MISC - SOHGAWA Masayuki
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吉村友里, 浅井健, 山下馨, 野田実, 寒川雅之, 島内寿徳, 馬越大, 奥山雅則, 久保井亮一
電気学会全国大会講演論文集 2009 ( 3 ) 235 2009.3
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Cr/Si傾斜カンチレバーとエラストマを用いた多軸触覚センサの作製と有限要素解析
寒川雅之, 美馬達也, 大西浩之, HUANG Yu‐Ming, 金島岳, 奥山雅則, 山下馨, 野田実, 池田正哲, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2008 ( 3 ) 190 2008.3
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Fabrication and Finite Element Analysis of Tri-axes Tactile Sensor by using Cr/Si Inclined Cantilevers and Elastomer
第3分冊, pp. 190, 3-132 2008
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カンチレバー型触覚センサ用シリコン・ポリマービーム構造の作製と評価
HUANG Y‐M, 山下馨, 寒川雅之, 金島岳, 野田実, 奥山雅則, 野間春生
電気学会全国大会講演論文集 2007 ( 3 ) 213 2007.3
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Fabrication and Characterization of Multi-axis Tactile Sensors with Reasonably Sloped Cr/SiMicro Cantilever Structures
pp. 47-50 2007
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Studies on Deflection Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining Process on SOI Wafer
2006
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HfO<sub>2</sub>膜中欠陥の第一原理計算による解析
寒川雅之, 吉田真人, 松本淳也, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 52nd ( 2 ) 2005
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Contactless Characterization of Fixed Charge in HfO_2 Thin Film by Photoreflectance
SOHGAWA Masayuki, YOSHIDA Masato, NAOYAMA Takuji, TADA Taizou, IKEDA Koji, KANASHIMA Takeshi, FUJIMOTO Akira, OKUYAMA Masanori
2004 536 - 537 2004.9
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PhotoreflectanceによるMFIS構造の容量保持特性の非接触評価
寒川雅之, 吉田真人, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集 65th ( 2 ) 495 2004.9
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Photoreflectance分光法によるHfO<sub>2</sub>/Si構造の評価
吉田真人, 直山卓示, 寒川雅之, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 51st ( 2 ) 2004
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PLD法により作製されたHfO<sub>2</sub>薄膜のESRによる欠陥評価
池田幸司, 多田泰三, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 51st ( 2 ) 2004
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Photoreflectanceによる強誘電体薄膜/SiO<sub>2</sub>/Si構造の解析
寒川雅之, 吉田真人, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集 64th ( 2 ) 470 2003.8
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PLD法により作製したPrOx薄膜のRTA効果
池田幸司, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th ( 2 ) 2003
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SPring-8高輝度・高強度放射光を用いた弗化物・酸化物のエッチング
藤田哲士, 多田泰三, 金島岳, 寒川雅之, 神田浩文, 奥山雅則, 大橋治彦, 為則雄祐, 石黒英治
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 50th ( 2 ) 2003
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high‐k/SiO<sub>2</sub>/Si構造のフォトレフレクタンス評価
寒川雅之, 神田浩文, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学会学術講演会講演予稿集 63rd ( 2 ) 710 2002.9
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FIS構造における界面Siのフォトレフレクタンス分光法による評価 (2)
神田浩文, 寒川雅之, 北井聡, 児玉一志, 豊島吉英, 金島岳, 奥山雅則, 藤本晶, 江利口浩二
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th ( 2 ) 541 2002.3
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高誘電率ゲート用ZrO<sub>2</sub>およびPrO<sub>x</sub>薄膜の作製と評価
寒川雅之, 北井聡, 神田浩文, 金島岳, 藤本晶, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th ( 2 ) 829 2002.3
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SBTとPZT膜を用いたMFIS構造におけるSiO<sub>2</sub>/Si界面の光学的評価
神田浩文, 寒川雅之, 豊嶋吉英, 金島岳, 奥山雅則, 藤本晶, 江利口浩二
応用物理学会学術講演会講演予稿集 63rd ( 2 ) 2002
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軟X線アンジュレータからの高輝度放射光アブレーションによるフッ化物薄膜の作製
藤田哲士, 折田智洋, 寒川雅之, 金島岳, 奥山雅則, 大橋治彦
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 49th ( 2 ) 2002
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高誘電率ゲート絶縁膜/Si界面のフォトレフレクタンス分光法による評価
寒川雅之, 神田浩文, 北井聡, 上野正人, 江利口浩二, 藤本晶, 金島岳, 奥山雅則
応用物理学関係連合講演会講演予稿集 48th ( 2 ) 805 2001.3