31年電気学会全国大会 2019年3月
フッ素エラストマとCNT分散樹脂を用いたフレキシブル圧力・曲げセンサの基礎検討
高橋 拓海, 富田 亮, 安部 隆, 鳴海 敬倫, 寒川 雅之
平成31年電気学会全国大会 2019年3月
非接触型水晶発振回路式複素容量センサの土壌モニタリングへの応用
村上 尚駿, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆
平成31年電気学会全国大会 2019年3月
リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサによるパーキンソン病原因物質αシヌクレインの検出
小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月 応用物理学会
複雑形状物体把持時の接触状況検出のためのマイクロ触覚センサ
菅 史賢, 藤橋 智哉, 阿部 由杜, 安部 隆, 寒川 雅之
日本機械学会北陸信越支部第56期講演会 2019年3月
Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサの感度と温度特性評価
米原 洸平, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2019年2月
MEMS触覚センサによる材質感計測と感性評価との比較
志和 昂, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 2019年2月
Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上
米原 洸平, 木藤 潤, 藤橋 智哉, 高橋 春暁, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之
第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2018年11月
人間に近い触覚検知のためのエラストマ埋め込みPZT /Siカンチレバー振動覚センサ
高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年11月
触覚センサの柔軟物硬さ及び接触形状に対する依存性評価と検知部の高密度化
藤橋 智哉, 菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年11月
粘弾性液体と接した電極分離型QCMセンサの周波数応答特性
佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年11月
皮膚診断のための触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析
木藤 潤, 阿部 裕太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
水晶発振回路式液体濃度センサの炭酸濃度非接触測定への応用
小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
湿潤・水中環境でも計測可能なフッ素エラストマを用いた触覚センサ
佐藤 周平, 安部 隆, 寒川 雅之
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
タフMEMSのためのチタン合金製微小試験片の力学的特性評価
吉田 将希, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆
第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2018年10月
1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価
庄司 拓人, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
熱アシスト式反応性イオンエッチング法によるチタン合金製微小メスの作製と評価
近藤 正之, 吉田 将希, 桐生 祐弥, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆
第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2018年10月
チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発
桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
熱アシスト反応性イオンエッチングを用いたTi/Ti合金製マイクロモールドの開発
劉 若愚, 韓 剛, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
河川防災システムのためのミリ波センサによる非接触水位計測
寒川 雅之, ウィタカ アンドリュー, 酒井 直樹
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
ワイヤレス駆動可能な多チャンネル型片面励起式QCMセンサの開発
内木 舜也, 佐藤 育人, 寒川 雅之, 安部 隆
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2018年10月
マイクロカンチレバーセンサ技術を用いた細胞膜モデルリポソーム上Aβ動的特性の評価
谷口 智哉, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第12回バイオ関連化学シンポジウム 2018年9月
Characterization of PZT Thin Film Deposited on Si Cantilever Embedded in PDMS for Tactile Sensing as Force and Vibration Detection 国際会議
Harutoshi Takahashi, Yuta Namba, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
The 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics 2018年8月
寒川 雅之
第5回 EIIRIS インテリジェントセンサ・MEMS研究会 2018年7月 豊橋技術科学大学 エレクトロニクス先端融合研究所
ミリ波レーダを用いた河川防災用センサシステムの開発
寒川 雅之, ウィタカ アンドリュー, 酒井 直樹
平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会) 2018年7月
エラストマ封止PZT/Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価
高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(フィジカルセンサ研究会) 2018年7月
Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018) 2018年6月
Thermally Assisted Reactive-Ion Etching Technique Using Detachable Self-Heated Stage 国際会議
Gang Han, Yuka Kiryu, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018) 2018年6月
柔軟物把持制御用近接触覚センサの接触部形状の検討とカンチレバーの小型高密度配置による荷重分布計測
菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2018 2018年6月
Aβ検出用カンチレバーセンサ感度向上に向けたセンシングバイオ分子の検討
谷口 智哉, 島内 寿徳, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年3月
フッ素エラストマを用いたMEMS触覚センサの耐水性向上
佐藤 周平, 安部 隆, 寒川 雅之
平成30年電気学会全国大会 2018年3月 電気学会
志和 昂, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
電気学会交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会 2018年3月 電気学会
Development of Thermally Assisted Reactive Ion Etching with Desktop Type RIE System 国際会議
Gang Han, Daiki Ohkawa, Takeshi Hitobo, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
The 6th International Symposium on Fusion Technology 2018 2018年1月
小型電動マニピュレータによる柔軟物把持制御のための 近接・接触・滑り検知触覚センサ
菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発
韓 剛, 村田 祐貴, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
大川 太基, 韓 剛, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆
第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2017年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
繊細な把持制御に向けた近接触覚複合マイクロカンチレバーセンサの小型化・多素子化
荒木 凌馬, 寒川 雅之, 野間 春生, 安部 隆
第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2017年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
MEMS触覚センサによる布の接触温冷感と風合いを合わせた評価
志和 昂, 佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価
難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
富樫 裕基, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング
江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Development of Artificial Haptic Model for Human Tactile Sense Using Machine Learning 国際会議
Hikaru Shimoe, Kohei Matsumura, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama
IEEE Sensors 2017 2017年10月
佐藤 周平, 阿部 祐太, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
丸山 耕平, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
ミネラルウォーターの品質評価のための非接触型水分析センサの開発
小黒 悠, 矢田 直人, 清水 健司, 寒川 雅之, 安部 隆
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2017年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017) 2017年10月
接触力・光・温度複合MEMSセンサによる布の温冷感センシング
志和 昂, 佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
平成29年電気学会電子・情報・システム部門大会 2017年9月 電気学会 電子・情報・システム部門
Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
Eurosensors 2017 2017年9月
光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価
難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之
平成29年度電気学会E部門総合研究会(フィジカルセンサ研究会) 2017年6月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
DEEP REACTIVE ION ETCHING TECHNIQUE INVOLVING USE OF 3D SELF-HEATED CATHODE 国際会議
Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017) 2017年6月
Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017) 2017年6月
Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017) 2017年6月
匂いセンサ応用のためのワイヤレス発振式マルチチャンネルQCMセンサの開発
佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会 2017年5月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2017 2017年5月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
下江 輝, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生
力触覚の提示と計算研究会 2017年3月 日本バーチャルリアリティ学会
微小流体チップ対応水晶発振回路式液体センサの電極サイズ最適化
江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆
平成29年電気学会全国大会 2017年3月
視覚・触覚複合MEMSセンサのエラストマ形状による力感度制御
佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
平成29年電気学会全国大会 2017年3月
AD患者血清中のおけるアミロイドβタンパク質検出に向けたリポソーム固定化カンチレバーバイオセンサにおける脂質種の検討
谷口 智哉, 村上 祐樹, 西本 凌, 尾淵 浩也, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年3月 応用物理学会
皮膚組織ひずみ計測のための柔軟物の多層構造とMEMS多軸力複合センサ出力の相関性評価
阿部 祐太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会 2017年3月 電気学会
Development of self-heated cathode for thermally assisted reactive ion etching of minor metals 国際会議
Gang Han, Yuki Murata, Daiki Okawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016 2016年12月
Improvement of optical sensitivity for proximity and tactile combo sensor 国際会議
Nao Umeki, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016 2016年12月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
触覚センシングのためのBiFeO3圧電体薄膜積層マイクロカンチレバーの作製
河野 壮, 安部 隆, 寒川 雅之
2016年度精密工学会北陸信越支部学術講演会 2016年11月 精密工学会
機能性メタル加工のための熱アシスト型反応性イオンエッチング技術の開発
大川 太基, 村田 祐貴, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆
2016年度精密工学会北陸信越支部学術講演会 2016年11月 精密工学会
Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information Using MEMS Combo Sensor 国際会議
Kenta Takahashi, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2016 2016年11月 IEEE Sensors Council
A Highly Sensitive Amyloid-β Detection by Cantilever Microsensor Immobilized with Liposome with Incorporated Cholesterol and Phosphatidylcholine Lipid with Short Hydrophobic Acyl Chains 国際会議
Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Ziyang Zhang, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2016 2016年10月
ひずみ・光・熱複合センサを用いた布に対するマルチモーダル質感計測
高橋 賢太, 佐藤 文哉, 志和 昂, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
知覚情報研究会 2016年10月 電気学会電子・情報・システム部門
近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御
荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
機能性メタルの熱反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発
村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価
和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
機械のヘルスケアモニタリング用水晶発振回路式非接触液体濃度センサの開発
矢田 直人, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
近接覚・触覚コンボセンサを用いた周波数変調近接計測
梅木 尚, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
エネルギーキャリアモニタリング用水晶発振回路式非接触濃度センサの開発
清水 健司, 柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
検出距離の長距離化のための非接触型水晶発振回路式液体濃度センサの開発
南 宗君, 寒川 雅之, 安部 隆
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
光・多軸力複合MEMSセンサによる多層柔軟物の変色・ひずみ評価
阿部 祐太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
光・力・温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価
佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
片面励起型無線発振式QCMの周波数安定性の電極径,結晶方向依存性
坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
光・ひずみ複合センサを用いた布の視覚的・触覚的質感評価
高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2016年10月
Improvement of Sensitivity for Aβ Protein on Cantilever Biosensor by Incorporating DPPC Liposome with Cholesterol 国際会議
Yuki Murakami, Ziyang Zhang, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
The 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 2016年10月
ひずみ・光・熱複合センサを用いたマルチモーダル質感計測の基礎検討
高橋 賢太, 佐藤 文哉, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月
低濃度Aβタンパク質検出用NiCr歪みゲージカンチレバーセンサの温度補償特性向上
谷口 智哉, 寒川 雅之, 村上 祐樹, 張 子洋, 山下 馨, 野田 実
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月
炭素鎖長の短い疎水基のリン脂質リポソームを用いたカンチレバーバイオセンサのAβタンパク質の検出感度向上の検討
村上 祐樹, 谷口 智哉, 張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第77回応用物理学会秋季学術講演会 2016年9月
A High-Sensitive Detection of Several Tens of nM of Amyloid-Beta by Cantilever-Type Biosensor Immobilized DPPC Liposome Incorporated with Cholesterol 国際会議
Yuki Murakami, Ziyang Zhang, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
Eurosensors XXX 2016年9月
片面励起型振動子を用いた無線発振式QCMの電極形状の最適化
坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆
センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2016年6月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討
梅木 尚, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2016年6月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発
矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2016年6月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Thermal Reactive Ion Etching of Ti, Ta, Mo and Nb with SF6 Plasma 国際会議
Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
The 8th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2016) 2016年6月
寒川 雅之
高分子ナノテクノロジー研究会 2016年6月 高分子学会
Texture Characterization Including Warm/cool Sensation by Force, Light, and Temperature Sensitive MEMS Sensor 国際会議
Fumiya Sato, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
The 8th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2016) 2016年6月
水晶発振回路を用いたエネルギーキャリアの非接触濃度モニタリング技術の開発
清水 健司, 寒川 雅之, 安部 隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会2016 2016年6月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
スマートマニピュレーション制御のための近接触覚複合MEMSセンサ
荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2016 2016年6月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
Ziyang Zhang, Yuuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
Biosensors 2016 2016年5月
圧電型触覚センサのためのBiFeO3薄膜の作製と評価
河野 壮, 三原 雅人, 田辺 任, 安部 隆, 奥山 雅則, 寒川 雅之
第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月 応用物理学会
コレステロール含有リポソームによるカンチレバーバイオセンサのAβ検出感度の向上
村上 祐樹, 張 子洋, 谷口 智哉, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月 応用物理学会
親水基の異なるリン脂質リポソームを用いたマイクロカンチレバーセンサによるAβタンパク質識別能力の評価
張 子洋, 村上 祐樹, 谷口 智哉, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年3月 応用物理学会
片面励起型振動子を用いた脱着式QCMセンサ
坂口 淳, 田川 侑弥, 寒川 雅之, 安部 隆
平成28年電気学会全国大会 2016年3月 電気学会
熱反応性イオンエッチング法によるマイナーメタルの微細加工
村田 祐貴, 南 佑人, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆
平成28年電気学会全国大会 2016年3月 電気学会
コレステロール添加リポソーム固定カンチレバーセンサによる低濃度Aβタンパク質の検出
谷口 智哉, 村上 祐樹, 張 子洋, 山下 馨, 野田 実, 寒川 雅之
平成28年電気学会全国大会 2016年3月 電気学会
梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之
交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会 2016年3月 電気学会
Mass sensitivity amplification by using Gaussian-shaped quartz crystal resonator 国際会議
Hiroki Kutsuwada, Sho Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
2016 IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2016年1月
Characterization of BiFeO3 Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge 国際会議
Takeshi Kohno, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2015 2015年11月
Basic Study for Tactile and Visual Texture Measurement by Multimodal MEMS Sensor with Force and Light Sensitivity 国際会議
Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
IEEE Sensors 2015 2015年11月
水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化
坂井 了, 今井 寛明, 寒川 雅之, 安部 隆
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
光・ひずみ複合センサによるマルチモーダルな質感計測の基礎検討
高橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
微量液体に対応した水晶発振回路式液体濃度センサの開発
柳田 祐太, 須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
水晶振動子を用いた小型熱重量分析用センサシステムの開発
和田 涼介, 飯田 尚之, 寒川 雅之, 安部 隆
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化
村田 祐貴, 南 佑人, 寒川 雅之, 安部 隆
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
水晶振動子を用いた熱重量センサの高性能化
信濃 耀介, 田川 侑弥, 寒川 雅之, 安部 隆
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
水晶発振回路を用いた二周波型非接触ケミカルコンボセンサ
須佐 翼, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型触覚センサの基礎検討
河野 壮, 三原 雅人, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーの温度補償と微小流路構造内での計測の検討
安部 裕太, 安部 隆, 張 子洋, 野田 実, 寒川 雅之
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
ガウシアン形状ATカット水晶振動子の作製および評価
轡田 浩規, 渡辺 将, 寒川 雅之, 安部 隆
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Detection of Amyloid-beta at Different Stages of Fibrillization Using a Cantilever-based Liposome Biosensor 国際会議
Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
The 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2015) 2015年10月
Detection of Amyloid-Beta Proteins during Fibrillization Process by Liposome-Immobilized Microcantilevers in Microfluidic Channel 国際会議
Masayuki Sohgawa, Ziyang Zhang, Yuta Abe, Takashi Abe, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
The 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015) 2015年9月 応用物理学会
カンチレバーバイオセンサによる異種脂質膜-Aβタンパク質間相互作用の検出
張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第76回応用物理学会秋季学術講演会 2015年9月 応用物理学会
Characterization of Fibrillization Process of Amyloid-Beta on Lipid Membrane Utilizing a Cantilever-Based Liposome Biosensor 招待 国際会議
Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
Eurosensors 2015 2015年9月
熱重量測定のためのヒータ集積化QCMの電極形状の最適化
田川 侑弥, 信濃 耀介, 寒川 雅之, 安部 隆
センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2015年7月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Aβタンパク質検知のためのリポソーム固定マイクロカンチレバーセンサの温度補償とマイクロ流路中計測の検討
安部 裕太, 安部 隆, 張 子洋, 野田 実, 寒川 雅之
センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2015年7月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
ガウシアン形状AT-カット水晶振動子の質量応答特性の評価
轡田 浩規, 渡辺 将, 気谷 裕樹, 寒川 雅之, 安部 隆
センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2015年7月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Non-contact Sensor for Measurement of Liquid Concentration Based on Quartz Oscillator 国際会議
Tsubasa Susa, Takeru Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
Transducers 2015 2015年6月
人工皮膚下への埋め込みを想定した水晶発振回路式液体濃度センサの開発
柳田 祐太, 寒川 雅之, 安部 隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会2015 2015年5月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
MEMS多軸触覚センサを用いた定量的質感計測のための基礎検討
髙橋 賢太, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2015 2015年5月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス
寒川 雅之, 安部 隆
交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会 2015年3月 電気学会
カンチレバーバイオセンサを用いたリポソーム脂質膜上でのAβ タンパク質動態の経時変化の検討
張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年3月 応用物理学会
寒川 雅之, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 縄田 厚
日本機械学会北陸信越支部 第52期 総会・講演会 2015年3月 日本機械学会北陸信越支部
南 佑人, 山田 周史, 寒川 雅之, 安部 隆
日本機械学会北陸信越支部 第52期 総会・講演会 2015年3月 日本機械学会北陸信越支部
微細表面形状に基づ くテクスチャ提示における触覚情報と視覚情報の効果の評価
小里 篤史, Garcia Josue David, 若尾 あすか, 寒川 雅之, 奥山 雅則, 野間 春生, 田中 弘美
第15回計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会 2014年12月 計測自動制御学会システムインテグレーション部門
液滴保持構造付きNiCr薄膜歪ゲージカンチレバーセンサを用いたリポソーム—タンパク質間相互作用の検出
張 子洋, 赤井 俊夫, 寒川 雅之, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実
電気学会バイオ・マイクロシステム研究会 2014年12月 電気学会
Atsushi Kosato, Garcia Josue David, Asuka Wakao, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Hiromi Tanaka
AsiaHaptics 2014 2014年11月 日本バーチャルリアリティ学会
Texture Measurement and Identification of Object Surface by MEMS Tactile Sensor 国際会議
Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
IEEE Sensors 2014 2014年11月 IEEE
Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
IEEE Sensors 2014 2014年11月
Bioassay of Proteins in Stable Solution State Using A Novel Cantilever-based Biosensor 国際会議
Ziyang Zhang, Toshio Akai, Masayuki Sohgawa, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
IEEE Sensors 2014 2014年11月 IEEE
Ziyang Zhang, Toshio Akai, Masayuki Sohgawa, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014) 2014年10月 The Chemical and Biological Microsystems Society (CBMS)
チタニウムウェハの貫通加工のための熱反応性イオンエッチング法の開発
山田 周史, 南 佑人, 寒川 雅之, 安部 隆
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
DRIE技術により作製したチタン製微小手術針の機械的特性評価
南 佑人, 山田 周史, 寒川 雅之, 安部 隆
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析
野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Label-Free Sensing of Various Proteins Using NiCr Strain Gauge Cantilever with Immobilized Liposome
Ziyang Zhang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Aβラベルフリー検知リポソーム固定NiCr歪ゲージカンチレバーセンサ
張 子洋, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実
第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014年9月 応用物理学会
Ziyang Zhang, Toshio Akai, Masayuki Sohgawa, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2014) 2014年9月 Japan Society of Applied Physics
Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers 招待 国際会議
寒川 雅之
The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference (IEEE INEC 2014) 2014年7月 IEEE
人間の物質表面感の識別とMEMS多軸センサの計測結果に関する研究
若尾 あすか, 渡部 公介, 寒川 雅之, 奥山 雅則, 野間 春生
マルチメディア・仮想環境基礎研究会 2014年7月 電子情報通信学会
BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討
三原 雅人, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2014年5月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
南 佑人, 山田 周史, 寒川 雅之, 安部 隆
平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 2014年5月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
光・ひずみ複合MEMSセンサを用いた近接覚・触覚マルチモーダル計測
野沢 瑛斗, 横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
ロボティクス・メカトロニクス講演会2014 2014年5月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆
ロボティクス・メカトロニクス講演会2014 2014年5月 日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門
渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 安部 隆, 寒川 雅之
平成26年電気学会全国大会 2014年3月 電気学会
リポソーム固定NiCr歪ゲージカンチレバーセンサを用いたタンパク質検知
張 子洋, 赤井 俊夫, 寒川 雅之, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実
第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月 応用物理学会
生体タンパク質識別用リポソーム固定NiCr薄膜ひずみゲージカンチレバーセンサ
寒川 雅之, 張 子洋, 赤井 俊夫, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実
平成26年電気学会全国大会 2014年3月 電気学会
水晶振動子式モノリシックメタノール濃度センサに関する理論解析
渡部 尊, 石井 駿平, 外山 晋二郎, 寒川 雅之, 安部 隆
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
酒井 盾平, 飯田 尚之, 寒川 雅之, 安部 隆
第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2013年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム製マイクロ構造体の作製
山田 周史, 加勢 彩乃, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
渡邉 将, 気谷 裕樹, 寒川 雅之, 安部 隆
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
飯田 尚之, 酒井 盾平, 寒川 雅之, 安部 隆
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Masayuki Sohgawa, Takashi Fujimoto, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda
IEEE Sensors 2013 2013年11月 IEEE
水晶振動子を用いたドロップレットリアクタ用多点濃度計測法の開発
外山 晋二郎, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
今井 寛明, 武石 大一, 寒川 雅之, 安部 隆
第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2013年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
IEEE Sensors 2013 2013年11月 IEEE
横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
PTFEモールドを用いた機能性PDMSのマイクロパターニングプロセスの開発
佐山 祐亮, 高久 応祐, 寒川 雅之, 安部 隆
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
気谷 裕樹, 渡邉 将, 寒川 雅之, 安部 隆
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Teruaki Azuma
The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013 & Eurosensors XXVII) 2013年6月
Design and Evaluation of Microheater Combined QCM Array for Thermal Desorption Spectroscopy 国際会議
Jumpei Sakai, Naoyuki Iida, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe
The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013 & Eurosensors XXVII) 2013年6月
Identification of Various Kinds of Papers Using Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers 国際会議
Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
The IEEE World Haptics Conference 2013 2013年4月
NiCr薄膜歪ゲージマイクロカンチレバーセンサを用いたリポソーム‐タンパク質間相互作用検出
藤本 貴士, 寒川 雅之, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実
第60回応用物理学会春季学術講演会 2013年3月 応用物理学会
マイクロカンチレバー型触覚センサを用いた多軸力計測システムの構成と評価
横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 東 輝明, 野間 春生
平成25年電気学会全国大会 2013年3月 電気学会
NiCr薄膜歪ゲージマイクロカンチレバー構造によるリポソーム-蛋白質間相互作用検出
寒川 雅之, 藤本 貴士, 高田 佳祐, 山下 馨, 野田 実
平成25年電気学会全国大会 2013年3月 電気学会
Fabrication of High Resolution Tactile Sensor Using Through-Si-via Technology 国際会議
Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2012年11月 応用物理学会
Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
MEMSカンチレバー型触覚センサを用いた紙葉類の表面触感識別手法の開発
渡部 公介, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第二回次世代センサ研究発表会 2012年10月 次世代センサ協議会
横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第二回次世代センサ研究発表会 2012年10月 次世代センサ協議会
磁場中90°off-axis PLD法による多結晶BiFeO3薄膜の作製と評価
朴 正敏, 中嶋 誠二, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則
第73回応用物理学会学術講演会 2012年9月 応用物理学会
Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
The 9th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics 2012年8月 University of Ulsan, Energy Harvest-Storage Research Center (EHSRC) at University of Ulsan, the Institute for Basic Sciences at Changwon National University, NEXTRON, AMS KOREA
球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ
寒川 雅之, 植松 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会 2012年6月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門, センサ・マイクロマシン部門各技術委員会
Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
2012 MRS Spring Meeting & Exhibit 2012年4月 Materials Research Society
信号増幅回路を積層集積化したマイクロカンチレバー型多軸触覚センサの作製
横山 輔久登, 平嶋 大樹, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
平成24年電気学会全国大会 2012年3月 電気学会
磁場中PLD法によるエピタキシャルBiFeO3薄膜の作製と評価
朴 正敏, 中嶋 誠二, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則
第59回応用物理学関係連合講演会 2012年3月 応用物理学会
平嶋 大樹, 横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第59回応用物理学関係連合講演会 2012年3月 応用物理学会
Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
International Conference on Advanced Electromaterials (ICAE2011) 2011年11月 The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (KIEEME)
マイクロカンチレバー型多軸触覚センサによる物体表面のテクスチャ計測
植松 達也, 横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2011年9月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
植松 達也, 横山 輔久登, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第16回日本バーチャルリアリティ学会大会 2011年9月 日本バーチャルリアリティ学会(VRSJ)
Masayuki Sohgawa, Daiki Hirashima, Yusuke Moriguchi, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
EUROSENSORS XXV 2011年9月
朴 正敏, 中嶋 誠二, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則
第72回応用物理学会学術講演会 2011年8月 応用物理学会
NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化
守口 祐介, 平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会 2011年6月 電気学会センサ・マイクロマシン部門
マイクロカンチレバー型触覚センサアレイを用いた回転滑りの検出手法
水戸 和, 山添 大丈, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会2011(ROBOMEC2011) 2011年5月 日本機械学会
NiCrひずみゲージ薄膜を用いたエラストマ埋込型触覚センサの熱膨張率差による影響
守口 裕介, 平嶋 大樹, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
平成23年電気学会全国大会 2011年3月 電気学会
Signal Processing Methods for Micro Cantilever Type Tactile Sensor 国際会議
Wataru Mito, Hirotake Yamazoe, Shunsuke Yoshida, Masahiro Tada, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
8th France-Japan Congress and 6th Europe-Asia Congress on Mechatronics (Mecatronics 2010) 2010年11月
Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010) 2010年11月 応用物理学会
Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010) 2010年11月 応用物理学会
凸部エラストマを有する触覚センサアレイのクロストーク低減
植松 達也, 寒川 雅之, 水戸 和, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2010年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
マイクロカンチレバー型触覚センサによる圧力・剪断力分布測定
平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 水戸 和, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2010年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
Gripping status classification using an array of micro cantilever type tactile sensor 国際会議
Wataru Mito, Hirotake Yamazoe, Shunsuke Yoshida, Masahiro Tada, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma
International Conference on Advanced Mechatronics 2010 2010年10月
水戸 和, 美馬 達也, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
映像情報メディア学会メディア工学研究会 2010年5月 映像情報メディア学会
NiCrゲージ薄膜を用いたエラストマ埋込型触覚センサの出力ドリフト低減と高感度化
寒川 雅之, 植松 達也, 橘 弘人, 美馬 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生
平成22年電気学会全国大会 2010年3月 電気学会
3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性
橘 弘人, 釜鳴 志朗, 美馬 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生, 樋口 誠良
第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2009年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
寒川 雅之, 金島 岳, 山下 馨, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生
電子情報通信学会電子デバイス研究会 2009年7月 電子情報通信学会
橘 弘人, 釜鳴 志郎, 松浦 宏俊, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会 2009年7月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
Tactile Array Sensor with Inclined Chromium/Silicon Piezoresistive Cantilevers Embedded in Elastomer 国際会議
Masayuki Sohgawa, Tatsuya Mima, Hiroyuki Onishi, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayoshi Higuchi, Haruo Noma
The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2009) 2009年6月
吉村 友里, 浅井 健, 寒川 雅之, 島内 寿徳, 馬越 大, 山下 馨, 奥山 雅則, 久保井 亮一, 野田 実
第56回応用物理学関係連合講演会 2009年3月 応用物理学会
美馬 達也, 大西 浩之, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 樋口 誠良, 野間 春生
平成21年電気学会全国大会 2009年3月 電気学会
吉村 友里, 浅井 健, 山下 馨, 野田 実, 寒川 雅之, 島内 寿徳, 馬越 大, 奥山 雅則, 久保井 亮一
平成21年電気学会全国大会 2009年3月 電気学会
Stability Improvement of Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using Ni-Cr Thin Film Gauge 国際会議
Masayuki Sohgawa, Hiroyuki Onishi, Yu-Ming Huang, Hiroto Tachibana, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma
2008 Material Research Society Fall Meeting 2008年12月 Materials Research Society
NiCr薄膜歪みゲージを用いた圧力・剪断力触覚センサの出力特性改善
大西 浩之, 橘 弘人, 黄 裕銘, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生
第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2008年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
Detection of Normal and Shear Stresses by Tactile Sensors with Piezoresistive Micro-cantilever and Elastomer 国際会議
Masayuki Sohgawa, Hiroyuki Onishi, Tatsuya Mima, Yu-Ming Huang, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma
2008 Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT) 2008年6月
NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化
黄 裕銘, 寒川 雅之, 大西 浩之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会 2008年6月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
Cr/Si傾斜カンチレバーとエラストマを用いた多軸触覚センサの作製と有限要素解析
寒川 雅之, 美馬 達也, 大西 浩之, 黄 裕銘, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 池田 正哲, 野間 春生
平成20年電気学会全国大会 2008年3月 電気学会
Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma
2007 Material Research Society Fall Meeting 2007年11月 Materials Research Society
寒川 雅之
2007 Japan ANSYS Conference 2007年11月
エラストマーとポリマー/Si傾斜カンチレバーを用いた触覚センサによる圧力と剪断力の計測
黄 裕銘, 寒川 雅之, 山下 馨, 金島 岳, 奥山 雅則, 野田 実, 野間 春生
第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2007年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価
寒川 雅之, 野田 実, 黄 裕銘, 金島 岳, 山下 馨, 奥山 雅則, 池田 正哲, 野間 春生
電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会 2007年7月 電気学会 センサ・マイクロマシン部門
Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Kaoru Yamashita, Takeshi Kanashima, Minoru Noda, Masanori Okuyama, Haruo Noma
The 14th International Conference on Solid-state Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '07 & Eurosensors XXI) 2007年6月
カンチレバー型触覚センサ用シリコン・ポリマービーム構造の作成と評価
黄 裕銘, 山下 馨, 寒川 雅之, 金島 岳, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生
平成19年電気学会全国大会 2007年3月 電気学会
Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma
2006 Material Research Society Fall Meeting 2006年11月 Materials Research Society
SOI基板表面マイクロマシンプロセスによるバイレイヤーカンチレバー構造の反り量制御の検討
寒川 雅之, 野田 実, 黄 裕銘, 山下 馨, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
第23回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シン ポジウム 2006年10月 電気学会 センサ・マイクロマシン準部門
寒川 雅之, 吉田 真人, 松本 淳也, 金島 岳, 奥山 雅則
第52回応用物理学関係連合講演会 2005年3月 応用物理学会
寒川 雅之, 吉田 真人, 金島 岳, 奥山 雅則, 藤本 晶
シリコン材料・デバイス研究会 2004年12月 電子情報通信学会
Characterization of Space Oxide Charge in HfO2 Thin Film for High-k Gate Insulator by Photoreflectance Spectroscopy 国際会議
Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
International Workshop on "Material Science and Nano-Engineering" 2004年12月
Contactless Characterization of Fixed Charge in HfO2 Thin Film by Photoreflectance 国際会議
Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takuji Naoyama, Taizo Tada, Koji Ikeda, Takeshi Kanashima, A. Fujimoto, M. Okuyama
2004 International Conference on Solid State Devices and Materials 2004年9月 応用物理学会
PhotoreflectanceによるMFIS構造の容量保持特性の非接触評価
寒川 雅之, 吉田 真人, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則
第65回応用物理学会学術講演会 2004年9月 応用物理学会
Electron Spin Resonance Characterization of the Defects in High-k HfO2 Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition 国際会議
Takeshi Kanashima, Koji Ikeda, Taizo Tada, Masanori Sohgawa, Masanori Okuyama
The 5th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity 2004年8月
Electrodeless Characterization of Memorized States of MFIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 国際会議
Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama
The 5th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity 2004年8月
金島 岳, 池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 奥山 雅則
シリコン材料・デバイス研究会 2004年6月 電子情報通信学会
池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則
第51回応用物理学関係連合講演会 2004年3月 応用物理学会
Photoreflectance分光法によるHfO2/Si構造の評価
吉田 真人, 直山 卓示, 寒川 雅之, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則
第51回応用物理学関係連合講演会 2004年3月 応用物理学会
金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 吉田 真人, 奥山 雅則
シリコン材料・デバイス研究会 2003年12月 電子情報通信学会
フォトレフレクタンス分光法による強誘電体/SiO2/Si構造の評価
寒川 雅之
STARCシンポジウム2003 2003年9月 (株)半導体理工学研究センター
Photoreflectanceによる強誘電体薄膜/SiO2/Si構造の解析
寒川 雅之, 吉田 真人, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則
第64回応用物理学会学術講演会 2003年8月 応用物理学会
Characterization of Ferroelectric Thin Film/SiO2/Si Structure by Photoreflectance 国際会議
Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama
The 10th European Meeting on Ferroelectricity 2003年8月
PLD法により作製したPrOx薄膜のRTA効果
池田 幸司, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則
第50回応用物理学関係連合講演会 2003年3月 応用物理学会
SPring-8高輝度・高強度放射光を用いた弗化物・酸化物のエッチング
藤田 哲士, 多田 泰三, 金島 岳, 寒川 雅之, 神田 浩文, 奥山 雅則, 大橋 治彦, 為則 雄祐, 石黒 英治
第50回応用物理学関係連合講演会 2003年3月 応用物理学会
金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 神田 浩文, 奥山 雅則
シリコン材料・デバイス研究会 2002年12月 電子情報通信学会
high-k/SiO2/Si構造のフォトレフレクタンス評価
寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則
第63回応用物理学会学術講演会 2002年9月 応用物理学会
SBTとPZT膜を用いたMFIS構造におけるSiO2/Si界面の光学的評価
神田 浩文, 寒川 雅之, 豊嶋 吉英, 金島 岳, 奥山 雅則, 藤本 晶, 江利口 浩二
第63回応用物理学会学術講演会 2002年9月 応用物理学会
Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama
The 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2002) 2002年9月 応用物理学会
Characterization of Si Interface in FIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 国際会議
Hirofumi Kanda, Masayuki Sohgawa, Yoshihide Toyoshima, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama
4th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics 2002年8月
Characterization of ZrO2 and PrOx Thin Films for high-k Gate Insulator Prepared by Pulsed Laser Deposition 国際会議
Takeshi Kanashima, Satoshi Kitai, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Masanori Okuyama
4th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics 2002年8月
Takeshi Kanashima, Satoshi Kitai, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Masanori Okuyama
The 13th International Symposium on the Applications of Ferroelectrics (XIII ISAF 2002) 2002年5月 The Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control Society (UFFC-S) of the IEEE
高誘電率ゲート用ZrO2およびPrOx薄膜の作製と評価
寒川雅之, 北井 聡, 神田 浩文, 金島 岳, 藤本 晶, 奥山 雅則
第49回応用物理学関係連合講演会 2002年3月 応用物理学会
軟X線アンジュレータからの高輝度放射光アブレーションによるフッ化物薄膜の作製
藤田 哲士, 折田 智洋, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則
第49回応用物理学関係連合講演会 2002年3月 応用物理学会
北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則
シリコン材料・デバイス研究会 2001年12月 電子情報通信学会
Preparation and Characterization of ZrO2/Si Structure 国際会議
Masayuki Sohgawa, Satoshi Kitai, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama
2001 International Workshop on Gate Insulator 2001年11月 IEEE
北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則
電子材料研究会 2001年9月 電気学会
Figure-8アンジュレータからの高輝度放射光を用いた電子材料のエッチング
藤田 哲士, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則
第62回応用物理学会学術講演会 2001年9月 応用物理学会
FIS構造における界面Siのフォトレフレクタンス分光法による評価
神田 浩文, 寒川 雅之, 北井 聡, 金島 岳, 児玉 一志, 奥山 雅則
第62回応用物理学会学術講演会 2001年9月 応用物理学会
北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則
シリコン材料・デバイス研究会 2001年6月 電子情報通信学会
高誘電率ゲート絶縁膜/Si界面のフォトレフレクタンス分光法による評価
寒川 雅之, 神田 浩文, 北井 聡, 上野 正人, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則
第48回応用物理学関係連合講演会 2001年3月 応用物理学会
フォトレフレクタンス分光法を用いたSi/SiO2界面の応力評価
寒川 雅之, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則
第61回応用物理学会学術講演会 2000年9月 応用物理学会
Non-Destructive and Contactless Monitoring Technique of Si Surface Stress by Photoreflectance 国際会議
Masayuki Sougawa, Takeshi Kanashima, Masashi Agata, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Akira Fujimoto, Koji Eriguchi
2000 International Conference on Solid State Devices and Materials 2000年8月 応用物理学会
Masashi Agata, Masayuki Sogawa, Osamu Maida, Koji Eriguchi, Akira Fujimoto, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
The 5th International Symposium on Plasma-Process Induced Damage 2000年5月 IEEE
フォトレフレクタンス分光法によるSiO2/Si界面の歪みの解析
阿形 眞司, 寒川 雅之, 毎田 修, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則
第47回応用物理学関係連合講演会 2000年3月 応用物理学会
フォトレフレクタンス分光法によるゲート酸化膜に導入されたチャージングダメージの光学的評価
阿形 眞司, 寒川 雅之, 毎田 修, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則
シリコン材料・デバイス研究会 1999年12月 電子情報通信学会
Top Downloaded Article
2024年3月 Wiley Tactile sensor with microcantilevers embedded in fluoroelastomer/PDMS for physical and chemical resistance
Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa
電気学会論文誌E「センサ・マイクロマシン英文特集号」優秀論文賞
2024年1月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 Elastomer-embedded MEMS Tactile Sensor for Detecting Normal Force, Bending, and Torsion in Grasping Motion
So Okako, Taisei Nambu, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa
SI2023 優秀講演賞
2023年12月 計測自動制御学会 ウェアラブル足裏荷重計測機器を用いた生体力学分析に基づく走行動作の評価
船橋佑, 寒川雅之, 安藤潤人, 野方誠, 野間春生
SEMICON JAPAN 第1回アカデミアAward 優秀賞
2022年12月 SEMIジャパン 圧・振動・温冷を含む触覚を再現する触覚デバイス技術
新潟大学 安部/寒川研究室
フォトコンテスト マイクロ部門 最優秀賞
2022年11月 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム カンチレバーたちの阿波おどり
川崎雄記, 寒川雅之
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞
2018年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 水晶発振回路式液体濃度センサの炭酸濃度非接触測定への応用
小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
センサ・マイクロマシン部門総合研究会優秀論文発表賞
2016年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発
矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞
2016年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価
和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆
センサ・マイクロマシン部門総合研究会優秀論文発表賞
2016年7月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討
梅木 尚, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 寒川 雅之
第19回北陸信越支部賞(優秀講演賞)
2015年3月 日本機械学会北陸信越支部 褥瘡管理用装置のためのマイクロメカニカルセンサ
寒川 雅之
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞
2014年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 非接触型液体濃度検出用水晶センサ
須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆
第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 最優秀ポスター賞
2012年10月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 Dynamic Measurement of Surface Texture of Paper Using the Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers
渡部 公介, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生
The Excellent Presentation Award in the 9th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics
2012年8月 The 9th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics Preparation of Epitaxial BiFeO3 Thin Films on La-SrTiO3 Substrate by Magnetic-Field-Assisted Pulsed Laser Deposition
Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
Outstanding Paper at International Conference on Advanced Electromaterials
2011年11月 International Conference on Advanced Electromaterials Ferroelectric Property and Microstructure Evolution of Polycrystalline BiFeO3 Films Prepared by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field
Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
認知症超早期診断に資する血中病因タンパク質検出のための脂質膜イムノセンサ基礎技術
研究課題/領域番号:23K17476
2023年6月 - 2026年3月
制度名:科学研究費助成事業
研究種目:挑戦的研究(開拓)
提供機関:日本学術振興会
野田 実, 山門 穂高, 澤村 正典, 島内 寿徳, 寒川 雅之, 福澤 理行, WERNER Frederik
配分額:25870000円 ( 直接経費:19900000円 、 間接経費:5970000円 )
形状記憶膜/有機半導体ハイブリッド型の高出力フレキシブル触覚ディスプレイ開発
研究課題/領域番号:23H01371
2023年4月 - 2027年3月
制度名:科学研究費助成事業
研究種目:基盤研究(B)
提供機関:日本学術振興会
峯田 貴, 徐 嘉楽, 寒川 雅之, 松井 弘之
配分額:18720000円 ( 直接経費:14400000円 、 間接経費:4320000円 )
リカレント時空間次元圧縮を組み込んだヒトのような人工触覚システムの開発
研究課題/領域番号:22H00542
2022年4月 - 2027年3月
制度名:科学研究費助成事業 基盤研究(A)
研究種目:基盤研究(A)
提供機関:日本学術振興会
野間 春生, 東山 篤規, 佐藤 克成, 島田 伸敬, 秋田 純一, 大井 翔, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 松村 耕平, 北野 勝則
ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ
研究課題/領域番号:22H01442
2022年4月 - 2026年3月
制度名:科学研究費助成事業 基盤研究(B)
研究種目:基盤研究(B)
提供機関:日本学術振興会
寒川 雅之, 月山 陽介, 神田 健介
配分額:17550000円 ( 直接経費:13500000円 、 間接経費:4050000円 )
MEMSハプティクスセンサ実用化に向けた封止・実装量産技術の開発
2022年3月 - 2024年3月
制度名:官民による若手研究者発掘支援事業・共同研究フェーズ
提供機関:国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構
担当区分:研究代表者
プリオン様タンパク質の特異的超高感度検出に基づく病態診断用チップの基礎検討
研究課題/領域番号:20H00663
2020年4月 - 2024年3月
制度名:科学研究費助成事業 基盤研究(A)
研究種目:基盤研究(A)
提供機関:日本学術振興会
野田 実, 山門 穂高, 澤村 正典, 島内 寿徳, 寒川 雅之, 福澤 理行
配分額:44980000円 ( 直接経費:34600000円 、 間接経費:10380000円 )
令和3年度はⅠ.センサ検出能力の生化学的側面として以下、検出分子技術手法が具体的進展した。
1.aSyn凝集体の検出ではsandwich ELISA法にてpg/mlオーダーの検出系を確立し、髄液・血清においても交雑物質の影響を受けず標準物質と同様の感度を確認した。RT-QUICでも1pg/ml以下の標準物質の検出が可能とし、ELISAと組合せ脳homogenateからパーキンソン病、多系統萎縮症特異的なaSyn凝集体の検出を確認した。2.①脂質種を最適化、②機能性分子による脂質膜修飾添加双方として、相分離性脂質混合系や糖鎖脂質の混合系がaSynのモデル系としてのAβに対する検出感度を増強しこの脂質組成をaSynモノマーに応用した結果、aSyn凝集体形成過程への大きな干渉を確認できた。
Ⅱ.集積アレイセンサ化では各要素技術が順調に進展した。1.マイクロ流路構造では、新規マイクロ溶液供給システムを構築し、測定溶液供給時におけるカンチレバーセンサの基本検出動作を確認し、出力ノイズ・変動は従来単体液滴保持構造センサでの測定前変動と同等だった。2.①カンチレバーセンサでは、1)ピエゾ抵抗検出部応力集中:1桁弱の感度向上、2)溶液中塩濃度の最適化:約5倍の感度向上、3)PD患者血清測定にて1),2)による数倍の識別性向上を確認した。QCMで上記検証を行いPD患者、非患者、健常者を含めサンプル数約5での再現性、十分な識別性を確認した。②IS-FETでは、ゲート検出部に特化したMOSダイオード自体のアレイ化使用を検討した。
③LSPRを含めてⅢ.アレイセンサ信号情報処理ではデータ収集性を最優先しており、吸収スペクトルの二次元分布を手動走査測定可能なパイロットシステムを構築してLSPR吸光度測定に成功し、LSPRチップへの適用性を確認した。
近接・触覚MEMSセンサの実用化開発
2019年9月 - 2020年8月
制度名:2019年度A-STEP機能検証フェーズ試験研究タイプ
提供機関:科学技術振興機構
寒川 雅之
パーキンソン病患者由来αシヌクレイン凝集体を高感度検出するバイオセンサ新技術創製
研究課題/領域番号:19K22964
2019年6月 - 2022年3月
制度名:科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽)
研究種目:挑戦的研究(萌芽)
提供機関:日本学術振興会
野田 実, 山門 穂高, 島内 寿徳, 寒川 雅之
配分額:6370000円 ( 直接経費:4900000円 、 間接経費:1470000円 )
本研究では、申請者が研究、開発してきたリポソーム固定化カンチレバーセンサ技術とRT-QuIC法という異常凝集タンパク質(aSyn)増幅技術を組み合わせて、aSyn凝集体の特異的かつ超高感度な検出の可能性を探索することを目的とする。今まで申請者はaSynフィブリル自体は10 nMオーダーまで高感度検出できているが、臨床医学では数十fMレベルの感度での特異的検出が必要である。臨床医学での現使用技術では感度自体、特に再現性の点で能力不足で実用レベル技術は現在無い。
本現況に対して本年度実施した研究では新たなバイオプロトコルとして、「その微量フィブリルのモノマーへの自己鋳型化現象」がリポソーム等の本分子系で発現するかを検討した。比較的高濃度であるμMオーダーのaSynモノマー溶液に極微量、例えば百fMオーダーのフィブリルを添加した場合、自己鋳型化による増幅現象を本センサで検出できるか実験、確認した。その結果、約700fMのフィブリルを数時間で検出できた。この結果は非常に画期的であり、臨床医学側からのパーキンソン病患者、患者予備軍の方々から生体液、主に髄液中で、他のタンパク質等バイオ分子夾雑物からのaSynフィブリルを特異的に検出する次のステージに進めることができた。
一方本研究を構成する基礎技術の研究成果として、脂質技術として従来のゲル相と異なり液晶相DOPCを用いた結果、高いaSyn検出感度を得た。また糖脂質C16, C18修飾で検出感度増大を確認し糖脂質の相分離によるaSyn-糖脂質間相互作用が多点結合と推定できた。基盤センサ技術となるカンチレバーセンサで応力検出の根幹となる応力集中箇所にひずみ抵抗を形成、設計、試作した結果、荷重印加によるひずみ抵抗変化で従来の20倍程度の感度向上を達成することができた。このセンサ基礎性能の向上により上記からさらなる高感度検出が可能となった。
圧覚・振動覚・温冷覚を包含したマイクロ触覚センサチップの開発
研究課題/領域番号:19K04290
2019年4月 - 2022年3月
制度名:科学研究費助成事業 基盤研究(C)
研究種目:基盤研究(C)
提供機関:日本学術振興会
寒川 雅之, 神田 健介
配分額:4420000円 ( 直接経費:3400000円 、 間接経費:1020000円 )
本年度は(1)センサデバイスの設計・作製プロセスの改良・試作、(2)圧力・振動検知部の感度向上とサイズ依存性評価、(3)ヒータ集積化センサの試作・評価と接触部改良について研究を実施した。下記にそれぞれに関する実績の概要を述べる。
(1)前年度の結果では振動に対する出力を得ることができなかったのと、圧力に対する応答の感度や温度安定性で課題があった。そこで、ひずみ抵抗に温度係数の低いNiCr薄膜を使用し、合わせて作製プロセスの改良を行った。これをもとに、NiCrひずみ抵抗とPZT強誘電体を用いた新たなセンサを設計・試作した。作製プロセスに新たにNiCrを導入し、さらにPZT上に積層したことから、NiCrの剥がれやショートの問題が発生し、パターニング条件の見直しを行ったため、試作は完了したがデバイスの特性評価までは至らなかった。
(2)圧力に対する感度向上や周波数特性の異なる検知部(カンチレバー)の作製のために、NiCrひずみ抵抗の成膜条件の最適化や検知部サイズに対する感度依存性の評価を行った。成膜条件については高感度と温度安定性を両立できる基板温度を見出した。一方、理論解析と実験結果双方で圧力に対する感度の検知部サイズ依存性を明らかにした。
(3)チップ上にヒータ抵抗を集積化したセンサの試作を行い、その特性を評価した。その結果、外部ヒータによる加熱と比較して、昇温安定性が向上し、チップ単体での温冷感計測が可能となった。また、チップ上測温抵抗と熱源であるヒータが近傍に位置することで熱流の経路も安定したが、同じ材質の表面加工の有無による僅かな温冷感の違いの検知は困難であった。そこで、対象物との接触部となる弾性樹脂に熱伝導性の高い材料を用いるとともに、接触面積を増やす改良を行い、接触時の熱流束を増加させ、温度変化に対する感度を向上させることで、これらの温冷感の違いの計測を可能とした。
MEMS触覚センサとステージモデルによる人のように触れる触覚認識モデルの研究
研究課題/領域番号:18H03314
2018年4月 - 2021年3月
制度名:科学研究費助成事業 基盤研究(B)
研究種目:基盤研究(B)
提供機関:日本学術振興会
野間 春生, 東山 篤規, 佐藤 克成, 北川 章夫, 秋田 純一, 杉山 治, 寒川 雅之, 松村 耕平
担当区分:研究分担者
配分額:17290000円 ( 直接経費:13300000円 、 間接経費:3990000円 )
本研究の目的は、超小型触覚センサアレイと人の触覚認識モデルを模したステージ型神経情報ネットワーク(Stage Neural Network:SNN)によって機械触覚認識モデルを構築し、その特性とヒトの触覚の類似性からヒトらしい機械触覚の実現とヒトの触覚認識の解明を目指すことである。対象物の素材を判別するなぞり動作に着目し、触覚センサを備えたロボットに素材識別結果を報酬とした強化学習を施し、素材識別に最適化したなぞり動作を学習させる。さらに、触覚センサをヒトの指先に付けた状態でヒトにも同じ対象物の素材識別をさせる。この指先の動きと対象物へ加えた圧力、摩擦力から、逆強化学習により指先の動きに繋がった価値関数を同定する。これらのロボットとヒトの学習結果を、SNNの中間出力結果に着目して比較し、認知科学からの知見を交えて機械触覚とヒトの触覚認識モデルの類似性について分析する。これら結果からヒトのような特性を有する機械触覚を実現し、同時にヒトの触覚認識モデルの解明を目指す。
2018年度は、AutoEncoderを用いたなぞり結果の計測データの次元削減を目指し、3軸ロボットの開発と素材の選定、予備計測を進めた。さらに、センサの集約のためのセンサ計測系のデジタル化のために周波数変換回路を試作し、発振回路とデジタルミキサーによって実機での動作試験を完了した。ヒトの特性を評価する心理実験では、複数の素材を対象にこれまでに知見として得られている感触にかかるキーワードと素材の分類結果との関係を明らかにした。またヒトが物に触れた際の挙動に関する評価でも、素材の差が動作に違いをもたらす結果を確認した。
単一MEMSセンサによる視感・触感・温冷感を含む質感のアクティブ計測
2017年4月 - 2019年3月
制度名:科学研究費助成事業(学術研究助成基金助成金)若手研究(B)
提供機関:日本学術振興会
寒川 雅之
76GHzミリ波レーダーとLPWAを用いた防災IoT・環境モニタリングの研究開発
2017年4月 - 2018年3月
制度名:戦略的情報通信研究開発推進事業(SCOPE)電波有効利用促 進型研究開発 (先進的電波有効利用型)
提供機関:総務省
酒井 直樹
資金種別:競争的資金
力・光・温度複合MEMSセンサによる金属・樹脂表面仕上げの質感評価
2017年4月 - 2018年3月
制度名:2017年度 研究助成(A)
提供機関:公益財団法人立石科学技術振興財団
寒川 雅之
力・光・温度複合検知超小型センサによる繊維製品の質感評価指標構築
2017年2月 - 2019年1月
制度名:第27回人工知能研究助成
提供機関:公益財団法人人工知能研究振興財団
寒川 雅之
非鉛圧電体薄膜を積層したマイクロチタンカンチレバーデバイス
2016年7月 - 2017年3月
制度名:試験研究費助成金
提供機関:公益財団法人内田エネルギー科学振興財団
寒川 雅之
Aβオリゴマー化動態検出センサの構築
2016年4月 - 2017年3月
制度名:科学研究費助成事業(学術研究助成基金助成金)
提供機関:日本学術振興会
野田 実
触覚・視覚・冷温覚を含む質感を計測するマイクロセンサ
2016年4月 - 2017年3月
制度名:平成28年度研究助成金
提供機関:公益財団法人ユニオンツール育英奨学会
寒川 雅之
接触力・光・電界複合マイクロセンサによる褥瘡リスク評価
2015年10月 - 2017年3月
制度名:試験研究費
提供機関:新潟工学振興会
寒川 雅之
近接・触覚複合センサによる柔軟物把持制御
2015年10月 - 2016年9月
制度名:マッチングプランナープログラム「探索試験」
提供機関:科学技術振興機構
寒川 雅之
触覚センシング用BiFeO3非鉛圧電体・NiCrひずみゲージ薄膜積層Ti-MEMSカンチレバー構造の作製
2015年7月 - 2016年6月
制度名:研究助成
提供機関:公益財団法人村田学術振興財団
寒川 雅之
Si-MEMS集積センサを用いた近接・触覚複合計測法の開発
2015年1月 - 2015年12月
制度名:A-STEP(研究成果最適展開支援プログラム)フィージビリティスタディステージ探索タイプ
提供機関:科学技術振興機構
寒川 雅之
MEMS触覚センサを用いた定量的質感評価法
2014年7月 - 2015年3月
制度名:研究開発費
提供機関:(一財)エヌ・エス知覚科学振興会
寒川 雅之
熱反応性イオンエッチング法によるチタニウムおよびその合金のマイクロ加工
2014年4月 - 2016年3月
制度名:科学技術研究費助成金
提供機関:公益財団法人ユニオンツール育英奨学会
安部 隆
資金種別:競争的資金
2013年10月 - 2017年3月
制度名:科学研究費補助金, 基盤研究(A)
提供機関:日本学術振興会
野田 実
非鉛圧電体薄膜を用いた省エネルギー型マイクロ触覚センサの開発
2013年7月 - 2015年1月
制度名:試験研究費助成金
提供機関:公益財団法人内田エネルギー科学振興財団
寒川 雅之
2013年4月 - 2015年3月
制度名:科学研究費補助金, 挑戦的萌芽研究
提供機関:日本学術振興会
寒川 雅之
担当区分:研究代表者 資金種別:競争的資金
配分額:3250000円 ( 直接経費:2500000円 、 間接経費:750000円 )
研究代表者らはMEMSプロセスで作製したカンチレバーを用いた垂直力と剪断力を同時に検知できる多軸触覚センサの研究を行ってきた。このセンサの高周波でのインピーダンスを測定したところ、物体が接触していなくてもセンサ表面との距離に応じてインピーダンスが増加することを見出した。
本申請ではこの物体接近による高周波インピーダンス変化の原理を明らかにし、近接覚を備えた超触覚センサの実現の可能性を探るため、(1) インピーダンス周波数特性測定と等価回路分析、(2) 物体接近による電場変化解析と検知手法の検討、(3) 近接覚・触覚一体型センサの設計と試作を行う。
高品質非鉛圧電体薄膜を用いたロボット用MEMS触覚センサの開発
2013年4月 - 2015年1月
制度名:研究助成
提供機関:NSKメカトロニクス技術高度化財団
寒川 雅之
MEMSカンチレバー型多軸触覚センサを用いた物体表面テクスチャ計測法
2011年12月 - 2012年7月
制度名:A-STEP(研究成果最適展開支援プログラム)フィージビリティスタディステージ探索タイプ
提供機関:科学技術振興機構
寒川 雅之
担当区分:研究代表者 資金種別:競争的資金
配分額:1690000円 ( 直接経費:1300000円 、 間接経費:390000円 )
MEMSプロセスにより作製したマイクロカンチレバーをエラストマに埋め込んだ構造の小型多軸触覚センサにより、つるつる・ザラザラといった物体表面のテクスチャを計測する技術を開発した。本技術は印加された力の大きさと方向を検知できる触覚センサを対象物表面に押し付けて走査することにより、センサと対象物間に働く反力や摩擦力の変化を計測し、その変化から物体表面のテクスチャ(質感・触感)を複合的に評価できる。例えば、走査した時の触覚センサの出力変化から紙の摩擦係数や凹凸の違い等を識別できる。
2011年2月 - 2011年12月
制度名:平成22 年度(経済危機対応・地域活性化予備費事業)戦略的基盤技術高度化支援事業・研究加速枠
提供機関:経済産業省・関東経済産業局
縄田 厚
シリコン集積センサ構造リポソームインタクト固定化バイオセンサ技術の安定化・高度化
2010年4月 - 2013年3月
制度名:科学研究費補助金, 基盤研究(B)
提供機関:日本学術振興会
野田 実
資金種別:競争的資金
配分額:325000円 ( 直接経費:250000円 、 間接経費:75000円 )
本年度申請研究では前回科研(基盤B2007-2009)から進めてきたリポソームバイオセンシング技術・センサの精度・性能を一層向上、安定化させるとともに、リポソーム系バイオ材料を基盤としたタンパク質等重要バイオ分子の検出・動的挙動の評価を一層進展させてきた。さらに、新しい検知原理(特に電子デバイス工学観点に基づく)を構築していくことにも注力した。
その結果、特にリポソーム固定化漏れ電流センサにて、1)タンパク質変性剤の新規適用によりリポソーム・タンパク質間相互作用を1-2桁強増大(感度向上)できた。2)センサ出力の各種依存性(固定化リボソーム液滴体積、リポソーム濃度、対象タンパク質濃度)と検知安定性の関係、安定性最適化の指針が得られた。3)科研費新規導入設備によるセンサ検出部固定化バイオ液滴形成用プロセスの開発-液滴の定量制御(μLオーダー)、液滴形状格段安定化に着手、進展できた。さらに新しい検知原理としてリボソーム固定化バイオ(高周波:0.1G-数十GHz帯)インピーダンスセンサ(複数構造)の考察設計、試作、評価を行った結果、0.1M-100MHz(0.1GHz)までのインピーダンスセンサではCole-Coleプロット評価が有効であり上記各種依存性(固定化リポソーム液滴体積、リポソーム濃度、対象タンパク質濃度)をRC(抵抗-容量)電気等価回路解析から半定量的に検出する状況に至った。
0.1G-20GHzの領域ではプレーナ線路構造での高周波線路透過損失、位相シフト量がバイオ液滴の誘電率変化に対応して変化することが3次元電磁界解析とSパラメータ実測から判明し、両者は定量的にもほぼ対応した。
MEMS技術による新しい医療診断用超音波プローブデバイスの開発
2009年11月 - 2010年3月
制度名:平成21年度戦略的基盤技術高度化支援事業(平成21 年度補正予算事業)
提供機関:経済産業省・近畿経済産業局
李 昇穆
資金種別:競争的資金
磁場印加レーザアブレーションによる強磁性・強誘電性BiFeO3系薄膜作製と評価
2009年4月 - 2012年3月
制度名:科学研究費補助金, 基盤研究(B)
提供機関:日本学術振興会
奥山 雅則
資金種別:競争的資金
配分額:1560000円
キュリー点、ネール点が高く室温で強誘電性と強磁性を併せ持つマルチフェロイックの代表的物質としてBiFeO_3(BFO)があり、デバイス応用の観点からも魅力ある電子材料である。さらに、申請者等によりレーザアブレーション法により薄膜作製が行われ166μC/cm^2という巨大な自発分極を持つこと(PZTやPbTiO_3の約1.5倍)が明らかにされた。しかし、磁性は反平行にスピンが並ぶため反強磁性でスピンのキャンティングにより小さな磁化しか持たない。そこで、磁場印加レーザアブレーション法により作製し、スピンを部分的に反平行以外に変えたり、Feの一部をCoで置きかえることにより、優れた強誘電性を保持しつつ強磁性の増大を図ることとした。
まず、レーザアブレーション装置内のターゲットと基板ホルダーを取り囲むように円筒型超伝導磁石を設置し、0-0.4Tの磁場を印加してPt/TiO_2/SiO_2/Si基板上にBFOおよびBiFe_<1-x>Co_xO_3(BFCO)薄膜を作製した。磁場の増加とともに薄膜の堆積速度は上がり、0.4Tで磁場無に比べ約5倍となった。また(010)ピークは低角度側にシフト、膜厚方向に伸びていた。BFCO膜では、分極ヒステリシスが得られ、残留分極は磁場無で60μC/cm^2であったが、0.4Tの磁場印加では90μC/cm^2まで増大した。磁気ヒステリシスも得られ、飽和磁化は磁場無で5.1emu/cm^3であったが、0.4Tの磁場印加では7.4emu/cm^3まで増大した。今後、2T程度の据置型電磁石も準備し、可変強磁場を用いた研究進展も期待したい。
器用な産業用ロボット用の集積多軸触覚センサの研究開発
2008年10月 - 2010年3月
制度名:地域イノベーション創出研究開発事業
提供機関:経済産業省・近畿経済産業局
野間 春生
資金種別:競争的資金
ナノ薄膜技術を応用したロボットのための集積多軸触覚センサの開発
2005年11月 - 2008年9月
制度名:ナノテク先端部材実用化研究開発
提供機関:新エネルギー・産業技術総合開発機構
野間 春生
資金種別:競争的資金
先端通信技術を用いた高感度超音波立体視センサ
2005年7月 - 2006年3月
制度名:JST先端計測分析技術・機器開発事業
提供機関:科学技術振興機構
谷口 研二
資金種別:競争的資金
英文輪読
機関名:新潟大学
マイクロロボティクス論
機関名:新潟大学
感性ロボットシステム特論
機関名:新潟大学
ロボット工学
機関名:新潟大学
設計製図
機関名:新潟大学
リメディアル演習(機械数理)
機関名:新潟大学
機械数学
機関名:新潟大学
機械科学セミナー
機関名:新潟大学
工学リテラシー入門
機関名:新潟大学
エレクトロニクス実験
機関名:大阪大学
リメディアル演習
機関名:新潟大学
物理工学実験
機関名:新潟大学
機械工学概論
機関名:新潟大学
数物演習
機関名:新潟大学
電子物理科学序説
機関名:大阪大学
電気電子システム実験
機関名:大阪工業大学
くらしを支える機械システム工学
機関名:新潟大学
機械工学実験
機関名:新潟大学
総合技術科学演習
機械工学演習
感性ロボットシステム特論
機械工学実験III
機械工学実験IV
設計製図IV
先端研究入門
設計製図III
工学リテラシー入門(力学分野)
数物演習
機械工学概論
リメディアル演習
ロボット工学
物理工学実験
マイクロロボティクス論
くらしを支える機械システム工学
感性ロボットシステム特論
設計製図II
機械数学
リメディアル演習(機械数理)
機械工学実験I
卒業研究
機械工学実験II
英文輪読II
英文輪読I
卒業研修
材料生産システム特定研究Ⅱ
機械科学セミナーⅡ
材料生産システム特定研究Ⅰ
機械科学セミナーⅠ
センサ・アクチュエータデバイスのための材料・薄膜形成・微細加工技術
役割:講師
公益財団法人にいがた産業創造機構 令和5年度技術開発セミナー テクノプラザ 2023年12月
触覚センサ技術の小型化・高機能化と医療・ヘルスケア・感性計測への応用展開
役割:講師
R&D支援センター Webセミナー 2023年8月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
新潟明訓高等学校 2021年度進学セミナー① 2021年6月
マイクロ触覚センサチップを用いた触感のデータ化
役割:講師
新潟大学地域創生推進機構 産学U-goフェスタ in 旭町キャンパス 2019年11月
マイクロマシン~小さな機械が実現する未来世界~
役割:講師
長野県赤穂高等学校 大学等模擬講義 2019年9月
Transducers2019参加報告
役割:講師
センシング技術応用研究会 第13回GST分科会 2019年7月
役割:講師
(公財)にいがた産業創造機構 テクノプラザ 第2回ナノテク研究センター活用セミナー~新市場の開拓に向けたフレキシブルデバイス技術最前線~ NICOテクノプラザ 2019年1月
触覚センシングによる触感の可視化
役割:講師
新潟大学地域創生推進機構 新大産学交流フェスタ2018 2018年11月
触覚センシングによる触感の可視化
役割:運営参加・支援
燕三条ものづくりメッセ 2018年10月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
栃木翔南高等学校 翔南一日大学 栃木翔南高等学校 2018年9月
医療・ヘルスケア・感性計測用センサの小型化・高機能化と応用展開
役割:講師
R&D支援センター 商工情報センター(カメリアプラザ) 9F 会議室 2018年7月
自動車の快適性向上・高級感演出に向けた五感・感性センシング技術と感性評価
役割:講師
ISS産業科学システムズ 2018年7月
~感性の定量評価と再現のためのセンサ技術~ 五感センシングの技術現状と複合感覚・質感評価への展開
役割:講師
サイエンス&テクノロジー きゅりあん 6F 中会議室 2018年3月
五感・感性センシングの基礎とMEMSを用いた触覚センシング技術
役割:講師
情報機構 2018年2月
MEMS触覚センサによる質感の評価と定量化
役割:講師
技術情報協会 質感の認知メカニズムと計測、定量評価手法 2017年11月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
新潟第一高等学校 2017年11月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
長野県諏訪二葉高等学校 2017年10月
MEMS触覚センサとその応用展開
役割:講師
電気学会圧電MEMS調査専門委員会 第5回講演会 2017年8月
「Transducers2017参加報告」~センサ全般
役割:講師
センシング技術応用研究会 第10回GST分科会 2017年7月
役割:講師
ジャパンマーケティングサーベイ ヘルスケアセンサの最新開発動向 2017年6月
IoT時代を志向した医療・ヘルスケア・感性評価向けセンサの基礎とMEMS技術を用いた小型化・高性能化
役割:講師
情報機構 2017年6月
接触力・光・温度複合MEMSセンサによる触り心地・見た目・温もりを含む質感計測
役割:講師
新潟大学地域創生推進機構・新潟大学東京イノベーションクラブ 平成29年度 第1回新潟大学シーズプレゼンテーション(新潟大学首都圏懇話会) 2017年4月
役割:講師
技術情報協会 触覚センサの高感度センシングと応用技術 2017年4月
医療・ヘルスケア・感性計測用センサの小型化・高機能化と応用展開
役割:講師
R&D支援センター 2017年3月
入門 医療・ヘルスケア・感性計測向けセンサ~基礎からMEMS応用まで~
役割:講師
株式会社トリケップス 2017年3月
光・ひずみ・温度複合MEMSセンサとその物体表面質感計測への応用
役割:講師
日本ゴム協会東海支部 ウェアラブルセンサへのエラストマーの応用と現状の技術課題・将来展望 名古屋市工業研究所 第1会議室 2017年1月
見た目や触り心地・温もりを含んだ感性的な質感を計測する小型センサデバイス
役割:実演
国立研究開発法人科学技術振興機構 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 イノベーション・ジャパン-大学見本市 2016年8月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
栃木県立栃木高等学校 平成28年度SS発展研究「学問探求講義」 栃木県立栃木高等学校 2016年7月
役割:講師
科学技術振興機構、新潟大学、新潟薬科大学 ライフイノベーション 新技術説明会 2016年6月
医療・ヘルスケアセンシング・生体計測技術とMEMSによる小型化・高性能化技術・例
役割:講師
産業科学システムズ 2016年6月
入門 医療・ヘルスケア向けセンサ ~基礎からMEMS応用まで~
役割:講師
株式会社トリケップス 2016年5月
医療・ヘルスケア向けセンサの基礎・構成とMEMS技術を用いた小型化・高性能化技術
役割:講師
株式会社情報機構 2016年4月
MEMSカンチレバー構造を用いた多機能センサデバイスとその応用
役割:講師
にいがたナノ基盤技術実践会 平成27年度 第2回 「にいがたナノ基盤技術実践会」講演会 (公財)にいがた産業創造機構 テクノプラザ2階 会議室(長岡市新産4-1-9) 2015年12月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
平成27年度 白河高校1学年対象 新潟大学出前講義 2015年10月
役割:講師
新潟大学、佐渡産業創造塾、(株)第四銀行、新潟大学産学地域連携推進機構協力会 新潟大学地域懇談会(佐渡会場)/第5回佐渡産業創造塾 佐渡市役所 大会議室 〒952-1209 佐渡市千種232 2014年12月
役割:講師
科学技術振興機構、国立六大学連携コンソーシアム(金沢大学、熊本大学、千葉大学、長崎大学,岡山大学、新潟大学) 国立六大学連携コンソーシアム新技術説明会 JST東京本部別館ホール(東京・市ヶ谷) 2014年11月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
青森県立弘前中央高等学校 平成26年度「大学模擬講義」 青森県立弘前中央高等学校 2014年10月
わたしたちの未来とマイクロマシン
役割:講師
白河高校1学年対象 新潟大学出前講義 福島県立白河高等学校 2014年9月
低消費電力MEMSセンサ(Transducers2013報告)
役割:講師
センシング技術応用研究会 第4回グリーンシステム技術分科会 常翔学園大阪センター301室 2013年7月
役割:講師
大阪府立産業技術総合研究所 産技研技術セミナー 次世代ロボットに不可欠なセンサ技術とその応用 たかつガーデン 2F コスモス, 大阪 2008年12月
材質・見た目まとめて測定 新潟大など小型センサー 新聞・雑誌
日本経済新聞社 日経産業新聞 2016年7月
新潟大と立命館大、触覚と近接覚を測れるセンサー開発-ロボハンド向けに提案へ 新聞・雑誌
日刊工業新聞社 日刊工業新聞 新技術・新製品 2014年10月