2024/04/23 更新

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ソウガワ マサユキ
寒川 雅之
SOHGAWA Masayuki
所属
教育研究院 自然科学系 生産デザイン工学系列 准教授
自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学 准教授
工学部 工学科 准教授
職名
准教授
外部リンク

学位

  • 博士(工学) ( 2005年3月   大阪大学 )

研究キーワード

  • エッチング

  • センサ

  • PDMS

  • カンチレバー

  • マルチモーダル

  • バイオセンサ

  • MEMS

  • マイクロマシニング

  • 触覚センサ

  • 圧電体

  • Micromachining

  • Piezoelectric Thin Film

  • Ferroelectric Thin Film

  • 質感

  • Tactile Sensor

研究分野

  • 情報通信 / 知覚情報処理

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電気電子材料工学

  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス  / ナノマイクロメカトロニクス

  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム  / ナノマイクロメカトロニクス

  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

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経歴(researchmap)

  • 新潟大学   工学部機械システム工学科   准教授

    2016年4月 - 現在

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  • 新潟大学   工学部機械システム工学科   助教

    2013年4月 - 2016年3月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   招へい教員

    2013年4月 - 2014年3月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   助教

    2007年10月 - 2013年3月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   特任助教

    2007年4月 - 2007年10月

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  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   特任研究員

    2005年7月 - 2007年3月

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  • 大阪工業大学   工学部電気電子システム工学科   非常勤講師

    2002年4月 - 2005年3月

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経歴

  • 新潟大学   工学部 工学科   准教授

    2017年4月 - 現在

  • 新潟大学   自然科学研究科 材料生産システム専攻 機械科学   准教授

    2016年4月 - 現在

  • 新潟大学   機能開発工学   准教授

    2016年4月 - 2017年3月

  • 新潟大学   機能開発工学   助教

    2013年4月 - 2016年3月

  • 新潟大学   自然科学研究科 材料生産システム専攻   助教

    2013年4月 - 2016年3月

学歴

  • 大阪大学   大学院基礎工学研究科   物理系専攻

    2000年4月 - 2005年3月

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    国名: 日本国

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  • 大阪大学   基礎工学部   電気工学科

    1998年4月 - 2000年3月

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    国名: 日本国

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  • 和歌山工業高等専門学校   電気工学科

    1993年4月 - 1998年3月

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    国名: 日本国

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所属学協会

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委員歴

  • 電気学会   触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会(第3期) 委員  

    2022年6月 - 2024年5月   

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    団体区分:学協会

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  • 日本機械学会   マイクロ・ナノ工学部門運営委員会 委員  

    2022年4月 - 現在   

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    団体区分:学協会

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  • 電気学会   機能性材料とヒト感性マイクロシステム調査専門委員会 委員長  

    2021年10月 - 2024年9月   

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    団体区分:学協会

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  • 電気学会   触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会(第2期) 委員  

    2020年6月 - 2022年5月   

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    団体区分:学協会

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  • 電気学会   令和2年度E部門総合研究会実行委員会 論文委員長  

    2020年2月 - 2020年9月   

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  • 電気学会   令和2年度E部門総合研究会論文委員会委員長  

    2020年2月 - 2020年9月   

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  • 電気学会   令和2年度E部門総合研究会論文委員会 委員長  

    2020年2月 - 2020年9月   

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  • 電気学会   令和2年基礎・材料・共通部門大会実行委員会 委員  

    2020年1月 - 2020年12月   

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  • 日本機械学会   第15回「運動と振動の制御」国際会議(MoViC 2020)現地委員会 委員  

    2019年11月 - 2020年10月   

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    団体区分:学協会

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  • 日本機械学会   北陸信越支部 商議員・新潟県幹事  

    2019年4月 - 2020年3月   

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  • 日本機械学会   ロボティクス・メカトロニクス部門 第7地区技術委員会 幹事  

    2019年4月 - 2020年3月   

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  • 電気学会   マイクロマシン・センサシステム技術委員会 副委員長  

    2018年9月 - 現在   

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  • 電気学会   スマート社会に向けた高機能・高感度センサ技術に関する調査専門委員会 委員  

    2018年6月 - 2021年5月   

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  • 電気学会   触覚デバイスのためのアクチュエーション技術協同研究委員会 委員  

    2018年6月 - 2020年5月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門研究調査運営委員会 幹事  

    2018年5月 - 2019年5月   

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  • 電気学会   第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員会 委員  

    2018年4月 - 2019年1月   

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  • 電気学会   平成30年度E部門総合研究会実行委員会委員  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 実行委員会 委員  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会 論文委員会 幹事  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   平成30年度E部門総合研究会論文委員会幹事  

    2018年2月 - 2018年9月   

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  • 電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 幹事  

    2017年11月 - 2018年12月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門役員会総務企画担当  

    2017年6月 - 2019年5月   

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  • 電気学会   平成30年全国大会 グループ委員会 第11グループ 主査  

    2017年6月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   平成30年全国大会 論文委員会 委員  

    2017年6月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   平成30年全国大会 小委員会 委員  

    2017年6月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   論文委員会(Eグループ)幹事  

    2017年4月 - 現在   

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  • 電気学会   第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

    2017年2月 - 2017年11月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門総合研究会実行委員会幹事  

    2016年11月 - 2017年9月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門総合研究会論文委員会委員  

    2016年11月 - 2017年9月   

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  • 電気学会   触覚デバイスのための計測技術協同研究委員会  

    2016年7月 - 2018年6月   

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  • 電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 幹事補佐  

    2016年7月 - 2017年11月   

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  • 電気学会   平成29年全国大会グループ委員会 11グループ委員  

    2016年6月 - 2017年6月   

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  • 電気学会   圧電MEMSデバイス調査専門委員会 幹事  

    2016年4月 - 2019年3月   

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  • 応用物理学会   第77回応用物理学会秋季学術講演会 現地実行委員  

    2016年4月 - 2016年9月   

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  • 電気学会   第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 主査)  

    2016年2月 - 2016年11月   

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  • 電気学会   センサ・マイクロマシン部門編修委員会 委員  

    2015年4月 - 現在   

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  • 電気学会   第32回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員(分野4 フィジカルセンサ 副査)  

    2015年2月 - 2015年11月   

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  • 電気学会   第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事  

    2014年12月 - 2015年11月   

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  • 電気学会   社会インフラ用センサシステムセキュリティ特別調査専門委員会 委員  

    2014年11月 - 2018年3月   

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  • 電気学会   触覚提示デバイスの高度化協同研究委員会  

    2014年5月 - 2016年4月   

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  • 電気学会   第31回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

    2014年2月 - 2014年11月   

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  • 電気学会   フィジカルセンサ技術委員会 1号委員  

    2013年12月 - 2016年7月   

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  • 電気学会   第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会副幹事  

    2013年12月 - 2014年11月   

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  • 電気学会   第30回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会委員  

    2013年2月 - 2014年1月   

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  • 電気学会   触覚デバイスの高度化協同研究委員会委員  

    2012年8月 - 2014年4月   

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  • センシング技術応用研究会   GST技術分科会幹事  

    2012年7月 - 現在   

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  • 電気学会   平成23年電気学会全国大会実行委員会委員  

    2010年7月 - 2011年6月   

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  • International Microprocesses and Nanotechnology Conference   Program Comittee  

    2010年4月 - 2014年12月   

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  • 電気学会   論文委員会(Eグループ)委員  

    2008年4月 - 現在   

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論文

  • Elastomer-embedded MEMS Tactile Sensor for Detecting Normal Force, Bending, and Torsion in Grasping Motion 査読

    So Okako, Taisei Nambu, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 1 )   6 - 11   2024年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.144.6

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  • Titanium Blade with Jagged Micro-scale Structure Fabricated via Electrolytic Etching 査読

    Masamune Kurita, Yuki Takizawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   144 ( 1 )   2 - 5   2024年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.144.2

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  • 肌のベタつき感定量評価のための触覚センサによる粘着性計測 査読

    岡固 創, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   143 ( 8 )   251 - 255   2023年8月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.143.251

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  • A Rapid, Sensitive, and Specific Detection of Aggregated α-Synuclein by a Liposome-Immobilized Cantilever Sensor

    Ryoko Kobayashi, Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Ryosuke Takahashi, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    IEEE Sensors Journal   23 ( 12 )   12495 - 12502   2023年6月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Parkinson's disease (PD) is characterized by dopaminergic cell loss and the formation of Lewy bodies, of which the main component is aggregated and fibrillized α -synuclein (aSyn). Recent studies suggested that ultratrace amounts of aSyn aggregates are also present in biofluid specimens, and they can serve as a biomarker for PD. Because aSyn has been shown to possess a prion-like property, we attempted to enhance the sensitivity and specificity of a cantilever microsensor to detect aSyn aggregates by exploiting the properties of self-templating assembly and lipid interaction on the surface of liposome-immobilized cantilever sensor. We found that the liposome-immobilized cantilever sensor was able to successfully detect aSyn fibrils at a very low concentration (100 pg/mL), and the addition of aSyn monomers, which were converted into fibrils in the presence of aSyn aggregates and further acted as a template for fibrillization, lowered the detection limit to 10 pg/mL. The sensitivity of this cantilever sensor was comparable to or slightly superior to that of enzyme-linked immunosorbent assay (ELISA). Moreover, the lag time for the detection of aSyn fibrils has been significantly reduced to 100-120 min, compared to the tens of hours needed in conventional ELISA, real-time quaking-induced conversion (RT-QuIC), and protein misfolding cyclic amplification (PMCA) assays. Finally, preliminary measurements of aSyn aggregates showed the possibilities of discriminating serum from PD and non-PD patients. The liposome-immobilized cantilever sensor could serve as a promising tool for the early or preclinical diagnosis of PD.

    DOI: 10.1109/JSEN.2023.3272659

    Scopus

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  • The New Control Method for Detection of Cold‐Warm sensation using a Heater Integrated Tactile Sensor 査読

    Takuma Iwahashi, Naotaka Onda, Hikaru Nagumo, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering   18 ( 7 )   1214 - 1219   2023年4月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley  

    DOI: 10.1002/tee.23813

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  • Temperature characteristics of a thickness shear mode quartz crystal resonator bonded to a support substrate

    Hajime Satani, Kuraudo Yasuda, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Applied Physics Letters   121 ( 25 )   252903 - 252903   2022年12月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:AIP Publishing  

    Thickness shear mode (TSM) resonators consisting of metal films and quartz plates are widely used for sensor applications such as film thickness monitoring, force sensors, and odor sensors. However, the current sensor geometry prevents further improvements in its sensitivity and stability. Thinning the plate is necessary for high sensitivity, and advanced fabrication technologies are required for their commercialization. The solution is to use a support substrate to increase the mechanical strength, which can guide the transmittance of the electric field. Herein, we report a TSM resonator bonded to a support substrate. An AT-cut quartz resonator with a floating electrode on the top side was bonded to the support substrate. Two excitation electrodes were placed under the substrate. The support substrates evaluated in this study included borosilicate glass, Z-cut quartz crystals, and AT-cut quartz crystal plates. The quartz crystal resonator (QCR) bonded to the AT-cut quartz crystal plate and positioned at 90° to the crystallographic x-axis shows an excellent temperature coefficient of frequency of −60 ± 14 ppb/°C for a temperature range 11–40 °C. The proposed method reduces temperature sensitivity to 1/4 or less compared to that without a substrate. Furthermore, the resonator could be used as a quartz crystal microbalance. The proposed method may inspire further high-frequency QCR-based biochemical chips or various sensor applications with TSM resonators.

    DOI: 10.1063/5.0132804

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  • Effects of Ions on Liposome-Immobilized Biosensors for the Detection of Alpha-Synuclein 査読

    K. Kamitani, M. Sawamura, H. Yamakado, Y. Takahashi, C. F. Werner, M. Sohgawa, M. Noda

    IEEE Sensors2022, 2317, Dallas, Texas USA, Oct 30 – Nov 2, 2022   2022年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SENSORS52175.2022.9967179

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  • Tactile sensor with microcantilevers embedded in fluoroelastomer/PDMS for physical and chemical resistance 査読

    Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Electronics and Communications in Japan   105 ( 3 )   e12369   2022年8月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley  

    DOI: 10.1002/ecj.12369

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/ecj.12369

  • Redesigned Microcantilevers for Sensitivity Improvement of Microelectromechanical System Tactile Sensors 査読 国際誌

    Ren Kaneta, Takumi Hasegawa, Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Journal of Robotics and Mechatronics   34 ( 3 )   677 - 682   2022年6月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Fuji Technology Press Ltd.  

    We previously reported a microelectromechanical system tactile sensor with elastomer-embedded microcantilevers. The sensor enabled the gripping control of soft objects by a robotic hand and acquisition of the object surface texture data. However, sensitivity improvement for more precise control and better texture information acquisition is desired. Here, the cantilever size and the sensor’s strain-gauge arrangement were redesigned, resulting in a sensor with significantly improved sensitivity. In addition, we report the sensitivity dependence on the cantilever size.

    DOI: 10.20965/jrm.2022.p0677

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  • 物理的・化学的耐久性兼備フッ素エラストマ/PDMS封止カンチレバー型触覚センサ 査読

    髙橋 佑司, 髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   142 ( 5 )   91 - 96   2022年5月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.142.91

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  • 低電圧静電触覚ディスプレイ用絶縁膜の耐久性向上 査読

    近藤 雅敏, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   142 ( 5 )   85 - 90   2022年5月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.142.85

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  • Fabrication of heater‐integrated MEMS tactile sensor for evaluation of warm and cold sensation by touching glass 査読

    Naotaka Onda, Takaaki Kozuka, Takashi Abe, Masanobu Isshiki, Satoru Tomeno, Masayuki Sohgawa

    Electrical Engineering in Japan   215 ( 1 )   e23370   2022年3月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley  

    DOI: 10.1002/eej.23370

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/eej.23370

  • Development of time‐delay analysis method of inductance and capacitance for microfluidic circuit 査読

    Ryo Watanabe, Akira Yoshida, Yota Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   105 ( 1 )   e12352   2022年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley  

    DOI: 10.1002/ecj.12352

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/ecj.12352

  • 微小流体回路のためのインダクタンスとキャパシタンスの時差式分析技術の開発 査読

    渡部 亮, 吉田 晃, 佐藤 洋太, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   142 ( 2 )   17 - 20   2022年2月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:電気学会  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.142.17

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  • Development of quartz crystal complex capacitive sensor with microelectrode array for sensitization 査読 国際誌

    Yuki Hashimoto, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electrical Engineering in Japan   214 ( 4 )   e23356   2021年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/eej.23356

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/eej.23356

  • ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製 査読

    恩田 尚隆, 小塚 貴暁, 安部 隆, 一色 眞誠, 留野 暁, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   141 ( 10 )   343 - 348   2021年10月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.343

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  • マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発

    橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   141 ( 8 )   279 - 283   2021年8月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.279

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  • Development of dry‐nano‐polishing technique using reactive ion etching for ultra thin titanium wafer

    Teruya Chino, Yuta Watanabe, Yosuke Tsukiyama, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   104 ( 2 )   2021年6月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley  

    DOI: 10.1002/ecj.12317

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/ecj.12317

  • 反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発 査読

    千野 輝弥, 渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   141 ( 4 )   103 - 107   2021年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.141.103

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  • 外部磁場を利用した多周波水晶発振回路式液体濃度センサによるイオン種分析 査読

    藤森 弘貴, 富樫 裕基, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 12 )   349 - 353   2020年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:電気学会  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.349

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  • エラストマ封止カンチレバー型触覚センサの検出エリア評価 査読

    阿部 由杜, 菅 史賢, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 10 )   272 - 277   2020年10月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.272

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  • 水晶発振回路式液体センサを用いた水処理プロセスの非接触モニタリング 査読

    吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 10 )   251 - 255   2020年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.251

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  • 工具把持部への触覚センサ設置による把持状況検出 査読

    南部泰生, 藤橋智哉, 安部隆, 寒川雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   140 ( 9 )   228 - 234   2020年9月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.140.228

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  • リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた パーキンソン病患者血清中 α シヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    応用物理学会学術講演会講演予稿集   2020.2   1725 - 1725   2020年8月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会  

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1725

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  • Label‐free, chronological and selective detection of aggregation and fibrillization of amyloid β protein in serum by microcantilever sensor immobilizing cholesterol‐incorporated liposome 査読

    Tomoya Taniguchi, Toshinori Shimanouchi, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    Biotechnology and Bioengineering   117 ( 8 )   2469 - 2478   2020年8月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1002/bit.27380

    Web of Science

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    その他リンク: https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full-xml/10.1002/bit.27380

  • Tactile Sensor with High-Density Microcantilever and Multiple PDMS Bumps for Contact Detection 査読

    Tomoya Fujihashi, Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Jyun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Journal of Robotics and Mechatronics   32 ( 2 )   297 - 304   2020年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Fuji Technology Press Ltd.  

    In the study, we investigated a detection method of partial contact of an object owing to curved or uneven surface of the contact object by a tactile sensor. The sensor is developed using three microcantilevers embedded in a polydimethylsiloxane (PDMS) bump. First, three bumps were employed to place a bump for each cantilever. It was possible to detect a contact position because the resistance change in the strain gauge on the cantilever under each bump significantly depended on the contact/non-contact state of each bump. Second, a tactile sensor with high-density arrangement of microcantilevers was used to detect partial or tilted contact situations. The results indicated that the output of a tactile sensor with high-density arrangement of microcantilevers reflected partial or tilted contact. It is suggested that a tactile sensor with multiple bumps and high-density microcantilevers allows for more dexterous gripping control based on the shape of the object and contact angle.

    DOI: 10.20965/jrm.2020.p0297

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  • Tactile sensor using a microcantilever embedded in fluoroelastomer with resistance to cleaning and antiseptic solutions 査読 国際誌

    Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    Sensors and Actuators A: Physical   301 ( 1 )   111774   2020年1月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    添付ファイル: revisedmanuscript2.pdf

    DOI: 10.1016/j.sna.2019.111774

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  • An ultrasensitive detection of aggregated α-synuclein as a biomarker molecule for Parkinson disease by liposome-immobilized cantilever biosensor using self-templating phenomena of prionoid protein

    Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    MicroTAS 2020 - 24th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences   1280 - 1281   2020年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    We newly examined a self-templating effect of prionoid protein on a liposome-immobilized cantilever sensor in order to detect a trace amount of α-synuclein fibril as a biomarker molecule for Parkinson Disease. The developed sensor significantly decreased the detection threshold down to several hundreds of fM and its measuring time to a few hours, and could be applied in a clinical setting.

    Scopus

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  • A selective detection of amyloid beta in human serum by strain gauge cantilever sensor immobilizing liposome incorporated with cholesterol

    Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2017   449 - 450   2020年

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    We have newly confirmed a selective detection of amyloid beta (Aβ) in human serum with its dynamic behavior by a strain gauge cantilever sensor immobilizing liposome incorporated with cholesterol. We examined the effect of incorporating cholesterol in the liposome in order to decrease the interaction between the liposomes and many proteins in human serum. The result implied that cholesterol suppress the interaction because of stabilizing effect in the lipid membrane [1]. Thus we concluded that we were able to detect Aβ, especially the state of its aggregation and fibrillization, in human serum by the cantilever sensor immobilizing liposome incorporated with cholesterol.

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  • 触覚センシングにおける振動覚検知のためのマイクロカンチレバーの作製と評価 査読

    高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 11 )   375 - 380   2019年11月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    添付ファイル: 電気学会論文誌-最終原稿.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.375

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  • チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発 査読

    桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 10 )   341 - 345   2019年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.341

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  • A Novel Detection of Biomarker Molecule of αsynuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Biosensor Using Real-Time Quaking-Induced Conversion Method 査読

    R. Kobayashi, M. Sawamura, H. Yamakado, M. Sohgawa, M. Noda

    IEEE Sensors 2019, C3L-A-2, Montreal, Canada, October. 27–30 (2019) 1274.   2019年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/SENSORS43011.2019.8956615

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  • RT-QuIC 法を用いたリポソーム固定化カンチレバーセンサによる αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    応用物理学会学術講演会講演予稿集   2019.2   2837 - 2837   2019年9月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会  

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_2837

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  • 容器内溶液の非接触検査のための水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読

    小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 7 )   169 - 174   2019年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.169

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  • 触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析 査読

    木藤 潤, 阿部 祐太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 6 )   149 - 154   2019年6月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    添付ファイル: 触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析-最終.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.149

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  • A New Detection of Biomarker Molecule of α-Synuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Microsensor with Temperature Stabilization

    Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII   999 - 1001   2019年6月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    In this work, for the first time, chronological behavior of α-synuclein (aSyn) as causative agent for Parkinson Disease has been measured by phospholipid liposome-immobilized cantilever microsensor. Our goal is to detect aggregated, not a monomeric, forms of aSyn in its initial stage, as it is most toxic in patient's cerebrospinal fluid (CSF). The aSyn aggregates in phosphate buffered saline (PBS) were successfully detected compared to CSF of healthy person. With a developed temperature stabilization method at room temperature, which was stabilized within +/- 0.2/ °C, aSyn aggregation was detected down to 100 pM.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808657

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  • 1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価 査読

    庄司 拓人, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   139 ( 4 )   81 - 84   2019年4月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1541/ieejsmas.139.81

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  • リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサによるパーキンソン病原因物質αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    応用物理学会学術講演会講演予稿集   2019.1   2531 - 2531   2019年2月

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:公益社団法人 応用物理学会  

    DOI: 10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_2531

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  • Microdroplet monitoring using microfluid circuit combined quartz oscillator based capacitive sensor 査読 国際誌

    Ryo Ebata, Ryo Sakai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   101 ( 12 )   50 - 55   2018年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本研究ではコンパクトな微小液滴モニタリングセンサを開発した。このセンサはマイクロ流体回路と水晶振動子を組み合わせた静電容量型センサである。このセンサを用いてマイクロ液滴の生成とモニタリングに成功した。センサの感度向上のためセンシングキャパシタを最適化し、周波数応答を増大させた。NaCl水溶液濃度を最適化したセンシングキャパシタを用いて計測し、その結果から、2周波数を用いることで高ダイナミックレンジでの計測が可能であることを示した。

    DOI: 10.1002/ecj.12128

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  • 河川防災用水位観測システムにおけるミリ波レーダセンサの評価 査読

    寒川 雅之, Andrew Whitaker, 酒井 直樹

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 10 )   461 - 465   2018年10月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    温暖化による気候変動で重大な水害が増大している。水害の早期警報のためには、源流域を含む河川流域全体の多点・広域における水位モニタリングが必要である。しかし、従来のセンシングシステムはコストの問題があり小河川への設置が進んでいない。本研究では、ミリ波レーダとLPWAネットワークを用いた低コストで非接触な河川水位センシングシステムを提案する。試作センサは2.56%の平均誤差率で距離が計測可能であり、荒天の際を含む実際の河川で水位モニタリングが可能であった。さらに、さまざまな河川形態においてこのセンサにより水位モニタリングが可能であることが示された。

    添付ファイル: 電気学会論文誌 最終提出原稿.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.461

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  • 微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング 査読

    江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 8 )   382 - 386   2018年8月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文はコンパクトな微小液滴モニタリングセンサの開発に関するものである。このセンサはマイクロ流体回路と水晶振動子を組み合わせた静電容量型センサである。このセンサにおいて微小液滴の生成とモニタリングに成功した。また、センサの感度向上のためセンシング用キャパシタを最適化し、これにより周波数応答の増大が可能である。最適化したセンシング用キャパシタを用いて、NaCl水溶液の濃度を計測した。計測結果から、2つの周波数を用いることで、高ダイナミックレンジでの計測を可能とした。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.382

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  • Electromotive Manipulator Control by Detection of Proximity, Contact, and Slipping Using MEMS Multiaxial Tactile Sensor 査読

    Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi)   204 ( 2 )   44 - 49   2018年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:John Wiley and Sons Inc.  

    In this paper, we have demonstrated usefulness of the electromotive manipulator system with a developed single element MEMS sensor which can detect proximity, contact, and slipping to skillful gripping of the object. This MEMS sensor can detect proximity as impedance change of Si substrate by reflected light from the object due to the photoconductive effect. In addition, both normal and shear load can be also detected as resistance change of strain gage on cantilevers located threefold symmetry and embedded in polydimethylsiloxane (PDMS). By attaching the sensor on the electromotive manipulator, accurate control of gripping force was enabled by feedback of the sensor output.

    DOI: 10.1002/eej.23098

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  • Miniaturization and high-density arrangement of microcantilevers in proximity and tactile sensor for dexterous gripping control 査読 国際誌

    Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Micromachines   9 ( 6 )   301   2018年6月

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    担当区分:最終著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MDPI AG  

    In this paper, in order to perform delicate and advanced grip control like human, a proximity and tactile combination sensor using miniaturized microcantilevers one-fifth the size of previous one as the detection part was newly developed. Microcantilevers were arranged with higher spatial density than in previous works and an interdigitated array electrode to enhance light sensitivity was added. It is found that the interdigitated array electrode can detect light with 1.6 times higher sensitivity than that in previous works and the newly fabricated microcantilevers have enough sensitivity to applied normal and shear loads. Therefore, more accurate detection of proximity distance and spatial distribution of contact force become available for dexterous gripping control to prevent 'overshooting', 'force control error', and 'slipping'.

    DOI: 10.3390/mi9060301

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  • Development of Self-Heated Stage Suitable for Thermal Assist Reactive Ion Etching of the Functional Metals 査読

    Yuki Murata, Gang Han, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Electronics and Communications in Japan   101 ( 3 )   96 - 102   2018年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Wiley-Liss Inc.  

    This paper describes development of self-heated stage suitable for thermal reactive ion etching (TRIE) of the functional metals. TRIE was evaluated using both experiments and simulations for etching functional metals. The self-heated stage was designed based on the simulation results. TRIE employs a self-heated stage which is thermally insulated aluminum plate as the etching stage of a regular RIE apparatus. The stage temperature increases rapidly within 10 min and etch rate does not depend on process time. TRIE technique was used to etch various kinds of functional metals: Ti, Mo, Ta, Nb, and Ti alloy (Ti-6Al-4V). It did improve the etching rate of these materials greatly.

    DOI: 10.1002/ecj.12046

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  • 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価 査読

    難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 6 )   250 - 256   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本研究では光とひずみに感度を持つMEMS触覚センサにより、ポリオキシメチレン樹脂の加工表面の評価を行った。センサ出力が樹脂の表面プロファイルと摩擦特性と相関を持つことが確認され、さらにこのセンサにより樹脂の表面色の違いも検知可能であることが示された。

    添付ファイル: 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価 最終原稿.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.250

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  • Electrode-separated quartz crystal microbalance for smart-sensor mounting application 査読

    Jun Sakaguchi, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    Sensors and Materials   30 ( 5 )   1073 - 1080   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:M Y U Scientific Publishing Division  

    Quartz crystal microbalances (QCMs) have found applications as popular chemical and biological sensing tools. However, their current device geometry prevents their commercialization for industrial use. In this study, we propose a new disposable QCM sensor with an electrode only on the sensing side, making it suitable for sensor mounting. In this sensor system, the excitation electrode is positioned on a glass plate separate from the QCM. Such electrode configurations are suitable for sensor applications in flow cell systems in preference to common QCM systems because QCM mounting on the flow cell and the electrical interconnections between the QCM and the oscillation circuit are simple. The optimized configurations of the electrode diameter, separation distance, and orientation relative to the crystallographic x-axis of the plate are revealed for the first time. The proposed QCM can be applied to realize a disposable QCM-based biochip or hazardous gas sensor located inside a flow tube.

    DOI: 10.18494/SAM.2018.1712

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  • 水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発 査読

    矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   138 ( 2 )   37 - 40   2018年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    液体濃度を計測するための非接触モニタリング技術を開発した。このセンサは2つのセンシングキャパシタと水晶発振回路からなる。2種類の周波数により同時に誘電性と導電性変化を計測することに成功した。よって、幅広い周波数帯を用いることで、液体をその物理化学的特性に合わせて計測することが可能である。本研究では、切削油の濃度のモニタリングに成功した。提案したセンサはさまざまな液体モニタリングへの使用が期待できる。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.138.37

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  • Surface texture characterization using optical and tactile combined sensor 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    Sensors and Materials   30 ( 5 )   1091 - 1101   2018年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:M Y U Scientific Publishing Division  

    Measurements of the surface texture of objects, including optical and tactile features, using a multimodal micro-electromechanical systems (MEMS) sensor are reported in this paper. The proposed MEMS sensor has two functions in its structure: light sensitivity of the MOS structure in the Si substrate and force sensitivity of the strain resistance gauge on microcantilevers embedded in the elastomer. Deflection of the cantilever, induced by an applied force, can be detected as a DC resistance change of the strain gauge film, which depends on the tactile texture including hardness, thickness, and surface roughness of the object. On the other hand, reflected light from the object, detected as AC impedance change at 5 MHz, depends on the color of the object. It is confirmed that the resistance and impedance changes correlate with the physical and optical properties of the object, respectively. Therefore, it has been demonstrated that the surface texture of the object, including optical and tactile features, can be characterized using a single MEMS sensor.

    添付ファイル: SS-1786-accepted.pdf

    DOI: 10.18494/SAM.2018.1786

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  • Development of artificial haptic model for human tactile sense using machine learning 査読

    Hikaru Shimoe, Kohei Matsumura, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

    Proceedings of IEEE Sensors   2017-   1 - 3   2017年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    Recent studies have proposed a model using the supervised neural-network (NN) as the haptic model. However, this model has the problem in expressing human tactile sense. Therefore, we constructed a haptic stage model based on the model of human-tactile sense and cognitive process. Our NN-based model consists of supervised and unsupervised stages. Using surface-scanning results from our trial micro-tactile sensor, we confirmed the material-identification problem with our model. A conventional full conventional NN(CNN) model achieved a 98.0% correct identification rate for 28 materials
    our model achieved a rate of 67.2%. Our model employed typically is deepening because we used the convolutional process in all layers, therefore, we consider that our learning result lost local features on each material, and then identification rate was declined as result.

    DOI: 10.1109/ICSENS.2017.8234173

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  • Deep reactive ion etching technique involving use of 3D self-heated cathode 査読

    Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1281 - 1284   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this study, a thermally assisted reactive-ion etching (TRIE) technique using a 3D self-heated stage as the etching stage in a conventional reactive-ion etcher was developed and applied to a large size wafer. The 3D stage was designed based on simulation results and its heating characteristics on application of RF power were evaluated. Results indicated that the temperature of the etching stage increased rapidly to 350 °C, but maintained a distribution of ≤ 4 °C. Its application to various minor metals (Ti, Ti 6Al-4V, Ta, Nb, and Mo) was investigated. The resultant etch rates substantially increased with the use of the 3D self-heated cathode in a conventional reactive-ion etcher.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994289

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  • Texture measurement for fabrics including warm/cool and fluffiness sensation by multimodal MEMS sensor 査読

    Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   343 - 346   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this paper, we report that texture measurement of warm/cool and fluffiness sensations of various fabrics has been carried out by a multimodal MEMS sensor. This MEMS sensor can detect force as resistance change of strain gauge on micro-cantilever and light as impedance change of Si layer by the photoconductive effect, respectively. The sensor can also detect a temperature drop by heat transfer from the sensor to the contact object as resistance change of the strain gauge and impedance change of Si. It is demonstrated that warm/cool and fluffiness sensations of fabrics can be evaluated by the measured results of the proposed MEMS sensor depending on temperature drop and contact force.

    添付ファイル: PID4721655.pdf

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994058

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  • Gripping control of delicate and flexible object by electromotive manipulator with proximity and tactile combo MEMS sensor 査読

    Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1140 - 1143   2017年7月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this paper, we have demonstrated usefulness of the electromotive manipulator system with a developed MEMS sensor to skillful gripping of various objects. This MEMS sensor is responsive to light with the photoconductive effect in Si and force with resistance change in the strain gauge layer on microcantilever structures, as a result, the sensor can detect both proximity and contact. In addition, since the cantilevers are located three-fold symmetry, the direction of applied force can also be detected. It is demonstrated that the proposed manipulator system with the developed sensor can grip not only rigid bodies but also gripping flexible objects.

    DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994254

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  • Fabrication of a true-Gaussian-shaped quartz crystal resonator 査読

    Hiroki Kutsuwada, Sho Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL   260   58 - 61   2017年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE SA  

    In this paper, a simple fabrication method for a Gaussian-shaped quartz crystal resonator was developed based on the surface tension of the photoresist. First, the photoresist profile on a quartz wafer was changed to a lens shape by the photoresist reflow. By changing the viscocity of the photoresist with propylene glycol monomethyl ether acetate, the photoresist profile on the quartz wafer was adjusted to create a Gaussian shape. Finally, the Gaussian-shaped QCR was fabricated by transferring the shape onto the quartz wafer using a reactive ion etching. (C) 2017 Elsevier B.V. All rights reserved.

    DOI: 10.1016/j.sna.2017.04.019

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  • A Cantilever-based Biosensor for Real-time Monitoring of Interactions between Amyloid-(1-40) and Membranes Comprised of Phosphatidylcholine Lipids with Different Hydrophobic Acyl Chains 査読

    Ziyang Zhang, Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    ELECTROANALYSIS   29 ( 3 )   722 - 729   2017年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:WILEY-V C H VERLAG GMBH  

    Accumulating evidence suggests that interaction between amyloid- (A) and cell membrane is crucial to the pathogenesis of Alzheimer's disease (AD), and thus an increasing understanding of the impact of membrane composition on A-membrane interaction becomes essential for the mechanism elucidation of A-membrane interaction and the early diagnosis of AD. In this work, electrically neutral phosphatidylcholine (PC) as the most major class of membrane phospholipids, including 1,2-dipalmitoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DPPC), 1,2-distearoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DSPC), 1-palmitoyl-2-oleoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (POPC), and A(1-40) as the most common amyloid protein were selected as the research subjects, and a developed cantilever-based biosensor, on which liposomes comprised of PC lipids were immobilized, was applied to characterize in real time the interactions between A(1-40) and membranes comprised of PC lipids with different hydrophobic acyl chains, and to evaluate the effect of cholesterol incorporated in membrane on A-membrane interaction during the whole process of A(1-40) fibrillization. The results illustrate that the interaction between A(1-40) and PC membrane can be divided into three stages, which are related to the change in molecular states of A. More importantly, it is found that membranes comprised of PC lipids with shorter saturated acyl chains show higher interaction ability with A(1-40), and the incorporation of cholesterol into PC bilayer can remarkably accelerate and strengthen A(1-40)-membrane interaction. These results confirm that hydrophobicity is the main driving force for the interactions between A(1-40) and PC membranes. In return, the above results enlightened us to apply the current micro-cantilever immobilized with cholesterol-containing DPPC liposomes to challenge the detection of low-concentration A(1-40). This time 50-nM A(1-40) in aqueous solution has been effectively detected, suggesting that this proposed detection technique would contribute to A detection and early diagnosis of AD in the future.

    DOI: 10.1002/elan.201600416

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  • Deposition and characterization of Al2O3 and BiFeO3 thin films on titanium substrates for tough MEMS devices 査読

    Takeshi Kohno, Masato Mihara, Ataru Tanabe, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   137 ( 1 )   46 - 47   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

    Insulator and piezoelectric thin films were deposited on titanium substrate, and characterized for application in tough MEMS tactile sensors. The titanium substrate was polished by buffing before the deposition of the thin films. An Al2O3 thin film was deposited as an insulator and showed good insulation characteristics on the polished titanium substrate. Piezoelectric BiFeO3 thin films were prepared by RF sputtering. The XRD pattern of the BiFeO3 thin film on the titanium substrate shows the presence of the ferroelectric phase. The polarization-electric field curve also shows a ferroelectric hysteresis loop. The results show that insulator and piezoelectric thin film can be formed on titanium substrate.

    添付ファイル: 01E_06_L.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.46

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  • 近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた近接計測手法の検討 査読

    梅木 尚, 野沢 瑛斗, 奥山 雅則, 野間 春生, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 5 )   146 - 150   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    我々は繊細な物体のスマートなマニピュレーションのために、単一素子で近接と多軸接触力を検知可能なセンサを開発している。今回は近接センシングにおける環境ノイズを低減するために、変調プローブ光を用いた測定手法について報告する。白色LEDをプローブ光として、150 Hzで明滅させた。本手法により、センサ出力が電源や照明からの環境ノイズを含んでいる場合でも、近接距離を150 Hzの周波数成分として分離できることを示した。

    添付ファイル: 05E_05.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.146

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  • 近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御 査読

    荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 7 )   212 - 217   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では、物体の器用な把持のための、開発した近接、接触、滑りを検知可能な単一素子MEMSセンサを用いた伝導マニピュレーションシステムの有用性を示した。このMEMSセンサは物体から反射された光による光導電効果で起きる、Si基板のインピーダンス変化として近接を検知している。さらに、3回対称に配置され、PDMSに埋め込まれたカンチレバー上のひずみゲージの抵抗変化により、垂直荷重及び剪断荷重も検知可能である。このセンサを電動マニピュレータに取り付けることで、センサ出力のフィードバックにより把持力の精細な制御が可能であった。

    添付ファイル: 07E_03.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.212

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  • Thermal Reactive Ion Etching of Minor Metals with SF6 Plasma 査読

    Gang Han, Yuki Murata, Yuto Minami, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   217 - 223   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MYU, SCIENTIFIC PUBLISHING DIVISION  

    In this study, thermally assisted reactive ion etching (TRIE) was evaluated by both experiments and simulations. TRIE employs a self-heated stage instead of the etching stage of a regular RIE apparatus. The self-heated stage was designed on the base of the simulation results, and its heating characteristics upon the application of radio frequency (RF) power were evaluated. The temperature of the stage increases rapidly within 10 min because of the low thermal capacitance of the stage. An etch rate of 0.6 mu m/min and an etch selectivity of about 30 were achieved for titanium etching with SF6 plasma. In addition, we also investigated the application of TRIE for various kinds of minor metals (Mo, Ta, Nb, and Ti alloy) for the first time and achieved higher etch rates and etch selectivities than those of regular reactive ion etching (RIE).

    DOI: 10.18494/SAM.2017.1444

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  • Texture Characterization Including Warm/Cool Sensation Using Force-, Light-, and Temperature-Sensitive Micro-electromechanical Systems Sensor 査読

    Fumiya Sato, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    SENSORS AND MATERIALS   29 ( 3 )   311 - 321   2017年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MYU, SCIENTIFIC PUBLISHING DIVISION  

    In this paper, we report on texture measurements for an object, including tactile, warm/cool, and light sensations using a multimodal micro-electromechanical systems (MEMS) sensor. This MEMS sensor can detect force as a resistance change of the strain gauge on a microcantilever and light as an impedance change of a Si layer by a photoconductive effect. The sensor, which was maintained near human body temperature using a heater, can also detect a temperature drop after heat transfer from the sensor to a contacted object as a resistance change of the strain gauge or an impedance change of the Si layer. In this work, three different materials (copper, acrylic, and wood) were chosen as the target objects for the measurement of surface texture, and they were characterized on the basis of the differences in sensor outputs in active sensing experiments (approaching and pressing of the sensor with a probe light) on the sensor surface. In the proximity process, the impedance change of the Si layer depends on the surface reflectivity of the objects. After the object is touched by the sensor surface, the impedance of the Si layer and the resistance of the strain gauge of the sensor increase with the change in temperature caused by heat transfer. Furthermore, the resistance of the strain gauge decreases with the deformation of the cantilever caused by the pressing force from each object. Therefore, it is demonstrated that surface texture including the mechanical, optical, and thermal characteristics of various materials can be evaluated by active sensing using the proposed MEMS multimodal sensor.

    添付ファイル: SS-1443-galley proof.pdf

    DOI: 10.18494/SAM.2017.1443

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  • 真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価 査読

    和田 涼介, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 7 )   180 - 184   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では水晶振動子微小天秤(QCM)法を用いた小型熱重量分析センサを提案した。火星の土壌サンプル中の物理吸着水量や土壌成分を計測するため、QCMに集積化したマイクロヒータの加熱電極形状を最適化した。次に、真空環境中におけるQCMの加熱特性を評価した。その結果、電極の温度は300℃まで加熱された。最適化されたQCMは低消費電力で優れた加熱特性を持つことを見出した。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.180

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  • 機能性メタルの熱アシスト型反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発 査読

    村田 祐貴, 韓 剛, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   137 ( 9 )   262 - 266   2017年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文は機能性メタルの熱反応性イオンエッチング(TRIE)に適した自己加熱式試料台の開発について述べている。機能性メタルのエッチングについて熱反応性イオンエッチングを実験とシミュレーションで評価した。自己加熱式試料台はシミュレーション結果に基づいて設計された。一般のRIE装置のエッチング試料台として、熱的に絶縁されたアルミプレートからなる自己加熱式試料台を用いた。試料台の温度は10分以内に急速に上昇し、エッチング速度はプロセス時間に依存しない。TRIE技術を様々な機能性メタル(Ti、Mo、Ta、Nb、Ti合金(Ti-6Al-4V)のエッチングに用いることで、これらの材料のエッチング速度が飛躍的に改善された。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.137.262

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  • 匂いセンサ応用のためのワイヤレス発振式マルチチャンネルQCMセンサの開発

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2017   1A1 - K11   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>This paper reports the development of wirelessly excited multi-channel QCM sensor for odor sensor applications. In this sensor, the excitation electrodes are positioned on a glass plate separate from the QCM. Such electrode configurations are suitable for odor sensor applications because the electrical interconnections between the QCM and the oscillation circuit are simple. We evaluated the dependence of the resonance frequency on the crystallographic orientation. We found out two vibrational modes that depends on each modulus of elasticity and the frequency responses of each mode are linear for mass loading.</p>

    DOI: 10.1299/jsmermd.2017.1A1-K11

    CiNii Article

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  • 柔軟物把持制御のための近接触覚複合MEMSセンサの出力評価

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集   2017   1A1 - N02   2017年

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    記述言語:日本語   出版者・発行元:一般社団法人 日本機械学会  

    <p>In this Paper, we report output characterization of the proximity and tactile combination MEMS sensor for controlling manipulation of flexible objects. This sensor can detect proximity by the internal photoelectric effect in Si substrate and normal and shear loads as tactile information are detectable by deflection of cantilevers, which are fabricated on the substrate surface and embedded in the silicone elastomer. The proximity and tactile outputs from this sensor attached on the electromotive actuator depend on distance to the target object and normal load applied by gripping the object, respectively. Furthermore, sensor output with shear load applied by weight of gripped flexible object is measured and the improved control method for stable gripping control of flexible objects is discussed.</p>

    DOI: 10.1299/jsmermd.2017.1A1-N02

    CiNii Article

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  • Real-time characterization of fibrillization process of amyloid-beta on phospholipid membrane using a new label-free detection technique based on a cantilever-based liposome biosensor. 査読

    Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

    SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL   236   893 - 899   2016年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE SA  

    The dynamic behavior of amyloid-beta protein (A beta) fibrillization on cell membrane is closely related to the progression of Alzheimers disease (AD). In this paper, we reports a new approach for real-time monitoring of the fibrillization process of A beta on lipid membrane using a miniaturized cantilever-based liposome biosensor, which contributes to the technology development of A beta label-free detection and the mechanism elucidation of A beta fibrillization on cell membrane. 1,2-Dipalmitoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DPPC) liposome as model cell membrane was immobilized on the cantilever surface and A beta(140) was selected as a target protein in this work. Liposome-A beta interaction is evaluated by detecting the resistance change rate of the strain gauge embedded in the cantilever, which is directly proportional to the deflection of cantilever. 24-h real-time monitoring result clearly shows chronological change in the resistance with the progress of A beta fibrillization on liposomes. Moreover, it is found that the extent of liposome-A beta interaction is closely dependent on the aggregate state and concentration of A beta but is less dependent on the type of used solvent (water or serum). It is indicated that DPPC liposome shows sufficient affinity and selectivity to A beta even in serum. In particular, a concentration of A beta as low as 1 mu M can be detected using the cantilever-based liposome biosensor. Furthermore, it is confirmed that this biosensor has a potential of recognizing different states of A beta. We expect that the cantilever-based liposome biosensor becomes an effective tool for accelerating amyloid related research and developing the early diagnosis approach of AD. (C) 2016 Elsevier B.V. All rights reserved.

    添付ファイル: Characterization of Aβ Fibrillization.pdf

    DOI: 10.1016/j.snb.2016.03.025

    Web of Science

    J-GLOBAL

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  • Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers 査読

    Masayuki Sohgawa

    2014 IEEE International Nanoelectronics Conference, INEC 2014   2016年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    A multifunctional tactile sensor which can detect approximation, contact, slipping, and surface texture of the target has been developed. The sensor is composed of multiple MEMS cantilevers fabricated on Si substrate embedded in PDMS, and can detect normal and shear forces. By indenting and sliding the sensor on the object surface, output depending on hardness, friction, and roughness, etc. can be obtained. Moreover, a function for detection of proximity was integrated monolithically through photo-sensitivity of Si substrate.

    添付ファイル: INEC2014sohgawa-final.pdf

    DOI: 10.1109/INEC.2014.7460417

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  • A Micromechanical Cantilever-Based Liposome Biosensor for Characterization of Protein-Membrane Interaction 査読

    Z. Zhang, M. Sohgawa, K. Yamashita, M. Noda

    ELECTROANALYSIS   28 ( 3 )   620 - 625   2016年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:WILEY-V C H VERLAG GMBH  

    We have newly evaluated the interaction of lipid membrane with two different proteins of lysozyme and carbonic anhydrase from bovine (CAB) using a micro cantilever-based liposome biosensor with a new droplet-sealing structure. Herein 1,2-dipalmitoyl-sn-glycero-3-phosphocholine (DPPC) liposomes are used as model lipid membrane and are immobilized on the surface of cantilever. The interaction of DPPC liposome with the target protein causes deflection of the micro-cantilever, which can stably be detected by measuring the resistance change of the strain gauge. The resistance change dependent on time is used to evaluate the characteristic of liposome-protein interaction. The resistance of the cantilever-based biosensor increases monotonously with time in both of the two protein solutions. Especially, chronological resistance change depends markedly on both the concentration and species of target proteins. Finally, these results lead us to conclude that the cantilever-based liposome biosensor with the droplet-sealing structure facilitates the characterization of protein-membrane interaction. It also means that this biosensor is a promising candidate device for label-free detection of concentration and species of different target proteins.

    DOI: 10.1002/elan.201500412

    Web of Science

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  • Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information using MEMS Combo Sensor 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2016 IEEE SENSORS   655 - 657   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    In this paper, we report texture measurement of the fabrics by a multimodal MEMS sensor. This sensor has sensitivity to both multi-axial force vector and light. Therefore, we can evaluate tactile texture by force measurement and visual texture by light measurement. This sensor has a possibility for texture measurement with both visual and tactile information in substitution for the human sensory test. In this work, various fabrics were chosen as the target object and evaluated by sensory test method using 10 test subjects. The dependences of the sensor output on reflection of probe light, reactive force, and frictional force by active approaching and touching of the sensor to the object surface were also evaluated. As a result, it is demonstrated that there is a good correlation between the results of the human sensory test and features of visual and tactile sensor output.

    添付ファイル: Evaluation Method of Fabrics by Visual and Tactile Texture Information using MEMS Combo Sensor 最終版.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2016.7808624

    Web of Science

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  • A highly sensitive Amyloid-β detection by cantilever microsensor immobilized with liposome with incorporated cholesterol and phosphatidylcholine lipid with short hydrophobic acyl chains 査読

    Yuki Murakami, Tomoya Taniguchi, Ziang Zhang, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2016   211 - 213   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    DOI: 10.1109/ICSENS.2016.7808468

    Web of Science

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  • Contactless Liquid Sensing Technique Using a Quartz Oscillator 査読

    Tsubasa Susa, Takeru Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    SENSORS AND MATERIALS   28 ( 4 )   289 - 294   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:MYU, SCIENTIFIC PUBLISHING DIVISION  

    In this paper, a contactless sensor for the measurement of liquid concentration using a quartz oscillator is reported. An out-of-plane electric field distribution from a planar sensing capacitor (SC) is used for the noncontact sensor measurement of liquid concentration on a spacer. This sensor measures the changes in the capacitance of the SC by the changes in the frequency of the quartz oscillator. Because the capacitance is dependent on the relative permittivity and conductivity of the liquid sample on the spacer, it is pOssible to measure the concentration of the sample. The response is very stable because, in this sensor, the SC is incorporated into the quartz oscillator. Because the SC is in contact with the liquid sample instead of the quartz crystal resonator, the sensor has a high quality factor (approximately 30000). Moreover, this sensor can be used with a general integrated circuit (IC) and an electronic component at a low cost. The sensor is used for the noncontact measurements of liquid concentration.

    DOI: 10.18494/SAM.2016.1179

    Web of Science

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  • MASS SENSITIVITY AMPLIFICATION BY USING GAUSSIAN-SHAPED QUARTZ CRYSTAL RESONATOR 査読

    H. Kutsuwada, S. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

    2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)   1022 - 1025   2016年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    This paper reports mass sensitivity amplification in a Gaussian-shaped quartz crystal resonator (Gaussian-shaped QCR). To achieve amplification, a fabrication process for a Gaussian-shaped (not quasi-Gaussian) QCR was developed using photolithographic methods. Sensitivity amplification in the QCR was observed at the central portion. The mass response was three times higher than the theoretical value for gravimetric measurements of thin, uniform films. The optimized height of the shape, evaluated based on the Q factor, is higher than that of the convex shape. This resonator is expected to be applicable to mass measurement of various micro/nanoparticles.

    Web of Science

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  • 微量液体に対応した水晶発振回路式液体濃度センサの開発 査読

    柳田 祐太, 須佐 翼, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   136 ( 7 )   319 - 322   2016年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では微小液滴の計測を可能とする水晶発振回路を用いた液体濃度センサについて報告する。微小液滴のセンシングのためにセンシングキャパシタ(SC)の設計を電界が集中するように最適化した。本センサはSCと接続する水晶発振回路の高い安定性から高い感度を持つ。SCはシリコーンゴム中に埋め込まれている。SC電極間に発生する電界はゴム上に空間的に閉じ込められており、ゴムへ液体が接触することにより発振回路の周波数が変化するが、液体の量は変化にあまり影響しない。周波数変化は液体の電気的特性に関係しているので、液体の濃度が本センサにより計測可能である。本センサはファクトリーオートメーションへの応用が期待される。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.136.319

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  • 水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化 査読

    坂井 了, 今井 寛明, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   136 ( 8 )   343 - 347   2016年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文では液体の物理化学的特性分析のための水晶発振回路を用いた最適化コンボセンサについて報告する。本センサはLFE(Lateral Field Excited)センサとACR(Antiparallel Coupled Resonator)センサを同一基板上に集積化することにより、機械的特性と電気的特性を同時に計測可能である。グルコース水溶液やNaCl水溶液の計測のために発振器の電極径を最適化した。さらに、グルコース水溶液やNaCl水溶液の濃度を最適化したセンサにより計測した。本センサは工業プラントにおける品質管理に用いることが期待される。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.136.343

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  • Detection of Amyloid Beta Fibril Growth by Liposome-Immobilized Micro-Cantilever With NiCr Thin-Film Strain Gauge 査読

    Masayuki Sohgawa, Ziyang Zhang, Toshio Akai, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    IEEE SENSORS JOURNAL   15 ( 12 )   7135 - 7141   2015年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC  

    A micro-cantilever with thermally stable strain gauge of a NiCr thin film and a self-assembled monolayer was fabricated by surface micromachining. Liposomes, as biosensing molecules, were immobilized on its surface. To prevent evaporation of the water solvent, a reservoir made of polydimethylsiloxane around the micro-cantilever was fabricated and covered with a glass plate. The resistance of the strain gauge increases with time in the amyloid beta (A beta) solution, because the cantilever is bent downward caused by interaction between A beta and liposomes immobilized on the micro-cantilever surface. Moreover, resistance change depends on the interaction ability of A beta proteins with liposomes. It is therefore indicated that the fabricated static mode micro-cantilever sensor with immobilized liposomes can be used to detect A beta proteins.

    添付ファイル: JSEN2470108.pdf

    DOI: 10.1109/JSEN.2015.2470108

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  • 水晶発振回路を用いた非接触型液体濃度センサ 査読

    須佐 翼, 渡部 尊, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   135 ( 6 )   210 - 213   2015年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    平面センシングキャパシタ(SC)の測定対象への漏れ電界を用いた非接触液体濃度センサを作製した。このセンサはSCの静電容量変化を水晶振動子の共振周波数変化として計測する。静電容量は液体の比誘電率や導電率に依存するため、濃度の計測が可能である。本手法では水晶振動子が液体に接しないため、Q値が非常に高く、また一般的なICや電子部品を用いて計測回路が構成できるため、低コストである。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.135.210

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  • BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討 査読

    三原 雅人, 野沢 瑛斗, 安部 隆, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   135 ( 5 )   158 - 164   2015年5月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    エラストマに埋め込んだマイクロカンチレバーを用いた圧電型触覚センサを提案し、これまでのピエゾ抵抗を用いた触覚センサに対して消費電力の低減を目指した。基板温度520℃、ガス圧力0.6 Paで高周波スパッタリングにより作製したBiFeO3薄膜(膜厚: 400 nm)は良好な圧電性を持ち、振動により300 mVの出力電圧を得ることができた。これにより、BiFeO3薄膜を用いて触覚センサへの外力印加によるマイクロカンチレバーの変位を検知できることを示した。

    添付ファイル: 05E_02_3.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.135.158

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  • Thermal reactive ion etching technique involving use of self-heated cathode 査読

    S. Yamada, Y. Minami, M. Sohgawa, T. Abe

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   86 ( 4 )   2015年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:AMER INST PHYSICS  

    In this work, the thermal reactive ion etching (TRIE) technique for etching hard-to-etch materials is presented. The TRIE technique employs a self-heated cathode and a thermally insulated aluminum plate is placed on the cathode of a regular reactive ion etching (RIE) system. By optimizing the beam size to support the sample stage, the temperature of the stage can be increased to a desired temperature without a cathode heater. The technique was used to etch a bulk titanium plate. An etch rate of 0.6 mu m/min and an etch selectivity to nickel of 100 were achieved with SF6 plasma. The proposed technique makes a regular RIE system a more powerful etcher without the use of chlorine gas, a cathode heater, and an inductively coupled plasma source. (C) 2015 AIP Publishing LLC.

    DOI: 10.1063/1.4917193

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  • Microheater-integrated quartz crystal microbalance array for thermal desorption spectroscopy 査読

    Jumpei Sakai, Masayuki Sohgawa, Naoyuki Iida, Takashi Abe

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   135 ( 3 )   112 - 113   2015年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Institute of Electrical Engineers of Japan  

    In this work, we present a new design involving a microheater-integrated quartz crystal microbalance (QCM) array for thermal desorption spectroscopy. Each QCM consists of two electrodes to excite thickness-shear-mode (TSM) vibrations on the crystal back side and one microheater to increase the temperature on the crystal front side. The resonance frequency was stable when a voltage was applied to the microheater. Carbon microparticles were coated on one of the QCMs for gas adsorption, and its frequency change during the temperature increase was calculated by subtracting the frequency change of an untreated QCM. The proposed QCM array was employed to separate ethanol from methanol. The separation was successful, as confirmed via thermal desorption spectra calculated by differentiating the resonance frequency change with respect to time.

    DOI: 10.1541/ieejsmas.135.112

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  • NON-CONTACT SENSOR FOR MEASUREMENT OF LIQUID CONCENTRATION BASED ON QUARTZ OSCILLATOR 査読

    T. Susa, T. Watanabe, M. Sohgawa, T. Abe

    2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS)   1472 - 1475   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    In this paper, a noncontact sensor for the measurement of liquid concentration using a quartz oscillator is reported. An out-of-plane electric field with a planer sensing capacitor (SC) is used for sensing a liquid on a spacer. This sensor measures the changes in the capacitance of the SC as the changes in the frequency of the quartz oscillator. The capacitance is dependent on the relative permittivity and the conductivity of the liquid sample on the spacer. Therefore, it is possible to measure the concentration of the sample. The response is very stable because in this sensor, the SC is incorporated into the quartz oscillator. Because the quartz crystal resonator is not contact with liquid, the proposed sensor has a high quality factor (approximately 30,000). Moreover, this sensor can be used with a general IC and an electronic component, with a low cost. The proposed sensor can be expected to be used for various kinds of liquid sensing applications.

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  • Basic Study for Tactile and Visual Texture Measurement by Multimodal MEMS Sensor with Force and Light Sensitivity 査読

    Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2015 IEEE SENSORS   699 - 702   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    The tactile and visual texture measurement by multimodal MEMS sensor is reported. This MEMS sensor has two function in a structure: force-sensitivity of resistance of microcantilevers embedded in the elastomer and light-sensitivity of a MOS structure on the Si substrate. Deflection of the cantilever induced by applied force depends on the tactile texture including hardness, thickness, and roughness of the object, and is detected as DC resistance change of the strain gauge film. On the other hand, incident light depends on the visual texture of the object, and is detected as AC impedance change at 5 MHz. It is confirmed that the resistance and impedance changes depend on the physical and optical properties of the object, respectively. Therefore, it has been demonstrated that multimodal texture can be characterized by a single MEMS sensor.

    添付ファイル: PID3845957.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2015.7370352

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  • Characterization of BiFeO3 Thin Film for Tactile Sensor Using Microcantilevers with Piezoelectric Capacitor and Strain-Gauge 査読

    Takeshi Kohno, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2015 IEEE SENSORS   1192 - 1195   2015年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Lead-free BiFeO3 thin films for tactile sensor using microcantilevers have been prepared on Pt and SrRuO3/Pt thin films on a SiO2 /Si substrate by RF sputtering, and the electrical characteristics have been optimized by controlling the substrate temperature, gas pressure, and oxygen partial pressure in deposition process. The BiFeO3 thin film (thickness: 300 nm) deposited on SrRuO3 (thickness: 80 nm) deposited at substrate temperature of 500 degrees C in gas pressure of 0.6 Pa and oxygen partial pressure of 0.24 Pa has good crystallinity, ferroelectricity, and piezoelectric property. Therefore, it is demonstrated that BiFeO3 thin film can be a good sensing material as a detection part of tactile sensor. Furthermore, a cantilever structure with piezoelectric capacitor and strain gauge has been fabricated and different time-dependent outputs from them can be obtained.

    添付ファイル: IEEE-paper-final-sohgawaconverttoPDF.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2015.7370483

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  • Multimodal measurement of proximity and touch force by light- and strain-sensitive multifunctional MEMS sensor 査読

    Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    Proceedings of IEEE Sensors   2014- ( December )   1749 - 1752   2014年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    A multimodal sensor with Si micro-cantilever embedded in PDMS elastomer for measurement of proximity and touch forces has been fabricated and characterized. DC resistance of the strain gauge on the cantilever changes in proportion to the indentation depth of the object. On the other hand, the AC (&gt
    0:5 MHz) impedance including photo-sensitive component of Si increases with increase of distance between the sensor surface and the object because of decrease of light intensity reflected on the object surface. Moreover, the AC impedance is different between grounding and floating of the proximate object because of difference of distribution of electrostatic field between electrodes, so that it is suggested that proximity can be detected as the impedance change by light as well as the electric field.

    添付ファイル: PID3327207.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2014.6985362

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  • Texture measurement and identification of object surface by MEMS tactile sensor 査読

    Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    Proceedings of IEEE Sensors   2014- ( December )   1706 - 1709   2014年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    The surface texture of various materials has been characterized by tactile sensor with a micro-cantilever embedded in the PDMS elastomer. The maximum output (resistance of strain gauge on the cantilever) change of the sensor by indentation of the object on the sensor surface depends on the hardness or thickness of the object. Moreover, output change is asymmetric in a back-and-forth indentation test because of relaxation of deformation. On the other hand, the output increases rapidly at beginning of stepwise sliding of the sensor at the object surface because of static friction, and changes periodically corresponding to stick-slip oscillation or surface roughness after slipping. It is demonstrated that about 30 materials of papers, clothes, leathers, and plastic sheets, have been classified into 5 clusters by the principal component analysis using feature quantities extracted from the sensor outputs.

    添付ファイル: PID3327209.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2014.6985351

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  • Miniature quartz crystal-resonator-based thermogravimetric detector 査読

    N. Sai, Y. Tagawa, M. Sohgawa, T. Abe

    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS   85 ( 9 )   095001   2014年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:AMER INST PHYSICS  

    In this work, a new design for a microheater combined with a quartz crystal microbalance (QCM) array for thermogravimetric analysis is presented. Each QCM consists of two electrodes to excite thickness-shear-mode vibrations and one microheater to increase the temperature on the crystal backside. In addition, all the electrode pads are patterned on the crystal backside, making the design of the QCM compact and user-friendly. Finally, the proposed QCM array was employed to separate ethanol from methanol. This was successfully achieved via thermal desorption spectra calculated by differentiating the frequency changes. (C) 2014 AIP Publishing LLC.

    添付ファイル: Miniature quartz crystal-resonator-based thermogravimetric detector(著者校正).pdf

    DOI: 10.1063/1.4894385

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  • Bioassay of Proteins in Stable Solution State Using a Novel Cantilever-based Liposome Biosensor 査読

    Z. Zhang, T. Akai, K. Takada, K. Yamashita, M. Noda, M. Sohgawa

    2014 IEEE SENSORS   317 - 320   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    We have developed a micro-cantilever biosensor with embedded NiCr thin film strain gauge. Meanwhile, DPPC liposomes have been selected as sensing biomolecules to be immobilized on the surface of the micro-cantilever. The liposome-protein interaction was detected by measuring the resistance change rate of the strain gauge. In this work, a PDMS-based sealed reservoir structure was newly fabricated and added on the sensor to keep the target solution stable, where a long-time stable detection was achieved. The resistance of the cantilever-based biosensor increased with time in lysozyme or carbonic anhydrase from bovine (CAB) aqueous solution, and the characteristic of chronological resistance change varied with the concentration and kind of the proteins. It is expected that the micro-cantilever sensor with droplet-sealing structure can be used for bioassay of various proteins in future.

    添付ファイル: IEEE SENSORS 2014 PROCEEDINGS.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2014.6984997

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  • Multifunctional Tactile Sensors using MEMS Cantilevers 査読

    Masayuki Sohgawa

    2014 IEEE INTERNATIONAL NANOELECTRONICS CONFERENCE (INEC)   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    A multifunctional tactile sensor which can detect approximation, contact, slipping, and surface texture of the target has been developed. The sensor is composed of multiple MEMS cantilevers fabricated on Si substrate embedded in PDMS, and can detect normal and shear forces. By indenting and sliding the sensor on the object surface, output depending on hardness, friction, and roughness, etc. can be obtained. Moreover, a function for detection of proximity was integrated monolithically through photo-sensitivity of Si substrate.

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  • Active touch sensing by multi-axial force measurement using high-resolution tactile sensor with microcantilevers 査読

    Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma, Masayuki Sohgawa

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   134 ( 3 )   58 - 63   2014年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    A tactile sensing system that measures normal and shear (triaxial) forces has been developed, and its characteristics such as linearity and crosstalk have been evaluated. Triaxial forces are estimated from the resistance changes of NiCr thin film strain gauge attached to three microcantilevers. The output voltage of the Wheatstone bridge that comprises a gauge film and three reference resistances is acquired using an A/D converter after amplification. Triaxial forces are calculated from the output voltages of three microcantilevers by simple matrix multiplication. Nonlinearity and crosstalk are less than 4% when the normal force applied is up to 1N and less than 10% when the shear force applied is up to 0.2N. Active touch sensing was demonstrated using an object having a striped profile measuring 0.1mm in height and 1mm in width. © 2014 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

    添付ファイル: IEEJ_Manuscript_proof.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.58

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  • デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工 査読

    山田 周史, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 4 )   96 - 99   2014年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    デスクトップDRIE装置を用いたチタンの微細加工を行った。チタンのエッチング加工には高速排気特性が重要であり、少量のSF6ガスを用いて0.2 μm/min以上のエッチングレートを達成した。本手法の加工例として、蚊の針を模した微小針を作製し、精度の高い微細加工が可能であることを示した。チタンは優れた機械的特性と耐腐食性を持ち、MEMS材料として期待されており、本手法の3次元形状加工への応用が期待できる。

    添付ファイル: 提出稿・デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム微細加工.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.96

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  • 光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測 査読

    横山 輔久登, 金島 岳, 奥山 雅則, 安部 隆, 野間 春生, 東 輝明, 寒川 雅之

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 7 )   229 - 234   2014年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    単一のMEMSセンサを用いて近接と触覚の情報を検知できる新規手法について提案する。触覚情報はNiCrひずみゲージ薄膜の直流抵抗変化より得られる。一方、近接情報はLED光をプローブとして、そのSiウェハでの光吸収による交流インピーダンス変化により得られる。すなわち、直流と交流の計測を切り替えることで、計測した情報を選択することができる。実験の結果により、0から0.5 mmの押込みでほぼ線形な接触による出力が、0~50 mmの距離で非線形な近接出力が得られた。さらに、本センサの近接計測によりドーナツ形状の概形を計測することが出来た。

    添付ファイル: Sensor-symp_IEEJ_final.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.229

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  • 水晶振動子式メタノール濃度センサに関する数値計算と実証 査読

    渡部 尊, 外山 晋二郎, 寒川 雅之, 安部 隆

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   134 ( 7 )   224 - 228   2014年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    燃料電池への応用を視野においた水晶振動子メタノール濃度センサに関する数値計算と実験的検証を行った。このセンサは水晶振動子(QCR)と櫛形電極キャパシタ(IDC)から構成され、fF以下の微小容量変化を検知可能である。作製したセンサは0.008wt%の分解能でメタノール濃度を計測できる。本研究では、基板の厚みとメタノール濃度の範囲に対し最適なセンサデザインを調べた。本研究により、高分解能な静電容量センサを実現でき、様々な種類の静電容量型センサに応用することが期待できる。

    DOI: 10.1541/ieejsmas.134.224

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  • Fabrication and noise reduction of the miniature tactile sensor using through-silicon-via connection with signal amplifier 査読

    Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Teruaki Azuma, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 6 )   06GL08   2013年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    A miniature tactile sensor has been fabricated by connecting stress-sensitive part with an amplifier of integrated circuit through through-silicon-via (TSV) electrically. The sensitive part consists of three warped cantilevers with piezoresistive NiCr thin film which are prepared on a silicon-oninsulator wafer by the surface micromachining technique. The TSV connection can reduce noise of detected change of the piezoresistive output induced by wire between the sensitive part and the amplifier. Fabricated tactile sensor of 5 μ 5mm2 size has linear dependence of the output on both normal and shear forces. The output noise has been successfully decreased by 14 and 34% in the sensor using the TSVs compared with that using wires of 3 and 6mm lengths, respectively. © 2013 The Japan Society of Applied Physics.

    添付ファイル: MN12071.pdf

    DOI: 10.7567/JJAP.52.06GL08

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  • Repetition rate dependence of ferroelectric properties of polycrystalline BiFeO<inf>3</inf> films prepared by pulsed laser deposition method 査読

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Ferroelectrics   453 ( 1 )   1 - 7   2013年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Polycrystalline BiFeO3 (BFO) films on Pt/TiO2/ SiO2/Si substrate have been prepared by a pulsed laser deposition (PLD) method with various repetition rates. The X-ray diffraction (XRD) pattern observes single-phase perovskite structure with a small secondary phase. While the film-thickness is increased with increasing repetition rates, the grain size increases, and the leakage current reduces. Also, good polarization versus electric field (P-E) hysteresis loops of all polycrystalline BFO films were obtained at room temperature (RT). It is seen that the polarization value (Pr) practically remains almost constant for all the BFO films, and the coercive field (Ec) decreases with increasing the film thickness. © 2013 Copyright Taylor and Francis Group, LLC.

    DOI: 10.1080/00150193.2013.842064

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  • Multi-axial tactile sensor with micro-cantilever embedded in hemispherical elastomer for surface texture measurement 査読

    K. Watanabe, M. Sohgawa, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma, T. Azuma

    2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   1012 - 1015   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    We have fabricated the multi-axial tactile sensor which has micro-cantilevers with strain gauge film on Si embedded in hemispherical elastomer, and various kinds of papers have been identified by active touch. Transient responses of the resistance change have been obtained when the sensor was pushed and moved on various kinds of blank papers successively. Some features are extracted from the response by a principal component analysis and the papers are classified in several clusters. © 2013 IEEE.

    添付ファイル: 1274.watanabe.jpn.pdf

    DOI: 10.1109/Transducers.2013.6626941

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  • Detection of Interaction between Biological Proteins and Immobilized Liposomes by a Micro-cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge 査読

    Masayuki Sohgawa, Takashi Fujimoto, Keisuke Takada, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    2013 IEEE SENSORS   846 - 849   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    A micro-cantilever with thermally stable strain gauge of a NiCr thin film and a self-assembled monolayer (SAM) was fabricated by surface micromachining and liposomes, as biosensing molecules, were immobilized on its surface. The resistance of the strain gauge increases with time in a biological protein (carbonic anhydrase from bovine: CAB) solution because the cantilever is bent downward by surface adsorption of CAB molecules. On the other hand, the resistance changes differently with the growth of another type protein, amyloid beta (A beta) fibrils. It is therefore demonstrated that the fabricated static mode micro-cantilever sensor can detect the interaction between the liposomes and the biological proteins.

    添付ファイル: PID2894703.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2013.6688340

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  • Force Intensity and Direction Measurement in Real Time Using Miniature Tactile Sensor with Microcantilevers Embedded in PDMS 査読

    Hokuto Yokoyama, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma

    2013 IEEE SENSORS   1090 - 1093   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Intensity and direction of normal and shear (3-axial) forces have been measured by using a tactile sensor with NiCr strain gauge film on 3 microcantilevers. Output voltage of the Wheatstone bridge which includes a gauge film is measured as digital signal after amplification. 3-axial forces are calculated from the output voltages of 3 microcantilevers every 100 ms. When normal force is applied from 0 to 1 N, the measurement errors of normal and shear forces are less than 50 mN and 10 mN, respectively. When shear force of 0.1 and 0.2 N is applied, the angle error of evaluated direction is less than 10 degrees.

    添付ファイル: IEEE_Sensors_Proc_yokoyama_final.pdf

    DOI: 10.1109/ICSENS.2013.6688401

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  • Preparation of epitaxial BiFeO<inf>3</inf> thin films on La-SrTiO<inf>3</inf> substrate by using magnetic-field-assisted pulsed laser deposition 査読

    Jung Min Park, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Seiji Nakashima

    Journal of the Korean Physical Society   62 ( 7 )   1041 - 1045   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Epitaxial BiFeO3 (BFO) thin films have been prepared on La-doped (001) SrTiO3 substrates (La-STO) by using magnetic-field-assisted pulsed laser deposition. X-ray diffraction patterns of the epitaxial BFO thin films prepared under magnetic fields of 0, 0. 1, and 0. 4 T show only (00ℓ) diffraction peaks without secondary phases. From the results of reciprocal space mapping for all epitaxial BFO thin films, (003) reflections show splitting spots, and asymmetric spots of (-103) and (103) reflections exhibit a rhombohedral structure. The microstructure of the epitaxial thin films was modified by the strength of magnetic field, and a columnar structure was shown in the film prepared under a high deposition rate for a magnetic field of 0. 4 T. The polarization versus electric field hysteresis loops were obtained at room temperature (RT) in all the epitaxial films; in particular, the remanent polarization for the epitaxial film prepared under a magnetic field of 0. 1 T was 46 μC/cm2 at RT while the current density was reduced in comparison with those of other epitaxial films. © 2013 The Korean Physical Society.

    DOI: 10.3938/jkps.62.1041

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  • Identification of Various Kinds of Papers Using Multi-axial Tactile Sensor with Micro-cantilevers

    Kosuke Watanabe, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    2013 WORLD HAPTICS CONFERENCE (WHC)   139 - 144   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Various kinds of papers have been identified by active touch of a multi-axial tactile sensor which has micro-cantilevers with strain gauge film on Si. When fine surface of the standard surface roughness scale and the printed stripe pattern on a banknote have been scanned by the tactile sensor, it allows to measure such fine roughness as a resistance change of the gauge film, and the triangular unevenness could be obtained down to 20 mu m. Transient responses of the resistance change have been obtained when the sensor was pushed and moved on various kinds of blank papers successively. Some features are extracted from the response by a principal component analysis and the papers are classified in four clusters.

    添付ファイル: Technical paper.Watanabe(Osaka.Univ.,Jpn).pdf

    DOI: 10.1109/WHC.2013.6548398

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  • Design and evaluation of microheater combined QCM array for thermal desorption spectroscopy 査読

    J. Sakai, N. Iida, M. Sohgawa, T. Abe

    2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   234 - 237   2013年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    In this paper, we propose a single microheater combined quartz crystal microbalance array for thermal desorption spectroscopy. The each QCM has two electrodes for exciting thickness shear mode (TSM) vibrations on one side of the crystal and a double-spiral-shape heater on the other side. The resonance frequency is stable when a voltage was applied on the microheater. Carbon microparticles for gas adsorption were coated on one of the QCMs and the frequency change during temperature increase was extracted by subtracting the change of the other QCM. The proposed QCM array can monitor small mass changes at sub-ng level as a function of temperature. © 2013 IEEE.

    DOI: 10.1109/Transducers.2013.6626745

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  • 傾斜マイクロカンチレバー型触覚センサによる物体表面質感の計測法に関するレビュー 査読

    寒川 雅之, 渡部 公介, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生, 東 輝明

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   133 ( 5 )   147 - 154   2013年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    本論文ではひずみゲージ薄膜とSi傾斜マイクロカンチレバーを用いた触覚センサのアクティブタッチによる物体表面質感の計測方法について述べる。作製した触覚センサは約20μm以上の粗さを検知でき、紙幣の縞模様を検知可能である。また、硬さや摩擦係数、表面粗さといった性質の異なる様々な用紙を触覚センサの出力から識別した。センサを紙に押し付けて動かした時の抵抗変化から、紙の性質に依存した特徴量を定義し、それらを用いた主成分分析により紙を四種類のクラスタに分類できた。

    添付ファイル: 電気学会論文誌投稿(レビュー)-ver13.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.133.147

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  • Tactile sensor array using microcantilever with nickel–chromium alloy thin film of low temperature coefficient of resistance and its application to slippage detection 査読

    Masayuki Sohgawa, Daiki Hirashima, Yusuke Moriguchi, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Sensors and Actuators A: Physical   186   32 - 37   2012年10月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    低雑音NiCr薄膜ひずみゲージとマイクロカンチレバー構造を用いた触覚センサを作製した。Cr含有率が75wt%のNiCr薄膜は極小の抵抗温度係数を持ち、これを用いて作製した触覚センサは垂直圧力と剪断力双方に線形な出力を示し、従来のものと比べ小さい雑音と温度ドリフトを実現した。これにより各軸の力を3~3.5kPaの誤差で計測でき、さらにロボットハンドの把持状態を滑り状態を含め高確率で識別できた。

    添付ファイル: sohgawa-rev-111201.pdf

    DOI: 10.1016/j.sna.2011.12.055

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  • Ferroelectric and Piezoelectric Properties of Polycrystalline BiFeO3 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 査読

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9S2 )   09MD05 - 09MD05-4   2012年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Japan Society of Applied Physics  

    磁場印加レーザアブレーション法を用いてPt/TiO2/SiO2/Si基板上に成膜したBiFeO3薄膜は単相ペロブスカイト構造を持ち、XRDパターンのピーク角度は磁場無で成膜した場合に比べると低角側にシフトしていた。また、円柱状で小さいグレインサイズの多結晶構造が得られ、この形状により、残留分極が50μC/cm2、圧電d33定数が100pm/Vと強誘電性や圧電性に影響が現れることがわかった。

    DOI: 10.1143/JJAP.51.09MD05

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  • Ferroelectric and piezoelectric properties of polycrystalline BiFeO<inf>3</inf>thin films prepared by pulsed laser deposition under magnetic field 査読

    Jung Min Park, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 9 PART3 )   2012年9月

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    掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Polycrystalline BiFeO3(BFO) thin films have been prepared on Pt/TiO2/SiO2/Si substrates by using a pulsed laser deposition (PLD) method under a magnetic field. The X-ray diffraction (XRD) pattern shows a single-phase perovskite structure with no secondary phases, and (010) and (020) peaks slightly shift to lower angles in comparison with those of a BFO thin film prepared without a magnetic field. A columnar structure and small grain size were observed and the leakage current is slightly high in comparison with that of a BFO thin film prepared without a magnetic field. A polarization versus electric field (P-E) hysteresis loop was obtained at RT and the polarization at zero electric field is 50 μC/cm2. Ferroelectric domain switching corresponding to up and down polarization states was confirmed. An enhanced piezoelectric coefficient (d33) of about 100 pm/V has been obtained at a certain point. Ferroelectric and piezoelectric properties were affected by a columnar microstructure formed by magnetic field application. © 2012 The Japan Society of Applied Physics.

    DOI: 10.1143/JJAP.51.09MD05

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  • 球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ

    寒川 雅之, 植松 達也, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2012 ( 8 )   1 - 6   2012年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    添付ファイル: 球・円柱表面形状を用いた動的表面テクスチャ計測多軸触覚センサ.pdf

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  • Heterogeneous Integration of LSI Amplifier and the Tactile Sensor Using Stacking and through-Si-via Techniques 査読

    Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Material Research Society Symposium Proceedings   1427   2012年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    チップ積層により配線長を短くし、出力電圧の雑音を低減するため、触覚センサとIC増幅回路を集積化した。Auワイヤを用いた集積化により雑音を27.6mVから3.3mVに低減できた。これによりデバイスサイズ及び配線を削減し更なる高密度実装を可能とした。さらに、裏面へのIC増幅回路実装を可能とするためSi貫通電極を試作し、犠牲層エッチングプロセスとの整合性においてSi3N4を壁面絶縁層として用いることが有効であった。

    添付ファイル: proceedings-sohgawa-rev-120530.pdf

    DOI: 10.1557/opl.2012.1182

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  • Heterogeneous integration of LSI amplifier and the tactile sensor using stacking and through-Si-via techniques 査読

    Masayuki Sohgawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Materials Research Society Symposium Proceedings   1427   14 - 19   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    We have developed the tactile sensor using the microcantilevers with strain gauge film which can detect normal and shear forces simultaneously. In this work, the tactile sensor and the IC amplifier have been integrated heterogeneously to shorten the wire length by chip-on-chip stacking and reduce the noise in the output voltage. Standard deviation of the noise can be reduced from 27.6 mV to 3.3 mV by heterogeneous integration of the tactile sensor and the IC amplifier using Au wire bonding. By this heterogeneous integration, the device size and wiring numbers can be reduced, and installation of more sensors is allowed on fingertips of the robot. Moreover, through-silicon-via (TSV) holes were fabricated to mount an IC amplifier on the backside of the sensor chip, instead of using Au wires. Although TSV can be fabricated successfully, resistance to sacrificial etching process is problem. As a result, Si 3N4 used instead of SiO2 has improved insulation between TSVs. © 2012 Materials Research Society.

    DOI: 10.1557/opl.2012.1182

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  • Miniature ultrasonic and tactile sensors for dexterous robot

    Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Haruo Noma

    Transactions on Electrical and Electronic Materials   13 ( 5 )   215 - 220   2012年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers  

    Miniature ultrasonic and tactile sensors on Si substrate have been proposed, fabricated and characterized to detect objects for a dexterous robot. The ultrasonic sensor consists of piezoelectric PZT thin film on a Pt/Ti/SiO&lt
    inf&gt
    2&lt
    /inf&gt
    and/or Si diaphragm fabricated using a micromachining technique
    the ultrasonic sensor detects the piezoelectric voltage as an ultrasonic wave. The sensitivity has been enhanced by improving the device structure, and the resonant frequency in the array sensor has been equalized. Position detection has been carried out by using a sensor array with high sensitivity and uniform resonant frequency. The tactile sensor consists of four or three warped cantilevers which have NiCr or Si:B piezoresistive layer for stress detection. Normal and shear stresses can be estimated by calculation using resistance changes of the piezoresitive layers on the cantilevers. Gripping state has been identified by using the tactile sensor which is installed on finger of a robot hand, and friction of objects has been measured by slipping the sensor. © 2012 KIEEME.

    DOI: 10.4313/TEEM.2012.13.5.215

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  • Preparation of BiFe0.9Co0.1O3 Films by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field 査読

    Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9S2 )   09NB03   2011年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    0.4Tの磁場中でのレーザアブレーションによりBiFe0.9Co0.1O3(BFCO)薄膜をPt/TiO2/SiO2/Si基板上に成膜した。磁場無し成膜では350nm厚でグレイン状の形状を示すが、一方磁場中で成膜したBFCO膜は1μm厚で円柱状の結晶構造を示した。BFCO膜の漏れ電流密度は磁場無しの方が小さかった。どちらの場合でも80Kで飽和した分極ヒステリシスが得られ、また室温で弱い強磁性を示した。

    DOI: 10.1143/JJAP.50.09NB03

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  • Preparation of BiFe<inf>0.9</inf>Co<inf>0.1</inf>O<inf>3</inf> films by pulsed laser deposition under magnetic field 査読

    Jung Min Park, Fumiya Gotoda, Seiji Nakashima, Masayuki Sohgawa, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 9 PART 3 )   2011年9月

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    掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    BiFe0.9Co0.1O3 (BFCO) films have been prepared on Pt/TiO2/SiO2/Si substrates with a magnetic field of 0.4 T by pulsed laser deposition. BFCO films prepared under magnetic field show a single-phase perovskite structure with a little secondary phase, and their (010) and (020) peaks shift to lower angles than those of the film prepared without magnetic field. The BFCO film of about 1 μm thickness shows a columnar structure, although the BFCO film of about 350nm prepared without magnetic field shows a grain like structure. The leakage current density of the BFCO film prepared under magnetic field is much lower than that of the BFCO film prepared without magnetic field. The saturated P-E hysteresis loops of both BFCO films are obtained at 80 K, and the M-H hysteresis loops of both BFCO films show a weak ferromagnetism behavior at room temperature. © 2011 The Japan Society of Applied Physics.

    DOI: 10.1143/JJAP.50.09NB03

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  • NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化

    守口 祐介, 平嶋 大樹, 植松 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2011 ( 19 )   15 - 19   2011年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    カンチレバー構造を作製することにより、熱膨張差で起きる熱変形により歪みが変化し、見かけ上の抵抗温度係数になる。エラストマに埋め込むことで低減できるが、エラストマ自体も熱膨張を起こすのでそれによる影響もあり、見かけの抵抗温度係数をゼロにするのは難く、熱膨張の少ないエラストマ材料を用いる必要がある。NiCr組成を最適化したターゲットを用いスパッタリング製膜することで、安定して抵抗温度係数を低減できるようになった。

    添付ファイル: NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化 提出用.pdf

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  • Fabrication of a Flexible Array for Tactile Sensors with Microcantilevers and the Measurement of the Distribution of Normal and Shear Forces 査読

    Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 6 )   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    A Tactile sensor system consisting of elements with three microcantilevers embedded in a cylindrical elastomer has been fabricated by micro electromechanical systems (MEMS) technology. These sensor small size (3 x 4 mm(2)) chips are mounted on a flexible sheet, and thus the fabricated sensor array can be set even on a curved surface. In addition, the spacial distribution of normal and shear forces is obtained when two kinds of objects (an acrylic hemisphere and a brass cylinder) come in contact with the fabricated sensor shifted laterally. The distribution results appropriately reflect the surface shape of the object and give the behavior of the forces vector. (c) 2011 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM02

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  • Fabrication of a flexible array for Tactile sensors with microcantilevers and the measurement of the distribution of normal and shear forces 査読

    Daiki Hirashima, Tatsuya Uematsu, Masayuki Sohgawa, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 6 )   06GM02   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    A Tactile sensor system consisting of elements with three microcantilevers embedded in a cylindrical elastomer has been fabricated by micro electromechanical systems (MEMS) technology. These sensor small size (3 × 4mm2) chips are mounted on a flexible sheet, and thus the fabricated sensor array can be set even on a curved surface. In addition, the spacial distribution of normal and shear forces is obtained when two kinds of objects (an acrylic hemisphere and a brass cylinder) come in contact with the fabricated sensor shifted laterally. The distribution results appropriately reflect the surface shape of the object and give the behavior of the forces vector. © 2011 The Japan Society of Applied Physics.

    添付ファイル: MN10112.pdf

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM02

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  • Crosstalk Reduction of Tactile Sensor Array with Projected Cylindrical Elastomer over Sensing Element 査読

    Masayuki Sohgawa, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   50 ( 6 )   2011年6月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    A tactile sensor array covered by a projected cylindrical elastomer has been designed and fabricated for crosstalk reduction among sensor elements caused by the lateral deformation of the elastomer. The analysis of elastomer deformation by the finite element method showed that the optimal thickness of the flat elastomer between cylinders and the substrate is 50-100 mu m, because the sensor structure has not only a low crosstalk but also a high robustness. A tactile sensor array having the flat elastomer of 70 mu m thickness has little crosstalk and high robustness. (c) 2011 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM08

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  • Crosstalk reduction of tactile sensor array with projected cylindrical elastomer over sensing element 査読

    Masayuki Sohgawa, Tatsuya Uematsu, Wataru Mito, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 6 )   06GM08   2011年6月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    A tactile sensor array covered by a projected cylindrical elastomer has been designed and fabricated for crosstalk reduction among sensor elements caused by the lateral deformation of the elastomer. The analysis of elastomer deformation by the finite element method showed that the optimal thickness of the flat elastomer between cylinders and the substrate is 50-100μm, because the sensor structure has not only a low crosstalk but also a high robustness. A tactile sensor array having the flat elastomer of 70 μm thickness has little crosstalk and high robustness. © 2011 The Japan Society of Applied Physics.

    添付ファイル: MN10032.pdf

    DOI: 10.1143/JJAP.50.06GM08

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  • マイクロカンチレバー型触覚センサアレイによる把持状態の識別手法 査読

    水戸 和, 美馬 達也, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    計測自動制御学会論文集   47 ( 1 )   40 - 42   2011年1月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:計測自動制御学会  

    垂直力と剪断力双方を検知できる、エラストマに埋め込まれた傾斜マイクロカンチレバー3つを用いた触覚アレイセンサを設計・作製した。このセンサの出力を用い、把持状態の識別が可能であることを確認した。ロボットハンドが対象物体に対し「非接触」、「加圧しつつ把持」、「一定の力で把持」、「滑り」という4種類の状態を2つのセンサ素子の出力を用いて精度良く識別できることを示した。

    DOI: 10.9746/sicetr.47.40

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    その他リンク: http://ci.nii.ac.jp/naid/10027787570

  • Fabrication of tactile sensor array using microcantilever with low-TCR nickel-chromium alloy thin film for slippage detection

    M. Sohgawa, D. Hirashima, Y. Moriguchi, T. Uematsu, W. Mito, T. Kanashima, M. Okuyama, H. Noma

    EUROSENSORS XXV   25   627 - 630   2011年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:ELSEVIER SCIENCE BV  

    A tactile sensor has been fabricated using NiCr-thin-film strain gauge with low noise by surface micromachining and slippage has been detected by using the tactile sensor. NiCr alloy thin film of Cr: 75wt% has very low temperature coefficient of resistance (TCR) and is employed for suppressing the temperature noise and drift. The fabricated tactile sensor with NiCr thin film (Cr: 75wt%) has linear dependences of the resistance on normal and shear forces, and shows lower noise and temperature drift than that with conventional NiCr (Cr:20wt%). Normal and shear forces measured by fabricated sensor well coincide with applied forces with errors of 3-3.5 kPa. Moreover, detection of slippage between the robotic hand and an acrylic object was detected by using fabricated tactile sensor array, and slipping condition can be judged at the rate of 76.5%. (C) 2011 Published by Elsevier Ltd.

    DOI: 10.1016/j.proeng.2011.12.156

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  • Ferroelectric properties of Bi1.1Fe1-xCo xO3 thin films prepared by chemical solution deposition using iterative rapid thermal annealing in N2 and O2 査読

    Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama

    Japanese Journal of Applied Physics   49 ( 9 )   09MB05   2010年9月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Ferroelectric Bi1:1Fe1-xCoxO3 (BFCO) thin films with x = 0-0:3 have been prepared on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by chemical solution deposition (CSD) using iterative rapid thermal annealing (RTA) in nitrogen and oxygen. The crystallization of the rhombohedral structure of BiFeO3 (BFO) is observed clearly in all thin films, and a monoclinic Bi2O3 phase is also observed and is markedly larger in Co-doped BFO thin films than in BFO thin films. An electric field of 2MV/cm is applied to the Bi1.1Fe0.9Co0.1O 3 thin film annealed in nitrogen at 520 °C without dielectric breakdown, but its polarization versus electric field (P-E) hysteresis loops are not saturated owing to its high leakage current density. The Bi1.1 Fe0.8Co0.2O3 thin film prepared at 520 °C in oxygen shows a very good saturation of P-E hysteresis loops at room temperature (RT) at the low leakage current of about 8:7 × 10 -3A/cm2 under a high electric field of 1.5MV/cm. The leakage current at a low electric field may be Ohmic emission at any temperature
    however at a high electric field, it may be attributed to tunnel emission at 80 K and Schottky emission at RT. © 2010 The Japan Society of Applied Physics.

    DOI: 10.1143/JJAP.49.09MB05

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  • 触覚センサアレイを用いたHMMによる把持面状態の識別手法(感性情報処理とマルチメディア技術および一般)

    水戸 和, 山添 大丈, 吉田 俊介, 多田 昌裕, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 野間 春生

    映像情報メディア学会技術報告   34 ( 18 )   39 - 42   2010年5月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人映像情報メディア学会  

    我々は,3つのマイクロカンチレバーをエラストマに埋め込んだ構造からなる超小型触覚センサの開発をしてきた.このセンサは圧力とせん断力を同時計測可能で高密度集積が可能であるという特徴を持つ.本稿ではこのセンサを用いたセンサアレイと隠れマルコフモデル(HMM)を用いた機械学習とを組み合わせ,ロボットハンドによる物体の把持状態識別手法として提案している.そして,実験の結果,従来用いられてきた単一のセンサによる識別手法に比較し,センサアレイを用いることにより一定の識別精度向上が実現された.

    DOI: 10.11485/itetr.34.18.0_39

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  • Ferroelectric Properties of Bi1.1Fe1-xCoxO3 Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition Using Iterative Rapid Thermal Annealing in N-2 and O-2 査読

    Nguyen Truong Tho, Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Dan Ricinschi, Minoru Noda, Masanori Okuyama

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   49 ( 9 )   2010年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    Ferroelectric Bi1.1Fe1-xCoxO3 (BFCO) thin films with x = 0-0.3 have been prepared on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by chemical solution deposition (CSD) using iterative rapid thermal annealing (RTA) in nitrogen and oxygen. The crystallization of the rhombohedral structure of BiFeO3 (BFO) is observed clearly in all thin films, and a monoclinic Bi2O3 phase is also observed and is markedly larger in Co-doped BFO thin films than in BFO thin films. An electric field of 2 MV/cm is applied to the Bi1.1Fe0.9Co0.1O3 thin film annealed in nitrogen at 520 degrees C without dielectric breakdown, but its polarization versus electric field (P-E) hysteresis loops are not saturated owing to its high leakage current density. The Bi1.1Fe0.8Co0.2O3 thin film prepared at 520 degrees C in oxygen shows a very good saturation of P-E hysteresis loops at room temperature (RT) at the low leakage current of about 8.7 x 10(-3) A/cm(2) under a high electric field of 1.5 MV/cm. The leakage current at a low electric field may be Ohmic emission at any temperature; however at a high electric field, it may be attributed to tunnel emission at 80 K and Schottky emission at RT. (C) 2010 The Japan Society of Applied Physics

    DOI: 10.1143/JJAP.49.09MB05

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  • 3方向カンチレバーを用いた多軸触覚センサの作製と基礎特性 査読

    橘 弘人, 釜鳴 志朗, 美馬 達也, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生, 樋口 誠良

    電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)   130 ( 6 )   223 - 229   2010年

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    これまで1素子に4つのカンチレバーを用いていたのを3つに減らした触覚センサを設計・作製した。傾斜カンチレバーはポリマー/NiCr/SiN/Siの積層構造を持ち、垂直力と剪断力はカンチレバーの変形によるNiCr薄膜の抵抗変化として検出する。作製した触覚センサは垂直力と剪断力双方に対して線形な抵抗変化を示した。さらに、3つのカンチレバーの抵抗変化から印加した垂直力と剪断力2軸の計3軸の力を求めることを可能とした。

    添付ファイル: E部門誌投稿論文rev100217.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.130.223

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  • Gripping status classification using an array of micro cantilever type tactile sensor

    Mito Wataru, Yamazoe Hirotake, Yoshida Shunsuke, Tada Masahiro, Sohgawa Masayuki, Kanashima Takeshi, Okuyama Masanori, Noma Haruo

    The Abstracts of the international conference on advanced mechatronics : toward evolutionary fusion of IT and mechatronics : ICAM   2010   351 - 354   2010年

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    記述言語:英語   出版者・発行元:一般社団法人日本機械学会  

    We have designed and fabricated a tactile sensors array with three inclined micro-cantilevers on a single sensor embedded in elastomer. Each sensor element can detect both normal and shear stress. In this paper, we propose classification method of gripping status using sensor array and a machine learning algorithm. By integrating multiple sensor data using machine learning algorithm, our method allows to detect partial slipping on contact surface as an initial sign of slipping. Through experiments, we confirmed that our method achieves better classification ratio than existing methods using single sensor data.

    DOI: 10.1299/jsmeicam.2010.5.351

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  • MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製

    寒川 雅之, 金島 岳, 山下 馨, 野田 実, 奥山 雅則, 野間 春生

    電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス   109 ( 157 )   41 - 46   2009年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    エラストマー内に埋め込まれたマイクロカンチレバー構造を用いた圧力と剪断力を同時に計測できる多軸触覚アレイセンサの設計・作製を行った.Cr/Si二層構造を用いることで,圧力・剪断力双方で変形する傾斜形状のカンチレバーを作製できた.傾斜カンチレバー構造はエラストマー内に破損や変形なしに埋め込むことができ,表面の柔らかい触覚センサを実現できた.対向したカンチレバーの垂直圧力印加に対する出力は同符号となり,一方剪断力印加に対しては異符号となったので,出力の和・差分を取ることで圧力・剪断力を分離して計測可能であることを示した.また,剪断力の方向については,印加した方向のカンチレバーの出力電圧は大きく,それと垂直な方向のカンチレバーは小さかったため,これらの出力から剪断力の方向を検知することができると考えられる.

    添付ファイル: tecrep-sohgawa-rev.pdf

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  • 集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

    橘 弘人, 釜鳴 志郎, 松浦 宏俊, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2009 ( 16 )   97 - 102   2009年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    触覚センサの出力安定性はスパッタリングで成膜したNiCrを用いることで大きく改善できたが、さらなる安定化を目指してNiCrの組成比をコントロールすることで抵抗温度係数の低減を試みた。NiとCrのターゲットの面積比を変えることで様々な組成の薄膜を作製し、温度特性や結晶性等を調べた結果、Crの量が40~60%のときに温度係数が小さくなることが分かった。

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  • Stability improvement of tactile sensor of normal and shear stresses using Ni-Cr thin film gauge 査読

    Hiroyuki Onishi, Masayuki Sohgawa, Hiroto Tachibana, Yu Ming Huang, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Haruo Noma

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   129 ( 11 )   7 - 416   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Tactile sensor consisted of micro-cantilevers has been developed to detect both normal and shear stresses, and have human-friendly surface. NiCr thin film is used as strain gauge having low resistance drift, although Si piezo-resistance gauge shows the large resistance drift induced by large temperature coefficient of resistance (TCR) and its output is unstable. TCRs of NiCr films prepared by vacuum evaporation and sputtering (at RT and 600°C) are 0.054%, 0.082%, and 0.0065%, respectively, and are much lower than that of Si, 0.25%. As a result, reduction of resistance drift and stabilization of the sensor have been obtained by using NiCr thin gauge. © 2009 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

    添付ファイル: 2008_main_page.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.129.411

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  • Tactile array sensor with inclined chromium/silicon piezoresistive cantilevers embedded in elastomer

    M. Sohgawa, T. Mima, H. Onishi, T. Kanashima, M. Okuyama, K. Yamashita, M. Noda, M. Higuchi, H. Noma

    TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   284 - 287   2009年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    Tactile array sensor of the micro-cantilevers embedded in the elastomer has been fabricated to detect normal and 2-axes shear stresses. It is demonstrated that tactile array sensor with 3 x 3 detective elements can be fabricated with excellent yield. The sensor element is sensitive to both normal and shear stresses applied on entire sensor surface. Moreover, it has good directional characteristics so that it is shown that magnitude and direction of shear stress can be obtained by difference of output voltages of adjacent sensor cantilevers. The sensor output has good reproducibility for multiple measurement. The output from sensor element drastically changes with shifting applying position of force. It is considered that we can obtain pressed position from distribution of output from sensor element array. ©2009 IEEE.

    添付ファイル: PID857986.pdf

    DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285509

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  • NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化

    黄 裕銘, 寒川 雅之, 大西 浩之, 金島 岳, 奥山 雅則, 山下 馨, 野田 実, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2008 ( 7 )   31 - 34   2008年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    これまでポリマー/Siカンチレバー型触覚センサの検知部としてはPtひずみゲージを用いていたが、抵抗の温度依存性が大きく出力に大きなドリフトが表れていた。そこで温度係数の小さいNiCr薄膜を用いて温度特性を改善し高分解能化を試みた。真空蒸着により作製したNiCrひずみゲージはバルク材料に比べれば大きいものの、Ptに比較すれば温度係数を1/3に低減できた。

    添付ファイル: PHS-08-13.pdf

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  • Fabrication and normal/shear stress responses of tactile sensors of polymer/Si cantilevers embedded in PDMS and urethane gel elastomers 査読

    Yu Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Minoru Noda, Haruo Noma

    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines   128 ( 5 )   193 - 197   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    Cantilever-type tactile sensors of silicon-polymer beam structures were fabricated by surface micromachining and covering with elastomers. Two kinds of elastomers with different Young's modulus PDMS and urethane gel have been used to control deflection of the cantilevers and adjust the sensitivity cantilever-type tactile sensors. The resistance change of the sensor with PDMS has linear dependence on normal and shear stresses, but that of the sensor with urethane gel is nonliner to normal and shear stresses. However, the sensitivity of urethane gel type sensor is about 30 times larger than PDMS type sensor. © 2008 The Institute of Electrical Engineers of Japan.

    添付ファイル: IEEJ E paper temp2.pdf

    DOI: 10.1541/ieejsmas.128.193

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  • Fabrication and characterization of normal and shear stresses sensitive tactile sensors by using inclined mcro-cantilevers covered with elastomer 査読

    Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

    MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES   1052   151 - +   2008年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:MATERIALS RESEARCH SOC  

    Tactile sensors of Si microcantilevers with a piezoresistive layer have been proposed for detection of both normal and shear stresses. Micro-cantilevers were fabricated by the surface micromachining of SOI wafers and were adequately inclined by controlling deflection with a Cr layer. The cantilevers were embedded in the PDMS elastomer to create a human-friendly surface. When a stress is applied to the surface of elastomer, the deformation of the cantilevers along with the elastomer is detected as a resistance change in the piezoresistive layer of the cantilevers. The piezoresistive response of the cantilever was analyzed by FEM calculations. The fabricated tactile sensor is sensitive to both normal and longitudinal shear stresses and its responses agree closely with the calculated value. Moreover, it has little sensitivity to shear stress in the transverse direction to the cantilever, which means that the tactile sensor can. distinguish the direction of shear stress. This sensor can be utilized for tactile sensing in human support robots.

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  • Fabrication and Characterization of Normal and Shear Stresses Sensitive Tactile Sensors by Using Inclined Micro-cantilevers Covered with Elastomer 査読

    Masayuki Sohgawa, Yu-Ming Huang, Minoru Noda, Takeshi Kanashima, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Masaaki Ikeda, Haruo Noma

    Material Research Society Symposium Proceedings   1052   151 - 156   2007年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    垂直力・剪断力双方を検知するためのピエゾ抵抗層を形成したSiマイクロカンチレバーを用いた触覚センサを提案した。カンチレバーは表面マイクロマシニングで作製し、Cr層により適度な傾斜形状に制御した。外力がカンチレバーを埋め込んだエラストマ表面に印加された時、それに伴うカンチレバーの変形をピエゾ抵抗変化として検知する。作製した触覚センサは有限要素法による解析結果と同様、垂直力と剪断力双方に対し感度を持つ。

    添付ファイル: rad93B69.pdf

    DOI: 10.1557/PROC-1052-DD04-07

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  • 適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価

    寒川 雅之, 黄 裕銘, 金島 岳, 山下 馨, 奥山 雅則, 野田 実, 池田 正哲, 野間 春生

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会   2007 ( 14 )   47 - 50   2007年7月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

    ロボット用多軸触覚センサを試作し評価した。有限要素法による解析に基づき、力検知用のSiピエゾ抵抗を設けたCr/Siカンチレバー構造を最適な傾斜形状に作製し、これをエラストマ中に埋め込むことでセンサ素子を完成した。作製したセンサ表面に垂直力と剪断力を印加したところ、どちらに対しても感度が得られ、多軸触覚センサが実現可能であることを示した。

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  • Fabrication and characterization of silicon-polymer beam structures for cantilever-type tactile sensors

    M. Sohgawa, Y. -M. Huang, K. Yamashita, T. Kanashima, M. Noda, M. Okuyama, H. Noma

    TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2   1461 - 1464   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    Silicon-fluoropolymer beam structures for cantilever-type tactile sensors have been fabricated and characterized. Curvature shape and tip height of fabricated cantilever agree well with theoretical calculated results. The deposition condition of polymer layer has been optimized in terms of process yield and tip height. The optimal thickness and curing temperature are 4-5 mu m and 200 degrees C for 1.5 mu m thick Si, respectively. The response of the tactile sensor with PDMS elastomer has been investigated against pressure. Although resistance of the platinum strain gauge has large temperature drift, it is obviously proportional to pressure, so that it becomes evident that the pressure can be detected by tactile sensor embedded in the elastomer.

    添付ファイル: PID370781.pdf

    DOI: 10.1109/SENSOR.2007.4300420

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  • Studies on curvature deformation control of bilayer cantilever fabricated by surface micromachining of SOI wafer 査読

    Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    HETEROGENEOUS INTEGRATION OF MATERIALS FOR PASSIVE COMPONENTS AND SMART SYSTEMS   969   119 - +   2007年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:MATERIALS RESEARCH SOC  

    Cr/Si bilayer cantilevers for an integrated multi-axis tactile sensor were fabricated by Si surface micromachining process. Among the cantilevers with various shapes, the rectangular and semicircular cantilevers were deflected upward with good controllability. The maximum deflections were compared with those calculated by the finite element method. Calculated deflections of Cr/Si cantilevers agree considerably with the experimental results. So, it is considered that the analysis by finite element method is useful to optimize layer thickness and size to obtain Cr/Si bilayer cantilevers with accurate deflection.

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  • Studies on Curvature Deformation Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining of SOI Wafer 査読

    Yu-Ming Huang, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda, Kaoru Yamashita, Masanori Okuyama, Haruo Noma

    Material Research Society Symposium Proceedings   969   0969-W05-01   2006年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

    集積化多軸触覚センサ用Cr/Si積層カンチレバーを表面マイクロマシニングプロセスで作製した。様々な平面形状の中から矩形および半円形のものが制御性良く上反り立体形状を形成できた。カンチレバーの最大高さは有限要素法による解析結果とよく一致した。この結果より、有限要素解析はCr/Si積層カンチレバーの精密な立体形状を得るための各層の厚みやサイズを最適化するのに有効であると分かった。

    添付ファイル: MRSprocpublished.pdf

    DOI: 10.1557/PROC-0969-W05-01

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  • Contactless characterization of fixed charges in HfO(2) thin film from photorellectance 査読

    M Sohgawa, M Yoshida, T Naoyama, T Tada, K Ikeda, T Kanashima, A Fujimoto, M Okuyama

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS   44 ( 4B )   2409 - 2414   2005年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:JAPAN SOC APPLIED PHYSICS  

    Fixed oxide charges in HfO(2) thin films have been characterized by photoreflectance spectroscopy (PRS). HfO(2) films were deposited on Si by pulsed laser deposition (PLD) in N(2), O(2) and a Mixture of these gases. PRS spectral intensity decreases with increasing positive charge in a film. HfO(2) deposited in N(2) has larger positive charges than that deposited in O(2) because of smaller PRS spectral intensity of the former. It is confirmed by ArF laser irradiation that this positive charge is caused by oxygen defects in HfO(2). Moreover, the effects of rapid thermal annealing (RTA) on HfO(2)/Si have been evaluated by PRS. The PRS spectral intensity becomes maximum by RTA at 600 degrees C in N(2) or O(2) It is suggested that the suitable temperature for the RTA of the HfO(2)/Si structure prepared by PLD is 600 degrees C.

    添付ファイル: paper-engrev.pdf

    DOI: 10.1143/JJAP.44.2409

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  • フォトレフレクタンス分光法による誘電体-シリコン構造の評価に関する研究

    寒川 雅之

    2005年3月

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    記述言語:英語   掲載種別:学位論文(その他)  

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  • Electrodeless characterization of memorized states of MFIS structure by photoreflectance spectroscopy 査読

    M Sohgawa, M Yoshida, T Kanashima, M Okuyama

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   46 ( 1 )   262 - 264   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:KOREAN PHYSICAL SOC  

    SrBi2Ta2O9 (SBT)/SiO2/Si structures have been characterized by photoreflectance spectroscopy (PRS) without electrode formation. SBT film was deposited on SiO2/n-Si by the metal-organic decomposition (MOD) method and annealed in O-2 atmosphere at 600degreesC. The voltage was applied by attaching ITO transparent electrodes during PRS measurement. The PRS spectral intensity of SBT/SiO2/Si structure has hysteresis characteristics as well as a C-V curve. Additionally, the spectral intensity gradually decreases with time, in a similar way to reduction of the capacitance. These results mean that the spectral intensity indicates the ferroelectricity of SBT film in SBT/SiO2/Si structure, so that it is considered that characterization of MFIS structure without electrode can be measured by PRS.

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  • Electrodeless Characterization of Memorized States of MFIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 査読

    Masayuki Sohgawa, Masato Yoshida, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    Journal of Korean Physical Society   46 ( 1 )   262 - 264   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    SrBi2Ta2O9(SBT)/SiO2/n-Si積層構造をphotoreflectance分光法(PRS)により電極形成なしに評価した。試料にITO電極を接触し電圧を印加しつつPRSを測定した。スペクトル強度は静電容量特性と同様のヒステリシス特性を持つ。さらに強度は静電容量の減少に伴い時間とともに減少した。この結果は積層構造中の強誘電性をPRSにより電極形成せず測定できることを示している。

    添付ファイル: KJC-FE5_proc_sohgawa_rev.pdf

    DOI: 10.3938/jkps.46.262

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  • Electron Spin Resonance Characterization of Defects in High-k HfO2 Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition 査読

    Takeshi Kanashima, Koji Ikeda, Taizo Tada, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

    Journal of Korean Physical Society   46 ( 1 )   258 - 261   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    レーザアブレーション法によりO2雰囲気中、400℃でHfO2薄膜を成膜し、ESRにより膜中の欠陥を評価した。g~2.006のピーク強度はターゲット-試料間の距離が近いほうが大きかった。これは基板や薄膜が成膜中に高エネルギーの粒子にさらされ、ダメージを受けたためである。さらにこのピークは界面準位密度にも関連している。一方、g~2.003のピークは界面層中の欠陥に起因するものと考えられる。

    DOI: 10.3938/jkps.46.258

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  • Electron spin resonance characterization of defects in high-k HfO2 thin film prepared by pulsed laser deposition 査読

    T Kanashima, K Ikeda, T Tada, M Sohgawa, M Okuyama

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   46 ( 1 )   258 - 261   2005年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:KOREAN PHYSICAL SOC  

    High-k HfO2 thin films have been prepared mainly at 400degreesC in O-2 atmosphere by pulsed laser deposition (PLD), and defects in the film have been characterized by electron spin resonance (ESR). Two ESR peaks are found at 9 similar or equal to 2.003 and 2.006. The g similar or equal to 2.006 peak intensity is higher in the sample deposited at target-sample distance of 45 mm than in that deposited at 60 mm. This is because part of the substrate and the film are exposed to high-energy particles ablated during deposition and are hence damaged. Moreover, the peak at g similar or equal to 2.006 is related to the interface state density calculated from the high-frequency C - V curve. On the other hand, the peak at g similar or equal to 2.003 is related to the thickness of the interfacial layer, and thus may be attributed to defects in the interfacial layer.

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  • PRSによるHigh-kゲート絶縁膜中の固定電荷の評価

    寒川 雅之, 金島 岳, 吉田 真人, 多田 泰三, 奥山 雅則, 藤本 晶

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 510 )   25 - 30   2004年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    High-kゲート絶縁膜としてが注目されているHfO_2膜の非接触測定フォトレフレクタンス(PRS)スペクトル強度を膜中電荷に対応づけ,種々の評価と比較検討された.フォトレフレクタンススペクトル強度はSi表面電界に比例するため,膜中に正の電荷が存在すると強度が減少することから膜中の電荷を評価することができる.使用したHfO_2膜はPulsed laser deposition(PLD)法によりSi基板上に酸素,窒素及びその混合ガス中で作製した.窒素中で作製したものは酸素雰囲気中で作製したものよりも多くの正電荷を含むと思われる.またArFエキシマレーザを照射することで正電荷が増加し,これは酸素が抜けたとに対応すると考えられる.また,raoid thermal annealing(RTA)による変化を調べたところ,600℃以上ではPRS信号強度が大きくなることが見られ,膜中電荷が減少したことを示している.

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  • ESRによるHfO2薄膜の欠陥評価

    金島 岳, 池田 幸司, 多田 泰三, 寒川 雅之, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   104 ( 135 )   43 - 48   2004年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Hf0_2薄膜をレーザーアブレーション法(PLD)により作製し,その電気的特性およびESRによる欠陥評価を行った.ESRスペクトルにはg&amp;sime;2.006,2.003付近に顕著な2つのピークが見いだされた.g&amp;sime;2.006のピークはPLD製膜時に雰囲気ガス圧力を下げる,またはターゲットー基板間距離を短くすることで小さくなる.PLD製膜においてアブレートされた飛来粒子の運動エネルギー小さくすることで基板ダメージが減少すると考えられることから,このピークは界面欠陥に起因すると考えられる.g&amp;sime;2.003付近のピークは,ArFエキシマレーザを照射することでピーク強度が増大し,異方性を持たない.また,製膜時の酸素分圧を大きくすることで大きくなり,界面遷移層かHf0_2膜中の酸素に関係した欠陥が原因と考えられる.

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  • Characterization of ferroelectric thin film/SiO2/Si structure by photoreflectance 査読

    Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Takeshi Kanashima, Akira Fujimoto, Masanori Okuyama

    Ferroelectrics   303 ( 1 )   119 - 123   2004年1月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    SrBi2Ta2O9(SBT)/SiO2/n-Si stacked structures have been characterized by photoreflectance spectroscopy (PRS). The spectrum near E1 critical point energy is enhanced by deposition of SBT film. Annealing effect of the spectral intensity corresponds to that of (115) peak in XRD pattern of SBT film. Moreover, the PRS intensity increases when SBT film is poled by negative voltage. These spectral changes depend on the Si surface potential increase induced by remanent polarizations in the SBT film. The Si surface potential increase is 0.05 eV for -3 V poling. Critical point energy was estimated by peak positions of the PRS and large tensile stress is increased by the poling. It has been found that the spectral intensity closely corresponds to the ferroelectricity of the SBT film.

    添付ファイル: proceedings.pdf

    DOI: 10.1080/00150190490452929

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  • PLDにより製膜したHf酸化物の界面評価

    金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 吉田 真人, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   103 ( 533 )   51 - 56   2003年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されるHfO2薄膜をレーザアブレーション法により作製し、その電気的および光学的手法による評価を行った。基板温度および酸素分圧を変化させて製膜しI-V、C-V特性を解析したところ基板温度400℃で0.2Torrの酸素中で製膜することで界面準位密度の低減およびフラットバンドシフト量の改善がみられた。

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  • Characterization of ZrO2 and PrOx thin films for high-k gate insulator prepared by pulsed laser deposition 査読

    T Kanashima, M Sohgawa, H Kanda, K Ikeda, M Okuyama

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   42   S1357 - S1361   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:KOREAN PHYSICAL SOC  

    High-k thin films of ZrO2, PrOx of similar to10 nm thickness have been prepared by pulsed laser deposition, and characterized in microscopic structure and electrical properties. Crystallization is promoted in ZrO2 films deposited above 400 degreesC, but a significant XRD peak was not observed in the ZrO2 film grown below 400 degreesC. The leakage current is decreased by increasing growth temperature, but all equivalent-oxide thickness (EOT) obtained from accumulation capacitance of C-V characteristics becomes large. The films deposited at 400 degreesC were annealed at 400 degreesC in O-2 gas to reduce the leakage. The leakage current change to be small, but the EOTs become large. Oxygen radical annealing is carried out to reduced the leakage, and is effective for ZrO2 thin film. Oil the other hand. only small improvement is observed ill the PrOx films.

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  • Characterization of Si Interface in FIS Structure by Photoreflectance Spectroscopy 査読

    Hirofumi Kanda, Masayuki Sohgawa, Yoshihide Toyoshima, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Akira Fujimoto

    Journal of Korean Physical Society   42   1072 - 1075   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    SiO2/Si基板上に強誘電性SrBi2Ta2O9(SBT)薄膜をレーザアブレーション法により成膜した。この強誘電体-絶縁膜-半導体構造中におけるSiO2/Si界面をphotoreflectance分光法(PRS)により非破壊で評価した。その結果、SBT成膜により引張応力が増加し、またその増加はSBT膜厚に依存する。さらに強誘電体薄膜に分極処理を行ったときに、処理電圧に比例して応力が減少した。

    DOI: 10.3938/jkps.42.1072

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  • Characterization of ZrO2 and PrOx Thin Films for High-k Gate Insulator Prepared by Pulsed Laser Deposition 査読

    Takeshi Kanashima, Masayuki Sohgawa, Hirofumi Kanda, Koji Ikeda, Masanori Okuyama

    Journal of Korean Physical Society   42   1357 - 1361   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    レーザアブレーション法で成膜したZrO2、PrOx薄膜の微細構造と電気特性を評価した。400℃以下で成膜したZrO2薄膜は結晶化しない。漏れ電流は成膜温度を上げるに伴い減少したが、静電容量特性から求めたSiO2換算膜厚は大きくなった。400℃で成膜した薄膜のO2中熱処理により漏れ電流は減少したが換算膜厚は増えた。O2ラジカル処理はZrO2の漏れ電流を減らすのに有効であったが、PrOxでは改善効果はわずかであった。

    添付ファイル: kps.pdf

    DOI: 10.3938/jkps.42.1357

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  • Characterization of Si interface in FIS structure by photoreflectance spectroscopy 査読

    H Kanda, M Sohgawa, Y Toyoshima, T Kanashima, M Okuyama, A Fujimoto

    JOURNAL OF THE KOREAN PHYSICAL SOCIETY   42 ( SUPPL. )   S1072 - S1075   2003年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:KOREAN PHYSICAL SOC  

    SrBi2Ta2O9(SBT) thin film grown on SiO2/Si by a pulsed laser deposition was evaluated by photoreflectance spectroscopy (PRS) which is one of the non-destructive techniques to characterize an interface. The stress of a SiO2/Si interface of ferroelectric-insulator-semiconductor (FIS) structure has been evaluated by using this method. As a result, there is a tensile stress which is larger than that before deposition, and the stress becomes large according to increasing SBT thickness. Moreover, when ferroelectric thin film is poled, the stress becomes small with increase of the voltage.

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  • High-k PrOxゲート絶縁膜の電気的・光学的特性

    金島 岳, 寒川 雅之, 池田 幸司, 神田 浩文, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   102 ( 540 )   45 - 49   2002年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されているPrOxの薄膜をレーザーアプレーション法(PLD)により作製し、その電気的および光学的手法による評価を行った。試料は基板温度400℃で0.2 Torrの酸素雰囲気中で製膜し、特性改善のためにRTAによりポストアニールを行った。その結果、低温・短時間のアニールでは蓄積側の容量が増加することが見られたが、高温・長時間のアニールでは減少し、また高温では60秒の比較的短かい時間でも界面に遷移層が形成されることが分った。400℃の20秒および60秒のRTAでは膜中固定電荷は減少するものの界面準位は増加することが見られた。界面ストレスをフォトレフレクタンス分光法(PRS)により評価した。その結果、製膜直後は、Si/SiO_2より小さいが、600℃以上のアニールにより自然酸化膜と同じ程度の値となった。またPRSのピーク強度より界面に酸化層が形成されていることが示唆された。

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  • Preparation by pulsed laser deposition and characterization of ZrO2, HfO2 and PrOx thin films for high-k gate insulator

    T Kanashima, S Kitai, M Sohgawa, H Kanda, M Okuyama

    ISAF 2002: PROCEEDINGS OF THE 13TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON APPLICATIONS OF FERROELECTRICS   199 - 202   2002年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:IEEE  

    High-k thin films of ZrO2, HfO2 PrOx, of similar to10 nm thickness have been prepared by pulsed laser deposition (PLD), and characterized in microscopic structure and electrical properties. Crystallization is promoted in ZrO2 films deposited above 400degreesC, but a significant XRD peak was not observed in the ZrO2 film grown below 400degreesC. Moreover, density of the film is confirmed to saturate above 400degreesC by grazing incident angle X-ray reflectance. The leakage current is decreased by increasing growth temperature, but an equivalent-oxide thickness (EOT) obtained from accumulation capacitance of C - V characteristics becomes large. HfO2 films show the similar behaviors to ZrO2 films. The films deposited at 400degreesC were annealed at 400degreesC in O-2 gas to reduce the leakage, but the EOTs become large. So, these films were irradiated with oxygen radical at the pressure of 10(-3) Pa both to prevent the growth of interfacial layer and to enhance the oxidation of only the films. Although the leakage of ZrO2 films can be reduced by oxygen radical irradiation, only small improvement is observed in the PrOx films.

    添付ファイル: IFFF2002proc_kanashima.pdf

    DOI: 10.1109/ISAF.2002.1195904

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  • PrOxゲート絶縁膜のPLD法による作製

    北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 515 )   11 - 16   2001年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    次世代High-kゲート絶縁膜材料として期待されているPrO_xの薄膜をレーザーアブレーション法により作製し、その基礎物性評価を行った。界面遷移層の成長を防ぐため、室温において雰囲気ガスの導入なしに製膜を行い、界面層の成長がほとんどないPrO_x薄膜が作製されたが、ヒステリシス、リーク電流が大きかった。アニールによりこれらの特性は改善したが、界面層の成長は防ぐことができなかった。ターゲット基板間にマスクを挿入し製膜を行い、従来の酸素雰囲気中でのPLDと比べ比較的平坦な薄膜の作製に成功した。さらに、基板間距離60mmで製膜を行った薄膜においてもっとも優れた電気的特性が得られており、薄膜の特性にはアブレートされた粒子のエネルギーが関係していることが示唆された。

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  • フォトレフレクタンス分光法によるSiの表面応力の非接触・非破壊評価

    藤本 晶, 寒川 雅之, 金島 岳, 奥山 雅則

    和歌山工業高等専門学校研究紀要   ( 36 )   15 - 19   2001年10月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(大学,研究機関等紀要)   出版者・発行元:和歌山工業高等専門学校  

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  • PrOx高誘電率ゲート絶縁膜のPLDによる作製と評価

    北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

    電気学会電子材料研究会資料   EFM-01 ( 6-13 )   43 - 47   2001年9月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)  

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  • ZrO2高誘電率ゲート絶縁膜のPLDによる作製と評価

    北井 聡, 寒川 雅之, 神田 浩文, 金島 岳, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   101 ( 108 )   19 - 24   2001年6月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    次世代高誘電率ゲート酸化膜として、レーザアブレーションによりHigh-kのZrO_2薄膜を作製した。400℃の製膜において比較的平坦な非結晶薄膜が得られることを確認した。SiO_2換算膜厚(EOT)2.7nmのZrO_2に、ラジカル酸素アニール処理を施すことで蓄積容量の低下なくリーク電流密度を改善でき、1 MV/cm下において約1x10^&lt;-7&gt; A/cm^2を得た。高誘電体/Si界面についてフォトレフレクタンスにより調べたところ、Siの3.4eV付近のスペクトルのシフトを捉えることに成功した。MODで作製したZrO_2によるZrO_2/Si構造においてはSi表面の歪みが小さいことを示唆する結果を得た。

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  • Nondestructive and contactless monitoring technique of Si surface stress by photoreflectance 査読

    M Sohgawa, M Agata, T Kanashima, K Yamashita, K Eriguchi, A Fujimoto, M Okuyama

    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS   40 ( 4B )   2844 - 2848   2001年4月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:INST PURE APPLIED PHYSICS  

    Strain and stress at the Si surface have been studied by photoreflectance (PR) spectroscopy. A Si diaphragm structure has been fabricated in order to produce the surface strain caused by N-2 gas pressure which changes the PR spectra of the Si diaphragm. The transition energy obtained from the PR peak energy of approximately 3.4 eV is proportional to the surface stress, which is calculated by elastic analysis. Additionally, PR spectroscopy was applied to measure stress at the interface between the Si and thermal oxide. As the SiO2 growth temperature increases, the interface stress decreases. From our experimental results, it is considered that PR spectroscopy is effective as a contactless and nondestructive monitoring technique for Si surface stress.

    DOI: 10.1143/JJAP.40.2844

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  • Preparation and characterization of ZrO2/Si structure 査読

    M. Sohgawa, S. Kitai, H. Kanda, T. Kanashima, A. Fujimoto, M. Okuyama

    Extended Abstracts of International Workshop on Gate Insulator, IWGI 2001   170 - 173   2001年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.  

    In this paper, we have prepared ZrO2 and lanthanide oxide thin films by PLD (Pulsed Laser Deposition) method and characterized these electrical properties by using C-V and J-V characteristics and these interfacial properties by using PR spectroscopy.

    添付ファイル: PROCEEDINGS-1.PDF

    DOI: 10.1109/IWGI.2001.967576

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  • Optical characterization of antenna-area-dependent gate oxide charging damage in MOS capacitors by photoreflectance spectroscopy 査読

    M Agata, M Sogawa, O Maida, K Eriguchi, A Fujimoto, T Kanashima, M Okuyama

    2000 5TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA PROCESS-INDUCED DAMAGE   97 - 100   2000年

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)   出版者・発行元:AMERICAN VACUUM SOCIETY NORTHERN CALIFORNIA CHAPTER  

    Thin gate oxide charging damage has been studied by photoreflectance (PR) spectroscopy in MOS structure samples. Antenna-area-dependent oxide charging damage such as the generation of SiO2/Si interface states as well as that of electron trap sites in the oxides, has been also addressed by the decrease of the PR peak signal intensity from MOS capacitors, and also confirmed by the capacitance-voltage (C-V) characteristics.

    DOI: 10.1109/PPID.2000.870621

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  • フォトレフレクタンス分光法によるゲート酸化膜に導入されたチャージングダメージの光学的評価(半導体Si及び関連電子材料評価)

    阿形 眞司, 寒川 雅之, 毎田 修, 江利口 浩二, 藤本 晶, 金島 岳, 奥山 雅則

    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス   99 ( 491 )   75 - 80   1999年12月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(研究会,シンポジウム資料等)   出版者・発行元:一般社団法人電子情報通信学会  

    Arプラズマ照射によってチャージングダメージを与えられたMOS試料に対してフォトレフレクタンス(PR)分光法による評価を試みた。MOS構造におけるチャージングダメージとしてSiO_2/Si界面準位密度の増加と酸化膜中への電子捕獲が考えられ、ライフタイム及び高周波C-V特性でこれらを確認した。界面準位は表面ポテンシャル及びPR信号強度を減少させ、膜中電子はPR信号強度を増加させるが、PR信号強度はプラズマ照射により急峻に減少することからPR分光評価は主にSiO_2/Si界面に与えられる界面準位の増加と電子捕獲の情報を与えると考えられる。

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書籍等出版物

  • VR/AR 技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例

    技術情報協会( 担当: 分担執筆 ,  範囲: 第4章 第3節 超小形MEMS触覚センサの原理、特性と応用展開)

    技術情報協会  2021年6月  ( ISBN:9784861048500

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    総ページ数:576p   担当ページ:pp. 155-164   記述言語:日本語 著書種別:学術書

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  • 人工知能を用いた五感・認知機能の可視化とメカニズム解明

    技術情報協会( 担当: 分担執筆 ,  範囲: 第4章 第5節 力・光・温度複合検知超小型センサによる繊維製品の質感評価指標構築)

    技術情報協会  2021年6月  ( ISBN:9784861048494

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    総ページ数:533p   担当ページ:pp. 176-185   記述言語:日本語 著書種別:学術書

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  • 生体情報センシングデバイス ~センサ設計開発に求められる要素技術・課題と対策ノウハウ~

    寒川 雅之( 担当: 分担執筆 ,  範囲: 第8節 医療・ヘルスケア用センサの高付加価値化とMEMSを用いた小型化・コスト低減)

    情報機構  2018年5月  ( ISBN:9784865021509

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    総ページ数:260   担当ページ:165-177   記述言語:日本語 著書種別:学術書

    医療、ヘルスケア用センシングと高付加価値化について解説し、MEMS技術を用いたヘルスケアセンサの小型化・高精度化・低コスト化への取り組み例として、タンパク質検知のためのMEMSバイオセンサと柔軟物・皮膚性状計測のためのMEMS触覚センサについて紹介した。

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講演・口頭発表等

  • 指紋様表面形状をもつMEMS触覚センサによる物体質感評価

    岡固 創, 月山 陽介, 安部 隆, 寒川 雅之

    第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ   国名:日本国  

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  • ウェアラブル足裏荷重計測機器を用いた生体力学分析に基づく走行動作の評価

    船橋 佑, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 野方 誠, 野間 春生

    第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語  

    開催地:朱鷺メッセ   国名:日本国  

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  • 感圧導電性エラストマを複合化したMEMS触覚センサの作製と評価

    水戸部 龍介, 鄭 盈權, 安部 隆, 寒川 雅之

    第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ   国名:日本国  

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  • MEMS技術を応用した触覚センサの研究と社会実装への取り組み 招待

    寒川 雅之

    第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • ロボットハンドのためのMEMS触覚センサによる接触面のモーメント計測

    街道 一翔, 船橋 佑, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 野間 春生

    第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ  

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  • MEMS触覚センサを用いた液体下の滑りやすさと温冷感評価

    岩橋 拓磨, 安部 隆, 寒川 雅之

    第24回 公益社団法人 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会  2023年12月 

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    開催年月日: 2023年12月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:朱鷺メッセ   国名:日本国  

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  • Tactile Sensor Combining MEMS Cantilevers and Pressure-Sensitive Conductive Elastomer 国際会議

    Ryusuke Mitobe, Yingquan Zheng, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    34th 2023 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS 2023)  2023年11月 

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

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  • 樹脂コンパウンドの視覚・触覚複合計測のための光・温度検知素子集積化

    中村 眞子, 安部 隆, 寒川 雅之

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2023年11月  電気学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:日本国  

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  • 電解エッチング法を用いたチタン製マイクロメスの刃先形状の制御

    滝澤 勇貴, 栗田 政宗, 寒川 雅之, 安部 隆

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2023年11月  電気学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:日本国  

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  • 水晶発振回路式複素容量センサによるRC構造体内部の非破壊センシング

    横山 猛輝, 高橋 良輔, 岩本 啓吾, 寒川 雅之, 安部 隆

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2023年11月  電気学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:日本国  

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  • 質感検知に向けた指紋型表面触覚センサによるなぞり計測

    岡固 創, 月山 陽介, 安部 隆, 寒川 雅之

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2023年11月  電気学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:日本国  

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  • 鏡面加工が可能なチタン製マイクロ構造形成プロセスの開発

    大石 恭徳, 西村 哲登, 寒川 雅之, 安部 隆

    第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2023年11月  日本機械学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:日本国  

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  • 支持基板上ATカット水晶振動子の励振電極形状の最適化

    新田 智也, 諸橋 奎人, 安田 倉土, 寒川 雅之, 安部 隆

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2023年11月  電気学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:アルバ  

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  • 横感度を利用したCr-N薄膜ひずみゲージの設計とそれを用いた触覚センサの試作評価

    木下 萌香, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2023年11月  日本機械学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:日本国  

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  • 水晶発振回路式複素容量センサによる乳化状態のモニタリングシステムの開発

    川口 大輔, 奥脇 琢朗, 寒川 雅之, 安部 隆

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2023年11月  電気学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール  

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  • エラストマシート封止MEMS触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性

    若林 陽彩, 南部 泰生, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2023年11月  電気学会

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    開催年月日: 2023年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:熊本城ホール   国名:アルバ  

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  • 触覚センサ用カンチレバー型検知素子のCr-N薄膜横感度を利用した小型化

    木下 萌香, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    令和5年電気学会基礎・材料・共通部門全国大会  2023年9月 

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知工業大学自由ヶ丘キャンパス   国名:日本国  

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  • FPGAによる抵抗型触覚センサのデジタルシリアル変換器の開発

    三木 克人, 斎藤 竜也, 安藤 潤人, 寒川 雅之, 泉 知論, 秋田 純一, 野間 春生

    令和5年電気学会基礎・材料・共通部門全国大会  2023年9月  電気学会

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知工業大学自由ヶ丘キャンパス   国名:日本国  

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  • 薄膜応力による微小構造の形状制御と触覚センサ応用 招待

    寒川 雅之

    令和5年電気学会基礎・材料・共通部門全国大会  2023年9月  電気学会

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:愛知工業大学自由ヶ丘キャンパス   国名:日本国  

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  • MEMS触覚センサのカンチレバー平面形状の改良による感度向上

    水戸部 龍介, 村上 健, 鄭 盈權, 門田 秀人, 安部 隆, 寒川 雅之

    日本機械学会2023年度年次大会  2023年9月  日本機械学会

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京都立大学南大沢キャンパス   国名:日本国  

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  • 電解エッチング法によるモリブデンマイクロマシニング技術の開発

    橋爪 紀人, 大石 恭徳, 寒川 雅之, 安部 隆

    日本機械学会2023年度年次大会  2023年9月  日本機械学会

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    開催年月日: 2023年9月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京都立大学南大沢キャンパス   国名:日本国  

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  • Immobilization Strategy of Liposome Modified Cantilever Biosensor Arrays Combined with Microfluidic Channels 国際会議

    Carl Frederik Werner, Yuya Takahashi, Ryusuke Mitobe, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    IEEE Biosensors 2023  2023年7月 

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    開催年月日: 2023年7月 - 2023年8月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:ロンドン   国名:グレートブリテン・北アイルランド連合王国(英国)  

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  • 多軸触覚センサのための検知素子の位置最適化

    若林陽彩, 門田秀人, 安部 隆, 寒川雅之

    令和5年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2023年7月  電気学会

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    開催年月日: 2023年6月 - 2023年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:豊田工業大学   国名:日本国  

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  • カンチレバー触覚センサの作製歩留まり向上と個体差低減のための接触部固定法および応力層形成法

    藤田亮太, 川崎雄記, 安部隆, 寒川雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2023  2023年6月  日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス部門

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    開催年月日: 2023年6月 - 2023年7月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

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  • VO2測温抵抗を備えた触覚センサによる微小粗さ面の温冷感評価

    中村眞子, 南雲光, 安部隆, 寒川雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2023  2023年6月  日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス部門

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    開催年月日: 2023年6月 - 2023年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

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  • 静電型・圧電型振動提示素子を複合化した触覚ディスプレイによる合成触感提示とその感性評価

    佐野竜雅, 近藤雅敏, 安部隆, 寒川雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2023  2023年6月  日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス部門

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    開催年月日: 2023年6月 - 2023年7月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋国際会議場   国名:日本国  

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  • FPGA-BASED ASYNCHRONOUS SPIKE PERCEPTRON FOR TINY MEMS TACTILE SENSORS 国際会議

    Masanori Aoki, Tatsuya Saito, Mitsuhito Ando, Masayuki Sohgawa, Tomonori Izumi, Junichi Akita, Haruo Noma

    The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023)  2023年6月 

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    開催年月日: 2023年6月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:京都   国名:日本国  

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  • IMPROVED REPRODUCIBILITY OF DEFLECTION CONTROL PROCESS FOR CANTILEVER-TYPE MEMS TACTILE SENSORS 国際会議

    Harufumi Hosokawa, Yuki Kawasaki, Yingquan Zheng, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023)  2023年6月 

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    開催年月日: 2023年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:京都   国名:日本国  

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  • マイクロ流体デバイス一体化バイオセンサにおけるリポソーム固定化プロトコルとセンサ特性の検討

    高橋 悠矢, 宮岡 一輝, 紙谷 虎太郎, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実

    第70回応用物理学会春季学術講演会  2023年3月  応用物理学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:上智大学四谷キャンパス   国名:日本国  

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  • 40個の検知素子を有する高集積カンチレバー型触覚センサ

    細川陽史, 川﨑雄記, 安部隆, 野間春生, 寒川雅之

    令和5年電気学会全国大会  2023年3月  電気学会

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

    添付ファイル: (細川)40個の検知素子を有するカンチレバー型MEMS触覚センサ.pdf

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  • 接触部交換可能なMEMS触覚センサの振動特性評価

    LIU TINGXUAN, 川﨑 雄記, 長谷川 拓海, 安部 隆, 寒川 雅之

    日本機械学会北陸信越支部2023年合同講演会  2023年3月  日本機械学会

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    開催年月日: 2023年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋大学   国名:日本国  

    添付ファイル: F006.pdf

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  • 温度特性の優れた支持基板一体型水晶振動子のQCMへの応用

    安田 倉土, 佐谷 元, 寒川 雅之, 安部 隆

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 反応性イオンエッチングと電解加工によるチタンウェハの微細加工プロセスの開発

    西村 哲登, 渡邉 悠太, 千野 輝弥, 寒川 雅之, 安部 隆

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • カンチレバー型MEMS触覚センサの接触部突起位置合わせ手法の開発

    岩橋 拓磨, 川崎 雄記, 矢島 樹, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

    添付ファイル: 【16P2-PN-6】岩橋拓磨.pdf

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  • 汎用作製プロセス化を指向したマイクロ流体デバイスとカンチレバーアレイセンサへの適用

    高橋 悠矢, 紙谷 虎太郎, 水戸部 龍介, 長谷川 拓海, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 水晶発振回路式複素容量センサによるセメント系材料の非破壊モニタリング技術の開発

    岩本 啓吾, 王 鶴鳴, 寒川 雅之, 安部 隆

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 荷重ベクトル計測のための触覚センサのカンチレバー設計最適化による高感度化

    川崎 雄記, 高橋 佑司, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

    添付ファイル: (川﨑)講演論文.pdf

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  • ひずみゲージ・圧電体薄膜積層カンチレバーを用いた触覚センサの応答性評価

    水戸部 龍介, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

    添付ファイル: ひずみゲージ・圧電体薄膜を集積した検知素子を持つ触覚センサの作製および複数検知素子の同時計測評価.pdf

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  • リポソーム固定化センサを用いたパーキンソン病原因タンパク質の 特異的高感度検出における塩効果

    紙谷 虎太郎, 澤村 正典, 山門 穂高, 高橋 悠矢, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 有限要素法によるTi製MEMS圧力センサの感度解析

    中井 遥介, 安部 隆, 寒川 雅之

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • チタン箔ベースMEMSのための生産プロセスの開発

    海野 一真, 寒川 雅之, 安部 隆

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 電解エッチング法によるTi系材料の微細構造形成と強度評価

    大石 恭徳, 佐々木 朋祐, 寒川 雅之, 安部 隆

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 水晶発振回路式複素容量センサによる食肉センシングシステムの開発

    大島 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 局所測定に対応した水晶発振回路式複素容量センサの開発

    高橋 良輔, 櫻井 洋輔, 寒川 雅之, 安部 隆

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 触覚ディスプレイにおける摩擦制御のための静電引力提示デバイスの低電圧化

    高橋 駿, 近藤 雅敏, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

    添付ファイル: センサシンポ アブスト 修正3.pdf

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  • 非接触型水晶発振回路式複素容量センサによるフォトリソグラフィ工程の終点検出技術の開発

    奥脇 琢朗, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 表面微細構造を利用したフッ素樹脂接合チタンウェハの開発

    新保 元哉, 佐々木 朋裕, 寒川 雅之, 安部 隆

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

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  • 肌のベタつき感定量評価のための触覚センサによる粘着性計測

    岡固 創, 安部 隆, 寒川 雅之

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2022年11月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

    添付ファイル: センサシンポ 投稿論文 岡固再修正.pdf

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  • Siウェハを用いた静電力提示触覚ディスプレイと圧電アクチュエータとの複合化

    近藤 雅敏, 高橋 駿, 安部 隆, 寒川 雅之

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

    添付ファイル: 14P3-PN-50「Siウェハを用いた静電力提示触覚ディスプレイと圧電アクチュエータとの複合化」.pdf

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  • MEMS触覚センサのためのカンチレバーたわみ形状制御手法の開発

    鄭 盈権, 川﨑 雄記, 安部 隆, 寒川 雅之

    第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2022年11月  日本機械学会

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    開催年月日: 2022年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:アスティとくしま   国名:日本国  

    添付ファイル: MEMS触覚センサのためのカンチレバーたわみ形状制御手法の開発.pdf

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  • Effects of Ions on Liposome-Immobilized Biosensors for the Detection of Alpha-Synuclein 国際会議

    Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Yuya Takahashi, Carl Frederik Werner, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    IEEE Sensors 2022  2022年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年10月 - 2022年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Dallas, Texas   国名:アメリカ合衆国  

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  • MULTI-ANALYTE SENSING MICROFLUIDIC STRUCTURE FOR ARRAY SENSORS AND ITS USAGE WITH A CANTILEVER BIO SENSOR 国際会議

    Yuya Takahashi, Kotaro Kamitani, Carl Frederik Werner, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    The 26th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (µTAS 2022)  2022年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • A HIGH-SENSITIVE DETECTION OF AGGREGATED α-SYNUCLEIN BY SALT ADDITION FOR LIPOSOME-IMMOBILIZED QCM MECHANICAL SENSOR 国際会議

    Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Yuya Takahashi, Carl Frederik Werner, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    The 26th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (µTAS 2022)  2022年10月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年10月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 超小型触覚センサによる大腸モデル挿入時における内視鏡把持状態の検出

    岩橋 拓磨, 山岸 守央, 安部 隆, 今村 孝, 寒川, 雅之

    日本機械学会2022年度年次大会  2022年9月  日本機械学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学   国名:日本国  

    添付ファイル: 2022機械学会年次大会講演原稿【岩橋拓磨】.pdf

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  • マイクロ鉗子・メス用チタン箔ベースフォースセンサの開発

    海野 一真, 野澤 慎児, 寒川 雅之, 安部 隆

    日本機械学会2022年度年次大会  2022年9月  日本機械学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学   国名:日本国  

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  • 油劣化評価のための水晶複素容量センサの開発

    大島 悠, 高橋良輔, 寒川雅之, 安部 隆

    令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2022年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年6月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢商工会議所会館   国名:日本国  

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  • 非接触式水晶複素容量センサを用いたモルタル劣化度の評価

    岩本啓吾, 佐伯竜彦, 寒川雅之, 安部 隆

    令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2022年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年6月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢商工会議所会館   国名:日本国  

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  • 高周波BAWセンサに適した支持基板一体型水晶振動子の開発

    安田倉土, 佐谷 元, 寒川雅之, 安部 隆

    令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2022年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年6月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢商工会議所会館   国名:日本国  

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  • 温冷感評価用ヒータ集積型触覚センサの加熱温度低減

    南雲光, 恩田尚隆, 安部隆, 寒川雅之

    令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2022年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年6月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢商工会議所会館   国名:日本国  

    添付ファイル: (南雲)電気学会.pdf

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  • エラストマシート封止MEMS触覚センサを用いた人の手による物体把持の計測

    門田秀人, 南部泰生, 安部 隆, 寒川雅之

    令和4年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2022年6月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年6月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:金沢商工会議所会館   国名:日本国  

    添付ファイル: 門田_電気学会_石川_決定版.pdf

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  • 科学的トレーニングのための足裏にかかる荷重計測システムの開発

    船橋佑, 安藤潤人, 寒川雅之, 秋田純一, 野間春生

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2022  2022年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年6月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:SORA 札幌コンベンションセンター   国名:日本国  

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  • エラストマシートに封止したMEMS触覚センサによる垂直力・曲げ・ねじり検知

    岡固創, 南部泰生, 安部隆, 寒川雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2022  2022年6月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年6月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:SORA 札幌コンベンションセンター   国名:日本国  

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  • The New Control Method for Detection of Cold-warm Sensation Using a Heater Integrated Tactile Sensor 国際会議

    Takuma Iwahashi, Naotaka Onda, Hikaru Nagumo, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    The 10th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2022)  2022年5月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年5月 - 2022年6月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • カンチレバーアレイバイオセンサ用マイクロ流体デバイスの検討

    高橋 悠矢, 紙谷 虎太郎, Werner Carl Frederik, 寒川 雅之, 野田 実

    第69回応用物理学会春季学術講演会  2022年3月 

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 圧・振動・温冷複合触覚センサデバイスと応用展開 招待

    寒川雅之

    令和4年電気学会全国大会  2022年3月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 二つのひずみゲージを搭載したカンチレバー型MEMS触覚センサ

    岡固 創, 髙橋佑司, 安部 隆, 野間春生, 寒川雅之

    令和4年電気学会全国大会  2022年3月  電気学会

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 遠隔内視鏡検査システムにおける挿入時の力覚提示機構の開発

    村山 健, 今村 孝, 寒川 雅之

    日本機械学会北陸信越支部 2022年合同講演会  2022年3月  日本機械学会北陸信越支部

     詳細を見る

    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 皮膚診断用MEMS複合センサの光検出部のS/N比向上

    佐藤 広夢, 安部隆, 寒川雅之

    日本機械学会北陸信越支部 2022年合同講演会  2022年3月  日本機械学会北陸信越支部

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 口腔ケアシミュレータに向けたMEMSセンサ搭載歯-歯茎モデルの検討

    寒川雅之, 兒玉崇行, 安部 隆, 三谷篤史

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2022年3月  電気学会

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • バイオセンサ・触覚センサ応用に向けたカンチレバーアレイチップの設計と試作評価

    水戸部龍介, 長谷川拓海, 高橋悠矢, 紙谷虎太郎, 安部 隆, 野田 実, 寒川雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2022年3月  電気学会

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    開催年月日: 2022年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 触診用MEMS触覚センサの感度向上と接触動作検討

    門田秀人, 安部 隆, 寒川雅之

    マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会  2021年12月  電気学会

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    開催年月日: 2021年12月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:米子コンベンションセンター   国名:日本国  

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  • A highly sensitive and specific detection of biomarker of Parkinson's disease by liposome-immobilized cantilever sensor 国際会議

    Kotaro Kamitani, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki sohgawa, Minoru Noda

    The 2021 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2021)  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:京都   国名:日本国  

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  • 布の触感評価における視覚と触覚の寄与度に関する基礎検討

    今村 孝, 昆 ひより, 寒川 雅之

    第64回 自動制御連合講演会  2021年11月 

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 反応性イオンエッチング技術を用いたAl2O3絶縁層を有するTiウェハの鏡面加工プロセス

    渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆

    第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2021年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 電界集中型水晶複素容量センサによる皮膚内部イメージングシステムの開発

    高橋 良輔, 藤森 弘貴, 寒川 雅之, 安部 隆

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 水晶発振回路式MHz帯複素容量センサを用いた土壌状態の非接触モニタリング

    LIU JIANI, 寒川 雅之, 安部 隆

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 電解エッチング法を用いた微細構造を有するチタン製マイクロメスの開発

    栗田 政宗, 寒川 雅之, 安部 隆

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 触診用MEMS触覚センサの接触部改良による圧力低減

    門田 秀人, 小河原 周, 寒川 雅之, 安部 隆

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 水晶発振回路式複素容量センサを用いた金エッチングの非接触エンドポイントディテクター

    奥脇 琢朗, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • Al₂O₃絶縁薄膜を用いた静電型触覚ディスプレイに関する基礎検討

    近藤 雅敏, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • TOIウェハの層間膜の膜厚調整技術の開発

    土田 和弥, 長谷川 穂高, 寒川 雅之, 安部 隆

    第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2021年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 物理的・化学的耐久性を兼備するフッ素エラストマ積層コーティング PDMS封止カンチレバー型触覚センサ

    髙橋 佑司, 髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 接着剤を用いたMEMS触覚センサの接触部取り外し・交換可能化

    川﨑 雄記, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2021年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • ヒータ集積型触覚センサによる温冷感評価のための温度制御手法の検討

    恩田 尚隆, 安部 隆, 寒川 雅之

    第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2021年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 触覚センサ感度のマイクロカンチレバーサイズおよびひずみゲージ形状・材料依存性評価

    長谷川 拓海, 金田 蓮, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    第12回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2021年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    開催年月日: 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • Sensitivity Enhancement of MEMS Tactile Sensor by Redesign of Microcantilever and Strain Gauge 国際会議

    Ren Kaneta, Takumi Hasegawa, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2021  2021年11月  IEEE

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    開催年月日: 2021年10月 - 2021年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • Detection of Rigid Object Embedded in Skin Model Using Tactile Sensor for Palpation 国際会議

    Shu Ogawara, Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2021  2021年11月  IEEE

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    開催年月日: 2021年10月 - 2021年11月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 口腔ケアシミュレータのためのMEMSセンサによるブラッシング検知

    寒川雅之, 三谷篤史

    第9回看護理工学会学術集会  2021年10月 

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    開催年月日: 2021年10月 - 2021年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • パーキンソン病患者血清中αシヌクレインのリポソーム固定化センサにおける高感度検出の検討

    紙谷 虎太郎, 高橋 悠矢, Werner Carl Frederik, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    第82回応用物理学会秋季学術講演会  2021年9月 

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • マイクロカンチレバー触覚センサにおけるひずみゲージ用NiCr薄膜特性のスパッタリング成膜温度依存性評価

    GONG LIQIANG, 安部 隆, 寒川 雅之

    日本機械学会 2021年度年次大会  2021年9月  日本機械学会

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    開催年月日: 2021年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 低電圧静電触覚ディスプレイ用絶縁膜の耐久性向上

    近藤雅敏, 佐藤淳喜, 安部 隆, 寒川雅之

    令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2021年7月  電気学会

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    開催年月日: 2021年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 温冷感計測用マルチモーダル触覚センサにおけるエラストマ材料の検討

    南雲 光, 恩田尚隆, 安部 隆, 寒川雅之

    令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2021年7月 

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    開催年月日: 2021年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価

    河内彪博, 安藤潤人, 寒川雅之, 野間春生

    令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2021年7月 

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    開催年月日: 2021年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • CONTACTLESS ENDPOINT DETECTION OF GOLD ETCHING USING QUARTZ-BASED CAPACITIVE DETECTOR 国際会議

    Takuro Okuwaki, Takaaki Haino, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2021)  2021年6月 

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    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:オンライン開催  

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  • 内視鏡操作のデータ化に向けた超小型触覚センサによる把持状態の検出

    山岸守央, 寒川雅之, 今村孝, 安部隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2021  2021年6月 

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    開催年月日: 2021年6月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 皮膚診断のための MEMS 触覚センサの接触部最適化

    門田秀人, 小河原 周, 南部泰生, 安部 隆, 寒川雅之

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 水晶発振回路式複素容量センサを用いたシール材料の化学耐久性評価

    齋藤 響太, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 水晶発振回路式容量センサを用いた土壌の性質の非接触モニタリング

    JIANI LIU, 吉田 晃, 寒川雅之, 安部 隆

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • TOIウェハを用いた表面マイクロマシニング

    長谷川穂高, 守屋赳利, 土田和弥, 寒川雅之, 安部 隆

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 接触部を交換可能としたMEMS触覚センサ

    川崎雄記, 髙橋佑司, 安部 隆, 野間春生, 寒川雅之

    令和3年電気学会全国大会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 耐水性MEMS触覚センサを用いた吐水力計測

    高橋佑司, 高橋拓海, 安部 隆, 寒川雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • MEMS触覚センサによる樹脂・金属表面質感識別

    佐藤淳喜, 本間 遼, 安部 隆, 寒川雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 皮膚診断のためのMEMS触覚センサによる柔軟物内しこり検出

    小河原周, 木藤 潤, 安部 隆, 寒川雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2021年3月  電気学会

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    開催年月日: 2021年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • Improvement of Durability of Micro Tactile Sensor by Protection of Bonding-Wire with UV Curable Resin 国際会議

    Yuji Takahashi, Takumi Takahashi, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 15th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC 2020)  2020年12月  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • Analysis of Deflection Behavior of Microcantilevers Embedded in Elastomer for Miniature Tactile Sensor 国際会議

    Jun Kido, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    The 15th International Conference on Motion and Vibration Control (MoViC 2020)  2020年12月  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年12月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • ひずみゲージ・圧電体薄膜集積触覚センサの検知部形状の設計・評価

    GONG LIQIANG, 高橋 春暁, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之

    第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 反応性イオンエッチングを用いた極薄チタンウェハのドライナノ研磨技術の開発

    千野 輝弥, 渡邉 悠太, 月山 陽介, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • ガラスの温冷感評価のためのヒータ集積型MEMS触覚センサの作製

    恩田 尚隆, 小塚 貴暁, 安部 隆, 一色 眞誠, 留野 暁, 寒川 雅之

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いたパーキンソン病原因物質αシヌクレイン凝集体の超高感度検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶複素容量センサの開発

    橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 薄膜対応熱重量分析⽤QCMの開発と評価

    佐谷 元, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • エラストマ封⽌カンチレバー型触覚センサの繰返し耐久性評価

    高橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 把持状況検出のための⼯具把持部埋込触覚センサとその解析

    南部 泰生, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 微小流体回路のためのインダクタンスとキャパシタンスの時差式分析技術の開発

    渡部 亮, 吉田 晃, 佐藤 洋太, 寒川 雅之, 安部 隆

    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 振動刺激と摩擦力を同時に提示可能な複合触覚ディスプレイの基礎検討

    本間 遼, 佐藤 淳喜, 安部 隆, 寒川 雅之

    第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2020年10月 

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    開催年月日: 2020年10月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • MEMS触覚センサを用いた皮膚診断のための力・色・温度の複合計測

    小河原 周, 安部 隆, 寒川 雅之

    日本機械学会 2020年度年次大会  2020年9月  日本機械学会

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いたパーキンソン病患者血清中αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    第81回応用物理学会秋季学術講演会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 高ゲージ率Cr-N薄膜及び設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上

    金田 蓮, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    令和2年度電気学会A部門大会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • エラストマ埋込マイクロカンチレバー触覚センサの挙動と解析

    寒川 雅之, 木藤 潤, 安部 隆

    令和2年度電気学会A部門大会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • Contactless Monitoring of Cement Curing Process Using Quartz Oscillator Based Capacitive Sensor

    王 鶴鳴, 藤森 弘貴, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和2年度電気学会A部門大会  2020年9月 

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    開催年月日: 2020年9月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • Micro-TAS用脱着可能な水晶複素容量センサの開発

    櫻井洋輔, 灰野貴晶, 寒川雅之, 安部 隆

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

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    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • MEMS触覚センサの温度変化による出力信号のドリフト特性の考察

    河内彪博, 川田智晴, 岡田一志, 寒川雅之, 野間春生

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

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    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:オンライン開催  

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  • 小型化・低電圧化に向けた絶縁樹脂薄膜静電触覚ディスプレイの基礎検討

    佐藤淳喜, 本間 遼, 安部 隆, 寒川雅之

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

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    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • チタン製カンチレバーを用いた高耐久性MEMSフォースセンサのモデル作製と評価

    野澤慎児, 大塚善久, 安部 隆, 寒川雅之

    令和2年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  2020年7月 

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    開催年月日: 2020年7月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • 端子部への負荷を軽減するFPCを用いたMEMS触覚センサの実装

    岡田一志, 川田智晴, 河内彪博, 大井翔, 松村耕平, 寒川雅之, 野間春生

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2020  2020年5月 

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    開催年月日: 2020年5月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 遠隔内視鏡検査システムにおける力覚提示の基礎検討

    村山健, 今村孝, 水野研一, 寒川雅之, 三好孝典

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2020  2020年5月 

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    開催年月日: 2020年5月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • マイクロカンチレバーの設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上

    金田蓮, 安部隆, 寒川雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2020  2020年5月 

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    開催年月日: 2020年5月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: robomech原稿-final.pdf

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  • ボンディングワイヤのUV硬化樹脂封止によるMEMS触覚センサの耐久性向上

    高橋 佑司, 高橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    令和2年電気学会全国大会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学東京千住キャンパス   国名:日本国  

    添付ファイル: 電気学会全国大会原稿 改訂版-完成.pdf

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  • タフMEMSのための絶縁層を有するチタン基板の開発

    守屋 赳利, 長谷川 穂高, 佐々木 朋裕, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和2年電気学会全国大会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学東京千住キャンパス   国名:日本国  

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  • マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶発振回路式複素容量センサの開発

    橋本 祐希, 灰野 貴晶, 寒川 雅之, 安部 隆

    令和2年電気学会全国大会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京電機大学東京千住キャンパス   国名:日本国  

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  • 包丁手技訓練を目的とした把持力信号の自動ストローク切り出し手法の検討

    川田 智晴, 岡田 一志, 大井 翔, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生

    インタラクション2020  2020年3月  情報処理学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:学術総合センター/一橋大学一橋講堂   国名:日本国  

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  • ヒトを模した人工触覚の触り動作における素材識別率を向上させる学習モデルの研究

    岡田 一志, 下江 輝, 大井 翔, 松村 耕平, 寒川 雅之, 杉山 治, 野間 春生

    インタラクション2020  2020年3月  情報処理学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:学術総合センター/一橋大学一橋講堂   国名:日本国  

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  • MEMS触覚センサにおける弾性樹脂中カンチレバー挙動の分析

    木藤 潤, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三島  

    添付ファイル: TER-MSS合同研究会原稿(木藤・寒川).pdf

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  • MEMS触覚センサを用いた物体把持状況検出手法の検討

    南部 泰生, 藤橋 智哉, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2020年3月  電気学会

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    開催年月日: 2020年3月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:三島  

    添付ファイル: TER-MSS合同研究会原稿(南部).pdf

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  • A New Temperature-Stabilized Biosensor System for Phospholipid-Immobilized Cantilever Sensor to Detect Biomaker Amyloid Protein for Parkinson Disease 国際会議

    Ryoko Kobayashi, Minoru Noda, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa

    The 2019 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2019)  2019年11月  IEEE EDS Kansai Chapter

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    開催年月日: 2019年11月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Ryukoku University Avanti Kyoto Hall, Kyoto   国名:日本国  

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  • A Novel Detection of Biomarker Molecule of α-Synuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Biosensor Using Real-Time Quaking-Induced Conversion Method 国際会議

    Ryoko Kobayashi, Minoru Noda, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa

    IEEE Sensors 2019  2019年10月 

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    開催年月日: 2019年10月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Palais des congrès de Montréal, Motreal   国名:カナダ  

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  • リポソーム固定化カンチレバーセンサを用いた ヒト由来αシヌクレイン線維化の検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 野田 実

    第67回応用物理学会春季学術講演会  2020年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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  • ワイヤレス発振式水晶振動子型薄膜用熱重量分析センサの開発

    千野 輝弥, 丸山 耕平, 内木 舜也, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • ひずみ・圧電触覚センサのためのPDMS封止カンチレバーによる荷重・振動検知

    高橋 春暁, 安部 隆, 神田 健介, 寒川 雅之

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • チタン合金製マイクロ金型の作製および評価

    韓 剛, 劉 若愚, 寒川 雅之, 安部 隆

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサにおける感度・温度特性の熱処理温度依存性

    本間 遼, 米原 洸平, 安部隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 深さ方向成分分析に対応した非接触型水晶発振回路式複素容量センサの開発

    灰野 貴晶, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 外部磁場を利用した多周波水晶発振回路式液体センサによるイオン種分析

    藤森 弘貴, 富樫 裕基, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • チタンMEMSのためのアルミナ絶縁層の評価

    大塚 善久, 安部 隆, 寒川 雅之

    第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • エラストマ封止カンチレバー型触覚センサの検出エリア評価

    阿部 由杜, 菅 史賢, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • さまざまな洗浄に耐えるフッ素エラストマ封止カンチレ バー型触覚センサ

    髙橋 拓海, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 多周波水晶発振回路式液体センサによる多成分イオンの非接触分析

    庄司 拓人, 吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 水処理プロセスの非接触モニタリング用水晶発振回路式液体センサの開発

    吉田 晃, 小黒 悠, 寒川 雅之, 安部 隆

    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2019年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • RT-QuIC 法を用いたリポソーム固定化カンチレバーセンサによる αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第80回応用物理学会秋季学術講演会  2019年9月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道大学札幌キャンパス  

    我々はリポソーム固定化カンチレバーセンサを用いて,パーキンソン病発症原因物質 αシヌクレイン(αSyn)の検出を行っている。αSynはモノマーから凝集,線維化し,フィブリルに変化することで毒性を獲得する。また,モノマーの中に極少量のフィブリルが存在すると凝集現象が促進される。RT-QuIC 法は このαSynの凝集現象の促進を利用する方法で,本研究では RT-QuIC 法に着目し,本センサに応用して,αSyn の凝集過程の検出と,極低濃度のαSynの検出を目指した。

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  • 摩擦・凹凸感を含む触感提示のためのMEMS複合触覚センサによる質感計測と評価

    本間 遼, 安部 隆, 寒川 雅之

    2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会  2019年9月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:琉球大学工学部  

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  • 複合触覚センシングのためのフレキシブル圧力・曲げセンサ

    寒川 雅之, 高橋 拓海, 富田 亮, 安部 隆, 鳴海 敬倫

    電気学会誘電・絶縁材料研究会  2019年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:トキ交流会館  

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  • 力・光・温度複合触覚センサを用いた濡れによる質感変化の評価

    小塚 貴暁, 安部 隆, 寒川 雅之

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)  2019年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学すずかけ台キャンパス  

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  • 複雑形状物体把持制御のための複数接触部を有する触覚センサ

    菅 史賢, 藤橋 智哉, 阿部 由杜, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)  2019年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学すずかけ台キャンパス  

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  • A New Detection of Biomarker Molecule of Alpha-Synuclein for Parkinson Disease by Phospholipid Liposome-Immobilized Cantilever Microsensor with Temperature Stabilization 国際会議

    Ryoko Kobayashi, Masanori Sawamura, Hodaka Yamakado, Masayuki Sohgawa, Minoru Noda

    The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII)  2019年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Berlin, Germany  

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  • Design and Evaluation of an Electrode Separated Quartz Crystal Microbalance Array as a Disposable Weighing Dish 国際会議

    Shunya Uchiki, Ikuto Sato, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII)  2019年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Berlin, Germany  

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  • Tactile Sensor Using Microcantilever Embedded in Fluoropolymer for Water and Ethanol Resistance 国際会議

    Takumi Takahashi, Shuhei Sato, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII)  2019年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

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  • 口腔ケアシミュレーション用舌モデルへのMEMS触覚センサ搭載と接触検知

    兒玉 崇行, 安部 隆, 三谷 篤史, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2019  2019年6月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: robomech原稿.pdf

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  • 微小流体チップ用水晶発振回路式液体濃度センサのための回路の最適化

    佐藤 洋太, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成31年電気学会全国大会  2019年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道科学大学  

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  • フッ素エラストマとCNT分散樹脂を用いたフレキシブル圧力・曲げセンサの基礎検討

    高橋 拓海, 富田 亮, 安部 隆, 鳴海 敬倫, 寒川 雅之

    平成31年電気学会全国大会  2019年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道科学大学  

    添付ファイル: 電気学会全国大会原稿.pdf

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  • 非接触型水晶発振回路式複素容量センサの土壌モニタリングへの応用

    村上 尚駿, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    平成31年電気学会全国大会  2019年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:北海道科学大学  

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  • リン脂質リポソーム固定化カンチレバーセンサによるパーキンソン病原因物質αシヌクレインの検出

    小林 亮子, 澤村 正典, 山門 穂高, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第66回応用物理学会春季学術講演会  2019年3月  応用物理学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学  

    人工細胞膜リポソームを歪みゲージカンチレバー上に固定化したカンチレバー型センサを用いて,パーキンソン病の原因物質であるαシヌクレインタンパク質(αSyn)の検出を行った。αSynは,その性質や機能がまだ多く不明であるが,アルツハイマー病原因物質のAβタンパク質と同様に線維伸長・凝集化が生じる。そこで,Aβと同様に,αSynとリポソームの相互作用で発生する応力によるカンチレバーの撓みを,歪ゲージの抵抗変化から検出できる可能性があると考え,αSynの検出とその経時特性を得ること,同時により低濃度での線維伸長・凝集の検出を目的とした。

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  • 複雑形状物体把持時の接触状況検出のためのマイクロ触覚センサ

    菅 史賢, 藤橋 智哉, 阿部 由杜, 安部 隆, 寒川 雅之

    日本機械学会北陸信越支部第56期講演会  2019年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:富山大学五福キャンパス  

    添付ファイル: 複雑形状物体把持時の接触状況検出のためのマイクロ触覚センサ1.pdf

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージ触覚センサの感度と温度特性評価

    米原 洸平, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2019年2月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋  

    添付ファイル: TER-MSS研究会2019(米原).pdf

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  • MEMS触覚センサによる材質感計測と感性評価との比較

    志和 昂, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会  2019年2月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋  

    添付ファイル: TER-MSS研究会2019(寒川).pdf

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  • Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上

    米原 洸平, 木藤 潤, 藤橋 智哉, 高橋 春暁, 安部 隆, 丹羽 英二, 寒川 雅之

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2018年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: Cr-N薄膜ひずみゲージを用いたMEMS触覚センサの感度向上.pdf

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  • 人間に近い触覚検知のためのエラストマ埋め込みPZT /Siカンチレバー振動覚センサ

    高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 触覚センサの柔軟物硬さ及び接触形状に対する依存性評価と検知部の高密度化

    藤橋 智哉, 菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年11月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: 触覚センサの柔軟物硬さ及び接触部形状に対する依存性評価と検知部の高密度化.pdf

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  • 粘弾性液体と接した電極分離型QCMセンサの周波数応答特性

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年11月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 皮膚診断のための触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析

    木藤 潤, 阿部 裕太, 佐藤 周平, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: 皮膚診断のための触覚センサによる多層柔軟物モデルの計測と有限要素解析.pdf

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  • 水晶発振回路式液体濃度センサの炭酸濃度非接触測定への応用

    小黒 悠, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 湿潤・水中環境でも計測可能なフッ素エラストマを用いた触覚センサ

    佐藤 周平, 安部 隆, 寒川 雅之

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: 湿潤・水中環境でも計測可能なフッ素エラストマを用いた触覚センサ.pdf

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  • タフMEMSのためのチタン合金製微小試験片の力学的特性評価

    吉田 将希, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価

    庄司 拓人, 江端 亮, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 熱アシスト式反応性イオンエッチング法によるチタン合金製微小メスの作製と評価

    近藤 正之, 吉田 将希, 桐生 祐弥, 韓 剛, 寒川 雅之, 安部 隆

    第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発

    桐生 祐弥, 韓 剛, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 熱アシスト反応性イオンエッチングを用いたTi/Ti合金製マイクロモールドの開発

    劉 若愚, 韓 剛, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

     詳細を見る

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • 河川防災システムのためのミリ波センサによる非接触水位計測

    寒川 雅之, ウィタカ アンドリュー, 酒井 直樹

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: SS35_Paper_新潟大学寒川.pdf

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  • ワイヤレス駆動可能な多チャンネル型片面励起式QCMセンサの開発

    内木 舜也, 佐藤 育人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2018年10月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

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  • マイクロカンチレバーセンサ技術を用いた細胞膜モデルリポソーム上Aβ動的特性の評価

    谷口 智哉, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第12回バイオ関連化学シンポジウム  2018年9月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪大学吹田キャンパス  

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  • Characterization of PZT Thin Film Deposited on Si Cantilever Embedded in PDMS for Tactile Sensing as Force and Vibration Detection 国際会議

    Harutoshi Takahashi, Yuta Namba, Takashi Abe, Masayuki Sohgawa

    The 12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics  2018年8月 

     詳細を見る

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Nara, Japan  

    添付ファイル: Characterization of PZT Thin Film Deposited on Si Cantilever Embedded in PDMS for Tactile Sensing as Force and Vibration Detection.pdf

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  • 触覚センサと質感定量評価の試み 招待

    寒川 雅之

    第5回 EIIRIS インテリジェントセンサ・MEMS研究会  2018年7月  豊橋技術科学大学 エレクトロニクス先端融合研究所

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(招待・特別)  

    開催地:豊橋商工会議所3階ホール  

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  • ミリ波レーダを用いた河川防災用センサシステムの開発

    寒川 雅之, ウィタカ アンドリュー, 酒井 直樹

    平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会)  2018年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:奈良  

    添付ファイル: E総研2018寒川.pdf

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  • エラストマ封止PZT/Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価

    高橋 春暁, 難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    平成30年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(フィジカルセンサ研究会)  2018年7月 

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:奈良  

    添付ファイル: エラストマ封止PZT・Siマイクロカンチレバー振動覚センサの試作評価修正.pdf

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  • Suppression of Deformation for Gripping Soft Objects Using Miniature Tactile Sensor with Hemisphere PDMS 国際会議

    Fumitoshi Suga, Ryoma Araki, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018)  2018年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:香港  

    PDMSを接触部として用いた近接・触覚複合MEMSセンサを電動マニピュレータに設置し、センサ出力により柔軟物の把持制御を行った。半球形状のPDMSを用いたセンサからの出力によりマニピュレータの制御を行うことで、柔軟物を大きく変形させることなく把持することが可能であり、それを持ち上げた時に自動的に把持力を調整できることを示した。

    添付ファイル: apcot2018 abstract - final.pdf

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  • Thermally Assisted Reactive-Ion Etching Technique Using Detachable Self-Heated Stage 国際会議

    Gang Han, Yuka Kiryu, Daiki Ohkawa, Junichi Imai, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018)  2018年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:香港  

    本研究は取り外し可能な自己加熱式ステージをデスクトップ型エッチャーのエッチングステージとして用いた熱アシスト反応性イオンエッチング(TRIE)法に関するものである。ステージはシミュレーション結果に基づいて設計し、RF電力印加による加熱特性を評価した。エッチングステージの温度は289℃まで急速に上昇し、その温度分布は3℃以下であった。また、そのTi、Ti-6Al-4V、Ti-3Al-2.5Vの加工への応用を検討した。自己加熱式ステージの使用によりエッチング速度に大幅な向上が見られた。

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  • 柔軟物把持制御用近接触覚センサの接触部形状の検討とカンチレバーの小型高密度配置による荷重分布計測

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2018  2018年6月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    添付ファイル: Microsoft Word - robomec2018 原稿-最終版.pdf

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  • Aβ検出用カンチレバーセンサ感度向上に向けたセンシングバイオ分子の検討

    谷口 智哉, 島内 寿徳, 寒川 雅之, 山下 馨, 野田 実

    第65回応用物理学会春季学術講演会  2018年3月 

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:早稲田大学  

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  • フッ素エラストマを用いたMEMS触覚センサの耐水性向上

    佐藤 周平, 安部 隆, 寒川 雅之

    平成30年電気学会全国大会  2018年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:九州大学伊都キャンパス  

    添付ファイル: 2018電気学会全国大会予稿.pdf

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  • 近接・触覚複合MEMSセンサへのプローブ光LED集積化

    志和 昂, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    電気学会交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会  2018年3月  電気学会

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:刈谷商工会議所 大会議室  

    添付ファイル: 近接・触覚複合MEMSセンサへのプローブ光LED集積化.pdf

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  • Development of Thermally Assisted Reactive Ion Etching with Desktop Type RIE System 国際会議

    Gang Han, Daiki Ohkawa, Takeshi Hitobo, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 6th International Symposium on Fusion Technology 2018  2018年1月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Niigata, Japan  

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  • 小型電動マニピュレータによる柔軟物把持制御のための 近接・接触・滑り検知触覚センサ

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 小型電動マニピュレータによる柔軟物把持制御のための 近接・接触・滑り検知触覚センサ.pdf

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  • 3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発

    韓 剛, 村田 祐貴, 大川 太基, 今井 純一, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • 卓上型熱アシスト式反応性イオンエッチングシステムの開発

    大川 太基, 韓 剛, 人母 岳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2017年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • 繊細な把持制御に向けた近接触覚複合マイクロカンチレバーセンサの小型化・多素子化

    荒木 凌馬, 寒川 雅之, 野間 春生, 安部 隆

    第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2017年11月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 繊細な把持制御に向けた近接触覚複合マイクロカンチレバーセンサの小型化・多素子化.pdf

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  • MEMS触覚センサによる布の接触温冷感と風合いを合わせた評価

    志和 昂, 佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 寒川 雅之, 野間 春生

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: MEMS触覚センサによる布の接触温冷感と風合いを合わせた評価.pdf

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  • 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価

    難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 光・ひずみ複合触覚センサを用いたポリオキシメチレン樹脂の表面形状・色計測による質感評価.pdf

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  • 外部磁場を利用した水晶発振回路式濃度センサに関する基礎研究

    富樫 裕基, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年11月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • 微小流体回路融合型水晶発振回路式容量センサを用いた微小液滴のモニタリング

    江端 亮, 坂井 了, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • Development of Artificial Haptic Model for Human Tactile Sense Using Machine Learning 国際会議

    Hikaru Shimoe, Kohei Matsumura, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa, Masanori Okuyama

    IEEE Sensors 2017  2017年10月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Glasgow, Scotland, UK  

    我々は人の触覚と認識プロセスモデルに基づいた触覚段階モデルを構築した。我々のモデルは教師有りと教師無しの段階から構成されたニューラルネットワークベースのモデルである。我々が開発しているマイクロ触覚センサの表面スキャンの結果を用いて、我々のモデルで材料識別問題を確認した。従来の完全CNNモデルでは28の材料に対して98.0%の識別率を達成したが、我々のモデルでは67.2%となった。

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  • 皮膚性状計測へ向けた光・力複合MEMSセンサの研究

    佐藤 周平, 阿部 祐太, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

    添付ファイル: 皮膚性状計測へ向けた光・力複合MEMSセンサの研究.pdf

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  • ワイヤレス発振式水晶振動子型熱重量分析センサの開発と評価

    丸山 耕平, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • ワイヤレス駆動可能なデュアルモード型QCMセンサの開発

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • ミネラルウォーターの品質評価のための非接触型水分析センサの開発

    小黒 悠, 矢田 直人, 清水 健司, 寒川 雅之, 安部 隆

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  2017年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:広島国際会議場  

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  • A Selective Detection of Amyloid Beta in Human Serum by Strain Gauge Cantilever Sensor Immobilizing Liposome Incorporated with Cholesterol 国際会議

    Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017)  2017年10月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Savannah, Georgia, USA  

    我々は新たにコレステロールを混入したリポソームを固定化したひずみゲージ型カンチレバーセンサでヒト血清中のアミロイドβ(Aβ)の動的挙動の選択的検知を確認した。リポソームと血清中の様々なタンパク質の相互作用を低減するために、リポソームへのコレステロール混入の効果を調べた。実験結果から、コレステロールは脂質膜の安定効果により相互作用を抑えることが暗示された。よって、コレステロールを混入したリポソームを固定化したカンチレバーセンサにより、ヒト血清中のAβの、特に凝集と線維化の状態を検知可能であると結論付けた。

    添付ファイル: Re_MicroTAS 2017_manuscript_0299_Tomoya Taniguchi.pdf

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  • 接触力・光・温度複合MEMSセンサによる布の温冷感センシング

    志和 昂, 佐藤 文哉, 高橋 賢太, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    平成29年電気学会電子・情報・システム部門大会  2017年9月  電気学会 電子・情報・システム部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:サンポートホール高松  

    添付ファイル: 電気学会原稿完成版.pdf

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  • Detection of Aβ(1-40) Protein in Human Serum as a Causative Agent of Alzheimer's Disease by Strain Gauge Cantilever Biosensor Immobilizing Liposome Incorporating Cholesterol 国際会議

    Tomoya Taniguchi, Yuki Murakami, Masayuki Sohgawa, Kaoru Yamashita, Minoru Noda

    Eurosensors 2017  2017年9月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Paris, France  

    コレステロールを混入したリポソームをNiCrひずみゲージカンチレバーセンサに固定し、ヒト血清に添加したアミロイドβ(Aβ)(1-40)タンパク質を計測することに成功した。重要な点は、リポソームとヒト血清中に存在する多くのAβと異なるタンパク質との相互作用を抑えるために、リポソーム中にコレステロールを混入する効果を調べたことである。コレステロールの混入はAβ以外のヒト血清中のタンパク質とリポソームとの相互作用を抑えることが明らかになった。最後に、Aβの凝集と線維化による典型的な時間的挙動をヒト血清中にて検出した。さらに、デジタルローパスフィルタ処理により外部ノイズを低減し、コレステロールを混入したリポソームを固定化したカンチレバーセンサがヒト血清中の低濃度のAβを検知できた。

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  • 光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価

    難波 勇太, 安部 隆, 寒川 雅之

    平成29年度電気学会E部門総合研究会(フィジカルセンサ研究会)  2017年6月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:イーグレひめじ  

    添付ファイル: 光・ひずみ複合MEMSセンサによるポリオキシメチレン樹脂加工表面の質感評価-提出版-寒川修正案.pdf

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  • DEEP REACTIVE ION ETCHING TECHNIQUE INVOLVING USE OF 3D SELF-HEATED CATHODE 国際会議

    Gang Han, Yuki Murata, Daiki Ohkawa, Masayuki Sohgawa, Takashi Abe

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017)  2017年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kaohsiung, Taiwan  

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  • GRIPPING CONTROL OF DELICATE AND FLEXIBLE OBJECT BY ELECTROMOTIVE MANIPULATOR WITH PROXIMITY AND TACTILE COMBO MEMS SENSOR 国際会議

    Ryoma Araki, Fumitoshi Suga, Takashi Abe, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017)  2017年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Kaohsiung, Taiwan  

    添付ファイル: PID4722959.pdf

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  • TEXTURE MEASUREMENT FOR FABRICS INCLUDING WARM/COOL AND FLUFFINESS SENSATION BY MULTIMODAL MEMS SENSOR 国際会議

    Fumiya Sato, Takashi Shiwa, Kenta Takahashi, Takashi Abe, Masanori Okuyama, Haruo Noma, Masayuki Sohgawa

    The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017)  2017年6月 

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    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Kaohsiung, Taiwan  

    添付ファイル: PID4721655.pdf

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  • 匂いセンサ応用のためのワイヤレス発振式マルチチャンネルQCMセンサの開発

    佐藤 育人, 坂口 淳, 寒川 雅之, 安部 隆

    ロボティクス・メカトロニクス講演会  2017年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:ビッグパレットふくしま  

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  • 柔軟物把持制御のための近接触覚複合MEMSセンサの出力評価

    菅 史賢, 荒木 凌馬, 安部 隆, 野間 春生, 寒川 雅之

    ロボティクス・メカトロニクス講演会2017  2017年5月  日本機械学会 ロボティクス・メカトロニクス部門

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    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:ビッグパレットふくしま  

    添付ファイル: robomech2017 原稿 修正完了(寒川先生確認済み) .pdf

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  • ひと触覚を模した人工触覚モデル実現の試み

    下江 輝, 松村 耕平, 寒川 雅之, 野間 春生

    力触覚の提示と計算研究会  2017年3月  日本バーチャルリアリティ学会<